JP2019106527A

JP2019106527A - インプリント装置及びこれを用いたインプリント方法

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Publication number: JP2019106527A
Application number: JP2018132499A
Authority: JP
Inventors: 東勳李; Dong-Hun Yi; 康源李; Kang-Won Lee
Original assignee: Samsung Display Co Ltd
Current assignee: Samsung Display Co Ltd
Priority date: 2017-12-14
Filing date: 2018-07-12
Publication date: 2019-06-27
Anticipated expiration: 2038-07-12
Also published as: KR102524604B1; JP7115925B2; KR20190071850A

Abstract

【課題】均一な加圧が可能な加圧ローラーを含むインプリント装置を提供する。【解決手段】被処理基板を支持するステージ、前記ステージ上で一の水平方向に移動可能な第１フレーム、前記第１フレームから垂直方向に移動可能に支持された第２フレーム、前記第１フレームに対して前記第２フレームを垂直に移動させる第１垂直移動部、前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持された第１加圧ローラー支持部、前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持され、前記第１加圧ローラー支持部と離隔する第２加圧ローラー支持部、前記第２フレームに対して前記第１加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第１微細垂直移動部、前記第２フレームに対して前記第２加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第２微細垂直移動部、及び前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部により支持される加圧ローラーを含む。【選択図】図２

Description

本発明はインプリント装置及び前記インプリント装置を用いたインプリント方法に関し、より詳しくは、加圧ロールを用いるインプリント装置及び前記インプリント装置を用いたインプリント方法に関する。

最近、技術の発展に支えられて、小型及び軽量化しつつ、性能を向上させたディスプレイ製品が生産されている。従前、ディスプレイ装置には、既存のブラウン管テレビ（cathode ray tube：ＣＲＴ）が、性能や価格面で多い長所を有することで広く使われたが、小型化または携帯性の面でＣＲＴの短所を克服し、小型化、軽量化、及び低電力消費などの長所を有する表示装置、例えば、プラズマ表示装置、液晶表示装置、及び有機発光表示装置などが、注目を受けている。

前記表示装置の構成をインプリント方法により形成するための努力があった。例えば、インプリント方法などによりワイヤーグリッド偏光素子、延いては、微細パターンを形成することができる。しかしながら、前記インプリント方法において、インプリントレジン層に均一なインプリントパターンが転写されるようにするためには、スタンプ（モールド）を前記インプリントレジン層に均一に押し付ける必要がある。

特開2009-145742号公報特開2015-132825号公報

ここに、本発明の技術的課題は、このような点から着眼されたものであって、本発明の目的は、均一な加圧が可能な加圧ローラーを含むインプリント装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、インプリント装置を用いたインプリント方法を提供することにある。

前記した本発明の目的を実現するための一実施形態に係るインプリント装置は、被処理基板を支持するステージ、前記ステージ上で一の水平方向に移動可能な第１フレーム、前記第１フレームから垂直方向に移動可能に支持された第２フレーム、前記第１フレームに対して前記第２フレームを垂直に移動させる第１垂直移動部、前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持された第１加圧ローラー支持部、前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持され、前記第１加圧ローラー支持部と離隔する第２加圧ローラー支持部、前記第２フレームに対して前記第１加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第１微細垂直移動部、前記第２フレームに対して前記第２加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第２微細垂直移動部、及び前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部により支持される加圧ローラーを含む。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、前記第２フレームと前記第１フレームとの間に配置される第１垂直リニアガイド、及び、前記第１垂直リニアガイドと結合する第１垂直リニアガイド結合部をさらに含むことができる。前記第１垂直リニアガイド及び前記第１垂直リニアガイド結合部により、前記第２フレームが前記第１フレームに対して前記垂直方向のみに移動可能でありうる。前記第１垂直移動部は、前記第１フレームに設けられて、前記第２フレームを前記垂直方向に沿って移動させることができる。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、前記第２フレームと前記第１加圧ローラー支持部との間に配置される第１微細垂直リニアガイド、及び、前記第１微細垂直リニアガイドと結合する第１微細垂直リニアガイド結合部をさらに含むことができる。前記第１微細垂直移動部は前記第２フレームに設けられて前記第１加圧ローラー支持部を前記垂直方向に沿って移動させることができる。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、前記第２フレームと前記第２加圧ローラー支持部との間に配置される第２微細垂直リニアガイド及び前記第２微細垂直リニアガイドと結合する第２微細垂直リニアガイド結合部をさらに含むことができる。前記第２微細垂直移動部は、前記第２フレームに設けられて前記第２加圧ローラー支持部を前記垂直方向に沿って移動させることができる。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、前記第１微細垂直移動部と前記第１加圧ローラー支持部との間に配置される第１センサー部、及び、前記第２微細垂直移動部と前記第２加圧ローラー支持部との間に配置される第２センサー部をさらに含むことができる。前記第１及び第２センサー部は、それぞれ、前記第１微細垂直移動部と前記第１加圧ローラー支持部との間の圧力、及び、前記第２微細垂直移動部と前記第２加圧ローラー支持部との間の圧力を測定することができる。

本発明の一実施形態において、前記第１及び第２センサー部は、ロードセル（load cell）または静電容量（capacitance）タイプの圧力センサーでありうる。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、第１水平リニアガイドが形成される支持部をさらに含むことができる。前記第１フレームには前記第１水平リニアガイドと結合する第１水平リニアガイド結合部が形成されて、前記第１フレームは前記第１水平リニアガイドに沿って前記水平方向に移動することができる。

本発明の一実施形態において、前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部は、前記加圧ローラーを挟んで、それぞれ左側及び右側に配置され、前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部は、前記一の水平方向と垂直な他の一の水平方向に、互いに離隔できる。前記第１微細垂直移動部及び前記第２微細垂直移動部は、互いに独立に駆動可能でありうる。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、フィルムを提供する第１ロール、前記フィルムを回収する第２ロール、及び前記フィルム上にスタンプを提供するスタンプ提供部をさらに含むことができる。前記加圧ローラーは、前記スタンプが形成された前記フィルムを、前記ステージ上の前記被処理基板に押し付けて加圧し、前記第１フレームとともに、前記一の水平方向へと回転しつつ進んで行くことで、インプリント工程を遂行することができる。

本発明の一実施形態において、前記第１垂直移動部はサーボモータであり、前記第１微細垂直移動部及び前記第２微細垂直移動部は、いずれもピエゾモータ（超音波モータ）でありうる。

前記した本発明の目的を実現するための一実施形態に係るインプリント方法は、ステージ、前記ステージ上で一の水平方向に移動可能な第１フレーム、前記第１フレームから垂直方向に移動可能に支持された第２フレーム、前記第１フレームに対して前記第２フレームを垂直に移動させる第１垂直移動部、前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持された第１加圧ローラー支持部、前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持され、前記第１加圧ローラー支持部と離隔する第２加圧ローラー支持部、前記第２フレームに対して前記第１加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第１微細垂直移動部、前記第２フレームに対して前記第２加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第２微細垂直移動部、前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部により支持される加圧ローラーを含むインプリント装置を用いることができる。前記インプリント方法は、前記ステージ上に被処理基板をローディング（loading）する準備ステップ、前記第２フレームを前記第１フレームに対して前記垂直方向に移動させて、前記加圧ローラーを第１位置まで一次的に移動させる一次垂直移動ステップ、前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部を互いに独立に垂直に移動させて、前記加圧ローラーについて、前記第１位置から、前記被処理基板を加圧する加圧位置である第２位置まで垂直に移動させる微細垂直移動ステップ、及び、前記第２位置から、前記第１フレームを前記水平方向に移動させることで、前記加圧ローラーが、前記被処理基板を加圧しつつ前記水平方向に移動して行くようにする加圧ステップを含むことができる。なお、本願において、加圧位置、第１位置及び第２位置の語は、加圧ローラーの姿勢（posture）、すなわち、ローラー軸が延びる方向をも含む、位置・姿勢の意味で用いるものとする。

本発明の一実施形態において、前記インプリント方法は、前記インプリント装置における前記加圧ローラーの前記加圧位置を予め補正する位置補正ステップをさらに含むことができる。前記位置補正ステップは、前記加圧位置として予め設定された位置にて、前記加圧ローラーによる基板上のフィルムに対する加圧状態を試験するステップ、前記加圧状態に基づいて、前記加圧位置を補正する加圧位置補正ステップ、及び、補正された前記加圧位置を用いて、前記加圧ローラーによる基板上のフィルムに対する加圧状態を確認する確認ステップを含むことができる。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、前記第１微細垂直移動部と前記第１加圧ローラー支持部との間に配置される第１センサー部、及び、前記第２微細垂直移動部と前記第２加圧ローラー支持部との間に配置される第２センサー部をさらに含み、前記第１及び第２センサー部は、それぞれ、前記第１微細垂直移動部と前記第１加圧ローラー支持部との間の圧力、及び、前記第２微細垂直移動部と前記第２加圧ローラー支持部との間の圧力を測定することができる。前記位置補正ステップにおける前記加圧状態を試験するステップは、前記加圧ローラーで前記被処理基板を加圧した際に、前記第１センサー部による第１基準圧力値及び前記第２センサー部による第２基準圧力値を測定し、これと同時に、前記被処理基板と前記加圧ローラーとの間に圧力測定フィルムを位置させて、加圧後の圧力測定フィルムに基づいて、加圧の際の圧力分布を含む前記加圧状態を測定することができる。

本発明の一実施形態において、前記加圧ローラーの加圧位置補正ステップでは、前記の加圧状態を試験するステップによる測定の結果に基づき、前記第１微細垂直移動部及び前記第２微細垂直移動部を互いに独立に移動させることで、前記加圧ローラーが前記被処理基板を均一に加圧するための補正された加圧位置を決定することができる。

本発明の一実施形態において、前記確認ステップは、前記補正された前記加圧位置にて前記加圧ローラーにより前記ステージ上の新たな圧力測定フィルムを加圧して加圧状態を確認し、この際、前記第１センサー部及び前記第２センサー部が測定する圧力値である第１補正圧力値及び第２補正圧力値を、補正された圧力値として決定することができる。

本発明の一実施形態において、前記微細垂直移動ステップでは、前記第１及び第２センサー部は前記加圧ローラーが前記被処理基板を加圧する期間中にわたって、続けて圧力を測定し、前記第１補正圧力値及び前記第２補正圧力値からずれないように前記第１微細垂直移動部と前記第２微細垂直移動部を互いに独立に駆動することができる。

本発明の一実施形態において、前記加圧ステップでは、前記第１及び第２センサー部は前記加圧ローラーが前記被処理基板を加圧する期間中にわたって、続けて圧力を測定し、前記第１補正圧力値及び前記第２補正圧力値からずれないように、前記第１微細垂直移動部と前記第２微細垂直移動部を互いに独立に駆動することができる。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、前記第２フレームと前記第１フレームとの間に配置される第１垂直リニアガイド、及び、前記第１垂直リニアガイドと結合する第１垂直リニアガイド結合部をさらに含むことができる。前記第１垂直リニアガイド及び前記第１垂直リニアガイド結合部により前記第２フレームが前記第１フレームに対して前記垂直方向にのみ移動可能であり、前記第１垂直移動部は前記第１フレームに設けられて前記第２フレームを前記垂直方向に沿って移動させることができる。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、前記第２フレームと前記第１加圧ローラー支持部との間に配置される第１微細垂直リニアガイド、及び、前記第１微細垂直リニアガイドと結合する第１微細垂直リニアガイド結合部をさらに含むことができる。前記第１微細垂直移動部は、前記第２フレームに設けられて、前記第１加圧ローラー支持部を前記垂直方向に沿って移動させることができる。

本発明の一実施形態において、前記インプリント装置は、前記第２フレームと前記第２加圧ローラー支持部との間に配置される第２微細垂直リニアガイド、及び、前記第２微細垂直リニアガイドと結合する第２微細垂直リニアガイド結合部をさらに含むことができる。前記第２微細垂直移動部は、前記第２フレームに設けられて、前記第２加圧ローラー支持部を前記垂直方向に沿って移動させて、前記第１微細垂直移動部と前記第２微細垂直移動部は別個に駆動できる。

本発明の実施形態に係るインプリント装置及びインプリント方法によれば、第２フレームを垂直方向に移動させて、加圧ローラーを第１位置まで一次的に移動させた後、第１加圧ローラー支持部及び第２加圧ローラー支持部を互いに独立に移動させるようにして、前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部を前記垂直方向に移動させることで、前記加圧ローラーを、加圧位置である第２位置まで移動させることができる。これによって、前記加圧ローラーの加圧位置を精密にコントロールることができ、インプリント工程において均一な加圧が可能である。

また、前記インプリント装置は第１センサー部及び第２センサー部を含み、前記第１及び第２センサー部を通じて測定された圧力値を用いて、第１及び第２微細垂直移動部を駆動することで、均一な加圧を可能にすることができる。

また、前記インプリント方法は、前記第１センサー部及び前記第２センサー部を通じて測定された圧力値を用いて、前記加圧ローラーの前記加圧位置を予め補正する位置補正ステップをさらに含むことができ、これによって均一な加圧を可能にすることができる。

但し、本発明の効果は前記の効果に限定されるものでなく、本発明の思想及び領域から外れない範囲で多様に拡張できる。

本発明の一実施形態に係るインプリント装置を簡略に示す側面図である。図１のインプリント装置の左右方向の垂直断面図である。本発明の他の実施形態に係るインプリント方法を示すフローチャートである。図３の位置補正ステップを詳細に示すフローチャートである。図３のインプリントステップを詳細に示すフローチャートである。

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態をより詳細に説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係るインプリント装置を簡略に示す側面図である。

図１を参照すると、前記インプリント装置は、第１ロール２０、第２ロール３０、第１ガイドローラー４０、第２ガイドローラー５０、スタンプ提供部６０、ステージ１００、及び加圧ローラー５００を含むことができる。

前記第１ロール２０はフィルム２を提供し、前記フィルム２は、前記第２ロール３０へと回収されうる。即ち、前記第１ロール２０と前記第２ロール３０が回転すれば、前記第１ロール２０に巻かれていた前記フィルム２が、前記スタンプ提供部６０、前記第１ガイドローラー４０、前記加圧ローラー５００、及び前記第２ガイドローラー５０を経て、前記第２ロール３０に巻かれうる。

前記第１ロール２０に巻かれている前記フィルム２が、前記スタンプ提供部６０に提供されうる。前記スタンプ提供部６０では、前記フィルム２上に、パターンが形成されたスタンプ（図示せず）を提供することができる。

前記スタンプが形成された前記フィルム２は、前記第１ガイドローラー４０及び前記第２ガイドローラー５０によりガイドされながら、前記加圧ローラー５００により、前記被処理基板１０上に押し付けられて加圧されうる。例えば、前記加圧ローラー５００について、垂直方向下方である第３方向（Ｄ３）に沿って下降させて、前記フィルム２０を前記被処理基板１０上に接触させるようにしてから、前記加圧ローラー５００を、水平方向後方である第１方向（Ｄ１）に移動させることができる。これによって、前記被処理基板１０上のインプリントレジン層に、前記スタンプのパターンが転写（imprint）されうる。

図示してはいないが、前記インプリント装置は、前記パターンが転写された前記被処理基板１０上の前記インプリントレジン層に、紫外線を照射するＵＶ照射部を、さらに含むことができる。前記パターンが転写された前記被処理基板１０上の前記インプリントレジン層は、前記ＵＶ照射部で発生した前記紫外線により硬化されうる。以後、前記加圧ロール５００、前記第１及び第２ガイドローラー４０、５０が移動して、前記スタンプが形成された前記フィルム２が、前記被処理基板１０から分離されうる。

インプリントに使われた前記フィルム２は、前記第２ロール３０に提供されて、前記第２ロール３０に巻き取られうる。前記手続きが反復されて、複数個の被処理基板についてインプリント工程を進行することができる。

図２は、図１のインプリント装置についての、垂直方向及び左右方向（第２方向；ローラー軸方向）に沿った断面図である。

図１及び２を参照すると、前記インプリント装置は、ステージ１００、支持部１１０、第１水平リニアガイド１２０ａ、第２水平リニアガイド１２０ｂ、第１フレーム２００、第１水平リニアガイド結合部２１０ａ、第２水平リニアガイド結合部２１０ｂ、第１垂直リニアガイド２２０ａ、第２垂直リニアガイド２２０ｂ、第１垂直移動部２３０ａ、第２垂直移動部２３０ｂ、第２フレーム３００、第１垂直リニアガイド結合部３１０ａ、第２垂直リニアガイド結合部３１０ｂ、第１微細垂直リニアガイド３２０ａ、第２微細垂直リニアガイド３２０ｂ、第１微細垂直移動部３３０ａ、第２微細垂直移動部３３０ｂ、第１加圧ローラー支持部４００ａ、第１微細垂直リニアガイド結合部４１０ａ、第１センサー部４２０ａ、第２加圧ローラー支持部４００ｂ、第２微細垂直リニアガイド結合部４１０ｂ、第２センサー部４２０ｂ、及び加圧ローラー５００を含むことができる。

ステージ１００は、第１方向（Ｄ１）及び前記第１方向（Ｄ１）に垂直な第２方向（Ｄ２）に沿った平面上に配置できる。前記ステージ１００上には、被処理基板１０が置かれうる。

前記支持部１１０上には、前記第１水平リニアガイド１２０ａ及び前記第２水平リニアガイド１２０ｂが配置されうる。前記第１水平リニアガイド１２０ａ及び前記第２水平リニアガイド１２０ｂは、前記第１フレーム２００について、前記第１方向（Ｄ１）に沿って水平に移動するようにガイドすることができる。

前記第１フレーム２００は、前記ステージ１００上にて、前記第１方向（Ｄ１）に沿って前後に移動することができる。前記第１フレーム２００には、前記第１水平リニアガイド結合部２１０ａ、前記第２水平リニアガイド結合部２１０ｂ、前記第１垂直移動部２３０ａ、及び前記第２垂直移動部２３０ｂが設置されうる。

前記第１水平リニアガイド結合部２１０ａ及び前記第２水平リニアガイド結合部２１０ｂは、それぞれ、前記第１水平リニアガイド１２０ａ及び前記第２水平リニアガイド１２０ｂに結合されて、前記第１フレーム２００が前記第１方向（Ｄ１）に沿って移動するようにガイドすることができる。前記第１フレーム２００は、サーボモータなど、知られた多様な駆動手段などにより前記第１方向（Ｄ１）に沿って移動することができる。

前記第１垂直リニアガイド２２０ａ及び前記第２垂直リニアガイド２２０ｂは、前記第２フレーム３００が、垂直方向である第３方向（Ｄ３）に沿って垂直に移動するようにガイドすることができる。図２を基準に、前記第１垂直リニアガイド２２０ａ及び前記第２垂直リニアガイド２２０ｂは、それぞれ、前記第１フレーム２００の左側及び右側に配置できる。

前記第１垂直移動部２３０ａ及び前記第２垂直移動部２３０ｂは、前記第２フレーム３００を前記第３方向（Ｄ３）に沿って移動させることができる。図２を基準に、前記第１垂直移動部２３０ａ及び前記第２垂直移動部２３０ｂは、前記第１フレーム２００の左右の側にそれぞれ設けられて、前記第２フレーム３００を前記第３方向（Ｄ３）に沿って移動させることができる。前記第１垂直移動部２３０ａ及び前記第２垂直移動部２３０ｂは、線形運動可能なサーボモータなど、移動変位を制御することができる、知られた多様な駆動手段で具現できる。

前記第２フレーム３００には、前記第１垂直リニアガイド結合部３１０ａ、前記第２垂直リニアガイド結合部３１０ｂ、前記第１微細垂直リニアガイド３２０ａ及び前記第２微細垂直リニアガイド３２０ｂ、前記第１微細垂直移動部３３０ａ及び前記第２微細垂直移動部３３０ｂが設置できる。

前記第１垂直リニアガイド結合部３１０ａ及び前記第２垂直リニアガイド結合部３１０ｂは、それぞれ前記第１垂直リニアガイド２２０ａ及び前記第２垂直リニアガイド２２０ｂに結合されて、前記第２フレーム３００が、前記第３方向（Ｄ３）に沿って移動するようにガイドすることができる。

前記第１微細垂直リニアガイド３２０ａは、前記第１加圧ローラー支持部４００ａが前記第３方向（Ｄ３）に沿って垂直に移動するようにガイドすることができる。

前記第２微細垂直リニアガイド３２０ｂは、前記第２加圧ローラー支持部４００ｂが前記第３方向（Ｄ３）に沿って垂直に移動するようにガイドすることができる。

前記第１微細垂直移動部３３０ａ及び前記第２微細垂直移動部３３０ｂは、それぞれ前記第１加圧ローラー支持部４００ａ及び前記第２加圧ローラー支持部４００ｂを、前記第３方向（Ｄ３）に沿って移動させることができる。図２を基準に、前記第１微細垂直移動部３３０ａ及び前記第２微細垂直移動部３３０ｂは、前記第２フレーム３００の左右の側にそれぞれ設けられて、それぞれ前記第１加圧ローラー支持部４００ａ及び前記第２加圧ローラー支持部４００ｂを、前記第３方向（Ｄ３）に沿って移動させることができる。前記第１微細垂直移動部３３０ａ及び前記第２微細垂直移動部３３０ｂは、線形運動可能なサーボモータなど、移動変位を制御することができる、知られた多様な駆動手段で具現できる。前記第１微細垂直移動部３３０ａ及び前記第２微細垂直移動部３３０ｂには、前記第１垂直移動部２３０ａ及び前記第２垂直移動部２３０ｂよりも精密な制御が可能な駆動手段を使用することが好ましい。例えば、前記第１垂直移動部２３０ａ及び前記第２垂直移動部２３０ｂにはサーボモータが使用され、前記第１微細垂直移動部３３０ａ及び前記第２微細垂直移動部３３０ｂにはピエゾモータなどが使用できる。

前記第１加圧ローラー支持部４００ａには前記第１微細垂直リニアガイド結合部４１０ａが設置できる。前記第１微細垂直リニアガイド結合部４１０ａは、前記第１微細垂直リニアガイド３２０ａに結合されて、前記第１加圧ローラー支持部４００ａが前記第３方向（Ｄ３）に沿って移動するようにガイドすることができる。

前記第２加圧ローラー支持部４００ｂには、前記第２微細垂直リニアガイド結合部４１０ｂが設置できる。前記第２微細垂直リニアガイド結合部４１０ｂは前記第２微細垂直リニアガイド３２０ｂに結合されて、前記第２加圧ローラー支持部４００ｂが前記第３方向（Ｄ３）に沿って移動するようにガイドすることができる。

前記第１センサー部４２０ａは、前記第１微細垂直移動部３３０ａと前記第１加圧ローラー支持部４００ａとの間に配置されて、前記第１微細垂直移動部３３０ａと前記第１加圧ローラー支持部４００ａとの間にかかる圧力を測定することができる。前記第１センサー部４２０ａは、歪ゲージ(strain gauge)タイプや圧電(piezoelectric)タイプなどのロードセル（load cell）または静電容量（capacitance）タイプの圧力センサーでありうる。

前記第２センサー部４２０ｂは、前記第２微細垂直移動部３３０ｂと前記第２加圧ローラー支持部４００ｂとの間に配置されて、前記第１微細垂直移動部３３０ａと前記第２加圧ローラー支持部４００ｂとの間にかかる圧力を測定することができる。前記第２センサー部４２０ｂは、歪ゲージ(strain gauge)タイプや圧電(piezoelectric)タイプなどのロードセル（load cell）または静電容量（capacitance）タイプの圧力センサーでありうる。

前記加圧ローラー５００は、前記第１加圧ローラー支持部４００ａ及び前記第２加圧ローラー支持部４００ｂにより支持され、前記被処理基板１０上に前記フィルム２を加圧するために前記第１方向（Ｄ１）に移動するとともに回転することができる。前記加圧ローラー５００は、前記第２方向（Ｄ２）に延長される円筒形でありうる。図２を基準に、前記加圧ローラー５００の左右の側にて、それぞれ第１加圧ローラー支持部４００ａ及び前記第２加圧ローラー支持部４００ｂにより、前記加圧ローラー５００の軸が支持され、前記加圧ローラー５００が前記軸のまわりに回転することができる。

ここで、前記第１加圧ローラー支持部４００ａと、前記第２加圧ローラー支持部４００ｂは、互いに離隔して別個の構成をなし、前記第１微細垂直移動部３３０ａ及び前記第２微細垂直移動部３３０ｂにより、それぞれが移動できるので、前記第１加圧ローラー支持部４００ａと第２加圧ローラー支持部４００ｂは、互いに独立に動くことができる。例えば、前記被処理基板１０が左右にわずかに傾いた場合、前記第１微細垂直移動部３３０ａ及び前記第２微細垂直移動部３３０ｂの移動変位を異にして前記加圧ローラー５００が前記第２方向（Ｄ２）に前記被処理基板１０を均一に加圧することができる。

前記第１及び第２センサー部４２０ａ、４２０ｂは、前記加圧ローラー５００が前記フィルム２０及び前記被処理基板１０を加圧する圧力を測定するためのものであって、前記圧力を直接測定し難いという問題がある。したがって、前記第１及び第２センサー部４２０ａ、４２０ｂは、前記加圧ローラー５００に最も近接した位置である、前記第１加圧ローラー支持部４００ａと前記第１微細垂直移動部３３０ａとの間、及び前記第２加圧ローラー支持部４００ｂと前記第２微細垂直移動部３３０ｂとの間に配置させることで、前記圧力の測定誤差及び前記インプリント装置の構造的簡潔性を同時に満たすことができる。

図１及び２を再度参照すると、前記インプリント装置を用いて、インプリント工程を進行することができる。まず、前記ステージ１００上に前記被処理基板１０をローディングすることができる。次いで、前記被処理基板１０上には前記インプリントレジン層（図示せず）が形成されうる。

この後、前記第１フレーム２００を前記第１方向（Ｄ１）に移動させて、前記加圧ローラー５００を前記被処理基板１０上に位置させることができる。

まず、前記第１及び第２垂直移動部２３０ａ、２３０ｂを駆動して前記第２フレーム３００を前記第３方向（Ｄ３）に移動させて、前記加圧ローラー５００を第１位置まで一次的に移動させることができる。前記第１位置は、前記加圧ローラー５００が前記被処理基板１０上に近接する位置である。

次いで、前記第１微細垂直移動部３３０ａと前記第２微細垂直移動部３３０ｂを独立に駆動して、前記第１加圧ローラー支持部４００ａ及び前記第２加圧ローラー支持部４００ｂを前記第３方向（Ｄ３）に移動させることができる。これによって、前記加圧ローラー５００が加圧位置である第２位置まで移動することができる。この際、前記加圧ローラー５００は、前述したように、前記被処理基板１０がわずかに傾いた場合にも前記被処理基板１０及び前記フィルム２０を、前記第２方向（Ｄ２）の全寸法（フィルム幅の全体）にわたって均一に加圧することができる。

この後、前記第１フレーム１００を前記第１方向（Ｄ１）に、すなわち後方へと移動させることによって、前記加圧ローラー５００が、回転し、前記第１方向（Ｄ１）に前記被処理基板１０に沿って移動することができる。これによって、前記フィルム１０に形成されたスタンプ（図１の説明参照）が前記インプリントレジン層に転写（imprint）できる。

図３は、本発明の他の実施形態に係るインプリント方法を示すフローチャートである。図４は、図３の位置補正ステップを詳細に示すフローチャートである。図５は、図３のインプリント方法を示すフローチャートである。前記インプリント方法は、図１及び２のインプリント装置を用いて遂行できる。

図１から図５を参照すると、前記インプリント方法は、位置補正ステップ（Ｓ１００）及びインプリントステップ（Ｓ２００）を含むことができる。前記位置補正ステップ（Ｓ１００）は、加圧状態を試験するステップ（Ｓ１１０）、加圧ローラーの加圧位置補正ステップ（Ｓ１２０）、及び確認ステップ（Ｓ１３０）を含むことができる。前記インプリントステップ（Ｓ２００）は、準備ステップ（Ｓ２１０）、垂直移動ステップ（Ｓ２２０）、微細垂直移動ステップ（Ｓ２３０）、及び加圧ステップ（Ｓ２４０）を含むことができる。

前記位置補正ステップ（Ｓ１００）では、前記被処理基板上のフィルムを加圧するインプリントステップの前に、前記インプリント装置における前記加圧ローラー５００の加圧位置を、予め補正することができる。

前記加圧状態を試験するステップ（Ｓ１１０）では、前記加圧ローラー５００で前記被処理基板１０を加圧して、インプリントを進行することができる。この際、前記第１センサー部４２０ａの第１基準圧力値及び前記第２センサー部４２０ｂの第２基準圧力値を測定することができる。これと同時に、前記被処理基板１０上には圧力測定フィルム（プレスケール；prescale）や感圧センサシートを載せるなどの、圧力状態を測定することができる手段を用いることにより、圧力の分布を測定することができる。これによって、圧力が不均一な部分の有無及び位置・範囲を確認することができる。

前記加圧ローラーの加圧位置補正ステップ（Ｓ１２０）では、加圧後の前記圧力測定フィルムに示された加圧状態などに基づいて、圧力が不均一な部分の有無及び位置・範囲を確認することができ、これに基づいて前記加圧ローラー５００の位置を補正することができる。具体的に、前記第１微細垂直移動部３３０ａ及び前記第２微細垂直移動部３３０ｂを独立に移動させて、前記加圧ローラー５００が前記被処理基板１０を均一に加圧するための補正された加圧位置を定めることができる。

前記確認ステップ（Ｓ１３０）では、前記被処理基板１０上に新たな圧力測定フィルムを載せた後、前記補正された加圧位置にて、前記加圧ローラー５００を用いてインプリントを進行することができる。前記圧力測定フィルムにより検出された加圧状態が均一であれば、この際に測定された前記第１センサー部４２０ａの第１補正圧力値及び前記第２センサー部４２０ｂの第２補正圧力値を、補正された値として使用することができる。即ち、前記第１及び第２センサー部４２０ａ、４２０ｂで測定される圧力値が、それぞれ前記第１補正圧力値及び前記第２補正圧力値であるならば、前記加圧ローラー５００が前記被処理基板１０を均一に加圧していると判断することができる。

前記インプリントステップ（Ｓ２００）では、前記ステージ上に前記被処理基板１０を位置させ、前記被処理基板上へのインプリントを進行することができる。例えば、前記被処理基板１０上にインプリントレジン層（図示せず）を形成した後、前記フィルム２上にある前記スタンプの凹凸パターンを前記インプリントレジン層に転写することができる。この際、前記ＵＶ照射部を用いて、前記スタンプの凹凸パターンが転写された前記インプリントレジン層を硬化させた後、前記フィルム２を前記インプリントレジン層から分離させて、前記インプリントを進行することができる。前記インプリントを用いて表示装置のワイヤーグリッド偏光素子などを製作することができる。

前記準備ステップ（Ｓ２１０）では、前記加圧ローラー５００を前記ステージ１００から前記第３方向（Ｄ３）の反対方向に、すなわち垂直上方へと離隔させた後、前記ステージ１００上に前記被処理基板１０をローディング（loading）することができる。この後、前記第１フレーム２００を前記第１方向（Ｄ１）に沿って、特には前方へと移動させて、前記加圧ローラー５００を前記被処理基板１０上に位置させることができる。

前記垂直移動ステップ（Ｓ２２０）では、前記第２フレーム３００を前記第３方向（Ｄ３）に、特には垂直下方へと移動させ、前記加圧ローラー５００を第１位置まで一次的に移動させることができる。前記第１位置は、前記加圧ローラー５００が前記被処理基板１０上に近接する位置である。

前記微細垂直移動ステップ（Ｓ２３０）では、前記第１加圧ローラー支持部４００ａ及び前記第２加圧ローラー支持部４００ｂを互いに独立に移動させることで、前記第１加圧ローラー支持部４００ａ及び前記第２加圧ローラー支持部４００ｂを、それぞれ、所定の距離だけ前記第３方向（Ｄ３）に移動させることができる。これによって、前記加圧ローラー５００が、加圧位置である第２位置まで移動することができる。この際、前記第１及び第２センサー部４２０ａ、４２０ｂは、前記加圧ローラー５００が前記被処理基板１０を加圧する間、続けて圧力を測定することができ、これによって前記第１補正圧力値及び前記第２補正圧力値を外れないように、前記第１微細垂直移動部３３０ａと前記第２微細垂直移動部３３０ｂを独立に駆動して、前記加圧ローラー５００の適正圧力を維持することができる。

前記加圧ステップ（Ｓ２４０）では、前記加圧ローラー５００を前記第１方向（Ｄ１）に移動させて、前記被処理基板１０の全体に前記フィルム２を転写することができる。前記第１フレーム２００が前記第１方向（Ｄ１）に移動することによって、前記加圧ローラー５００が前記第１方向（Ｄ１）に移動することができる。これによって、インプリントが行われうる。この際、前記第１及び第２センサー部４２０ａ、４２０ｂは、前記加圧ローラー５００が前記被処理基板１０を加圧する期間中にわたって、続けて圧力を測定することができ、この測定に基づいて、圧力が前記第１補正圧力値及び前記第２補正圧力値から、ずれないように前記第１微細垂直移動部３３０ａと前記第２微細垂直移動部３３０ｂを互いに独立に駆動することにより、前記加圧ローラー５００と被処理基板１０との間で、いずれの箇所及びいずれの時点でも適正圧力が維持されるようにすることができる。

本発明の実施形態に係るインプリント装置及びインプリント方法によれば、第２フレームを垂直方向に移動させて、加圧ローラーを第１位置まで一次的に移動させた後、第１加圧ローラー支持部及び第２加圧ローラー支持部を互いに独立に移動させることで、前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部を前記垂直方向に、それぞれの必要な距離だけ移動させるようにして、前記加圧ローラーを、加圧位置である第２位置まで移動させることができる。これによって、前記加圧ローラーの加圧位置、特には左右のわずかな傾きについて、精密にコントロールすることができ、インプリント工程において均一な加圧が可能である。

また、前記インプリント装置は第１センサー部及び第２センサー部を含むので、リアルタイムで、前記第１及び第２センサー部を通じて測定された圧力値を用いて、第１及び第２微細垂直移動部を駆動することにより、均一な加圧を可能にすることができる。

また、前記インプリント方法は前記第１センサー部及び前記第２センサー部を通じて測定された圧力値を用いて、前記加圧ローラーの前記加圧位置を予め補正する位置補正ステップをさらに含むことができ、これによって、均一な加圧を可能にすることができる。

以上、実施形態を参照して説明したが、該当技術分野の熟練した当業者は特許請求範囲に記載された本発明の思想及び領域から外れない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解することができる。

本件発明の好ましい一実施形態によると、下記のとおりである。

ワイヤーグリッド偏光素子が、液晶表示装置や、有機発光表示装置の外光反射抑制などに用いられており、ワイヤーグリッド偏光素子などを、インプリント法（ナノインプリント技術）によって、平面表示装置用の基板の上に設けるにあたり、金属スタンプ（モールド）から、長尺の樹脂フィルムに凹凸パターンを転写した後、この樹脂フィルムを、別の長尺フィルム上にあるエッチングレジスト形成用の未硬化樹脂層に押し付けて、凹凸パターンを設けることも提案されていた（JP2009-145742A）。

このような課題に対応すべく、好ましい実施形態によると、本願のインプリント装置は、下記Ａ〜Ｈの特徴を備える。

Ａ基板10が載せられて支持されるステージ100と、スタンプ供与部60のスタンプ（モールド）により凹凸パターンが転写された長尺のフィルム２を、基板10上の未硬化樹脂層に押し付けるための加圧ローラー500とを備える。

Ｂ加圧ローラー500の上方にて左右方向に延びる第１の梁（はり；beam）と、その両端に接続する左右の第１の柱状部分とを備えた第１フレーム200が、支持台110から、前後方向にスライド可能に支持されている。

Ｃ加圧ローラー500の上方にて左右方向に延びる第２の梁と、その両端から上下方向に延びる左右の第２の柱状部分と、この近傍で、第２の梁から下方に延びる左右の第３の柱状部分とを備えた第２フレーム300が、第１の柱状部分と第２の柱状部分との間のスライド可能な接続により、第１フレーム200から上下方向にスライド可能に支持されている。

Ｄ加圧ローラー500の軸の両端部を支持する左右の加圧ローラー支持部400a, 400bが、上下方向に延びる第１の部分と、第１の部分から左右方向内側に延びる第２の部分とからなり、第１の部分と、第３の柱状部分との間のスライド可能な接続により、第２フレーム300から上下方向にスライド可能に支持されている。

Ｅ第１の梁と、第２の梁との間には、左右の加圧ローラー支持部400a, 400bに上下方向に重なる箇所に、第２のフレーム300を第1のフレームに対して、例えば100ナノメーター〜１マイクロメーターの最小単位で上下動させるセルフロック式（非駆動時の位置固定）の伸縮式アクチュエーターとしての左右の垂直移動部230a, 230bが備えらる。

Ｆ第２の梁と、左右の加圧ローラー支持部400a, 400bの第２の部分との間には、加圧ローラー支持部400a, 400bを、第２のフレーム300に対して、例えば１〜１０ナノメーターの最小単位で上下動させるセルフロック式の伸縮式アクチュエーターとしての、左右の微細垂直移動部330a, 330bが備えられる。これら微細垂直移動部330a, 330bの移動速度及び可動範囲は、たとえば、垂直移動部230a, 230bの１〜１０％である。

Ｇ左右の微細垂直移動部330a, 330bは、第２の梁と、前記第２の部分との間の圧力をリアルタイムで測定する左右のセンサー部420a, 420bを備える。

Ｈ左右の微細垂直移動部330a, 330bは、左右のセンサー部420a, 420bの測定結果に基づき、リアルタイムで、互いに独立してコントロール可能である。

好ましい実施形態によると、本願のインプリント方法は、下記Ｉ〜Ｍの特徴をさらに備える。

Ｉ凹凸パターン転写のための加圧時における加圧ローラーの位置・姿勢（「加圧位置」）として既に設定されているものについて、製品を得るためのインプリントステップの前に、適切かどうかを確かめて、適宜補正するための「位置補正ステップS100」を行う。

Ｊ「位置補正ステップS100」の第１のステップ（「加圧状態を試験するステップS110」）では、加圧ローラー500と、基板10との間に、圧力測定フィルム（プレスケール；prescale）を、挟みこんで加圧する。すなわち、凹凸パターンが転写された樹脂フィルム２と、未硬化樹脂層（インプリントレジン層）とを挟み込んで加圧する代わりに、圧力測定フィルム（プレスケール；prescale）を挟み込んで加圧する。この加圧の期間中、左右のセンサー部420a, 420bによる圧力の測定を続ける。

Ｋ「位置補正ステップS100」の第２のステップ（「加圧位置補正ステップS120」）では、加圧後の圧力測定フィルムに示された加圧状態と、左右のセンサー部420a, 420bによる圧力の測定結果とに基づいて、補正された加圧位置を決定する。そして、この補正された加圧位置を、インプリント装置に設定する。なお、凹凸パターンが転写された樹脂フィルム２及び未硬化樹脂層（インプリントレジン層）の全体の厚みと、圧力測定フィルムの厚みとの間に差がある場合、この差を勘案して、補正された加圧位置を決定する。

Ｌ「位置補正ステップS100」の第３のステップ（「確認ステップS130」）では、新たな圧力測定フィルムを用いて、「加圧状態を試験するステップS110」と同様の操作を行うことで、均一な加圧が行われるかどうかを確認する。この結果、もしも不充分であれば、再度、「加圧位置補正ステップS120」及び「確認ステップS130」を行う。

Ｍ「位置補正ステップS100」の後の「インプリントステップS200」では、下記の「準備ステップS210」、「垂直移動ステップS220」、「微細垂直移動ステップS230」、及び「加圧ステップS240」を行う。

・「準備ステップS210」：左右の垂直移動部230a, 230bにより、加圧ローラー500を上昇させて、未硬化樹脂層が形成された被処理基板10をステージ100上にセットする。

・「垂直移動ステップS220」：左右の垂直移動部230a, 230bにより、加圧ローラー500を「第１位置」まで下降させる。すなわち、凹凸パターンが転写された樹脂フィルム２が、基板10上の未硬化樹脂層（インプリントレジン層）に、近接するか、接触するか、または、部分的に加圧が行われる位置にまで下降させる。

・「微細垂直移動ステップS230」：左右の微細垂直移動部330a, 330bにより、加圧ローラー500を「第１位置」から「第２位置」まで、さらに、わずかに下降させる。これにより、未硬化樹脂層（インプリントレジン層）に所定の深さの凹凸パターンが形成されるようにする。すなわち、加圧ローラー500により加圧される線状の箇所にて、スタンプ供与部60のスタンプ（モールド）の凹凸パターンが複製されるようにする。スタンプ提供部60のスタンプは、金属または無機材料からなり、加圧ローラーの形態などであってもよい。

・「加圧ステップS240」：「第２位置」の高さを保ったまま、加圧ローラー500を前後方向に、転がして行くことで、基板10上の未硬化樹脂層（インプリントレジン層）の全体に、インプリント（所定の凹凸パターンの形成）が行われるようにする。この際、左右のセンサー部420a, 420bによる圧力の測定を続け、目標圧力値からずれた場合、たとえば、目標圧力値からのずれが、５％以上、３％以上、または１％以上となった場合、左右の微細垂直移動部330a, 330bを駆動させて、加圧位置の微調整をリアルタイムで行うように、インプリント装置を制御することができる。なお、この加圧による凹凸パターンの転写の直後に紫外線が照射されて、少なくとも部分的に硬化が行われようにすることできる。

一具体例によると、上記の装置及び方法は、液晶表示装置のワイヤーグリッド偏光素子を形成するのに用いられる。すなわち、金属層の上に形成されたインプリントレジン層が、エッチングの際のレジストパターンをなす。この場合、インプリントは、ほぼ、インプリントレジン層の厚みに相当する深さの、互いに平行で等間隔の溝パターンをなすことができる。インプリントレジン層の厚みは、例えば、40〜100nmである。また、得られるワイヤーグリッド偏光素子をなす各金属線は、例えば、幅が10〜20nm、高さが30〜60nm、相互の間隔が10〜20nmとすることができる。ワイヤーグリッド偏光素子は、例えば、液晶表示装置の少なくとも一方の基板における内面側、すなわちパターン形成面に設けること（インセル型）とすることができる。

２フィルム
１０被処理基板
２０第１ロール
３０第２ロール
４０第１ガイドローラー
５０第２ガイドローラー
１００ステージ
２００第１フレーム
３００第２フレーム
４００ａ第１加圧ローラー支持部
４００ｂ第２加圧ローラー支持部
５００加圧ローラー

Claims

被処理基板を支持するステージと、
前記ステージ上で一の水平方向に移動可能な第１フレームと、
前記第１フレームから垂直方向に移動可能に支持された第２フレームと、
前記第１フレームに対して前記第２フレームを垂直に移動させる第１垂直移動部と、
前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持された第１加圧ローラー支持部と、
前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持され、前記第１加圧ローラー支持部と離隔する第２加圧ローラー支持部と、
前記第２フレームに対して前記第１加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第１微細垂直移動部と、
前記第２フレームに対して前記第２加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第２微細垂直移動部と、
前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部により支持される加圧ローラーと、
を含む、インプリント装置。
前記第２フレームと前記第１フレームとの間に配置される第１垂直リニアガイド、及び、前記第１垂直リニアガイドと結合する第１垂直リニアガイド結合部をさらに含み、
前記第１垂直リニアガイド及び前記第１垂直リニアガイド結合部により、前記第２フレームが前記第１フレームに対して前記垂直方向にのみ移動可能であり、
前記第１垂直移動部は、前記第１フレームに設けられて前記第２フレームを前記垂直方向に沿って移動させることを特徴とする、請求項１に記載のインプリント装置。
前記第２フレームと前記第１加圧ローラー支持部との間に配置される第１微細垂直リニアガイド、及び、前記第１微細垂直リニアガイドと結合する第１微細垂直リニアガイド結合部をさらに含み、
前記第１微細垂直移動部は、前記第２フレームに設けられて前記第１加圧ローラー支持部を前記垂直方向に沿って移動させることを特徴とする、請求項２に記載のインプリント装置。
前記第２フレームと前記第２加圧ローラー支持部との間に配置される第２微細垂直リニアガイド、及び、前記第２微細垂直リニアガイドと結合する第２微細垂直リニアガイド結合部をさらに含み、
前記第２微細垂直移動部は、前記第２フレームに設けられて、前記第２加圧ローラー支持部を前記垂直方向に沿って移動させることを特徴とする、請求項３に記載のインプリント装置。
前記第１微細垂直移動部と前記第１加圧ローラー支持部との間に配置される第１センサー部と、
前記第２微細垂直移動部と前記第２加圧ローラー支持部との間に配置される第２センサー部をさらに含み、
前記第１及び第２センサー部は、それぞれ、前記第１微細垂直移動部と前記第１加圧ローラー支持部との間の圧力、及び、前記第２微細垂直移動部と前記第２加圧ローラー支持部との間の圧力を測定することを特徴とする、請求項１に記載のインプリント装置。
前記第１及び第２センサー部は、ロードセル（load cell）または静電容量（capacitance）タイプの圧力センサーであることを特徴とする、請求項５に記載のインプリント装置。
第１水平リニアガイドが形成される支持部をさらに含み、
前記第１フレームには前記第１水平リニアガイドと結合する第１水平リニアガイド結合部が形成されて、前記第１フレームは前記第１水平リニアガイドに沿って前記水平方向に移動することを特徴とする、請求項１に記載のインプリント装置。
前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部は、前記加圧ローラーを挟んで、それぞれ左側及び右側に配置され、前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部は、前記一の水平方向と垂直な他の一の水平方向に互いに離隔し、
前記第１微細垂直移動部及び前記第２微細垂直移動部は、互いに独立に駆動可能であることを特徴とする、請求項１に記載のインプリント装置。
フィルムを提供する第１ロールと、
前記フィルムを回収する第２ロールと、
前記フィルム上にスタンプを提供するスタンプ提供部とをさらに含み、
前記加圧ローラーは、前記スタンプが形成された前記フィルムを、前記ステージ上の前記被処理基板に押し付けて加圧し、前記第１フレームとともに、前記一の水平方向へと回転しつつ進んで行くことで、インプリント工程を遂行することを特徴とする、請求項１に記載のインプリント装置。
前記第１垂直移動部はサーボモータを含み、
前記第１微細垂直移動部及び前記第２微細垂直移動部は、いずれもピエゾモータを含むことを特徴とする、請求項１に記載のインプリント装置。
ステージ、前記ステージ上で一の水平方向に移動可能な第１フレーム、前記第１フレームから垂直方向に移動可能に支持された第２フレーム、前記第１フレームに対して前記第２フレームを垂直に移動させる第１垂直移動部、前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持された第１加圧ローラー支持部、前記第２フレームから前記垂直方向に移動可能に支持され、前記第１加圧ローラー支持部と離隔する第２加圧ローラー支持部、前記第２フレームに対して前記第１加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第１微細垂直移動部、前記第２フレームに対して前記第２加圧ローラー支持部を垂直に移動させる第２微細垂直移動部、前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部により支持される加圧ローラーを含むインプリント装置を用いて、
前記ステージ上に被処理基板をローディング（loading）する準備ステップと、
前記第２フレームを前記第１フレームに対して前記垂直方向に移動させて、前記加圧ローラーを第１位置まで一次的に移動させる一次垂直移動ステップと、
前記第１加圧ローラー支持部及び前記第２加圧ローラー支持部を互いに独立に垂直に移動させて、前記加圧ローラーについて、前記第１位置から、前記被処理基板を加圧する加圧位置である第２位置まで垂直に移動させる微細垂直移動ステップと、
前記第２位置から、前記第１フレームを前記水平方向に移動させることで、前記加圧ローラーが、前記被処理基板を加圧しつつ前記水平方向に移動して行くようにする加圧ステップと、
を含む、インプリント方法。
前記インプリント装置における前記加圧ローラーの前記加圧位置を予め補正する位置補正ステップをさらに含み、
前記位置補正ステップは、
前記加圧位置として予め設定された位置にて、前記加圧ローラーによる基板上のフィルムに対する加圧状態を試験するステップと、
前記加圧状態に基づいて、前記加圧位置を補正する加圧位置補正ステップと、
補正された前記加圧位置を用いて、前記加圧ローラーによる基板上のフィルムに対する加圧状態を確認する確認ステップと、
を含むことを特徴とする、請求項１１に記載のインプリント方法。
前記インプリント装置は、前記第１微細垂直移動部と前記第１加圧ローラー支持部との間に配置される第１センサー部、及び、前記第２微細垂直移動部と前記第２加圧ローラー支持部との間に配置される第２センサー部をさらに含み、前記第１及び第２センサー部は、それぞれ、前記第１微細垂直移動部と前記第１加圧ローラー支持部との間の圧力、及び、前記第２微細垂直移動部と前記第２加圧ローラー支持部との間の圧力を測定し、
前記位置補正ステップにおける前記加圧状態を試験するステップでは、
前記加圧ローラーで前記被処理基板を加圧した際に、前記第１センサー部による第１基準圧力値及び前記第２センサー部による第２基準圧力値を測定し、
これと同時に、前記被処理基板と前記加圧ローラーとの間に圧力測定フィルムを位置させて、加圧後の圧力測定フィルムに基づいて、加圧の際の圧力分布を含む前記加圧状態を測定することを特徴とする、請求項１２に記載のインプリント方法。
前記加圧ローラーの加圧位置補正ステップでは、
前記の加圧状態を試験するステップによる測定の結果に基づき、前記第１微細垂直移動部及び前記第２微細垂直移動部を互いに独立に移動させることで、前記加圧ローラーが前記被処理基板を均一に加圧するための、補正された加圧位置を決定することを特徴とする、請求項１３に記載のインプリント方法。
前記確認ステップは、
前記補正された前記加圧位置にて前記加圧ローラーにより前記ステージ上の新たな圧力測定フィルムを加圧して加圧状態を確認し、
この際、前記第１センサー部及び前記第２センサー部が測定する圧力値である第１補正圧力値及び第２補正圧力値を、補正された圧力値として決定することを特徴とする、請求項１４に記載のインプリント方法。
前記微細垂直移動ステップでは、
前記第１及び第２センサー部は、前記加圧ローラーが前記被処理基板を加圧する期間中にわたって、続けて圧力を測定し、前記第１補正圧力値及び前記第２補正圧力値からずれないように、前記第１微細垂直移動部と前記第２微細垂直移動部を互いに独立に駆動することを特徴とする、請求項１５に記載のインプリント方法。
前記加圧ステップでは、
前記第１及び第２センサー部は、前記加圧ローラーが前記被処理基板を加圧する期間中にわたって、続けて圧力を測定し、前記第１補正圧力値及び前記第２補正圧力値からずれないように、前記第１微細垂直移動部と前記第２微細垂直移動部を互いに独立に駆動することを特徴とする、請求項１５に記載のインプリント方法。
前記インプリント装置は、前記第２フレームと前記第１フレームとの間に配置される第１垂直リニアガイド、及び、前記第１垂直リニアガイドと結合する第１垂直リニアガイド結合部をさらに含み、
前記第１垂直リニアガイド及び前記第１垂直リニアガイド結合部により、前記第２フレームが前記第１フレームに対して前記垂直方向にのみ移動可能であり、前記第１垂直移動部は前記第１フレームに設けられて前記第２フレームを前記垂直方向に沿って移動させることを特徴とする、請求項１１に記載のインプリント方法。
前記インプリント装置は、前記第２フレームと前記第１加圧ローラー支持部との間に配置される第１微細垂直リニアガイド、及び、前記第１微細垂直リニアガイドと結合する第１微細垂直リニアガイド結合部をさらに含み、
前記第１微細垂直移動部は、前記第２フレームに設けられて、前記第１加圧ローラー支持部を前記垂直方向に沿って移動させることを特徴とする、請求項１８に記載のインプリント方法。
前記インプリント装置は、前記第２フレームと前記第２加圧ローラー支持部との間に配置される第２微細垂直リニアガイド、及び、前記第２微細垂直リニアガイドと結合する第２微細垂直リニアガイド結合部をさらに含み、
前記第２微細垂直移動部は、前記第２フレームに設けられて、前記第２加圧ローラー支持部を前記垂直方向に沿って移動させて、前記第１微細垂直移動部と前記第２微細垂直移動部とは別個に駆動されることを特徴とする、請求項１９に記載のインプリント方法。