JP2019045312A - スタイラス及び表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】装置を複雑化することなく輪郭形状測定と表面粗さ測定を行なうことができる表面形状測定装置を提供する。【解決手段】当該表面形状測定装置1の測定ユニット10は、スタイラス14と、スタイラス14の変位を測定する変位測定部24と、測定力を変更する測定力変更部26と、を備える。スタイラス14は、スタイラス本体18の側方にそれぞれ突出する第1触針20及び第2触針22を有し、第2触針22の先端の曲率半径は第1触針20の先端の曲率半径よりも大きくなっている。測定力変更部26は、第1触針20で測定を行なうときには測定力を微小な第1測定力とし、第2触針22で測定を行なうときには測定力を第1測定力よりも大きい第2測定力とする。【選択図】図2
Description
本発明は、被測定物の表面形状測定を行なうためのスタイラス、及び該スタイラスを備えた表面形状測定装置に関する。
1つの被測定物に対して、真円度やうねりなどの輪郭形状の測定と、表面粗さの測定とを両方とも行ないたい場合がある。表面粗さ測定において使用されるスタイラスは、被測定物の表面の極細かい凹凸に追従するように先端の曲率半径が数μm程度のものが通常は使用される。また、表面粗さ測定における測定力は、鋭利なスタイラスで表面に傷を付けないようにするために、1mN程度の微小な力とされる。一方で輪郭形状測定において使用されるスタイラスは、比較的に広い領域を高速で移動させて測定ができるように先端の曲率半径が数十から数百μm程度の比較的に大きなものが通常は使用される。また、輪郭形状測定における測定力は、数十から数百mNの比較的に大きな力とされる。このように、表面粗さ測定と輪郭形状測定とでは使用されるスタイラスの形状および測定時の好ましい測定力が大きく異なるため、1つの測定装置において同一の触針を使用して両方の測定を行なうことは不可能であるか、又は可能であったとしても精度や効率が悪くなる。そのため、多くの場合は表面粗さ測定と輪郭形状測定はそれぞれ別の装置で個別に行なわれていた。
異なる測定装置で表面粗さ測定と輪郭形状測定を行なう場合、被測定物をまず1つ目の測定機(例えば表面粗さ測定装置)上に正確に位置決めして載置し、またスタイラスの位置決め等の各種設定を行なって最初の測定(表面粗さ測定)を行なう。その測定が終わると、被測定物を2つ目の測定機(例えば真円度測定装置)上に改めて正確に位置決めして載置した上で各種設定を行ってから次の測定(真円度測定)を行なうことになる。このように、複数の測定装置を使用する場合には、被測定物の設置や各種設定がその都度必要となるため、測定作業は非常に煩雑であり時間のかかるものとなる。また、2つの測定装置での被測定物の測定箇所を正確に合わせる必要がある場合には、スタイラスの位置決め作業はさらに煩雑なものとなる。
このような測定作業の煩雑さを解消するために、1つの測定装置に表面粗さ測定用の測定ユニットと輪郭形状測定用の測定ユニットを設けた測定装置が開発されている(特許文献1)。
しかしながら、2つの測定ユニットを有する測定装置においては、被測定物の載せ替え作業は軽減されるものの、測定ユニットが増えることに加えて測定ユニットの移動機構も増えるために装置全体が複雑な構造となり、装置が大型化し、また高価なものとなってしまう。
そこで本発明は、1つの測定装置で輪郭形状測定と表面粗さ測定などの異なる表面形状測定を容易に行なうことを可能とするスタイラス、及び該スタイラスを備え、装置を複雑化することなく異なる種類の表面形状測定を容易に行なうことを可能とする表面形状測定装置を提供することを目的とする。
すなわち本発明は、
被測定物の表面形状測定を行なうためのスタイラスであって、
細長いスタイラス本体と、
該スタイラス本体から該スタイラス本体の側方に突出し、先端が第1曲率半径を有する第1触針と、
該スタイラス本体から該第1触針とは異なる向きで側方に突出し、先端が該第1曲率半径よりも大きい第2曲率半径を有する第2触針と、
を備え、
表面形状測定時に該第1触針と該第2触針とのうちの一方が被測定物の表面に選択的に接触されるようにされたスタイラスを提供する。
被測定物の表面形状測定を行なうためのスタイラスであって、
細長いスタイラス本体と、
該スタイラス本体から該スタイラス本体の側方に突出し、先端が第1曲率半径を有する第1触針と、
該スタイラス本体から該第1触針とは異なる向きで側方に突出し、先端が該第1曲率半径よりも大きい第2曲率半径を有する第2触針と、
を備え、
表面形状測定時に該第1触針と該第2触針とのうちの一方が被測定物の表面に選択的に接触されるようにされたスタイラスを提供する。
当該スタイラスにおいては、曲率半径の異なる2つの触針を備えていて、表面形状測定時に2つの触針のうちの一方を選択して使用することができるようになっている。そのため、例えば第1触針の第1曲率半径を表面粗さの測定に適した大きさとし、第2触針の第2曲率半径を真円度やうねりなどの輪郭形状の測定に適した大きさとすることにより、表面粗さ測定と輪郭形状測定とを一つのスタイラスで行なうことが可能となる。したがって、表面粗さ測定と輪郭形状測定などの異なる表面形状測定を一つの測定装置で行なうようにすることが可能となり、またその際にはスタイラスを含む測定ユニットを複数設ける必要もない。
具体的には、該第1触針と該第2触針とが、該スタイラス本体の長手軸線に略直交する方向で互いに反対向きに該スタイラス本体から突出しているようにすることができる。
さらに具体的には、該第1曲率半径が1μmから10μmであり、該第2曲率半径が10μmから1000μmであるようにすることができる。
また本発明は、
上述のスタイラスと、
表面形状測定時の該スタイラスの変位を測定する変位測定部と、
該第1触針又は該第2触針が被測定物の表面を押圧する測定力を変更する測定力変更部であって、該第1触針で表面形状測定を行なうときには該測定力を第1測定力とし、該第2触針で表面形状測定を行なうときには該測定力を該第1測定力よりも大きい第2測定力とするようにされた、測定力変更部と、
を備える表面形状測定装置を提供する。
上述のスタイラスと、
表面形状測定時の該スタイラスの変位を測定する変位測定部と、
該第1触針又は該第2触針が被測定物の表面を押圧する測定力を変更する測定力変更部であって、該第1触針で表面形状測定を行なうときには該測定力を第1測定力とし、該第2触針で表面形状測定を行なうときには該測定力を該第1測定力よりも大きい第2測定力とするようにされた、測定力変更部と、
を備える表面形状測定装置を提供する。
当該表面形状測定装置においては、使用する触針に合せて測定力を変更できるようになっているため、例えば、第1触針で表面粗さ測定をするときにはそれに適した大きさの測定力とし、第2触針で輪郭形状測定をするときにはそれに適した大きさの測定力に変更することができる。これにより、表面粗さ測定と輪郭形状測定とを適切な条件でより精確に行なうことが可能となる。
好ましくは、該変位測定部及び該測定力変更部を保持するとともに該スタイラスを揺動可能に支持するハウジングをさらに備え、該ハウジングは、該スタイラス本体の長手軸線の周りで該スタイラスを回転させる回転部を有するようにすることができる。
このような構成により、第1触針及び第2触針の向きを被測定物の形状に合わせて変更して、被測定物の様々な方向に面した表面の測定をすることが可能となる。
好ましくは、
該スタイラスはスタイラス基部をさらに有し、該スタイラス本体は、該スタイラス本体の長手軸線に直交する枢動軸線の周りで該スタイラス基部に対して枢動可能とされ、
表面形状測定時に、該スタイラス本体は該スタイラス基部に対して枢動しないように保持されて、該スタイラス基部が該スタイラス本体とともに変位するようにされ、
該変位測定部は、該スタイラス基部において該スタイラスの変位を測定するようにすることができる。
該スタイラスはスタイラス基部をさらに有し、該スタイラス本体は、該スタイラス本体の長手軸線に直交する枢動軸線の周りで該スタイラス基部に対して枢動可能とされ、
表面形状測定時に、該スタイラス本体は該スタイラス基部に対して枢動しないように保持されて、該スタイラス基部が該スタイラス本体とともに変位するようにされ、
該変位測定部は、該スタイラス基部において該スタイラスの変位を測定するようにすることができる。
スタイラス本体が枢動するようにすることにより、第1触針及び第2触針の向きを被測定物の形状に合わせて変更して、被測定物の様々な方向に面した表面の測定をすることが可能となる。
また、表面形状測定時に、該スタイラスが被測定物の表面形状変化に応じて該枢動軸線の周りで揺動するようにすることができる。
好ましくは、該変位測定部及び該測定力変更部を保持するとともに該スタイラスを揺動可能に支持するハウジングをさらに備え、該ハウジングは、該枢動軸線に対して垂直な回転軸線の周りで該スタイラスを回転させる回転部を有するようにすることができる。
このような構成により、第1触針及び第2触針の向きの自由度がさらに大きくなり、被測定物の更に多くの面の測定を行なうことが可能となる。
具体的には、
被測定物を保持する被測定物保持部と、
該スタイラスの該第1触針又は該第2触針が該被測定物保持部に保持された被測定物の表面と接触しながら該表面上を移動するように、該スタイラスと該被測定物保持部とを相対的に移動させる移動機構と、
該スタイラスの向きが変更されたときに、該第1測定力又は該第2測定力を維持するように該測定力変更部を制御する制御部と、
をさらに備えるようにすることができる。
被測定物を保持する被測定物保持部と、
該スタイラスの該第1触針又は該第2触針が該被測定物保持部に保持された被測定物の表面と接触しながら該表面上を移動するように、該スタイラスと該被測定物保持部とを相対的に移動させる移動機構と、
該スタイラスの向きが変更されたときに、該第1測定力又は該第2測定力を維持するように該測定力変更部を制御する制御部と、
をさらに備えるようにすることができる。
以下、本発明に係るスタイラス及び表面形状測定装置の実施形態を添付図面に基づき説明する。
本発明の一実施形態に係る表面形状測定装置1は、図1に示すように、装置本体部2と、被測定物Oを保持するためのステージ(被測定物保持部)3と、測定ユニット10とを備える。また、測定ユニット10を被測定物Oに対して相対的に移動させるための移動機構として、測定ユニット10を3軸方向に直線移動させる直動機構4と、ステージ3を回転させる回転機構5とを備える。当該表面形状測定装置1は、後述するように、円柱状の被測定物Oの真円度やうねりなどの輪郭形状の測定と表面粗さの測定とを行なうことが可能となっている。
測定ユニット10は、図2に示すように、直動機構4に固定されるハウジング12と、ハウジング12から図で見て下方に延出するスタイラス14とを備える。スタイラス14は、ハウジング12内に位置するスタイラス基部16と、スタイラス基部16に対して枢動可能に連結された細長いスタイラス本体18と、スタイラス本体18からその側方にそれぞれ突出する第1触針20及び第2触針22とを有する。第1触針20及び第2触針22は、スタイラス本体18の長手軸線Lに直交する方向で互いに反対向きに突出するように設けられている。また、第2触針22の先端の曲率半径(第2曲率半径)は第1触針20の先端の曲率半径(第1曲率半径)よりも大きくなっている。第1触針20と第2触針22の各先端の曲率半径は適宜変更可能であり、好ましくは第1触針20の曲率半径は1μmから10μm、第2触針22の曲率半径は10μmから1000μmである。なお本実施形態においては、第1触針20は被測定物Oの表面粗さを測定する際に使用され、その先端の曲率半径は2μmとなっており、第2触針22は被測定物Oの真円度又はうねりを測定する際に使用され、その曲率半径は800μmとなっている。第1触針20及び第2触針22の各曲率半径は、測定対象物、測定項目、要求される測定精度等によっては上記範囲外の大きさとしてもよい。
測定ユニット10のハウジング12内にはさらに、スタイラス14の変位を測定するための変位測定部24と、スタイラス14の測定力を変更するための測定力変更部26とが設けられている。具体的には、変位測定部24は、差動トランスにより構成され、スタイラス基部16においてスタイラス14の変位を測定して第1触針20又は第2触針22の変位量を求めるようになっている。また測定力変更部26は、ボイスコイルにより構成され、スタイラス基部16に対して力を加えて第1触針20又は第2触針22での測定力を変更するようになっている。なお、測定力とは表面形状測定時に第1触針20又は第2触針22が被測定物Oの表面を押圧する力をいう。
スタイラス本体18は、スタイラス基部16との連結部28において、長手軸線Lに直交する枢動軸線Mの周りでスタイラス基部16に対して左右におよそ90度ずつ枢動するようになっている。またスタイラス14は、連結部28において枢動軸線Mの周りで揺動可能なようにハウジング12に支持されている。スタイラス本体18は、スタイラス本体18の自重や表面形状測定時の測定力程度の大きさの力によっては枢動しないが作業者が手で力を加えれば容易に枢動するような大きさの静摩擦力により、連結部28でスタイラス基部16に保持されている。したがって、表面形状測定時においては、スタイラス本体18がスタイラス基部16に対して枢動することは基本的にはなく、スタイラス基部16は被測定物Oの表面形状の変化に合わせてスタイラス本体18とともに枢動軸線Mの周りで揺動する。
ハウジング12は、直動機構4に固定されるハウジング固定部30と、スタイラス14を揺動可能に支持するハウジング本体32と、ハウジング固定部30とハウジング本体32との間の回転部34とを有し、回転部34によりハウジング本体32はハウジング固定部30に対して回転可能となっている。ハウジング本体32は、枢動軸線Mに対して垂直な回転軸線Nの周りで回転するようになっている。なお、回転軸線Nは、図2のようにスタイラス本体18が真下に延びているときのスタイラス本体18の長手軸線Lと同一直線上にある。
上述のようなスタイラス本体18の枢動及びハウジング本体32の回転により、第1触針20又は第2触針22を様々な方向に向けることができるようになっている。これにより、第1触針20又は第2触針22を被測定物Oの任意の表面に選択的に接触させることができるようにしている。
当該表面形状測定装置1による輪郭形状測定と表面粗さ測定の方法について以下に説明する。
例えば図示のような円柱状の被測定物Oの側周面O−1の表面形状測定を行なう場合には、まず図1に示すように、被測定物Oを回転機構5の回転中心と被測定物Oの中心軸線とが一致するように回転機構5のステージ3上に載置する。次に被測定物Oの表面粗さ測定を行なうために、図2に示すようにスタイラス14の第1触針20が被測定物Oの側周面O−1に接触するように測定ユニット10を直動機構4によって移動させる。そして、回転機構5によって被測定物Oを回転させて、第1触針20を被測定物Oの側周面O−1上で相対的に移動させる。このとき、第1触針20が被測定物Oの表面を押圧する力、すなわち測定力は、測定力変更部26によって所定の値となるように制御されている。本実施形態においては、第1触針20に対する測定力(第1測定力)は、0.75mN以下となっている。第1触針20が側周面O−1上を相対的に移動するとスタイラス14は表面の凹凸に応じて揺動する。このスタイラス14の変位は変位測定部24によってスタイラス基部16において測定され、表面粗さの測定データとして記録される。次に被測定物Oの真円度測定を行うために、図3に示すようにハウジング本体32を回転軸線Nの周りで180度回転させてスタイラス14の第2触針22を被測定物Oの側周面O−1に向け、直動機構4により測定ユニット10を移動させて第2触針22を側周面O−1に接触させる。このとき、測定力は測定力変更部26によって第1触針20による表面粗さ測定の時よりも大きな値に変更される。本実施形態においては、第2触針22に対する測定力(第2測定力)は、250mN程度となっている。次に、回転機構5によって被測定物Oが回転され、第2触針22が被測定物Oの側周面O−1上で相対的に移動すると、スタイラス14は表面の形状に応じて揺動する。このスタイラス14の変位は変位測定部24によって測定され、真円度の測定データとして記録される。
また、被測定物Oの上面O−2の表面粗さ測定を行なう場合には、図3の状態からスタイラス本体18を90度枢動させて第1触針20が下方に向くようにし、図4に示すように該第1触針20が被測定物Oの上面O−2に接触するように測定ユニット10を直動機構4で移動させる。次に、測定力変更部26により測定力を所定の値(例えば、0.75mN)とする。次に、第1触針20が該上面O−2に沿って移動するように測定ユニット10を直動機構4で移動させて、そのときのスタイラス14の変位を変位測定部24で測定して表面粗さの測定データとして記録する。同様に被測定物Oの上面O−2のうねりなどの輪郭形状の測定を行なう場合には、図4の状態から、ハウジング12の回転部34を回転軸線Nの周りで180度回転させるとともにスタイラス本体18を枢動軸線Mの周りで180度枢動させて第2触針22が該上面O−2上で下方に向くようにし、図5に示すように該第2触針22が被測定物Oの上面O−2に接触するように測定ユニット10を直動機構4で移動させる。次に、測定力変更部26により測定力を所定の値(例えば、250mN)に変更する。そして、第2触針22が該上面O−2に沿って移動するように測定ユニット10を直動機構4で移動させて、そのときのスタイラス14の変位を変位測定部24で測定してうねりの測定データとして記録する。
なお、スタイラス本体18が枢動したことによりスタイラス14には枢動軸線Mの周りで図2のときとは異なるモーメントが作用するようになるため、第1触針20又は第2触針22で同じ測定力を発生させるためには測定力変更部26がスタイラス基部16に対して図2のときとは異なる大きさの力を作用させる必要がある。当該表面形状測定装置1に内蔵された制御部(図示しない)は、このようにスタイラス本体18の枢動角度が変更されたり又はスタイラス14全体の向きが変更されたりしたときに、測定力が設定された所定の大きさに維持されるように測定力変更部26を制御するようになっている。すなわち、スタイラス本体18の枢動角度やスタイラス14の向きが変化しても測定力が変化しないように、測定力変更部26は制御部からの制御に基づいてスタイラス基部16に付加する力の大きさ及び向きを適宜変更するようになっている。
このように当該表面形状測定装置1においては、スタイラス14が表面粗さ測定用の第1触針20と真円度測定又はうねり測定用の第2触針22を備えているため、1つの測定装置で表面粗さ測定と真円度やうねりなどの輪郭形状測定とを容易に行なうことが可能となる。また、測定力変更部26により、使用する触針に合せて適切な大きさの測定力を設定することができるため、通常は異なる大きさの測定力が必要とされる表面粗さ測定と輪郭形状測定を両方とも最適な条件で行なうことが可能となり高い測定精度を得ることができる。さらには、スタイラス本体18の枢動及びハウジング本体32の回転により第1触針20及び第2触針22を任意の方向に自在に向けられるようになっているため、被測定物Oの様々な面に第1触針20と第2触針22とのうちの一方を選択的に接触させて、その面の表面形状測定を行なうことが可能となる。
本発明の別の実施形態に係る表面形状測定装置においては、図6に示すように、測定ユニット10が横向きに固定されている。測定ユニット10をどのような向きで固定するかは、測定のしやすさを考慮して適宜変更可能である。
以上に本発明の実施形態について説明をしたが、本発明はこれら実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態においては主として円柱状の被測定物Oの測定を行なうための装置としているが、平板などの他の形状の部材の測定を行なうための装置としてもよい。また、移動機構は、ステージ3を水平方向や垂直方向に移動させる別の直動機構や、測定ユニット10の向きを変更する別の回転機構などの、他の機構を上記実施形態における移動機構に替えて又は追加して設けても良い。また、スタイラス本体18が枢動する構成とハウジング本体32が回転する構成は必ずしも必要ではなく、例えばスタイラス本体18をスタイラス基部16と一体の部材として構成してもよいし、ハウジング12には回転部34を設けずに移動機構に測定ユニット10を回転させる機構を設けてスタイラス14を回転させるようにしても良い。さらには、スタイラス14に設けられる触針は2つに限られず、3つ以上の触針が設けられていても良い。
1 表面形状測定装置 2 装置本体部
3 ステージ(被測定物保持部) 4 直動機構
5 回転機構 10 測定ユニット
12 ハウジング 14 スタイラス
16 スタイラス基部 18 スタイラス本体
20 第1触針 22 第2触針
24 変位測定部 26 測定力変更部
28 連結部 30 ハウジング固定部
32 ハウジング本体 34 回転部
L 長手軸線 M 枢動軸線
N 回転軸線 O 被測定物
O−1 側周面 O−2 上面
Claims (9)
- 被測定物の表面形状測定を行なうためのスタイラスであって、
細長いスタイラス本体と、
該スタイラス本体から該スタイラス本体の側方に突出し、先端が第1曲率半径を有する第1触針と、
該スタイラス本体から該第1触針とは異なる向きで側方に突出し、先端が該第1曲率半径よりも大きい第2曲率半径を有する第2触針と、
を備え、
表面形状測定時に該第1触針と該第2触針とのうちの一方が被測定物の表面に選択的に接触されるようにされたスタイラス。 - 該第1触針と該第2触針とが、該スタイラス本体の長手軸線に略直交する方向で互いに反対向きに該スタイラス本体から突出している、請求項1に記載のスタイラス。
- 該第1曲率半径が1μmから10μmであり、該第2曲率半径が10μmから1000μmである、請求項1又は2に記載のスタイラス。
- 請求項1乃至3の何れか一項に記載のスタイラスと、
表面形状測定時の該スタイラスの変位を測定する変位測定部と、
該第1触針又は該第2触針が被測定物の表面を押圧する測定力を変更する測定力変更部であって、該第1触針で表面形状測定を行なうときには該測定力を第1測定力とし、該第2触針で表面形状測定を行なうときには該測定力を該第1測定力よりも大きい第2測定力とするようにされた、測定力変更部と、
を備える表面形状測定装置。 - 該変位測定部及び該測定力変更部を保持するとともに該スタイラスを揺動可能に支持するハウジングをさらに備え、該ハウジングは、該スタイラス本体の長手軸線の周りで該スタイラスを回転させる回転部を有する、請求項4に記載の表面形状測定装置。
- 該スタイラスはスタイラス基部をさらに有し、該スタイラス本体は、該スタイラス本体の長手軸線に直交する枢動軸線の周りで該スタイラス基部に対して枢動可能とされ、
表面形状測定時に、該スタイラス本体は該スタイラス基部に対して枢動しないように保持されて、該スタイラス基部が該スタイラス本体とともに変位するようにされ、
該変位測定部は、該スタイラス基部において該スタイラスの変位を測定するようにされた、請求項4に記載の表面形状測定装置。 - 表面形状測定時に、該スタイラスが被測定物の表面形状の変化に応じて該枢動軸線の周りで揺動するようにされている、請求項6に記載の表面形状測定装置。
- 該変位測定部及び該測定力変更部を保持するとともに該スタイラスを揺動可能に支持するハウジングをさらに備え、該ハウジングは、該枢動軸線に対して垂直な回転軸線の周りで該スタイラスを回転させる回転部を有する、請求項6又は7に記載の表面形状測定装置。
- 被測定物を保持する被測定物保持部と、
該スタイラスの該第1触針又は該第2触針が該被測定物保持部に保持された被測定物の表面と接触しながら該表面上を移動するように、該スタイラスと該被測定物保持部とを相対的に移動させる移動機構と、
該スタイラスの向きが変更されたときに、該第1測定力又は該第2測定力を維持するように該測定力変更部を制御する制御部と、
をさらに備える、請求項4乃至8のいずれか一項に記載の表面形状測定装置。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200622 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210706 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20211228 |