JP7432254B2 - ナノインプリント用レプリカモールド製作装置 - Google Patents
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Description
前記フィルムを断続的に巻き取って前記転写部から前記フィルムを回収するフィルム回収部を含み、前記転写部は、レジンが塗布されるパターンが形成されたマスターモールドが装着されるステージ部と、水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するプレスローラ部と、前記プレスローラ部を一側の待機位置から他側に移動させ再び前記待機位置に復帰させるために駆動される転写部駆動ユニットと、前記レジンに光を照射する光照射部と、前記光照射部および前記プレスローラ部と結合されて共に前記駆動ユニットによって移動される結合移動部と、を含み、前記光照射部は照射方向が前記ステージ部と垂直な下側方向を基準として前記プレスローラ部に向かうように傾く。
20:レプリカモールド
30:フィルム供給部
40:フィルム回収部
50:ガイドロール
60:フィルム
70:レジン
100:転写部
110:ステージ部
120:プレスローラ部
130:転写部駆動ユニット
140:光照射部
141:遮光部
142A:直接照射領域
142B:拡散照射領域
143:発光部
150:結合移動部
160:照射方向ガイド部
161:突出部
162:ガイド溝
163:固定部
170:フィルム角度維持ローラ部
180:ディスペンサ部
181:ディスペンサノズル
200:ステージ駆動ユニット
210:プレスローラ駆動ユニットL1:第1最小間隔
L2:第2最小間隔
PA:塗布領域
S1:第1離隔距離
S2:第2離隔距離
AG:傾斜度
FG:進入角度
Claims (8)
- 一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部;
前記フィルムを断続的に巻き出して前記転写部に向かって前記フィルムを供給するフィルム供給部;
前記フィルムを断続的に巻き取って前記転写部から前記フィルムを回収するフィルム回収部;および
前記フィルム回収部と前記転写部の間に一つ以上配置されて前記フィルムを前記フィルム回収部に案内するガイドロール;を含み、
前記ガイドロールが前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成されない面にのみ接触し、前記レプリカモールドが形成される面には接触しないようにするために、
前記転写部は、
水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するように、前記フィルム回収部より下側に位置し前記ガイドロールより前記フィルムが供給される一側に位置するプレスローラ部;
前記プレスローラ部を待機位置から前記フィルムが供給される一側に向かって移動させてモールディング工程を進行し再び前記待機位置に復帰させてディモールディング工程を進行するために駆動される転写部駆動ユニット;
前記フィルムが前記プレスローラ部に進入する角度を変更するように、前記プレスローラ部より前記フィルムが供給される一側に位置して前記プレスローラ部を挟んで前記ガイドロールと反対側に位置し、前記プレスローラ部より上側に位置し、前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面に接触するフィルム角度維持ローラ部;および
前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部をともに移動させるように結合し、前記転写部駆動ユニットによって移動される結合移動部;を含み、
前記プレスローラ部および前記フィルム角度維持ローラ部は、前記フィルム供給部から巻き出された前記フィルムが前記フィルム回収部に回収されるように移動する前記フィルムの移動方向と反対となる方向に移動して前記モールディング工程を遂行し、前記プレスローラ部および前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルムの移動方向に移動して前記ディモールディング工程を遂行し、
前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルム供給部から前記転写部に前記フィルムが供給され、前記モールディング工程を進行し、前記ディモールディング工程を進行し、前記転写部から前記フィルム回収部に前記フィルムが回収される間前記プレスローラ部との位置が変更されず、
前記ガイドロールは前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部が移動する間位置が移動されず、
前記モールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部は前記ガイドロールから離隔距離が増加し、
前記ディモールディング工程が進行される間前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部は前記ガイドロールから離隔距離が減少する、ナノインプリント用レプリカモールド製作装置。 - 前記フィルム角度維持ローラ部と前記フィルム供給部の間の距離は前記プレスローラ部と前記フィルム供給部の間の距離より短く、
前記ディモールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部が前記レプリカモールドに接触しないように、前記フィルム角度維持ローラ部と前記プレスローラ部の間のフィルムの長さは前記プレスローラ部が前記レプリカモールドを形成するために水平方向に移動する長さに対応する、請求項1に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。 - 一側から供給されるフィルムにレプリカモールドを形成する転写部;
前記フィルムを断続的に巻き出して前記転写部に向かって前記フィルムを供給するフィルム供給部;
前記フィルムを断続的に巻き取って前記転写部から前記フィルムを回収するフィルム回収部;
前記フィルム回収部と前記転写部の間に一つ以上配置されてフィルムの進入角度を調整するガイドロール;を含み、
前記転写部は、
レジンが塗布されるパターンが形成されたマスターモールドが装着されるステージ部;
水平方向に移動して前記レプリカモールドを形成するプレスローラ部;
前記フィルムが前記プレスローラ部に進入する角度を変更するように前記プレスローラ部と垂直および水平方向に離隔し、前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面に接触するフィルム角度維持ローラ部;を含み、
前記プレスローラ部および前記フィルム角度維持ローラ部は、前記フィルム供給部から巻き出された前記フィルムが前記フィルム回収部に回収されるように移動する前記フィルムの移動方向と反対となる方向に移動してモールディング工程を遂行し、前記プレスローラ部および前記フィルム角度維持ローラ部は前記フィルムの移動方向に移動してディモールディング工程を遂行し、
前記ガイドロールは前記レプリカモールドに接触しないように、前記ガイドロールは前記フィルムの両面のうち前記レプリカモールドが形成される面と異なる面に接触する、ナノインプリント用レプリカモールド製作装置。 - 前記フィルム角度維持ローラ部は前記プレスローラ部より前記フィルムの移動方向と反対となる方向に向かうように位置する、請求項3に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。
- 前記フィルム回収部は前記プレスローラ部より上側に位置する、請求項3に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。
- 前記転写部は、
前記フィルム角度維持ローラ部および前記プレスローラ部をともに移動させるように結合し、転写部駆動ユニットによって移動される結合移動部;をさらに含む、請求項3に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。 - 前記ディモールディング工程を進行する間、前記フィルム角度維持ローラ部が前記レプリカモールドに接触しないように、前記フィルム角度維持ローラ部と前記プレスローラ部の間のフィルムの長さは前記プレスローラ部が前記レプリカモールドを形成するために水平方向に移動する長さに対応する、請求項3に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。
- 前記フィルム角度維持ローラ部は前記プレスローラ部より前記フィルム供給部から供給されたフィルムが先に進入するように位置する、請求項3に記載のナノインプリント用レプリカモールド製作装置。
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