JP2011183782A - 転写装置及び転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ローラーヘッド11によりモールド21を被成型品60に線状に押圧して、この押圧している部位に紫外線を照射することにより、モールド21に形成された微細な転写パターンを被成型品60に転写させる転写装置1において、被成型品60を保持するステージ側装置30と、ステージ側装置30を移動させることによりローラーヘッド11が転動してモールド21が押圧している押圧部位61を移動させるベース側装置40と、押圧部位61からステージ側装置30の移動方向に紫外線を照射する紫外線照射装置50とを有する。
【選択図】図2
Description
10 ローラー側装置
11 ローラーヘッド
12 ローラー側柱
20 モールド側装置
21 モールド
22 スプリング
23 モールド側柱
24 プーラー
30 ステージ側装置
31 ガラス基板
32 ガラスステージ
40 ベース側装置
41 レール
42 ベース板
50 紫外線照射装置
51a 第1紫外線照射装置
51b 第2紫外線照射装置
60 被成型品
61 押圧部位
62 半硬化部位
63 硬化部位
100 転写装置(第2実施形態)
200 転写装置(第3実施形態)
300 転写装置(第4実施形態)
400 転写装置(第5実施形態)
211 ローラーヘッド(第3実施形態)
222 転写パターン部位(第3実施形態)
311 ローラーヘッド(第4実施形態)
333 転写パターン部位(第4実施形態)
411 ローラーヘッド(第5実施形態)
Claims (3)
- ローラーヘッドによりモールドを被成型品に線状に押圧して、この押圧している部位に紫外線を照射することにより、該モールドに形成された微細な転写パターンを該被成型品に転写させる転写装置において、
前記被成型品を保持するステージ側装置と、
前記ステージ側装置を移動させることにより前記ローラーヘッドが転動して前記モールドが押圧している押圧部位を移動させるベース側装置と、
前記押圧部位から前記ステージ側装置の移動方向に紫外線を照射する紫外線照射装置とを有することを特徴とする転写装置。 - 請求項1に記載の転写装置において、
前記紫外線照射装置は、
前記紫外線を集光して前記押圧部位に照射し、該押圧部位を硬化反応が開始した状態に半硬化する第1紫外線照射装置と、
前記半硬化した半硬化部位に前記紫外線を照射し、該半硬化部位を硬化する第2紫外線照射装置とを有することを特徴とする転写装置。 - モールドを被成型品に線状に押圧して、この押圧している部位を移動するとともに前記押圧部位に紫外線を照射することにより、前記モールドに形成された微細な転写パターンを該被成型品に転写させる転写方法において、
前記押圧部位に線状の第1の紫外線を照射して前記被成型品を半硬化させる第1の硬化段階と、
前記第1の硬化段階で半硬化した被成型品に、第2の紫外線を照射して前記被成型品を完全に硬化させる第2の硬化段階と、
を有することを特徴とする転写方法。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130139712A1 (en) * | 2011-12-06 | 2013-06-06 | Yeeu-Chang Lee | Roller-based imprinting system |
WO2013180009A1 (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | 住友化学株式会社 | 光学シート製造方法、光学シート加工装置、光学シート加工方法 |
WO2013191206A1 (ja) * | 2012-06-21 | 2013-12-27 | Scivax株式会社 | ローラ式加圧装置、インプリント装置、ローラ式加圧方法 |
JP2014107017A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-09 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 光学シート加工装置 |
JP2014116083A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 光学シート加工装置 |
JP2015119104A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | パナソニック株式会社 | 微細パターン形成方法および微細パターン形成装置 |
WO2016114125A1 (ja) * | 2015-01-14 | 2016-07-21 | 富士フイルム株式会社 | 筒型パターン膜の作製方法、パターンロールの作製方法および剥離装置 |
JP2017195357A (ja) * | 2016-04-20 | 2017-10-26 | 奇景光電股▲ふん▼有限公司 | インプリント装置およびインプリント方法 |
TWI608917B (zh) * | 2012-10-01 | 2017-12-21 | 東芝機械股份有限公司 | 被成形體組裝體、被成形體組裝體之製造裝置及被成形體組裝體之製造方法 |
US10357903B2 (en) | 2012-12-06 | 2019-07-23 | Scivax Corporation | Roller-type pressurization device, imprinter, and roller-type pressurization method |
US10421218B2 (en) | 2014-06-03 | 2019-09-24 | Scivax Corporation | Roller-type depressing device, imprinting device, and roller-type depressing method |
JP7433375B2 (ja) | 2021-08-29 | 2024-02-19 | 奇景光電股▲ふん▼有限公司 | インプリント装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002523259A (ja) * | 1998-08-24 | 2002-07-30 | フィジィカル オプティクス コーポレーション | 硬質の基板上に光成形面構造体をコピーするための方法および装置 |
JP2007223313A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Cayman Islands Shoako Kagi Kofun Yugenkoshi | テープ状ダイによりモールド成形する成形薄膜の形成方法 |
JP2007281099A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Meisho Kiko Kk | ナノインプリント装置およびナノインプリント方法 |
JP2007335647A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成体の製造方法およびインプリント転写装置 |
JP2010105210A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Asahi Kasei E-Materials Corp | パターン形成方法 |
-
2010
- 2010-03-11 JP JP2010054527A patent/JP5586995B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002523259A (ja) * | 1998-08-24 | 2002-07-30 | フィジィカル オプティクス コーポレーション | 硬質の基板上に光成形面構造体をコピーするための方法および装置 |
JP2007223313A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Cayman Islands Shoako Kagi Kofun Yugenkoshi | テープ状ダイによりモールド成形する成形薄膜の形成方法 |
JP2007281099A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Meisho Kiko Kk | ナノインプリント装置およびナノインプリント方法 |
JP2007335647A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成体の製造方法およびインプリント転写装置 |
JP2010105210A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Asahi Kasei E-Materials Corp | パターン形成方法 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI501861B (zh) * | 2011-12-06 | 2015-10-01 | 私立中原大學 | 滾輪式壓印系統 |
CN103149794A (zh) * | 2011-12-06 | 2013-06-12 | 私立中原大学 | 滚轮式压印系统 |
JP2013119254A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Chung Yuan Christian Univ | ローラー式インプリントシステム |
US20130139712A1 (en) * | 2011-12-06 | 2013-06-06 | Yeeu-Chang Lee | Roller-based imprinting system |
WO2013180009A1 (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | 住友化学株式会社 | 光学シート製造方法、光学シート加工装置、光学シート加工方法 |
WO2013191206A1 (ja) * | 2012-06-21 | 2013-12-27 | Scivax株式会社 | ローラ式加圧装置、インプリント装置、ローラ式加圧方法 |
TWI608917B (zh) * | 2012-10-01 | 2017-12-21 | 東芝機械股份有限公司 | 被成形體組裝體、被成形體組裝體之製造裝置及被成形體組裝體之製造方法 |
US10723063B2 (en) | 2012-10-01 | 2020-07-28 | Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha | Apparatus for manufacturing molded body assembly |
JP2014107017A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-09 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 光学シート加工装置 |
JP2014116083A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 光学シート加工装置 |
US10357903B2 (en) | 2012-12-06 | 2019-07-23 | Scivax Corporation | Roller-type pressurization device, imprinter, and roller-type pressurization method |
JP2015119104A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | パナソニック株式会社 | 微細パターン形成方法および微細パターン形成装置 |
US10421218B2 (en) | 2014-06-03 | 2019-09-24 | Scivax Corporation | Roller-type depressing device, imprinting device, and roller-type depressing method |
WO2016114125A1 (ja) * | 2015-01-14 | 2016-07-21 | 富士フイルム株式会社 | 筒型パターン膜の作製方法、パターンロールの作製方法および剥離装置 |
JP2017195357A (ja) * | 2016-04-20 | 2017-10-26 | 奇景光電股▲ふん▼有限公司 | インプリント装置およびインプリント方法 |
US10549494B2 (en) | 2016-04-20 | 2020-02-04 | Himax Technologies Limited | Imprinting apparatus and imprinting method |
JP7433375B2 (ja) | 2021-08-29 | 2024-02-19 | 奇景光電股▲ふん▼有限公司 | インプリント装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5586995B2 (ja) | 2014-09-10 |
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