JP4465690B2 - 基板の垂直保持装置 - Google Patents
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Description
特許文献1に開示されているように、測定するガラス基板を水平に置いて、自重の影響を無くす工夫がされている。この従来技術においては、ガラス基板の下方から、該ガラス基板の単位面積あたりの重量に等しい空気圧力を付与して、ガラス基板を水平に保持しようというものであるが、装置が大掛かりとなり、制御が面倒であり且つ高価となる等、デメリットが多かった。そこで、この被測定物であるガラス基板を今度は垂直に保持して自重の影響を少なくしようとする考え方が提案されている。
これによりガラス基板などが保持材平面を滑って変位するので、アラインメントの際、保持部材から、基板面に垂直な成分を有する応力がかからず、ひねりなどの歪を生じることなく、調整可能となる。前記調節手段は、前記基板の上端面に当接している第2保持部材を垂直方向(上下方向)に調節して、付勢若しくは押圧可能な手段であって特に限定する必要はないが、応力調節用のねじを備えたバネ、圧力調整手段を備えた油圧シリンダ、空気圧シリンダなどが挙げられる。
上記基板の垂直保持装置は、前記一対の第1保持部材と前記第2保持部材とが前記基板を垂直保持した状態で、前記一対の第1保持部材のそれぞれを、前記基板のなす平面に直交する方向に移動させる移動手段をさらに備えることが好ましい。
また上記基板の垂直保持装置は、前記一対の第1保持部材の少なくとも一方を移動させて、前記一対の第1保持部材の間隔を調整する間隔調整手段をさらに備えていることが好ましい。
1. 方形薄板を簡単な構成で精度よく垂直保持が可能である。
2. 歪のかかり易い薄板の垂直保持位置若しくは姿勢を、歪をかけることなく調節可能とした。
3. 薄板の形状が大型化しても精度よく垂直保持が達成できる。
基板保持機構は、ベース10上の略中央部に下部保持部20が構成されており、下部保持部本体21が載置されており、その中央に間隔をおいて保持部材22,23が配置され、且つその下部でねじ軸24と連結されている。しかも両保持部材22,23の中間位置にてねじ軸24のねじが逆ねじに形成されており、ねじ軸24を回転させることで、保持部材22,23は近づく方向或いは遠ざかる方向へ移動可能になっている。一方上部保持部30が、該下部保持部20の長手方向中央部に位置するベース10上へ柱状保持部本体31に構成されており、この本体31内に内蔵したねじ送り機構32に連結されたスライド部33の下部に、上部保持部34が装着されている。この上部保持部34は上下動のみ自在で、下部保持部20は横方向に両者間隔の調整が可能になっている。
この測定部70は測定する際、ガラス基板の両側に位置され、非接触で両側の形状測定が可能になっている。また、この測定機構においては、前記上下動手段40,50のねじ送り機構42,52はさらにベース10上に設けたねじ送り機構53を介してモータ等の駆動手段54へ連結されており、この駆動手段の駆動により、2つの上下手段40,50は同期して移動することになる。
この時の抵抗力即ち摩擦力は基板自体の自重と上下方向の押え力であり、無理な力が加わらないように設定することで、ガラス基板へゆがみを発生することを抑えられる。特に、図3に示したように、当接する平面の接触面積を加減することでも摩擦力を調整できる。また、調節移動させる側の保持部材を回転できるようにすることで、アライメント作業時の動きによる摩擦発生をより少なく出来る(図3(D))。
なお、薄板を垂直保持する場合、上部保持部材側を下降させて、上下保持部材の各平面が接触してから更に下降させて、圧力(予圧)保持させることにより確実性が高まるものである。この圧力は小さくて良い。
20 下部保持部
21 下部保持部本体
22 保持部材
23 保持部材
24 ねじ軸
30 上部保持部
31 保持部本体
32 ねじ送り機構
33 スライド部
34 上部保持部材
40 上下動手段
41 エアスライド(機構)
42 ねじ送り(機構)
50 上下動手段
51 エアスライド(機構)
52 ねじ送り(機構)
53 ねじ送り機構
54 駆動手段(モータ)
60 測定駆動手段
61 リニアモータ
62 スライド部材
100 薄板(基板)
22′ 従来の保持部材
23′ 従来の保持部材
34′ 従来の保持部材
Claims (6)
- 方形の基板の平面精度又は形状を測定するために前記基板を垂直に保持する基板測定用垂直保持装置であって、
第1平坦面を有し、前記第1平坦面と前記基板の下端面とが当接するように前記基板が載置される一対の第1保持部材と、
第2平坦面を有し、前記一対の第1保持部材の前記第1平坦面上に載置された前記基板の上端面を前記第2平坦面で押さえて前記基板を垂直保持する第2保持部材と、
前記第2保持部材を上下方向に移動させて、前記第2保持部材の前記基板に対する押さえ力を調節する調節手段とを備え、
前記基板は、前記一対の第1保持部材及び前記第2保持部材によって3点支持されることを特徴とする基板測定用垂直保持装置。 - 前記一対の第1保持部材と前記第2保持部材とが前記基板を垂直保持した状態で、前記一対の第1保持部材のそれぞれを、前記基板のなす平面に直交する方向に移動させる移動手段をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の基板測定用垂直保持装置。
- 前記一対の第1保持部材および前記第2保持部材が、前記第1平坦面および前記第2平坦面の両側に前記基板に沿って配置される凸部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の基板測定用垂直保持装置。
- 前記一対の第1保持部材の少なくとも一方を移動させて、前記一対の第1保持部材の間隔を調整する間隔調整手段をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板測定用垂直保持装置。
- 前記第1平坦面および前記第2平坦面の少なくとも一方の表面は、研磨された金属又はプラスチックで形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板測定用垂直保持装置。
- 方形の基板を垂直に保持する垂直保持装置であって、
第1平坦面を有し、前記第1平坦面と前記基板の下端面とが当接するように前記基板が載置される一対の第1保持部材と、
第2平坦面を有し、前記一対の第1保持部材の前記第1平坦面上に載置された前記基板の上端面を前記第2平坦面で押さえて前記基板を垂直保持する第2保持部材と、
前記第2保持部材を上下方向に移動させて、前記第2保持部材の前記基板に対する押さえ力を調節する調節手段と、
前記一対の第1保持部材と前記第2保持部材とが前記基板を垂直保持した状態で、前記一対の第1保持部材のそれぞれを、前記基板のなす平面に直交する方向に移動させる移動手段とを備えることを特徴とする基板の垂直保持装置。
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