JP2005231761A - 薄板の垂直保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】方形の薄板100の外周端面の複数部位を保持する保持部材22,23,34を有し、該保持部材22,23,34が、前記薄板100の端面と当接保持する平面を備え、該平面で前記端面を当接微圧接触して保持可能とし、前記微圧が前記方形の薄板100を垂直に保持するに十分な圧力であって、且つ前記薄板100に歪をかけることなく、被保持部位の端面を前記保持部材平面に沿って滑り移動させることが可能なほどに調節された圧力とする保持部材圧力調節手段を備える。
【選択図】図2
Description
特許文献1に開示されているように、測定するガラス基板を水平に置いて、自重の影響を無くす工夫がされている。この従来技術においては、ガラス基板の下方から、該ガラス基板の単位面積あたりの重量に等しい空気圧力を付与して、ガラス基板を水平に保持しようというものであるが、装置が大掛かりとなり、制御が面倒であり且つ高価となる等、デメリットが多かった。そこで、この被測定物であるガラス基板を今度は垂直に保持して自重の影響を少なくしようとする考え方が提案されている。
1. 方形薄板を簡単な構成で精度よく垂直保持が可能である。
2. 歪のかかり易い薄板の垂直保持位置若しくは姿勢を、歪をかけることなく調節可能とした。
3. 薄板の形状が大型化しても精度よく垂直保持が達成できる。
基板保持機構は、ベース10上の略中央部に下部保持部20が構成されており、下部保持部本体21が載置されており、その中央に間隔をおいて保持部材22,23が配置され、且つその下部でねじ軸24と連結されている。しかも両保持部材22,23の中間位置にてねじ軸24のねじが逆ねじに形成されており、ねじ軸24を回転させることで、保持部材22,23は近づく方向或いは遠ざかる方向へ移動可能になっている。一方上部保持部30が、該下部保持部20の長手方向中央部に位置するベース10上へ柱状保持部本体31に構成されており、この本体31内に内蔵したねじ送り機構32に連結されたスライド部33の下部に、上部保持部34が装着されている。この上部保持部34は上下動のみ自在で、下部保持部20は横方向に両者間隔の調整が可能になっている。
この測定部70は測定する際、ガラス基板の両側に位置され、非接触で両側の形状測定が可能になっている。また、この測定機構においては、前記上下動手段40,50のねじ送り機構42,52はさらにベース10上に設けたねじ送り機構53を介してモータ等の駆動手段54へ連結されており、この駆動手段の駆動により、2つの上下手段40,50は同期して移動することになる。
この時の抵抗力即ち摩擦力は基板自体の自重と上下方向の押え力であり、無理な力が加わらないように設定することで、ガラス基板へゆがみを発生することを抑えられる。特に、図3に示したように、当接する平面の接触面積を加減することでも摩擦力を調整できる。また、調節移動させる側の保持部材を回転できるようにすることで、アライメント作業時の動きによる摩擦発生をより少なく出来る(図3(D))。
なお、薄板を垂直保持する場合、上部保持部材側を下降させて、上下保持部材の各平面が接触してから更に下降させて、圧力(予圧)保持させることにより確実性が高まるものである。この圧力は小さくて良い。
20 下部保持部
21 下部保持部本体
22 保持部材
23 保持部材
24 ねじ軸
30 上部保持部
31 保持部本体
32 ねじ送り機構
33 スライド部
34 上部保持部材
40 上下動手段
41 エアスライド(機構)
42 ねじ送り(機構)
50 上下動手段
51 エアスライド(機構)
52 ねじ送り(機構)
53 ねじ送り機構
54 駆動手段(モータ)
60 測定駆動手段
61 リニアモータ
62 スライド部材
100 薄板(基板)
22′ 従来の保持部材
23′ 従来の保持部材
34′ 従来の保持部材
Claims (7)
- 方形の薄板を垂直に支持する垂直保持装置において、前記方形の薄板の外周端面の複数部位を保持する保持部材を有し、該保持部材が、前記薄板の端面と当接保持する平面を備え、該平面で前記端面を当接微圧接触して保持可能とし、前記微圧が前記方形の薄板を垂直に保持するに十分な圧力であって、且つ前記薄板に歪をかけることなく、被保持部位の端面を前記保持部平面に沿って滑り移動させることが可能なほどに調節された圧力とする保持部材圧力調節手段を備えていることを特徴とする薄板の垂直保持装置。
- 前記被保持部位の端面を前記保持部材平面に沿って滑り移動させることにより、前記方形の薄板の位置若しくは姿勢を調整可能とした請求項1記載の薄板の垂直保持装置。
- 前記保持部材平面が低摩擦係数の部材で構成されていることを特徴とする請求項1記載の薄板の垂直保持装置。
- 前記保持部材平面部の前記端面との接触面積を調節して、平面方向の摩擦力を調節したことを特徴とする請求項1記載の薄板の垂直保持装置。
- 前記保持部材が前記保持部材平面に垂直な回転軸の回りに回転自在としたことを特徴とする請求項1記載の薄板の垂直保持装置。
- 前記保持部材平面の輪郭の平面内一部に堤部を設け、薄板の落下を防止したことを特徴とする請求項1記載の薄板の垂直保持装置。
- 前記薄板が大型ガラス基板であることを特徴とする請求項1乃至6いずれかの項記載の薄板の垂直保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004040368A JP4417130B2 (ja) | 2004-02-17 | 2004-02-17 | ガラス基板の垂直保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004040368A JP4417130B2 (ja) | 2004-02-17 | 2004-02-17 | ガラス基板の垂直保持装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009228374A Division JP4465690B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 基板の垂直保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005231761A true JP2005231761A (ja) | 2005-09-02 |
JP4417130B2 JP4417130B2 (ja) | 2010-02-17 |
Family
ID=35015122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004040368A Expired - Lifetime JP4417130B2 (ja) | 2004-02-17 | 2004-02-17 | ガラス基板の垂直保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4417130B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007046946A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Toshiba Mach Co Ltd | 基板の両面形状測定装置及び基板の両面形状測定方法 |
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JP2009092571A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Toshiba Mach Co Ltd | 平面基板の支持部材 |
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JP2011002253A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Avanstrate Inc | ガラス板端面測定装置に対するガラス板のセット方法および測定治具 |
CN105520393A (zh) * | 2015-12-03 | 2016-04-27 | 安徽普伦智能装备有限公司 | 一种薄板件垂直存放夹持架 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4592445B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2010-12-01 | 黒田精工株式会社 | 薄板の表面形状測定装置 |
JP4636928B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2011-02-23 | 黒田精工株式会社 | 測定部支持機構およびそれを備えた薄板の表面形状測定装置 |
JP2008256715A (ja) * | 2008-06-18 | 2008-10-23 | Kuroda Precision Ind Ltd | 薄板の表面形状測定装置 |
-
2004
- 2004-02-17 JP JP2004040368A patent/JP4417130B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP4590572B2 (ja) * | 2007-12-14 | 2010-12-01 | レーザーテック株式会社 | 基板保持装置、基板検査装置、及び基板の検査方法 |
JP2011002253A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Avanstrate Inc | ガラス板端面測定装置に対するガラス板のセット方法および測定治具 |
CN105520393A (zh) * | 2015-12-03 | 2016-04-27 | 安徽普伦智能装备有限公司 | 一种薄板件垂直存放夹持架 |
CN105520393B (zh) * | 2015-12-03 | 2018-09-28 | 安徽普伦智能装备有限公司 | 一种薄板件垂直存放夹持架 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4417130B2 (ja) | 2010-02-17 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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