JP4592445B2 - 薄板の表面形状測定装置 - Google Patents
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Description
測定部190は、水平駆動手段180によって水平移動自在に、そして、垂直駆動手段160によって上下移動自在になっており、被測定物であるガラス基板100の表面形状を連続して非接触で測定していくものである。
また、請求項5に記載の発明は、請求項1に記載の薄板の表面形状測定装置であって、前記スライド機構がエアスライド機構からなり、このエアスライド機構のスライド部とスライドレールとの間にエアパッドが挟設されていることを特徴とする。
また、請求項7に記載の発明は、請求項1に記載の薄板の表面形状測定装置であって、前記受け板部の上部に取り付けられたワイヤロープと、前記ワイヤロープを介して吊り下げられたバランスウエイトとをさらに備え、前記バランスウエイトによって、前記水平駆動手段および前記測定部の重量に対して、重量バランスがとられていることを特徴とする。
参照する図面において、図1は、本発明に係る薄板の表面形状測定装置の全体を示す正面図であり、図2は、図1のA矢視図である。また、図3は、図1のB部分の拡大図であり、図4は、図3に示される受け板部の拡大図である。また、図5は、バランスウエイトの説明図である。図6は、図3に示されるスライド部の正面拡大図であり、図7は、図6に示されるスライド部に装着されるエアパッド部分の説明図である。なお、従来の装置(図8)において説明した要素と同一要素について、同一符号を付して説明を省略する。
また、2本の水平スライドレール370、370のそれぞれは、端部で相互に連結され、垂直駆動手段310によって2本の水平スライドレール370、370が上下動したときには、2本のスライドレール370、370の間にガラス基板100が位置されるように構成されている。従って、変位センサ330a、330bは、測定する際に、ガラス基板100の表裏の両面側に位置し、非接触で両面の形状測定が可能なようになっている。
上部受け板部390aと下部受け板部390bとの間には、フローティング機構410が装着され、第1ベアリングガイド420と第2ベアリングガイド430とを上下に有して構成されている。
100 ガラス基板(薄板)
110 基台
200 垂直保持機構
300 測定機構
310 垂直駆動手段
320 水平駆動手段
330 測定部
340 エアスライド(スライド機構)
350 垂直駆動用ねじ送り機構(送り機構)
360 垂直スライド部(スライド部)
400 送りナット(送り部材)
410 フローティング機構
490 エアパッド
Claims (7)
- 基台上に被測定物である薄板を垂直に保持する垂直保持機構と、
前記垂直保持機構によって保持された薄板の側縁の外側に立設された垂直駆動手段と、
前記薄板の両面側に配置された一対の水平スライドレールが両端で互いに連結された構成を有し、前記垂直駆動手段の間に架設された水平駆動手段と、
前記水平駆動手段の端部を前記垂直駆動手段に連結する受け板部と、
前記水平駆動手段の前記水平スライドレールに装着され前記薄板の表面形状を測定する測定部とを備え、
前記垂直駆動手段は、スライド機構と、このスライド機構に沿って上下にスライド移動するスライド部と、前記スライド機構に平行に前記薄板側に配設された送り機構とから構成され、
前記受け板部は、一端が前記水平駆動手段の端部に固定され、他端が前記垂直駆動手段の前記スライド部に固定され、中央が前記送り機構の送り部材によって支持されており、
前記水平駆動手段の端部は、前記送り部材で支持された前記受け板部を介して前記スライド部に連結されていることを特徴とする薄板の表面形状測定装置。 - 各々の前記水平スライドレールに装着された前記測定部によって前記薄板の両面の形状が同時に測定されるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の薄板の表面形状測定装置。
- 前記送り機構がねじ送り機構からなり、前記送り機構の送り部材が送りナットであり、前記水平駆動手段の端部を前記スライド部に連結するための前記受け板部は、フローティング機構を介して前記送りナットに支持されていることを特徴とする請求項1に記載の薄板の表面形状測定装置。
- 前記フローティング機構は、前記受け板部に対して前記水平駆動手段に沿った方向に動き得るように前記送りナットを支持する第1ベアリングガイドと、前記受け板部に対して、前記第1ベアリングガイドの動きと直交する水平方向に動きうるように前記送りナットを支持する第2ベアリングガイドとを含むことを特徴とする請求項3に記載の薄板の表面形状測定装置。
- 前記スライド機構がエアスライド機構からなり、このエアスライド機構のスライド部とスライドレールとの間にエアパッドが挟設されていることを特徴とする請求項1に記載の薄板の表面形状測定装置。
- 前記スライド部は前記スライドレールを左右から挟むように装着され、前記エアパッドが前記スライド部の左右部分における上下の4箇所に設けられていることを特徴とする請求項5に記載の薄板の表面形状測定装置。
- 前記受け板部の上部に取り付けられたワイヤロープと、
前記ワイヤロープを介して吊り下げられたバランスウエイトとをさらに備え、
前記バランスウエイトによって、前記水平駆動手段および前記測定部の重量に対して、重量バランスがとられていることを特徴とする請求項1に記載の薄板の表面形状測定装置。
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