JP5406777B2 - 転写装置及び転写方法 - Google Patents

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本発明は、モールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するときに使用される転写装置及び転写方法に関する。
近年、電子線描画法などで石英基板等に超微細な転写パターンを形成して型(モールド)を作製し、このモールドを被成型品に所定の圧力で押圧して、モールドに形成された転写パターンを転写するナノインプリント技術が研究開発されている(たとえば、非特許文献1参照)。ハードディスクやCD、DVDなど回転式の記憶装置では、最近、高密度のデータをディスクに形成するための記憶媒体(記録媒体)を成型する手段として、ナノインプリント技術を活用する方法への関心が高くなってきている。
ナノオーダーの微細な転写パターンを低コストで成型する方法としてリソグラフィ技術を用いたナノインプリント法が考案されている。この成型法は大別して熱インプリント法とUVインプリント法とに分類される。
熱インプリント法では、型を基板に押圧し、熱可塑性ポリマからなる樹脂(熱可塑性樹脂)が十分に流動可能となる温度になるまで加熱して微細パターンに樹脂を流入させたのち、型と樹脂とをガラス転移温度以下になるまで冷却し、基板に転写された微細パターンを固化したのち型を引き離す。
UVインプリント法では、光を透過できる透明な型を使用し、紫外線硬化性樹脂に型を押し付けて紫外光を照射する。適当な時間、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させ微細パターンを転写したのち型を引き戻す。
以上のナノインプリントにおいては、紫外線硬化樹脂が基板上に塗布された被成型品と型とを真空成型室内で転写を行う構成の転写装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。この転写装置は、真空成形室内の支持台上に支持された被成形品に対し、型を下降して型の微細な転写パターンを紫外線硬化樹脂に押圧する。そして、型と被成形品をカバーで覆って真空成形室を真空にした状態で紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させることにより型の転写パターンを転写する。
特開2006−318973号公報
Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 25(2001) 192-199
UVインプラント法においては、紫外線硬化樹脂が塗布される基板の平面度や型の平面度が悪い場合があり、平面度が悪い場合に型を紫外線硬化樹脂に押圧して転写パターンを転写しても、成形品の厚さを均一に保つことができないばかりでなく、転写を良好に行うことができない問題がある。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、平面度を把握して転写パターンの転写を行うことにより成形品の厚さを均一に保つことが可能な転写装置及び転写方法を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、平板状の基板に設けられた紫外線硬化樹脂に、型に形成されている微細な転写パターンを転写する転写装置において、前記基板における複数の部位の厚さを測定する厚さ測定手段と、前記基板の厚さ方向の一方の面に、薄膜状の紫外線硬化樹脂を設置する紫外線硬化樹脂設置手段と、 前記基板の各部位における厚さと、前記紫外線硬化樹脂設置手段で設置される前記基板の各部位における紫外線硬化樹脂の膜厚との和が一定になるように前記厚さ測定手段の測定結果に応じて、前記紫外線硬化樹脂設置手段で設置する紫外線硬化樹脂の量を制御する制御手段と、前記微細な転写パターンが外周に形成されている前記型により前記基板の紫外線硬化樹脂を押圧し、前記型を回転させつつ前記基板を移動することによって押圧する部位を移動し、前記押圧部位に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化して転写する転写手段と、を有することを特徴とする転写装置である。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の転写装置において、前記微細な転写パターンが形成されている型と、バックアップローラとによって前記基板と前記紫外線硬化樹脂とを挟み込んで前記押圧が行われることを特徴とする転写装置である。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の転写装置において、前記厚さ測定手段と紫外線硬化樹脂設置手段と転写手段とが前記基板の搬送路に沿って2組が設けられており、前記搬送路の下流側における厚さ測定手段、紫外線硬化樹脂設置手段及び転写手段は、上流側の転写手段によって形成された基板及び基板上の硬化後の紫外線硬化樹脂に対してそれぞれの処理を行うことを特徴とする転写装置である。
請求項4に記載の発明は、平板状の基板に設けられた紫外線硬化樹脂に、型に形成されている微細な転写パターンを転写する転写方法において、前記基板における複数の部位の厚さを測定する厚さ測定段階と、前記基板の厚さ方向の一方の面に、薄膜状の紫外線硬化樹脂を設置する紫外線硬化樹脂設置段階と、 前記基板の各部位における厚さと、前記基板の各部位における紫外線硬化樹脂の膜厚との和が一定になるように前記厚さ測定段階の測定結果に応じて、前記紫外線硬化樹脂設置段階で設置する紫外線硬化樹脂の量を制御する段階と、前記微細な転写パターンが外周に形成されている前記型により前記基板上の紫外線硬化樹脂を押圧し、前記型を回転させつつ前記基板を移動することによって押圧する部位を移動し、前記押圧部位に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化して転写する転写段階と、を有することを特徴とする転写方法である。
本発明によれば、基板における複数部位の厚さを測定し、基板の各部位における厚さと紫外線硬化樹脂の膜厚との和が一定になるように紫外線硬化樹脂の量を制御するため、成形品の厚さを均一に保つことが可能となる、という効果を奏する。
本発明の第1実施形態の転写装置を示す側面図である。 図1のA矢視における第1転写手段の正面図である。 本発明の第2実施形態の転写装置の側面図である。 第1転写手段の第1変形形態を示す側面図である。 第1転写手段の第2変形形態を示す側面図である。 第1転写手段の第3変形形態を示す側面図である。 本発明の第3実施形態の転写装置を示す側面図である。
図1は、本発明の第1実施形態の転写装置1の全体を示す側面図、図2は、図1におけるA矢視の正面図である。
転写装置1は、基板2における厚さ方向の一方の面(上面)に塗布等により設置された紫外線硬化樹脂3に対して1回もしくは複数回(たとえば2回)の転写を行うものである。このため、転写装置1は、たとえば、1回目の転写を行うために基板2の搬送方向の上流側に配置された第1ステーション5と、2回目の転写を行うために下流側に配置された第2ステーション7とを有している。第1ステーション5及び第2ステーション7にかけてベース台31が延設されており、ベース台31に複数のローラ台32が載置されている。複数のローラ台32のそれぞれは、回転するローラ33を基板2の搬送方向に沿って複数備えており、基板2はローラ33上を搬送される。
第1ステーション5におけるローラ台32の上方には、厚さ測定手段としての第1厚さセンサ11、紫外線樹脂設置手段としての第1塗工ノズル12及び転写を行うための第1転写手段13が基板2の搬送方向に沿って順に配置されている。第2ステーション7におけるローラ台32の上方にも、厚さ測定手段としての第2厚さセンサ21、紫外線樹脂設置手段としての第2塗工ノズル22及び転写を行うための第2転写手段23が基板2の搬送方向に沿って順に配置されている。各ステーション5,7における厚さセンサ11、21、塗工ノズル12、22及び転写手段13、23は、制御手段(制御装置)9により制御される。
第1厚さセンサ11は、基板2における複数の部位(基板2の搬送方向に並んでいる複数の部位)の厚さを測定するセンサであり、レーザセンサ等の非接触式センサが用いられる。基板2は、たとえばガラス板からなり、その厚さは、1次元的に変化している。すなわち、図1(b)に示すように、ガラス板からなる基板2は長手方向に沿って厚さが僅かに変化しているが、幅方向(紙面に直交する方向)にはほとんど変化していない。第1厚さセンサ11は、この基板2の長手方向における厚さを測定するものである。
第2厚さセンサ21は、第1ステーション5での転写が終了した基板2及び基板2上の硬化後の紫外線硬化樹脂3を合わせた厚さを複数の部位(基板2の搬送方向に並んでいる複数の部位)に対して測定するセンサであり、第1厚さセンサ11と同様にレーザセンサ等の非接触式センサが用いられる。第2厚さセンサ21も第1厚さセンサ11と同様に長手方向における厚さを、たとえば連続的もしくは断続的に測定するものである。
これらの第1厚さセンサ11及び第2厚さセンサ21が測定した厚さの測定結果は、制御手段9に出力され、制御手段9は第1塗工ノズル12及び第2塗工ノズル22による紫外線硬化樹脂3,3aの厚さを制御する。
第1塗工ノズル12は、基板2の厚さ方向の一方の面(上面)に対して紫外線硬化樹脂3を塗布することにより薄膜状の紫外線硬化樹脂3を設置するものである。第1塗工ノズル12による紫外線硬化樹脂3の塗布は、第1厚さセンサ11の測定結果に応じて基板2の各部位における厚さと、基板2上の各部位における紫外線硬化樹脂3の膜厚との和が一定となるように行われ、その塗布量は制御手段9によって制御される。第1塗工ノズル12は、紙面に直交する方向に延びたスリットを有しており、このスリットから液状の紫外線硬化樹脂3を基板2の上面に吐出して塗布する。
第2塗工ノズル22は、第1ステーション5によって転写が行われた基板2上の紫外線硬化樹脂3に対して紫外線硬化樹脂3aを塗布して紫外線硬化樹脂3上にさらに薄膜状の紫外線硬化樹脂3aを設置するものである。第2塗工ノズル22による紫外線硬化樹脂3aの塗布は、第2厚さセンサ22の測定結果に応じて基板2の各部位における厚さと、基板2及び紫外線硬化樹脂3の各部位における紫外線硬化樹脂3aの膜厚との和が一定となるように行われ、その塗布量は制御手段9によって制御される。第2塗工ノズル22は、紙面に直交する方向に延びたスリットを有しており、このスリットから液状の紫外線硬化樹脂3aを基板2上の紫外線硬化樹脂3に吐出して塗布する。
第1転写手段13は、第1塗工ノズル12の下流側に配置され、第2転写手段23は、第2塗工ノズル22の下流側に配置されている。これらの転写手段13、23は、基板2の上方側に配置された第1転写ローラ14及び第2転写ローラ24と、基板2の下方側に配置された第1バックアップローラ15及び第2バックアップローラ25と、これらのバックアップローラ15、25側に配置された第1光源16及び第2光源26とによって構成されている。
第1転写ローラ14及び第2転写ローラ24の外周面には、転写パターン(図示省略)が形成されている。転写パターンは、多数の微細な凹凸からなり、この凹凸の高さやピッチが可視光線の波長程度か可視光線の波長よりも僅かに大きいか小さなパターンとなっている。第1転写ローラ14及び第2転写ローラ24は、図1(a)の矢印で示す反時計方向に回転駆動され、回転しながら紫外線硬化樹脂3、3aに転写パターンを押圧する。ここで、第1転写ローラ14の転写パターン及び第2転写ローラ24の転写パターンは、異なっていいてよく、同じであってもよい。
第1バックアップローラ15及び第2バックアップローラ25は、基板2の下面に転接するローラ部15a、25aを基板2の幅方向(紙面に直交する方向)に複数有している。図2は、第1バックアップローラ15を示し、ローラ軸15bと、ローラ軸15bの長さ方向に所定間隔で取り付けられた金属からなる複数のローラ部15aとによって構成されており、ローラ軸15bが回転することによりローラ部15aが基板2の下面を支持しながら回転する。第2バックアップローラ25も第1バックアップローラ15と同じ構造となっているため、その説明を省略する。このような実施形態では、第1転写ローラ14及び第2転写ローラ24と、第1バックアップローラ15及び第2バックアップローラ25とによって基板2と紫外線硬化樹脂3、3aとを挟み込んで転写パターンの押圧が行われる。
図2に示すように、第1光源16は、バックアップローラ15におけるローラ部15aの間に複数が配置されており、第1転写ローラ14によって押圧されている未硬化の紫外線硬化樹脂3に対し、基板2の下方から紫外線を照射する。これにより、紫外線硬化樹脂3が硬化して、第1転写ローラ14の転写パターンが紫外線硬化樹脂3に転写される。かかる第1光源16の紫外線の照射量は、制御手段9により制御されるものである。第2光源26も第1光源16と同様な構成となっており、第2バックアップローラ25のローラ部15aの間から基板2に対して紫外線を照射する。紫外線は、基板2及び転写後の紫外線硬化樹脂3を通過し、第2転写ローラ24によって押圧されている未硬化の紫外線硬化樹脂3aに達し、紫外線硬化樹脂3aが硬化する。これにより、第2転写ローラ24の転写パターンが紫外線硬化樹脂3aに転写される。
次に、この実施形態における転写パターンの転写を説明する。基板2が第1ステーション5に搬送されると、第1厚さセンサ11が基板2における複数部位の厚さを測定し、測定結果を制御手段9に出力する。その後、基板2が第1塗工ノズル12に搬送され、第1塗工ノズル12から液状の紫外線硬化樹脂3が塗布される。第1塗工ノズル12の塗布量は、制御手段9によって制御されており、第1塗工ノズル12は基板2の各部位における厚さと、塗布される紫外線硬化樹脂3との和が一定となるように紫外線硬化樹脂3を吐出する。これにより、基板2と紫外線硬化樹脂3とを合わせた厚さが一定となって第1転写手段13に搬送される。
第1転写手段13では、第1転写ローラ14が回転すると共にバックアップローラ15も回転しており、第1転写ローラ14の外周面の転写パターンが紫外線硬化樹脂3に順次、押圧される。この押圧状態に対し、第1光源16から紫外線が照射される。紫外線の照射量は、制御手段9によって制御される。紫外線の照射により、未硬化の紫外線硬化樹脂3が硬化する。これにより、第1転写ローラ14の転写パターンが紫外線硬化樹脂3に転写される。
その後、基板2及び紫外線硬化樹脂3は第2ステーション7に搬送される。第2ステーション7に搬送されると、第1厚さセンサ11が基板2及び紫外線硬化樹脂3における複数部位の厚さを測定し、測定結果を制御手段9に出力する。基板2が第2塗工ノズル22に搬送され、第1塗工ノズル22から液状の紫外線硬化樹脂3aが塗布される。第2塗工ノズル22の塗布量は、制御手段9によって制御されており、第2塗工ノズル22は基板2及び紫外線硬化樹脂3の各部位における厚さと、塗布される紫外線硬化樹脂3aとの和が一定となるように紫外線硬化樹脂3aを吐出する。これにより、基板2と紫外線硬化樹脂3と紫外線硬化樹脂3aとを合わせた厚さが一定となって第2転写手段23に搬送される。
第2転写手段23では、第2転写ローラ24が回転すると共にバックアップローラ25も回転しており、第2転写ローラ24の外周面の転写パターンが紫外線硬化樹脂3aに順次、押圧される。この押圧状態に対し、第2光源26から紫外線が照射される。紫外線の照射量は、制御手段9によって制御される。紫外線の照射により、未硬化の紫外線硬化樹脂3aが硬化する。これにより、第2転写ローラ24の転写パターンが紫外線硬化樹脂3aに転写されて成形品34が作製される。そして、成形品34は第2ステーション7から取り出される。
このような実施形態の転写装置1では、第1厚さセンサ11及び第2厚さセンサ21が測定した厚さ結果に基づいて液状の紫外線硬化樹脂3、3aの塗布量が調整されるため、成形品の厚さを均一に保つことが可能となる。このように紫外線硬化樹脂3、3aの塗布量が調整されるため、第1光源16及び第2光源26による紫外線の照射量を少なくすることができ、これらの光源を小型化することができる。又、第1転写ローラ14及び第2転写ローラ24が回転しながら紫外線硬化樹脂3、3aを押圧するため、紫外線硬化樹脂3、3aに気泡が入り込むことがなく、気泡を排出するための真空成形室が不要となる。さらに、第1転写ローラ14及び第2転写ローラ24が回転するため、離型が容易であり、転写精度が向上する。さらに又、大きな基板に対する転写が可能となる。
以上に加えて、この実施形態では、第1転写ローラ14、第2転写ローラ24と、第1バックアップローラ15、第2バックアップローラ25とが回転しながら基板2及び紫外線硬化樹脂3、3aを挟み込んで押圧するため、基板2を支持するための大きなステージが不要となる。
さらに、この実施形態の転写装置1では、第1ステーション5及び第2ステーション7が設けられて2回の転写が行われるため、3Dディスプレイ用光学部品や光学素子を精度良く製造することができる。
図3は、本発明の第2実施形態の転写装置1Aを示し、上述した転写装置1と同一の部材には同一の符号を付して対応させてある。
この実施形態の転写装置1Aにおいては、ローラ台32が第1転写手段13及び第2転写手段23に配置されているが、第1厚さセンサ11、第1塗工ノズル12の配置部位及び第2厚さセンサ21、第2塗工ノズル22の配置部位にはローラ台32が配置されておらず、これらの配置部位に対しては、ローラ台32に代えて搬送台35が配置されている。
搬送台35は、図示しないリニアガイドベアリングを介してベース台31に設けられており、図示しないサーボモータによって、図3の左右方向に移動する。
第1ステーション5における第1厚さセンサ11及び第1塗工ノズル12での処理が終了した後、基板2及び紫外線硬化樹脂3はロボットハンド(図示省略)により第1転写手段13側のローラ台32に移送される。第2ステーション7においても同様であり、第2厚さセンサ21及び第2塗工ノズル22での処理が終了した後、基板2及び紫外線硬化樹脂3、3aはロボットハンドにより第2転写手段23側のローラ台32に移送される。
この実施形態の転写装置1Aは、第1実施形態の転写装置1と同様に動作する。従って、この実施形態の転写装置1Aにおいても、成形品の厚さを均一に保つことが可能で、第1光源16及び第2光源26を小型化することができ、紫外線硬化樹脂3、3aに気泡が入り込むことがなく、気泡を排出するための真空成形室が不要となり、離型が容易で転写精度が向上し、大きな基板に対する転写が可能となる効果を有している。さらに、第1転写ローラ14、第2転写ローラ24と、第1バックアップローラ15、第2バックアップローラ25とが回転しながら基板2及び紫外線硬化樹脂3、3aを挟み込んで押圧するため、基板を支持するための大きなステージが不要となると共に、2回の転写が行われるため、3Dディスプレイ用光学部品や光学素子を精度良く製造することができる。
図4〜図6は、第1転写手段13の変形形態をそれぞれ示す。図4においては、第1バックアップローラ15の内部に第1光源16が設けられている。第1バックアップローラ15は、ガラスや透明樹脂等の透光性材料によって形成されており、第1光源16からの紫外線が第1バックアップローラ15を通過して基板2上の紫外線硬化樹脂3を照射することができる。符号36は、第1光源16の上方に配置された集光レンズであり、第1光源16からの紫外線を基板2上の紫外線硬化樹脂3に集光させる。
図5においては、第1バックアップローラ15の下方に第1光源16及び集光レンズ36が配置されている。第1バックアップローラ15は、図4と同様にガラスや透明樹脂等の透光性材料により形成されており、第1光源16からの紫外線が第1バックアップローラ15を通過して基板2上の紫外線硬化樹脂3に達して紫外線硬化樹脂3を照射することができる。
図6においては、第1転写ローラ14がガラスや透明樹脂等の透光性材料により形成されており、その内部に第1光源16及び集光レンズ36が配置されている。図6に示す構造では、第1転写ローラ14が回転して基板2上の紫外線硬化樹脂3を押圧する際に第1光源16が駆動して紫外線硬化樹脂3に照射することができる。この照射により第1転写ローラ14の転写パターンを紫外線硬化樹脂3に転写することができる。なお、第1バックアップローラ15は金属によって形成することができるが、樹脂であってもよい。
以上の図4〜図6の構造は、第2転写手段23に対しても同様に適用できるものである。
図7は、本発明の第3実施形態の転写装置1Bを示す。転写装置1Bにおいては、搬送台35と同様に構成されているテーブル37が用いられる。テーブル37は、ガラス等の透光性材料により形成されていると共に、第1ステーション5及び第2ステーション7にかけて延びた長尺状となっており、その上面に長尺な基板2が載置される。又、この実施形態における第1ステーション5及び第2ステーション7では、第1光源16及び第2光源26は第1転写ローラ14及び第2転写ローラ24のそれぞれに対応するようにテーブル37の下方にそれぞれ配置されている。
この実施形態において、テーブル37が矢印方向に移動すると、第1ステーション5では、第1厚さセンサ11が測定した基板2の厚さの測定結果に基づいて第1塗工ノズル12が紫外線硬化樹脂3を基板2上に塗布する。すなわち、基板2の各部位における厚さと、紫外線硬化樹脂3の膜厚との和が一定となるように第1塗工ノズル12が紫外線硬化樹脂3を塗布する。紫外線硬化樹脂3の塗布後においては、第1転写ローラ14が紫外線硬化樹脂3を押圧し、第1転写ローラ14の下方に設けられた第1光源16から紫外線が照射される。これにより、紫外線硬化樹脂3に第1転写ローラ14の転写パターンが転写される。
テーブル37が第1ステーション5を通過してさらに矢印方向に移動すると、第2ステーション7では、第2厚さセンサ21が測定した基板2及び紫外線硬化樹脂3の厚さの測定結果に基づいて第2塗工ノズル22が紫外線硬化樹脂3aを紫外線硬化樹脂3上に塗布する。すなわち、基板2及び紫外線硬化樹脂3の各部位における厚さと、紫外線硬化樹脂3aの膜厚との和が一定となるように第2塗工ノズル22が紫外線硬化樹脂3aを塗布する。紫外線硬化樹脂3aの塗布後においては、第2転写ローラ24が紫外線硬化樹脂3aを押圧し、第2転写ローラ24の下方に設けられた第2光源26から紫外線が照射される。これにより、紫外線硬化樹脂3aに第2転写ローラ24の転写パターンが転写され、成形品となる。
この実施形態の転写装置1Bは、第1実施形態の転写装置1及び第2実施形態の転写装置1Aと同様な効果を有しているが、これに加えて、基板1を長尺とすることができるため、大きな成形品に対応することができるメリットがある。
本発明は以上の実施形態に限定されることなく種々変形が可能である。以上の実施形態では、第1ステーション5及び第2ステーション7を設けることにより2回の転写を行っているが、第2ステーション7を省いて第1ステーション5だけで転写を行ってもよい。
又、制御手段9は、第1ステーション5及び第2ステーション7における転写パターンの転写前に紫外線硬化樹脂3、3aの塗布量を調整しているが、これに限らず、転写パターンの転写後の厚さが一定となるように紫外線硬化樹脂3、3aの塗布量を制御してもよい。さらに、第1光源16及び第2光源26としては、転写ローラ14、24やバックアップローラ15、25と干渉しない斜め上方や斜め下方に設けてもよい。
1、1A、1B 転写装置
2 基板
3、3a 紫外線硬化樹脂
5 第1ステーション
7 第2ステーション
9 制御手段
11 第1厚さセンサ
12 第1塗工ノズル
13 第1転写手段
14 第1転写ローラ
15 第1バックアップローラ
16 第1光源
21 第2厚さセンサ
22 第2塗工ノズル
23 第2転写手段
24 第2転写ローラ
25 第2バックアップローラ

Claims (4)

  1. 平板状の基板に設けられた紫外線硬化樹脂に、型に形成されている微細な転写パターンを転写する転写装置において、
    前記基板における複数の部位の厚さを測定する厚さ測定手段と、
    前記基板の厚さ方向の一方の面に、薄膜状の紫外線硬化樹脂を設置する紫外線硬化樹脂設置手段と、
    前記基板の各部位における厚さと、前記紫外線硬化樹脂設置手段で設置される前記基板の各部位における紫外線硬化樹脂の膜厚との和が一定になるように前記厚さ測定手段の測定結果に応じて、前記紫外線硬化樹脂設置手段で設置する紫外線硬化樹脂の量を制御する制御手段と、
    前記微細な転写パターンが外周に形成されている前記型により前記基板の紫外線硬化樹脂を押圧し、前記型を回転させつつ前記基板を移動することによって押圧する部位を移動し、前記押圧部位に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化して転写する転写手段と、
    を有することを特徴とする転写装置。
  2. 請求項1に記載の転写装置において、
    前記微細な転写パターンが形成されている型と、バックアップローラとによって前記基板と前記紫外線硬化樹脂とを挟み込んで前記押圧が行われることを特徴とする転写装置。
  3. 請求項1又は請求項2に記載の転写装置において、
    前記厚さ測定手段と紫外線硬化樹脂設置手段と転写手段とが前記基板の搬送路に沿って2組が設けられており、
    前記搬送路の下流側における厚さ測定手段、紫外線硬化樹脂設置手段及び転写手段は、上流側の転写手段によって形成された基板及び基板上の硬化後の紫外線硬化樹脂に対してそれぞれの処理を行うことを特徴とする転写装置。
  4. 平板状の基板に設けられた紫外線硬化樹脂に、型に形成されている微細な転写パターンを転写する転写方法において、
    前記基板における複数の部位の厚さを測定する厚さ測定段階と、
    前記基板の厚さ方向の一方の面に、薄膜状の紫外線硬化樹脂を設置する紫外線硬化樹脂設置段階と、
    前記基板の各部位における厚さと、前記基板の各部位における紫外線硬化樹脂の膜厚との和が一定になるように前記厚さ測定段階の測定結果に応じて、前記紫外線硬化樹脂設置段階で設置する紫外線硬化樹脂の量を制御する段階と、
    前記微細な転写パターンが外周に形成されている前記型により前記基板上の紫外線硬化樹脂を押圧し、前記型を回転させつつ前記基板を移動することによって押圧する部位を移動し、前記押圧部位に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化して転写する転写段階と、
    を有することを特徴とする転写方法。
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