JP2014054735A - 転写装置および被成形体 - Google Patents
転写装置および被成形体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014054735A JP2014054735A JP2012199214A JP2012199214A JP2014054735A JP 2014054735 A JP2014054735 A JP 2014054735A JP 2012199214 A JP2012199214 A JP 2012199214A JP 2012199214 A JP2012199214 A JP 2012199214A JP 2014054735 A JP2014054735 A JP 2014054735A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- holding
- tensile force
- unit
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】シート状のモールドMの一端部を保持する第1の保持部3と、シート状のモールドMの他端部を保持する第2の保持部5と、各保持部3,5で保持しているモールドMに引張り力を付与する引張り力付与部7と、引張り力付与部7で引張り力が付与されているモールドMに皺が生成されることを防止するために、第1の保持部3に対する第2の保持部5の姿勢を調整する姿勢調整部9とを有する転写装置1である。
【選択図】図1
Description
第1のローラ13の幅方向の中心と、巻き掛けられているモールドMや被成形体保持体11に保持されている被成形体Wの幅方向の中心とは、お互いが一致している。
3 第1の保持部
5 第2の保持部
7 引張り力付与部
9 姿勢調整部
17 引張り力測定部
23 第1の保持部のクランプ爪
25 第2の保持部のクランプ爪
27 ベース体
29 ロードセル
31 ロードセル押圧体
33 弾性体
M モールド
M1 転写パターン
W 被成形体
Claims (5)
- シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成形体に転写する転写装置において、
前記シート状のモールドの一端部を保持する第1の保持部と、
前記シート状のモールドの他端部を保持する第2の保持部と、
前記各保持部で保持しているモールドに引張り力を付与する引張り力付与部と、
前記引張り力付与部で引張り力が付与されているモールドに皺が生成されることを防止するために、前記第1の保持部に対する前記第2の保持部の姿勢を調整する姿勢調整部と、
を有することを特徴とする転写装置。 - 請求項1に記載の転写装置において、
前記引張り力付与部で引張り力が付与されているモールドの引張り力を測定する複数の引張り力測定部を備え、
前記姿勢調整部は、前記各引っ張り力測定部で測定している引っ張り力がお互いに等しくなるように、前記第2の保持部を前記第1の保持部に対して回動位置決めする構成であることを特徴とする転写装置。 - 請求項2に記載の転写装置において、
前記姿勢調整部は、前記各引っ張り力測定部で測定している引っ張り力がお互いに等しくなるように、前記第2の保持部を前記第1の保持部に対し直線的に移動位置決めする構成であることを特徴とする転写装置。 - 請求項2または請求項3に記載の転写装置において、
前記第1の保持部は、一対のクランプ爪により前記モールドを挟み込んで保持するように構成されており、
前記第2の保持部は、一対のクランプ爪により前記モールドを挟み込んで保持するように構成されており、
前記第2の保持部の一対のクランプ爪は、前記姿勢調整部を構成するベース体に対して前記引っ張り力の付与方向で移動自在になっており、
前記引っ張り力測定部は、前記クランプ爪と前記ベース体との間に設けられているロードセルとロードセル押圧体と弾性体とを備えて構成されており、前記ロードセル押圧体が前記弾性体を介して前記ロードセルに押圧力を加えるように構成されていることを特徴とする転写装置。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の転写装置を用いて微細な転写パターンが形成されたことを特徴とする被成形体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012199214A JP5944800B2 (ja) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 転写装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012199214A JP5944800B2 (ja) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 転写装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014054735A true JP2014054735A (ja) | 2014-03-27 |
JP5944800B2 JP5944800B2 (ja) | 2016-07-05 |
Family
ID=50612501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012199214A Active JP5944800B2 (ja) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 転写装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5944800B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016162870A (ja) * | 2015-03-02 | 2016-09-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インプリント装置 |
KR20160134466A (ko) | 2015-05-14 | 2016-11-23 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 임프린트 방법 및 임프린트 장치 |
JP2017005085A (ja) * | 2015-06-09 | 2017-01-05 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
JPWO2016010105A1 (ja) * | 2014-07-17 | 2017-04-27 | 綜研化学株式会社 | ステップアンドリピート式インプリント装置及び方法 |
WO2020045101A1 (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | Scivax株式会社 | 作業装置 |
US10866509B2 (en) | 2016-07-05 | 2020-12-15 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Mold, imprint device, and imprint method |
US10946577B2 (en) | 2017-10-02 | 2021-03-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Imprinting apparatus |
CN113878988A (zh) * | 2020-07-02 | 2022-01-04 | 奇景光电股份有限公司 | 压印设备 |
JP2022000912A (ja) * | 2016-09-05 | 2022-01-04 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | マイクロパターンおよび/またはナノパターンをエンボス加工するための装置および方法 |
CN114953276A (zh) * | 2021-02-18 | 2022-08-30 | 上海鲲游科技有限公司 | 一种用于微纳米加工领域的脱模装置及其脱模方法 |
US11590688B2 (en) | 2020-07-02 | 2023-02-28 | Himax Technologies Limited | Imprinting apparatus |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007019451A (ja) * | 2005-06-10 | 2007-01-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ナノインプリント方法及び装置 |
WO2012070546A1 (ja) * | 2010-11-22 | 2012-05-31 | 旭硝子株式会社 | 転写装置及び樹脂パターン製造方法 |
-
2012
- 2012-09-11 JP JP2012199214A patent/JP5944800B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007019451A (ja) * | 2005-06-10 | 2007-01-25 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ナノインプリント方法及び装置 |
WO2012070546A1 (ja) * | 2010-11-22 | 2012-05-31 | 旭硝子株式会社 | 転写装置及び樹脂パターン製造方法 |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016010105A1 (ja) * | 2014-07-17 | 2017-04-27 | 綜研化学株式会社 | ステップアンドリピート式インプリント装置及び方法 |
KR20160106485A (ko) | 2015-03-02 | 2016-09-12 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 임프린트 장치 |
US9950463B2 (en) | 2015-03-02 | 2018-04-24 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Imprinting device |
TWI668098B (zh) * | 2015-03-02 | 2019-08-11 | 日商松下知識產權經營股份有限公司 | Imprinting device |
JP2016162870A (ja) * | 2015-03-02 | 2016-09-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インプリント装置 |
KR102388886B1 (ko) | 2015-03-02 | 2022-04-20 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 임프린트 장치 |
KR20160134466A (ko) | 2015-05-14 | 2016-11-23 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 임프린트 방법 및 임프린트 장치 |
US10105874B2 (en) | 2015-05-14 | 2018-10-23 | Panasonic Intellectial Property Management Co., Ltd. | Imprinting method and imprinting device |
JP2017005085A (ja) * | 2015-06-09 | 2017-01-05 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
US10866509B2 (en) | 2016-07-05 | 2020-12-15 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Mold, imprint device, and imprint method |
JP2022000912A (ja) * | 2016-09-05 | 2022-01-04 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | マイクロパターンおよび/またはナノパターンをエンボス加工するための装置および方法 |
US11472212B2 (en) | 2016-09-05 | 2022-10-18 | Ev Group E. Thallner Gmbh | Device and method for embossing micro- and/or nanostructures |
US10946577B2 (en) | 2017-10-02 | 2021-03-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Imprinting apparatus |
JPWO2020045101A1 (ja) * | 2018-08-29 | 2021-09-02 | Scivax株式会社 | 作業装置 |
WO2020045101A1 (ja) * | 2018-08-29 | 2020-03-05 | Scivax株式会社 | 作業装置 |
CN113878988A (zh) * | 2020-07-02 | 2022-01-04 | 奇景光电股份有限公司 | 压印设备 |
KR20220003965A (ko) * | 2020-07-02 | 2022-01-11 | 하이맥스 테크놀로지스 리미티드 | 임프린팅 장치 |
JP2022013727A (ja) * | 2020-07-02 | 2022-01-18 | 奇景光電股▲ふん▼有限公司 | インプリント装置 |
JP7136969B2 (ja) | 2020-07-02 | 2022-09-13 | 奇景光電股▲ふん▼有限公司 | インプリント装置 |
US11531267B2 (en) | 2020-07-02 | 2022-12-20 | Himax Technologies Limited | Imprinting apparatus |
US11590688B2 (en) | 2020-07-02 | 2023-02-28 | Himax Technologies Limited | Imprinting apparatus |
KR102630144B1 (ko) * | 2020-07-02 | 2024-01-29 | 하이맥스 테크놀로지스 리미티드 | 임프린팅 장치 |
CN114953276A (zh) * | 2021-02-18 | 2022-08-30 | 上海鲲游科技有限公司 | 一种用于微纳米加工领域的脱模装置及其脱模方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5944800B2 (ja) | 2016-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5944800B2 (ja) | 転写装置 | |
JP5912996B2 (ja) | 転写装置 | |
US9841673B2 (en) | Imprint apparatus and article manufacturing method | |
US9682510B2 (en) | Imprint apparatus and method of manufacturing article | |
WO2012046660A1 (ja) | モールド剥離装置 | |
CN110328264B (zh) | 板状金属材料的弯曲成形装置 | |
JP5597420B2 (ja) | シート状モールド移送位置決め装置 | |
JP5603621B2 (ja) | シート状モールド位置検出装置、転写装置および転写方法 | |
JP7115925B2 (ja) | インプリント装置及びこれを用いたインプリント方法 | |
WO2008087573A2 (en) | Method and system for contacting of a flexible sheet and a substrate | |
TW201204565A (en) | Transfer system and transfer method | |
US20140072768A1 (en) | Transfer device, molded material and transfer method | |
JP5520642B2 (ja) | 転写装置 | |
KR20150104030A (ko) | 임프린트 장치 및 패턴 형성 방법 | |
US10042250B2 (en) | Imprint apparatus, imprinting mold, and method of manufacturing article | |
JP2005005284A (ja) | 微細加工装置およびこれを用いたデバイス | |
JP2005231761A (ja) | 薄板の垂直保持装置 | |
JP5931650B2 (ja) | 転写装置および転写方法 | |
JP2006064455A (ja) | 基準格子製造方法及び基準格子製造装置 | |
JP4465690B2 (ja) | 基板の垂直保持装置 | |
JP4729337B2 (ja) | ジンバル機構を備えた転写装置及び同装置を用いる転写方法 | |
KR20160007377A (ko) | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
JP2016021442A (ja) | インプリント装置及び物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150708 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160301 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5944800 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |