JP2021028973A - 微細構造転写装置及び微細構造転写方法 - Google Patents
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Landscapes
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
2・・・インプリントロール
3・・・ガイドロール
3a・・・上流側ガイドロール(第1ガイドロール)
3b・・・下流側ガイドロール(第2ガイドロール)
4・・・シート状体(フィルム)
5・・・巻出機
6・・・巻取機
7・・・ダンサーロール
8・・・硬化光照射器
9・・・ドライクリーナ
10・・・レーザーマーカ
11・・・ステージ
12・・・クリーニングロール
13・・・ガントリー
14・・・モールド(金型)
15・・・ガラス基板
16・・・フィルムクランプ
17a・・・上流側撮像部
17b・・・下流側撮像部
18・・・撮像部支持部
19・・・レジン
20・・・レプリカ
21・・・レプリカ連続形成装置
22・・・光硬化性樹脂塗布機構
22a・・・レプリカ用光硬化性樹脂塗布機構
22b・・・ガラス基板用光硬化性樹脂塗布機構
31・・・レプリカ形状検査装置
41・・・パターン形成装置
42・・・搬送機構
51・・・Z軸駆動部
52・・・ロードセル
55・・・バックアップロール機構
56・・・ウレタンゴムライニング
Claims (18)
- 可撓性を有するシート状体を捲回し当該シート状体を巻き出す巻出機と、
複数のガイドロールを介して搬送される前記シート状体を巻き取る巻取機と、
前記巻出機と前記巻取機の間に配され、微細凹凸パターンが形成された表面に光硬化性樹脂が塗布されたモールドを載置するステージと、
上方より前記シート状体を前記モールドに押圧しつつ、少なくとも前記モールドの両端部間を往復移動するインプリントロールと、
前記モールドに押圧された前記シート状体に硬化光を照射する硬化光照射器と、を備え、
前記シート状体に複数のレプリカを連続的に固着することを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項1に記載の微細構造転写装置において、
前記インプリントロールは、前記シート状体に固着された複数のレプリカのうち一のレプリカを、前記シート状体を介して、前記ステージに載置され表面に前記光硬化性樹脂が塗布された基板に押圧しつつ、少なくとも前記基板の両端部間を往復移動し、
前記硬化光照射器は、前記光硬化性樹脂が塗布された基板に前記インプリントロールにより押圧された前記シート状体及び前記レプリカを介して硬化光を照射し、前記光硬化性樹脂が硬化後に前記インプリントロールにより前記シート状体を剥離することにより、前記レプリカの微細凹凸パターンを転写することを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の微細構造転写装置において、
前記複数のガイドロールのうち、前記シート状体の搬送方向において前記インプリントロールに隣接し上流側に位置する第1ガイドロールと、前記シート状体の搬送方向において前記インプリントロールに隣接し下流側に位置する第2ガイドロールと、を備え、
前記第2ガイドロールは、前記インプリントロールが前記シート状体を押圧しつつ移動する場合、前記インプリントロールより上方に位置し、前記インプリントロールと共に等速にて移動することを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項3に記載の微細構造転写装置において、
前記インプリントロールが前記シート状体を押圧しつつ移動する場合、前記モールド又は前記基板の端部のうち前記シート状体の搬送方向において上流側に位置する端部に前記シート状体をクランプするフィルムクランプを備えることを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項4に記載の微細構造転写装置において、
前記硬化光照射器は、前記インプリントロールと前記第1ガイドロールとの間に位置し、前記インプリントロールが前記シート状体を押圧しつつ移動する場合、硬化光を照射しつつ前記インプリントロール及び前記第2ガイドロールに追従するよう下流側に移動することを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項4に記載の微細構造転写装置において、
前記硬化光照射器は、前記インプリントロールと前記第1ガイドロールとの間に位置し、前記インプリントロールが前記シート状体を押圧しつつ前記2ガイドロールと共に等速にて下流側に移動した後に、硬化光を照射しつつ下流側へと移動することを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項5に記載の微細構造転写装置において、
前記モールド及び/又は前記基板に前記光硬化性樹脂を塗布する光硬化性樹脂塗布機構を有することを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項6に記載の微細構造転写装置において、
前記モールド及び/又は前記基板に前記光硬化性樹脂を塗布する光硬化性樹脂塗布機構を有することを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項4に記載の微細構造転写装置において、
前記インプリントロールの高さ及び押圧力を個別に調整し得るバックアップロール機構を備えることを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項9に記載の微細構造転写装置において、
前記バックアップロール機構は、前記インプリントロールの長手方向に沿って所定の間隔にて離間し複数備えることを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項9又は請求項10に記載の微細構造転写装置において、
前記バックアップロール機構は、前記インプリントロールの直上に前記インプリントロールの外周面と接触するよう配されるバックアップロールを有することを特徴とする微細構造転写装置。 - 可撓性を有するシート状体を捲回し当該シート状体を巻き出す巻出機と、複数のガイドロールを介して搬送される前記シート状体を巻き取る巻取機と、前記巻出機と前記巻取機の間に配され、微細凹凸パターンが形成された表面に光硬化性樹脂が塗布されたモールドを載置するステージと、を備える微細構造転写装置を用いた微細構造転写方法であって、 インプリントロールが上方より前記シート状体を前記モールドに押圧しつつ、少なくとも前記モールドの両端部間を往復移動する間にモールドに押圧された前記シート状体に硬化光を照射し、前記シート状体に複数のレプリカを連続的に固着することを特徴とする微細構造転写方法。
- 請求項12に記載の微細構造転写方法において、
前記インプリントロールが、前記シート状体に固着された複数のレプリカのうち一のレプリカを、前記シート状体を介して、前記ステージに載置され表面に前記光硬化性樹脂が塗布された基板に押圧しつつ、少なくとも前記基板の両端部間を往復移動する間に前記光硬化性樹脂が塗布された基板に前記インプリントロールにより押圧された前記シート状体及び前記レプリカを介して硬化光を照射し、前記レプリカの微細凹凸パターンを転写することを特徴とする微細構造転写方法。 - 請求項12又は請求項13に記載の微細構造転写方法において、
前記複数のガイドロールのうち、前記シート状体の搬送方向において前記インプリントロールに隣接し上流側に位置する第1ガイドロールと、前記シート状体の搬送方向において前記インプリントロールに隣接し下流側に位置する第2ガイドロールと、を備え、
前記第2ガイドロールは、前記インプリントロールが前記シート状体を押圧しつつ移動する場合、前記インプリントロールより上方に位置し、前記インプリントロールと共に等速にて移動することを特徴とする微細構造転写方法。 - 請求項14に記載の微細構造転写方法において、
前記インプリントロールが前記シート状体を押圧しつつ移動する場合、前記モールド又は前記基板の端部のうち前記シート状体の搬送方向において上流側に位置する端部に前記シート状体をクランプすることを特徴とする微細構造転写方法。 - 請求項15に記載の微細構造転写方法において、
前記インプリントロールが前記シート状体を押圧しつつ移動する場合、前記インプリントロール及び前記第2ガイドロールと共に等速にて下流側に移動する間に硬化光を照射することを特徴とする微細構造転写方法。 - 請求項16に記載の微細構造転写方法において、
前記モールド及び/又は前記基板に前記光硬化性樹脂を塗布することを特徴とする微細構造転写方法。 - 請求項15に記載の微細構造転写方法において、
前記インプリントロールの高さ及び押圧力を個別に調整することを特徴とする微細構造転写方法。
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