JP7343176B2 - 微細構造転写装置 - Google Patents
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- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
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Description
2・・・インプリントロール
3・・・ガイドロール
3a・・・上流側ガイドロール(第1ガイドロール)
3b・・・下流側ガイドロール(第2ガイドロール)
4・・・シート状体(フィルム)
5・・・巻出機
6・・・巻取機
7・・・ダンサーロール
8・・・硬化光照射器
9・・・ドライクリーナ
10・・・レーザーマーカ
11・・・ステージ
12・・・クリーニングロール
13・・・ガントリー
14・・・モールド(金型)
15・・・ガラス基板
16・・・フィルムクランプ
17a・・・上流側撮像部
17b・・・下流側撮像部
18・・・撮像部支持部
19・・・レジン
20・・・レプリカ
21・・・レプリカ連続形成装置
22・・・光硬化性樹脂塗布機構
22a・・・レプリカ用光硬化性樹脂塗布機構
22b・・・ガラス基板用光硬化性樹脂塗布機構
31・・・レプリカ形状検査装置
41・・・パターン形成装置
42・・・搬送機構
51・・・Z軸駆動部
52・・・ロードセル
55・・・バックアップロール機構
56・・・ウレタンゴムライニング
Claims (3)
- モールドの表面に形成された微細凹凸パターンに光硬化性樹脂を塗布する光硬化性樹脂塗布機構を備え、前記光硬化性樹脂が塗布された前記モールドをステージに載置し、インプリントロールとガイドロールと巻出機と巻取機の動作によりシート状体に連続的に複数のレプリカを形成するレプリカ連続形成装置と、
前記レプリカ連続形成装置にて形成された前記複数のレプリカに転写された前記微細凹凸パターンに欠陥或は不良が生じていないか検査し、不良が生じたレプリカの情報を記憶する記憶部を有するレプリカ形状検査装置と、
インプリントロールとガイドロールと巻出機と巻取機とを有し、前記巻出機が前記シート状体を順次ピッチ送りし、前記ピッチ送りした前記シート状体に形成された各レプリカでガラス基板に前記微細凹凸パターンを転写すると共に、前記ピッチ送りしたレプリカが前記記憶部に不良と記憶されたレプリカである場合、当該レプリカをスキップし、良品と判定されたレプリカのみを用いて、前記インプリントロールとガイドロールと巻出機と巻取機の動作により前記ガラス基板に前記微細凹凸パターンを転写するパターン形成装置と、を備えることを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項1に記載の微細構造転写装置において、
前記光硬化性樹脂塗布機構は、インクジェットプリンタであることを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項2に記載の微細構造転写装置において、
前記レプリカ形状検査装置に用いられる形状検査装置は、原子間力顕微鏡、走査型電子顕微鏡、光学式検査装置、及びスキャットロメトリのうち、いずれか1つであることを特徴とする微細構造転写装置。
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