JP5586995B2 - 転写装置及び転写方法 - Google Patents
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Description
10 ローラー側装置
11 ローラーヘッド
12 ローラー側柱
20 モールド側装置
21 モールド
22 スプリング
23 モールド側柱
24 プーラー
30 ステージ側装置
31 ガラス基板
32 ガラスステージ
40 ベース側装置
41 レール
42 ベース板
50 紫外線照射装置
51a 第1紫外線照射装置
51b 第2紫外線照射装置
60 被成型品
61 押圧部位
62 半硬化部位
63 硬化部位
100 転写装置(第2実施形態)
200 転写装置(第3実施形態)
300 転写装置(第4実施形態)
400 転写装置(第5実施形態)
211 ローラーヘッド(第3実施形態)
222 転写パターン部位(第3実施形態)
311 ローラーヘッド(第4実施形態)
333 転写パターン部位(第4実施形態)
411 ローラーヘッド(第5実施形態)
Claims (2)
- ローラーヘッドによりモールドを被成型品に線状に押圧して、この押圧している部位に紫外線を照射することにより、該モールドに形成された微細な転写パターンを該被成型品に転写させる転写装置において、
前記被成型品を保持するステージ側装置と、
前記ステージ側装置を移動させることにより前記ローラーヘッドが転動して前記モールドが押圧している押圧部位を移動させるベース側装置と、
前記押圧部位から前記ステージ側装置の移動方向に紫外線を照射する紫外線照射装置とを有し、
前記紫外線照射装置は、
前記紫外線を集光して前記押圧部位に照射し、該押圧部位を硬化反応が開始した状態に半硬化する第1紫外線照射装置と、
前記半硬化した半硬化部位に前記紫外線を照射し、該半硬化部位を硬化する第2紫外線照射装置とを有することを特徴とする転写装置。 - モールドを被成型品に線状に押圧して、この押圧している部位を移動するとともに前記押圧部位に紫外線を照射することにより、前記モールドに形成された微細な転写パターンを該被成型品に転写させる転写方法において、
前記押圧部位に集光した線状の第1の紫外線を照射して前記被成型品を半硬化させる第1の硬化段階と、
前記第1の硬化段階で半硬化した被成型品に、第2の紫外線を照射して前記被成型品を完全に硬化させる第2の硬化段階と、
を有することを特徴とする転写方法。
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