KR20190071850A - 임프린트 장치 및 이를 이용한 임프린트 방법 - Google Patents

임프린트 장치 및 이를 이용한 임프린트 방법 Download PDF

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Abstract

임프린트 장치는 피처리 기판을 지지하는 스테이지, 상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임, 상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임, 상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부, 상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부, 상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부, 및 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함한다.

Description

임프린트 장치 및 이를 이용한 임프린트 방법{APPARATUS FOR IMPRINT AND IMPRINT METHOD USING THE SAME}
본 발명은 임프린트 장치 및 상기 임프린트 장치를 이용한 임프린트 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가압롤을 이용하는 임프린트 장치 및 상기 임프린트 장치를 이용한 임프린트 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 기술의 발전에 힘입어 소형, 경량화 되면서 성능은 더욱 뛰어난 디스플레이 제품들이 생산되고 있다. 지금까지 디스플레이 장치에는 기존 브라운관 텔레비전(cathode ray tube: CRT)이 성능이나 가격 면에서 많은 장점을 가지고 널리 사용되었으나, 소형화 또는 휴대성의 측면에서 CRT의 단점을 극복하고, 소형화, 경량화 및 저전력 소비 등의 장점을 갖는 표시 장치, 예를 들면 플라즈마 표시 장치, 액정 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 등이 주목을 받고 있다.
상기 표시 장치들의 구성을 임프린트 방법에 의해 형성하기 위한 노력이 있었다. 예를 들면, 임프린트 방법등에 의해 와이어 그리드 편광 소자, 나아가 미세 패턴들을 형성할 수 있다. 그러나, 상기 임프린트 방법에 있어서, 임프린트 레진층에 균일한 임프린트 패턴이 전사 되도록하기 위해서는, 스탬프를 상기 임프린트 레진층에 균일하게 가압할 필요가 있다.
이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 균일한 가압이 가능한 가압 롤러를 포함하는 임프린트 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 임프린트 장치를 이용한 임프린트 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 임프린트 장치는 피처리 기판을 지지하는 스테이지, 상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임, 상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임, 상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부, 상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부, 상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부, 및 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 프레임 사이에 배치되는 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부에 의해 상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에 대해 상기 수직 방향으로만 이동 가능할 수 있다. 상기 제1 수직 이동부는 상기 제1 프레임에 설치되어 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향을 따라 이동 시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제1 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동 시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동 시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 센서부, 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 센서부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 센서부는 각각 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이의 압력을 측정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 센서부는 로드셀(load cell) 또는 정전용량(cap) 타입의 압력 센서일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 제1 수평 리니어 가이드가 형성되는 지지부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 프레임에는 상기 제1 수평 리니어 가이드와 결합하는 제1 수평 리니어 가이드 결합부가 형성되어, 상기 제1 프레임은 상기 제1 수평 리니어 가이드를 따라 상기 수평 방향으로 이동할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부는 상기 가압 롤러를 사이에 두고 각각 좌측 및 우측에 배치되어, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부는 상기 수평 방향 및 상기 수직 방향과 수직한 방향으로 서로 이격될 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부는 각각 독립적으로 구동 가능할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 필름을 제공하는 제1 롤, 상기 필름을 회수하는 제2 롤, 및 상기 필름 상에 스탬프를 제공하는 스탬프 제공부를 더 포함할 수 있다. 상기 가압 롤러가 상기 스탬프가 형성된 상기 필름을 상기 스테이지 상의 상기 피처리 기판에 가압하고, 상기 가압 롤러를 상기 수평 방향으로 진행시켜 임프린트 공정을 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 수직 이동부는 서보 모터 이고, 상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부는 각각 피에조 모터일 수 있다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 임프린트 방법은 스테이지, 상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임, 상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임, 상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부, 상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부, 상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함하는 임프린트 장치를 이용할 수 있다. 상기 임프린트 방법은 상기 스테이지 상에 피처리 기판을 로딩(loading)하는 준비 단계, 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 제1 위치까지 1차적으로 이동시키는 수직 이동 단계, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부를 독립적으로 이동 시켜 상기 가압 롤러를 상기 피처리 기판을 가압하는 가압 위치인 제2 위치까지 이동시키는 미세 수직 이동 단계, 및 상기 제1 프레임을 상기 수평 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 상기 피처리 기판 상에서 상기 수평 방향으로 이동시키는 가압 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 방법은 상기 임프린트 장치의 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 미리 보정하는 위치 보정 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 위치 보정 단계는, 상기 가압 롤러의 가압 상태를 시험하는 임프린트 상태를 시험하는 단계, 상기 가압 상태를 바탕으로, 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 보정하는 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계, 및 보정된 상기 가압 위치를 이용하여 상기 가압 롤러의 가압 상태를 확인하는 확인 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 센서부, 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 센서부를 더 포함하고, 상기 제1 및 제2 센서부는 각각 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이의 압력을 측정할 수 있다. 상기 위치 보정 단계의 상기 임프린트 상태를 시험하는 단계는, 상기 가압 롤러로 상기 피처리 기판을 가압하며, 상기 제1 센서부의 제1 기준 압력값 및 상기 제2 센서부의 제2 기준 압력값을 측정하고, 이와 동시에 상기 피처리 기판과 상기 가압 롤러 사이에 감압지를 위치시켜, 상기 가압 상태를 측정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계는, 상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 이동 시켜, 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 균일하게 가압하기 위한 보정된 가압 위치를 결정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 확인 단계는 상기 보정된 상기 가압 위치를 이용하여 상기 가압 롤러로 상기 스테이지상의 새로운 감압지를 가압하여 가압 상태를 확인하고, 이때, 상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부가 측정하는 압력값인 제1 보정 압력값 및 제2 보정 압력값을 보정된 압력값으로 결정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 미세 수직 이동 단계에서는, 상기 제1 및 제2 센서부는 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정하고, 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 구동할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가압 단계에서는, 상기 제1 및 제2 센서부는 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정하고, 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 구동할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 프레임 사이에 배치되는 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부에 의해 상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에 대해 상기 수직 방향으로만 이동 가능하며, 상기 제1 수직 이동부는 상기 제1 프레임에 설치되어 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향을 따라 이동 시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제1 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동시켜, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부는 별개로 구동될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 임프린트 장치 및 임프린트 방법에 따르면, 제2 프레임을 수직 방향으로 이동시켜, 가압 롤러를 제1 위치까지 1차적으로 이동시킨 후, 제1 가압 롤러 지지부 및 제2 가압 롤러 지지부를 독립적으로 이동 시켜, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 가압 위치인 제2 위치까지 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 가압 롤러의 가압 위치를 정밀하게 이동시킬 수 있고, 임프린트 공정에 있어서 균일한 가압이 가능하다.
또한, 상기 임프린트 장치는 제1 센서부 및 제2 센서부를 포함하고, 상기 제1 및 제2 센서부를 통해 측정된 압력값을 이용하여, 제1 및 제2 미세 수직 이동부들을 구동하여, 균일한 가압이 가능하게 할 수 있다.
또한, 상기 임프린트 방법은 상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부를 통해 측정된 압력값을 이용하여, 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 미리 보정하는 위치 보정 단계를 더 포함할 수 있으며, 이에 따라 균일한 가압이 가능하게 할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 장치를 간략히 나타낸 측면도이다.
도 2는 도 1의 임프린트 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 임프린트 방법을 나타낸 순서도이다.
도 4는 도 3의 위치 보정 단계를 상세히 나타낸 순서도이다.
도 5는 도 3의 임프린트 방법을 나타낸 순서도이다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 장치를 간략히 나타낸 측면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 임프린트 장치는 제1 롤(20), 제2 롤(30), 제1 가이드 롤러(40), 제2 가이드 롤러(50), 스탬프 제공부(60), 스테이지(100) 및 가압 롤러(500)을 포함할 수 있다.
상기 제1 롤(20)은 필름(2)을 제공하고, 상기 필름(2)은 상기 제2 롤(30)로 회수될 수 있다. 즉, 상기 제1 롤(20)과 상기 제2 롤(30)이 회전하면, 상기 제1 롤(20)에 감겨 있던 상기 필름(2)이 상기 스탬프 제공부(60), 상기 제1 가이드 롤러(40), 상기 가압 롤러(500) 및 상기 제2 가이드 롤러(50)를 지나 상기 제2 롤(30)에 감길 수 있다.
상기 제1 롤(20)에 감겨져 있는 상기 필름(2)이 상기 스탬프 제공부(60)로 제공될 수 있다. 상기 스탬프 제공부(60)에서는 상기 필름(2) 상에 패턴이 형성된 스탬프(미도시)를 제공할 수 있다.
상기 스탬프가 형성된 상기 필름(2)은 상기 제1 가이드 롤러(40) 및 상기 제2 가이드 롤러(50)에 의해 가이드 되면서, 상기 가압 롤러(500)에 의해 상기 피처리 기판(10) 상에 가압될 수 있다. 예를 들면, 상기 가압 롤러(500)가 수직 방향인 제3 방향(D3)을 따라 하강하여 상기 필름(20)을 상기 피처리 기판(10) 상에 접촉시키고, 상기 가압 롤러(500)를 수평 방향인 제1 방향(D1)으로 이동 시킬 수 있다. 이에 따라 상기 피처리 기판(10) 상의 임프린트 레진층에 상기 스탬프의 패턴이 전사(imprint)될 수 있다.
도시하지 않았으나, 상기 임프린트 장치는 상기 패턴이 전사된 상기 피처리 기판(10) 상의 상기 임프린트 레진층에 자외선을 조사하는 UV 조사부를 더 포함할 수 있다. 상기 패턴이 전사된 상기 피처리 기판(10) 상의 상기 임프린트 레진층은 상기 UV 조사부에서 발생한 상기 자외선에 의해 경화될 수 있다. 이후, 상기 가압 롤(500), 상기 제1 및 제2 가이드 롤러(40, 50)들이 이동하여, 상기 스탬프가 형성된 상기 필름(2)이 상기 피처리 기판(10)으로부터 분리될 수 있다.
임프틴트에 사용된 상기 필름(2)은 상기 제2 롤(30)에 제공되어, 상기 제2 롤(30)에 권취될 수 있다. 상기 절차가 반복되어 복수개의 피처리 기판에 임프린트 공정을 진행할 수 있다.
도 2는 도 1의 임프린트 장치의 단면도이다.
도 1 및 2를 참조하면, 상기 임프린트 장치는 스테이지(100), 지지부(110), 제1 수평 리니어 가이드(120a), 제2 수평 리니어 가이드(120b), 제1 프레임(200), 제1 수평 리니어 가이드 결합부(210a), 제2 수평 리니어 가이드 결합부(210b), 제1 수직 리니어 가이드(220a), 제2 수직 리니어 가이드(220b), 제1 수직 이동부(230a), 제2 수직 이동부(230b), 제2 프레임(300), 제1 수직 리니어 가이드 결합부(310a), 제2 수직 리니어 가이드 결합부(310b), 제1 미세 수직 리니어 가이드(320a), 제2 미세 수직 리니어 가이드(320b), 제1 미세 수직 이동부(330a), 제2 미세 수직 이동부(330b), 제1 가압 롤러 지지부(400a), 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410a), 제1 센서부(420a), 제2 가압 롤러 지지부(400b), 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410b), 제2 센서부(420b), 및 가압 롤러(500)를 포함할 수 있다.
스테이지(100)는 제1 방향(D1) 및 상기 제1 방향(D1)에 수직한 제2 방향(D2)이 형성하는 평면 상에 배치될 수 있다. 상기 스테이지(100) 상에는 피처리 기판(10)이 놓여질 수 있다.
상기 지지부(110) 상에는 상기 제1 수평 리니어 가이드(120a) 및 상기 제2 수평 리니어 가이드(120b)가 배치될 수 있다. 상기 제1 수평 리니어 가이드(120a) 및 상기 제2 수평 리니어 가이드(120b)는 상기 제1 프레임(200)이 상기 제1 방향(D1)을 따라 수평으로 이동하도록 가이드할 수 있다.
상기 제1 프레임(200)은 상기 스테이지(100) 상에서 상기 제1 방향(D1)을 따라 이동할 수 있다. 상기 제1 프레임(200)에는 상기 제1 수평 리니어 가이드 결합부(210a), 상기 제2 수평 리니어 가이드 결합부(210b), 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)가 설치될 수 있다.
상기 제1 수평 리니어 가이드 결합부(210a) 및 상기 제2 수평 리니어 가이드 결합부(210b)는 각각 상기 제1 수평 리니어 가이드(120a) 및 상기 제2 수평 리니어 가이드(120b)에 결합되어, 상기 제1 프레임(200)이 상기 제1 방향(D1)을 따라 이동하도록 할 수 있다. 상기 제1 프레임(200)은 서보 모터 등 알려진 다양한 구동 수단 등에 의해 상기 제1 방향(D1)을 따라 이동할 수 있다.
상기 제1 수직 리니어 가이드(220a) 및 상기 제2 수직 리니어 가이드(220b)는 상기 제2 프레임(300)이 수직 방향인 제3 방향(D3)을 따라 수직으로 이동하도록 가이드할 수 있다. 도 2를 기준으로, 상기 제1 수직 리니어 가이드(220a) 및 상기 제2 수직 리니어 가이드(220b)는 각각 상기 제1 프레임(200)의 좌측 및 우측에 배치될 수 있다.
상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)는 상기 제2 프레임(300)을 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동시킬 수 있다. 도 2를 기준으로, 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)는 상기 제1 프레임(200)의 좌우 측에 각각 설치되어, 상기 제2 프레임(300)을 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)는 선형 운동 가능한 서보 모터 등 이동 변위를 제어할 수 있는 알려진 다양한 구동 수단으로 구현될 수 있다.
상기 제2 프레임(300)에는 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부(310a), 상기 제2 수직 리니어 가이드 결합부(310b), 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드(320a) 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드(320b), 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)가 설치될 수 있다.
상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부(310a) 및 상기 제2 수직 리니어 가이드 결합부(310b)는 각각 상기 제1 수직 리니어 가이드(220a) 및 상기 제2 수직 리니어 가이드(220b)에 결합되어, 상기 제2 프레임(300)이 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동하도록 할 수 있다.
상기 제1 미세 수직 리니어 가이드(320a)는 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)가 상기 제3 방향(D3)을 따라 수직으로 이동하도록 가이드할 수 있다.
상기 제2 미세 수직 리니어 가이드(320b)는 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)가 상기 제3 방향(D3)을 따라 수직으로 이동하도록 가이드할 수 있다.
상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 각각 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)을 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동시킬 수 있다. 도 2를 기준으로, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 상기 제2 프레임(300)의 좌우 측에 각각 설치되어, 각각 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)을 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 선형 운동 가능한 서보 모터 등 이동 변위를 제어할 수 있는 알려진 다양한 구동 수단으로 구현될 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)보다 더 정밀한 제어가 가능한 구동 수단을 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)는 서보 모터가 사용되고, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 피에조 모터 등이 사용될 수 있다.
상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)에는 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410a)가 설치될 수 있다. 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410a)는 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드(320a)에 결합되어, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)가 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동하도록 할 수 있다.
상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)에는 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410b)가 설치될 수 있다. 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410b)는 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드(320b)에 결합되어, 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)가 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동하도록 할 수 있다.
상기 제1 센서부(420a)는 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 사이에 배치되어, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 사이에 걸리는 압력을 측정할 수 있다. 상기 제1 센서부(420a)는 로드셀(load cell) 또는 정전용량(cap) 타입의 압력 센서 일 수 있다.
상기 제2 센서부(420b)는 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)와 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b) 사이에 배치되어, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b) 사이에 걸리는 압력을 측정할 수 있다. 상기 제2 센서부(420b)는 로드셀(load cell) 또는 정전용량(cap) 타입의 압력 센서 일 수 있다.
상기 가압 롤러(500)가 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)에 의해 지지되어, 상기 피처리 기판(10) 상에 상기 필름(2)을 가압하기 위해 상기 제1 방향(D1)으로 이동하며 회전될 수 있다. 상기 가압 롤러(500)는 상기 제2 방향(D2)으로 연장되는 원통형일 수 있다. 도 2를 기준으로, 상기 가압 롤러(500)의 좌우측에 각각 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)에 의해 상기 가압 롤러(500)의 축이 지지되어, 상기 가압 롤러(500)가 상기 축을 기준으로 회전할 수 있다.
이때, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)와 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)는 서로 이격되어 별개의 구성을 이루고, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)에 의해 각각 이동될 수 있으므로, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 제2 가압 롤러 지지부(400b)는 서로 독립적으로 움직일 수 있다. 예를 들어, 상기 피처리 기판(10)이 좌우로 미세하게 기울어 진 경우, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)의 이동 변위를 달리 하여 상기 가압 롤러(500)가 상기 제2 방향(D2)으로 상기 피처리 기판(10)을 균일하게 가압할 수 있다.
상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)는 상기 가압 롤러(500)가 상기 필름(20) 및 상기 피처리 기판(10)을 가압하는 압력을 측정하기 위한 것으로, 상기 압력을 직접 측정하기 어려운 문제가 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)는 상기 가압 롤러(500)에 가장 가까운 구성인 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)와 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 사이, 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)와 상기 제2 미세 수직 이동부(330b) 사이에 배치시켜, 상기 압력의 측정 오차 및 상기 임프린트 장치의 구조적 간결성을 동시에 만족할 수 있다.
도 1 및 2를 다시 참조하면, 상기 임프린트 장치를 이용하여, 임프린트 공정을 진행할 수 있다. 상기 스테이지(100) 상에 상기 피처리 기판(10)을 로딩할 수 있다. 상기 피처리 기판(10) 상에는 상기 임프린트 레진층(미도시)이 형성될 수 있다.
이후, 상기 제1 프레임(200)을 상기 제1 방향(D1)으로 이동 시켜, 상기 가압 롤러(500)를 상기 피처리 기판(10) 상에 위치시킬 수 있다.
이후, 상기 제1 및 제2 수직 이동부들(230a, 230b)을 구동하여 상기 제2 프레임(300)을 상기 제3 방향(D3)으로 이동시켜, 상기 가압 롤러(500)를 제1 위치까지 1차적으로 이동시킬 수 있다. 상기 제1 위치는 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10) 상에 근첩하는 위치이다.
이후, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)를 독립적으로 구동하여, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)를 상기 제3 방향(D3)으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라 상기 가압 롤러(500)가 가압 위치인 제2 위치까지 이동할 수 있다. 이때, 상기 가압 롤러(500)는 위에서 설명된 바와 같이, 상기 피처리 기판(10)이 미세하게 기울어진 경우에도 상기 피처리 기판(10) 및 상기 필름(20)을 상기 제2 방향(D2)을 따라 균일하게 가압할 수 있다.
이후, 상기 제1 프레임(100)을 상기 제1 방향(D1)으로 이동시킴에 따라, 상기 가압 롤러(500)가 회전하며, 상기 제1 방향(D1)으로 상기 피처리 기판(10)을 따라 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 필름(10)에 형성된 스탬프(도 1의 설명 참조)가 상기 임프린트 레진층에 전사(imprint)될 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 임프린트 방법을 나타낸 순서도이다. 도 4는 도 3의 위치 보정 단계를 상세히 나타낸 순서도이다. 도 5는 도 3의 임프린트 방법을 나타낸 순서도이다. 상기 임프린트 방법은 도 1 및 2의 임프린트 장치를 이용하여 수행될 수 있다.
도 1 내지 5를 참조하면, 상기 임프린트 방법은 위치 보정 단계(S100) 및 임프린트 단계(S200)를 포함할 수 있다. 상기 위치 보정 단계(S100)는 임프린트 상태를 시험하는 단계(S110), 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계(S120), 및 확인 단계(S130)를 포함할 수 있다. 상기 임프린트 단계(S200)는 준비 단계(S210), 수직 이동 단계(S220), 미세 수직 이동 단계(S230) 및 가압 단계(S240)를 포함할 수 있다.
상기 위치 보정 단계(S100)에서는, 상기 임프린트 장치의 상기 가압 롤러(500)의 가압 위치를 미리 보정할 수 있다.
상기 임프린트 상태를 시험하는 단계(S110)에서는, 상기 가압 롤러(500)로 상기 피처리 기판(10)을 가압하여 임프린트를 진행할 수 있다. 이때, 상기 제1 센서부(420a)의 제1 기준 압력값 및 상기 제2 센서부(420b)의 제2 기준 압력값을 측정할 수 있다. 이와 동시에, 상기 피처리 기판(10) 상에는 감압지를 올려 놓는 등의 압력 상태를 측정할 수 있는 수단을 이용하여, 상기 감압지의 가압 상태를 확인하여, 압력의 분포를 측정할 수 있다. 이에 따라 압력이 불균일한 부분을 확인할 수 있다.
상기 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계(S120)에서는, 상기 감압지의 가압 상태 등을 바탕으로, 압력이 불균일한 부분을 확인할 수 있으며, 이를 바탕으로 상기 가압 롤러(500)의 위치를 보정할 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)를 독립적으로 이동 시켜, 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10)을 균일하게 가압하기 위한 보정된 가압 위치를 정할 수 있다.
상기 확인 단계(S130)에서는 상기 피처리 기판(10) 상에 새로운 감압지를 올려놓은 다음, 상기 보정된 가압 위치로 상기 가압 롤러(500)를 이용하여 임프린트 진행할 수 있다. 상기 감압지의 가압 상태가 균일하다면, 이때 측정된 상기 제1 센서부(420a)의 제1 보정 압력값 및 상기 제2 센서부(420b)의 제2 보정 압력값을 보정된 값으로 사용할 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)에서 측정되는 압력값이 각각 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값일 때, 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10)을 균일하게 가압하고 있는 것으로 판단할 수 있다.
상기 임프린트 단계(S200)에서는, 상기 스테이지 상에 상기 피처리 기판(10)을 위치시키고, 상기 피처리 기판 상에 임프린트를 진행할 수 있다. 예를 들면, 상기 피처리 기판(10) 상에 임프린트 레진층(미도시)을 형성한 후, 상기 필름(2) 상의 상기 스탬프를 상기 임프린트 레진층에 전사할 수 있다. 이때, 상기 UV 조사부를 이용하여, 상기 스탬프가 전사된 상기 임프린트 레진층을 경화 시킨 후, 상기 필름(2)을 상기 임프린트 레진층으로부터 분리시켜, 상기 임프린트를 진행할 수 있다. 상기 임프린트를 이용하여 표시 장치의 와이어 그리드 편광 소자 등을 제작할 수 있다.
상기 준비 단계(S210)에서는 상기 가압 롤러(500)를 상기 스테이지(100)로부터 상기 제3 방향(D3)의 반대방향으로 이격시킨 후, 상기 스테이지(100) 상에 상기 피처리 기판(10)을 로딩(loading)할 수 있다. 이후, 상기 제1 프레임(200)을 상기 제1 방향(D1)을 따라 이동시켜, 상기 가압 롤러(500)를 상기 피처리 기판(10) 상에 위치시킬 수 있다.
상기 수직 이동 단계(S220)에서는, 상기 제2 프레임(300)을 상기 제3 방향(D3)으로 이동시켜, 상기 가압 롤러(500)를 제1 위치까지 1차적으로 이동시킬 수 있다. 상기 제1 위치는 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10) 상에 근첩하는 위치이다.
상기 미세 수직 이동 단계(S230)에서는 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)를 독립적으로 이동 시켜, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)를 상기 제3 방향(D3)으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라 상기 가압 롤러(500)가 가압 위치인 제2 위치까지 이동할 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)는 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10)을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정할 수 있고, 이에 따라 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)를 독립적으로 구동하여, 상기 가압 롤러(500)의 적정 압력을 유지할 수 있다.
상기 가압 단계(S240)에서는 상기 가압 롤러(500)를 상기 제1 방향(D1)으로 이동시켜, 상기 피처리 기판(10) 전체에 상기 필름(2)을 전사할 수 있다. 상기 제1 프레임(200)이 상기 제1 방향(D1)으로 이동함에 따라, 상기 가압 롤러(500)가 상기 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 이에 따라 임프린트가 진행될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)는 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10)을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정할 수 있고, 이에 따라 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)를 독립적으로 구동하여, 상기 가압 롤러(500)의 적정 압력을 유지할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 임프린트 장치 및 임프린트 방법에 따르면, 제2 프레임을 수직 방향으로 이동시켜, 가압 롤러를 제1 위치까지 1차적으로 이동시킨 후, 제1 가압 롤러 지지부 및 제2 가압 롤러 지지부를 독립적으로 이동 시켜, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 가압 위치인 제2 위치까지 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 가압 롤러의 가압 위치를 정밀하게 이동시킬 수 있고, 임프린트 공정에 있어서 균일한 가압이 가능하다.
또한, 상기 임프린트 장치는 제1 센서부 및 제2 센서부를 포함하고, 상기 제1 및 제2 센서부를 통해 측정된 압력값을 이용하여, 제1 및 제2 미세 수직 이동부들을 구동하여, 균일한 가압이 가능하게 할 수 있다.
또한, 상기 임프린트 방법은 상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부를 통해 측정된 압력값을 이용하여, 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 미리 보정하는 위치 보정 단계를 더 포함할 수 있으며, 이에 따라 균일한 가압이 가능하게 할 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
2: 필름 10: 피처리 기판
20: 제1 롤 30: 제2 롤
40: 제1 가이드 롤러 50: 제2 가이드 롤러
100: 스테이지 200: 제1 프레임
300: 제2 프레임 400a: 제1 가압 롤러 지지부
400b: 제2 가압 롤러 지지부 500: 가압 롤러

Claims (20)

  1. 피처리 기판을 지지하는 스테이지;
    상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임;
    상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임;
    상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부;
    상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부;
    상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부;
    상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부;
    상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부; 및
    상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함하는 임프린트 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 프레임과 상기 제1 프레임 사이에 배치되는 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
    상기 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부에 의해 상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에 대해 상기 수직 방향으로만 이동 가능하며,
    상기 제1 수직 이동부는 상기 제1 프레임에 설치되어 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향을 따라 이동 시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제2 프레임과 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
    상기 제1 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제1 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동 시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제2 프레임과 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
    상기 제2 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동 시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 센서부; 및
    상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 센서부를 더 포함하고,
    상기 제1 및 제2 센서부는 각각 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이의 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 센서부는 로드셀(load cell) 또는 정전용량(cap) 타입의 압력 센서인 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    제1 수평 리니어 가이드가 형성되는 지지부를 더 포함하고,
    상기 제1 프레임에는 상기 제1 수평 리니어 가이드와 결합하는 제1 수평 리니어 가이드 결합부가 형성되어, 상기 제1 프레임은 상기 제1 수평 리니어 가이드를 따라 상기 수평 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부는 상기 가압 롤러를 사이에 두고 각각 좌측 및 우측에 배치되어, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부는 상기 수평 방향 및 상기 수직 방향과 수직한 방향으로 서로 이격되고,
    상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부는 각각 독립적으로 구동 가능한 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    필름을 제공하는 제1 롤;
    상기 필름을 회수하는 제2 롤; 및
    상기 필름 상에 스탬프를 제공하는 스탬프 제공부를 더 포함하고,
    상기 가압 롤러가 상기 스탬프가 형성된 상기 필름을 상기 스테이지 상의 상기 피처리 기판에 가압하고, 상기 가압 롤러를 상기 수평 방향으로 진행시켜 임프린트 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 수직 이동부는 서보 모터 이고,
    상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부는 각각 피에조 모터인 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  11. 스테이지, 상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임, 상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임, 상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부, 상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부, 상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함하는 임프린트 장치를 이용하여,
    상기 스테이지 상에 피처리 기판을 로딩(loading)하는 준비 단계;
    상기 제2 프레임을 상기 수직 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 제1 위치까지 1차적으로 이동시키는 수직 이동 단계;
    상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부를 독립적으로 이동 시켜 상기 가압 롤러를 상기 피처리 기판을 가압하는 가압 위치인 제2 위치까지 이동시키는 미세 수직 이동 단계; 및
    상기 제1 프레임을 상기 수평 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 상기 피처리 기판 상에서 상기 수평 방향으로 이동시키는 가압 단계를 포함하는 임프린트 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 임프린트 장치의 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 미리 보정하는 위치 보정 단계를 더 포함하고,
    상기 위치 보정 단계는,
    상기 가압 롤러의 가압 상태를 시험하는 임프린트 상태를 시험하는 단계;
    상기 가압 상태를 바탕으로, 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 보정하는 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계; 및
    보정된 상기 가압 위치를 이용하여 상기 가압 롤러의 가압 상태를 확인하는 확인 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 임프린트 장치는 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 센서부, 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 센서부를 더 포함하고, 상기 제1 및 제2 센서부는 각각 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이의 압력을 측정하고,
    상기 위치 보정 단계의 상기 임프린트 상태를 시험하는 단계는,
    상기 가압 롤러로 상기 피처리 기판을 가압하며, 상기 제1 센서부의 제1 기준 압력값 및 상기 제2 센서부의 제2 기준 압력값을 측정하고,
    이와 동시에 상기 피처리 기판과 상기 가압 롤러 사이에 감압지를 위치시켜, 상기 가압 상태를 측정하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계는,
    상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 이동 시켜, 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 균일하게 가압하기 위한 보정된 가압 위치를 결정하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 확인 단계는
    상기 보정된 상기 가압 위치를 이용하여 상기 가압 롤러로 상기 스테이지상의 새로운 감압지를 가압하여 가압 상태를 확인하고,
    이때, 상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부가 측정하는 압력값인 제1 보정 압력값 및 제2 보정 압력값을 보정된 압력값으로 결정하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 미세 수직 이동 단계에서는,
    상기 제1 및 제2 센서부는 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정하고, 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 구동하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  17. 제15 항에 있어서,
    상기 가압 단계에서는,
    상기 제1 및 제2 센서부는 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정하고, 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 구동하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  18. 제11 항에 있어서,
    상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 프레임 사이에 배치되는 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
    상기 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부에 의해 상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에 대해 상기 수직 방향으로만 이동 가능하며, 상기 제1 수직 이동부는 상기 제1 프레임에 설치되어 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향을 따라 이동 시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
    상기 제1 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제1 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
    상기 제2 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동시켜, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부는 별개로 구동되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
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