JP5222471B2 - 微細構造転写装置および微細構造転写方法 - Google Patents
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上記数式1において、η:基材表面の粘度(Pa・s),a:ロールの周速度(mm/s),P:加圧部圧力(Pa)である。
(実施例1)
始めにエンドレスベルト状金型1の作製方法について説明する。8inchウエハ上に熱酸化膜を400nm形成後、この酸化膜にフォトリソプロセスにより直径200nm、ピッチ400nm、深さ400nmの穴パターンを形成した。次にこの8inchウエハをマスター原版としてNi電鋳技術を用い厚さ1000μmのレプリカ原版を作製した。さらにこのレプリカ原版よりNi電鋳技術を用い厚さ100μmのNiレプリカシートを作製した。このNiレプリカシートより150mm×100mmの金型シートを切り出し、これを20枚作製した。
(実施例2)
実施例1と同様の装置および方法で周速度のみを5mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が7.5cm2/sの速さで形成できた。
(実施例3)
実施例1と同様の装置および方法で周速度のみを3mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が4.5cm2/sの速さで形成できた。
(実施例4)
実施例1と同様の装置および方法でパターン転写を行った。その際、図4のような加圧加熱ロールとして直径110mmφで外周が高圧流体層で覆われたものを用いた。高圧流体層部分は100μmのステンレス箔が被覆膜として用いられ中に1.2MPaのシリコーンオイルが封入されているものを用いた。この高圧流体部分の厚さは2mmであった。この加圧加熱ロール両端に1kNの荷重を加え、超低圧用プレスケール(富士フィルム社製)を用い加圧部分のうち1MPa以上となる部分の幅Wを発色の濃淡を基に測定したところ5.3mmであった。
(実施例5)
実施例4と同様の装置および方法で周速度のみを5mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が7.5cm2/sの速さで形成できた。
(実施例6)
実施例4と同様の装置および方法で周速度のみを3mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が4.5cm2/sの速さで形成できた。
(実施例7)
実施例1と同様の装置および方法でパターン転写を行った。その際、図5に示すような加圧加熱ロールとして直径110mmφのステンレス製ロールを用い、エンドレスベルト状金型としてベルト内周面に2mm厚の耐熱性シリコーンゴム緩衝層が形成されたものを用いた。この組み合わせでの荷重を加え、加圧部分の圧力が1.5MPaになるよう加圧加熱ロールおよびバックアップロールのエアー圧を調整した。その際、超低圧用プレスケール(富士フィルム社製)を用い加圧部分のうち1MPa以上となる部分の幅Wを発色の濃淡を基に測定したところ6.2mmであった。次に、周速度を9.5mm/s、金型表面温度が155℃になるよう調整し転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が14.25cm2/sの速さで形成できた。
(実施例8)
実施例7と同様の装置および方法で周速度のみを5mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が7.5cm2/sの速さで形成できた。
(実施例9)
実施例7と同様の装置および方法で周速度のみを3mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が4.5cm2/sの速さで形成できた。
(実施例10)
実施例1と同様の装置および方法でパターン転写を行った。その際、図7のような加圧加熱機構を用いた。加圧加熱機構は幅6mmのインダクティブヒータ先端に2mm厚の耐熱性シリコーンゴムが形成され金型および基材との接触部分には1mm厚のポリテトラフロロエチレン製の被覆部が形成されているものを用いた。この加圧加熱機構に荷重を加え、加圧部分の圧力が1.5MPaになるよう荷重を調整した。その際、超低圧用プレスケール(富士フィルム社製)を用い加圧部分のうち1MPa以上となる部分の幅Wを発色の濃淡を基に測定したところ4.1mmであった。次に、周速度を5mm/s、金型表面温度が160℃になるよう調整し転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が7.5cm2/sの速さで形成できた。
(実施例11)
実施例10と同様の装置および方法で周速度のみを3mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が4.5cm2/sの速さで形成できた。
(実施例12)
実施例10と同様の装置および方法で周速度のみを1mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以上の形状が1.5cm2/sの速さで形成できた。
(比較例1)
実施例1と同様の装置および方法で周速度のみを19mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以下の形状であった。
(比較例2)
実施例4と同様の装置および方法で金型表面温度のみを130℃としてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以下の形状であった。
(比較例3)
実施例10と同様の装置および方法で周速度のみを19mm/sとしてパターン転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。アスペクト比1以下の形状であった。
(比較例4)
図8に平行平板方式での転写方法模式図を示す。図8のaのように加圧加熱できるプレス装置の下側ステージ23上に150x150mm2に切断した実施例1と同様の基材をセット後、150mm×100mmに切断した実施例1と同様の方法で作製したNi金型を基材上に置いた。次に、真空脱気の後、下側ステージ23および上側ステージ24を135℃まで加熱した後、図8のbのように4MPaで180秒間加圧加熱した。
Claims (19)
- 微細な構造が形成された金型と、前記金型と微細な構造が転写される基材とを挟んで前記基材表面に前記金型を加圧加熱するための円筒形加圧加熱ロールを用い、前記基材表面上に微細な構造を転写する微細構造転写方法において、前記金型と前記基材表面の接触部圧力が1MPa以上であり、前記基材の進行方向と平行な加圧部分の幅Wが数式1を満たすように加圧力を調整し、転写によって得られるパターンのアスペクト比を1以上とし、数式1の128・η・a/Pの値が、0.4〜5.0(mm)であり、Wが4.1〜6.2(mm)であることすることを特徴とする微細構造転写方法。
W≧128・η・a/P ・・・・数式1
上記数式1において、η:転写時の基材表面の粘度(Pa・s)、a:ロールの周速度(mm/s)、P:加圧部圧力(Pa)である。 - 請求項1に記載の微細構造転写方法において、前記金型を前記基材に加圧する領域と、前記金型を前記基材から剥離する領域が異なることを特徴とする微細構造転写方法。
- 微細な構造が形成された金型と、前記微細な構造が転写される基材表面に前記金型を加圧加熱するための円筒形加圧加熱ロールと、前記基材または前記金型と前記加圧加熱ロールの間に介在する緩衝層とから構成され、前記基材表面上に微細な構造を転写するための微細構造転写装置において、前記金型はエンドレスベルト状であり、前記金型と前記基材表面の接触部圧力が1MPa以上であり、前記基材の進行方向と平行な加圧部分の幅Wが数式1を満たすように加圧力を調整できる加圧加熱機構を有し、アスペクト比が1以上のパターンを形成することを特徴とする微細構造転写装置。
W≧128・η・a/P ・・・・ 数式1
上記数式1において、η:転写時の基材表面の粘度(Pa・s)、a:ロールの周速度(mm/s)、P:加圧部圧力(Pa)である。 - 請求項3に記載の微細構造転写装置において、前記金型を前記基材に加圧する領域と、前記金型を基材から剥離する領域が異なることを特徴とする微細構造転写装置。
- 前記緩衝層は弾性体フィルムであることを特徴とする請求項3に記載の微細構造転写装置。
- 前記緩衝層は1MPa以上の高圧流体を封入したシートであることを特徴とする請求項3に記載の微細構造転写装置。
- 微細な構造が形成された金型と、微細な構造が転写される基材表面に前記金型を加圧加熱するための円筒形加圧加熱ロールと、前記基材または金型と前記加圧加熱ロールの間に介在する緩衝層を有し、前記基材表面上に前記金型を加圧加熱することにより、微細な構造を転写する微細構造転写方法において、前記金型と前記基材表面の接触部圧力が1MPa以上であり、前記基材の進行方向と平行な加圧部分の幅Wが数式1を満たすように加圧力を調整し、転写によって得られるパターンのアスペクト比を1以上とすることを特徴とする微細構造転写方法。
W≧128・η・a/P ・・・・ 数式1
上記数式1において、η:転写時の基材表面の粘度(Pa・s)、a:ロールの周速度(mm/s)、P:加圧部圧力(Pa)である。 - 請求項7に記載の微細構造転写方法において、前記金型を前記基材に加圧する領域と前記金型を前記基材から剥離する領域が異なることを特徴とする微細構造転写方法。
- 微細構造が形成された金型と、基材表面に前記金型を加圧加熱するための、加圧加熱機構と、前記基材及び前記金型を移動する移動機構を有し、前記金型を前記基材に加圧加熱することにより微細構造を前記基材に転写する微細構造転写装置において、前記加圧加熱機構は加圧部、加熱部、緩衝部を有し、加圧面が平面で構成され、所定の加圧領域を加圧し、加圧領域の進行方向と平行な幅Wが式1を満たすように加圧力を調整できる加圧加熱機構を有し、前記基材及び前記金型を移動させることにより連続的に加圧領域が移動し前記基材面にアスペクト比が1以上のパターンを形成することを特徴とする微細構造転写装置。
W≧128・η・a/P ・・・・ 数式1
上記数式1において、η:転写時の基材表面の粘度(Pa・s)、a:金型及び基材の移送速度(mm/s)、P:加圧部圧力(Pa)である。 - 請求項9に記載の微細構造転写装置において、加圧領域と、前記基材から前記金型を剥離する領域が異なることを特徴とする微細構造転写装置。
- 請求項9に記載の加圧加熱機構において、緩衝部表面はフッ素系樹脂により被覆されていることを特徴とする微細構造転写装置。
- 前記金型はエンドレスベルト状であることを特徴とする請求項9に記載の微細構造転写装置。
- 前記加圧加熱機構の緩衝部が弾性体から構成されていることを特徴とする請求項9に記載の微細構造転写装置。
- 前記加圧加熱機構の緩衝部が1MPa以上の高圧流体部封入部を有していることを特徴とする請求項9に記載の微細構造転写装置。
- 微細構造が形成された金型と、基材表面に前記金型を加圧加熱するための加圧加熱機構と前記基材及び前記金型を移動する移動機構から構成された微細構造転写装置を用いて、前記金型を前記基材に加圧加熱することにより前記微細構造を前記基材に転写する微細構造転写方法において、前記加圧加熱機構は加圧部、加熱部、緩衝部を有し、加圧面が平面で構成され、所定の加圧領域を加圧し、かつ加圧領域の進行方向と平行な幅W移動機構が式1を満たすように加圧力を調整し、転写によって得られるパターンのアスペクト比を1以上とし、前記基材及び前記金型を移動させることにより連続的に加圧領域が移動しパターンを形成することを特徴とする微細構造転写方法。
W≧128・η・a/P ・・・・ 数式1
上記数式1において、η:転写時の基材表面の粘度(Pa・s)、a:金型及び基材の移送速度(mm/s)、P:加圧部圧力(Pa)である。 - 請求項15に記載の微細構造転写方法において、前記加圧領域と、前記基材から前記金型を剥離する領域が異なることを特徴とする微細構造転写方法。
- 前記円筒形加圧加熱ロールの周速度が1〜9.5mm/sであることを特徴とする請求項3に記載の微細構造転写装置。
- 前記128・η・a/Pの値が、0.4〜5.0(mm)であり、Wが4.1〜6.2(mm)であることを特徴とする請求項3又は9に記載の微細構造転写装置。
- 前記128・η・a/Pの値が、0.4〜5.0(mm)であり、Wが4.1〜6.2(mm)であることを特徴とする請求項7又は15に記載の微細構造転写方法。
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