JP2017195357A - インプリント装置およびインプリント方法 - Google Patents
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Abstract
Description
60 キャリア部材
100 インプリント装置
100a 加工領域
110a 第1コンベアユニット
110b 第2コンベアユニット
120 可撓性インプリント用型フィルム
120a 第1インプリントセグメント
120b 第2インプリントセグメント
120c 第3インプリントセグメント
120d 第4インプリントセグメント
120e 第5インプリントセグメント
122 インプリント微細構造
130 駆動ローラセット
132、134 駆動ローラ
140a 第1検出ユニット
140b 第2検出ユニット
150 塗布ユニット
160 エネルギー源
170 インプリント用型ローラ
180 昇降ユニット
190a クランプ部材
190b バッファ部材
B1、B2、B3、B4 バッファセグメント
IP インプリント位置
DP1 第1離型位置
DP2 第2離型位置
Claims (32)
- インプリント装置の加工領域に少なくとも1つのワークピースを運搬するのに適した第1コンベアユニットと、
複数のインプリントセグメントを有し、前記インプリントセグメントのうちの少なくとも1つが、前記加工領域にあり、前記ワークピースが、対応する前記インプリントセグメントを介して前記加工領域でインプリントされるのに適した可撓性インプリント用型フィルムと、
駆動ローラセットと、
を含み、前記可撓性インプリント用型フィルムが、前記駆動ローラセットに部分的に巻き付けられ、前記加工領域にある前記インプリントセグメントが、前記駆動ローラセットから拡張され、前記駆動ローラセットが、前記可撓性インプリント用型フィルムを駆動するのに適しているため、前記駆動ローラアセットに巻き付けられた少なくとも別の1つの前記インプリントセグメントを前記駆動ローラセットから拡張して、前記加工領域に移動させるインプリント装置。 - 前記ワークピースが前記加工領域に到達する前に、前記ワークピースの上に光学層を塗布するのに適した塗布ユニットをさらに含み、前記加工領域にある前記インプリントセグメントのインプリント微細構造が、前記光学層をインプリントして、前記ワークピースの上に光学微細構造を形成するのに適した請求項1に記載のインプリント装置。
- 第1検出ユニットをさらに含み、前記塗布ユニットが、前記第1検出ユニットと前記加工領域の間に配置され、前記第1検出ユニッが、前記光学層で塗布されていない前記ワークピースの表面状態を検出するのに適した請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記加工領域に配置されたエネルギー源をさらに含み、前記インプリントされた光学層が、前記エネルギー源により提供されたエネルギーを介して硬化されるのに適した請求項2または3に記載のインプリント装置。
- 第1エネルギー源および第2エネルギー源をさらに含み、前記第1エネルギー源が、前記塗布ユニットと前記加工領域の間に配置され、前記第2エネルギー源が、前記加工領域に配置され、インプリントされる前の前記光学層が、前記第1エネルギー源により提供されたエネルギーを介して半硬化されるのに適し、前記インプリントされた光学層が、前記第2エネルギー源により提供されたエネルギーを介して完全に硬化されるのに適した請求項2または3に記載のインプリント装置。
- 前記加工領域に配置され、対応する前記インプリントセグメントを前記ワークピースに押圧するのに適したインプリント用型ローラをさらに含む請求項1〜5のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記加工領域に配置され、前記可撓性インプリント用型フィルムに相対して上下に移動するよう前記ワークピースを駆動するのに適した昇降ユニットをさらに含む請求項1〜6のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記駆動ローラセットが、2つの駆動ローラを含み、前記加工領域が、前記2つの駆動ローラの間にあり、前記可撓性インプリント用型フィルムが、前記駆動ローラの1つに部分的に巻き付けられ、且つ前記駆動ローラのもう1つに部分的に巻き付けられる請求項1〜7のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記加工領域が、インプリント位置および少なくとも1つの離型位置を含み、少なくとも2つの前記インプリントセグメントが、それぞれ前記インプリント位置および前記離型位置にあり、前記ワークピースが、前記インプリント位置でインプリントされるのに適し、インプリントされた前記ワークピースが、対応する前記インプリントセグメントに接着するのに適し、且つ前記駆動ローラセットにより前記離型位置に駆動され、前記ワークピースが、前記離型位置で離型を行うのに適した請求項1〜8のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記加工領域に配置され、前記可撓性インプリント用型フィルムをクランプして、前記離型位置にある前記可撓性インプリント用型フィルムを前記ワークピースからリフトオフするのに適した少なくとも1つのクランプ部材をさらに含む請求項9に記載のインプリント装置。
- 前記インプリント位置と前記離型位置の間に配置された少なくとも1つのバッファ部材をさらに含み、前記可撓性インプリント用型フィルムが、前記バッファ部材が寄りかかって湾曲することにより、前記離型位置にある前記インプリントセグメントの境界で少なくとも1つのバッファセグメントを形成するのに適した請求項9または10に記載のインプリント装置。
- インプリントされた前記ワークピースを前記駆動ローラセットにより前記離型位置に駆動した時、前記第1コンベアユニットが、前記インプリント位置に別のワークピースを運搬するのに適し、前記ワークピースが前記離型位置で離型を行っている間、前記別のワークピースが前記インプリント位置でインプリントされる請求項9〜11のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記少なくとも1つの離型位置の数が、2つであり、前記インプリント位置が、2つの前記離型位置の間にある請求項9〜12のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記インプリントセグメントが、互いに隣接する第1インプリントセグメントおよび第2インプリントセグメントを含み、2つの前記離型位置が、第1離型位置および第2離型位置を含み、前記第1インプリントセグメントおよび前記第2インプリントセグメントが前記加工領域にある時、前記駆動ローラセットが、第1状態と第2状態の間で往復運動を行うよう前記可撓性インプリント用型フィルムを駆動するのに適し、前記可撓性インプリント用型フィルムが前記第1状態にある時、前記第1インプリントセグメントが、前記第1離型位置に位置し、前記第2インプリントセグメントが、前記インプリント位置に位置し、前記可撓性インプリント用型フィルムが前記第2状態にある時、前記第1インプリントセグメントが、前記インプリント位置に位置し、前記第2インプリントセグメントが、前記第2離型位置に位置する請求項13に記載のインプリント装置。
- 前記インプリントセグメントが、互いに隣接する第3インプリントセグメントおよび第4インプリントセグメントを含み、前記駆動ローラセットが、前記第3インプリントセグメントおよび前記第4インプリントセグメントが前記加工領域に位置するよう前記可撓性インプリント用型フィルムを駆動するのに適し、前記第3インプリントセグメントおよび前記第4インプリントセグメントが前記加工領域にある時、前記駆動ローラセットが、前記往復運動を行うよう前記可撓性インプリント用型フィルムを駆動するのに適した請求項14に記載のインプリント装置。
- インプリントされた前記ワークピースを検出して、対応する前記インプリントセグメントの摩耗状態を判断するのに適した少なくとも1つの第2検出ユニットをさらに含む請求項1〜15のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- インプリントされた前記ワークピースを運搬して、前記第2検出ユニットを通過するのに適した少なくとも1つの第2コンベアユニットをさらに含む請求項16に記載のインプリント装置。
- 第1コンベアユニットによりワークピースを加工領域に運搬するステップと、
可撓性インプリント用型フィルムのインプリントセグメントを介して前記加工領域で前記ワークピースをインプリントするステップと、
駆動ローラセットにより前記可撓性インプリント用型フィルムを駆動することにより、前記駆動ローラセットに巻き付けられた前記可撓性インプリント用型フィルムの少なくとも別の1つの前記インプリントセグメントを前記駆動ローラセットから拡張して、前記加工領域に移動させるステップと、
を含むインプリント方法。 - 前記ワークピースが前記加工領域に到達する前に、塗布ユニットにより前記ワークピースに光学層を塗布するステップをさらに含み、
前記インプリントセグメントを介して前記ワークピースをインプリントするステップにおいて、
前記インプリントセグメントのインプリント微細構造を介して前記光学層をインプリントし、前記ワークピースの上に光学微細構造を形成するステップを含む請求項18に記載のインプリント方法。 - 第1検出ユニットを介して前記光学層で塗布されていない前記ワークピースの表面状態を検出するステップをさらに含む請求項19に記載のインプリント方法。
- エネルギー源により提供されたエネルギーを介して、インプリントされた前記光学層を硬化するステップをさらに含む請求項19または20に記載のインプリント方法。
- 第1エネルギー源により提供されたエネルギーを介してインプリントされる前の前記光学層を半硬化するステップと、
第2エネルギー源により提供されたエネルギーを介してインプリントされた前記光学層を完全に硬化するステップと、
をさらに含む請求項19または20に記載のインプリント方法。 - インプリント用型ローラを介して対応する前記インプリントセグメントを前記ワークピースに押圧するステップをさらに含む請求項18〜22のいずれか1項に記載のインプリント方法。
- 昇降ユニットを介して前記可撓性インプリント用型フィルムに相対して上下に移動するよう前記ワークピースを駆動するステップをさらに含む請求項18〜23のいずれか1項に記載のインプリント方法。
- 前記加工領域が、インプリント位置および少なくとも1つの離型位置を含み、
少なくとも2つの前記インプリントセグメントがそれぞれ前記インプリント位置および前記離型位置に位置するようにするステップと、
前記インプリント位置で前記ワークピースをインプリントするステップと、
インプリントされた前記ワークピースを対応する前記インプリントセグメントに接着し、前記駆動ローラセットにより前記離型位置に駆動するステップと、
前記ワークピースに対し前記離型位置で離型を行うステップと、
をさらに含む請求項18〜24のいずれか1項に記載のインプリント方法。 - クランプ部材を介して前記可撓性インプリント用型フィルムをクランプして、前記離型位置にある前記可撓性インプリント用型フィルムを前記ワークピースからリフトオフするステップをさらに含む請求項25に記載のインプリント方法。
- 少なくとも1つのバッファ部材を用いて、前記可撓性インプリント用型フィルムに寄りかかり、前記可撓性インプリント用型フィルムを湾曲させることにより、前記離型位置にある前記インプリントセグメントの境界で少なくとも1つのバッファセグメントを形成するステップをさらに含む請求項25または26に記載のインプリント方法。
- インプリントされた前記ワークピースを前記駆動ローラセットにより前記離型位置に駆動した時、前記第1コンベアユニットにより別のワークピースを前記インプリント位置に運搬するステップと、
前記ワークピースが前記離型位置で離型を行っている間、前記インプリント位置で前記別のワークピースをインプリントするステップと、
をさらに含む請求項25〜27のいずれか1項に記載のインプリント方法。 - 前記少なくとも1つの離型位置の数が、2つであり、前記インプリント位置が、2つの前記離型位置の間にあり、前記インプリントセグメントが、互いに隣接する第1インプリントセグメントおよび第2インプリントセグメントを含み、2つの前記離型位置が、第1離型位置および第2離型位置を含み、
前記第1インプリントセグメントおよび前記第2インプリントセグメントが前記加工領域にある時、前記駆動ローラセットにより第1状態と第2状態の間で往復運動を行うよう前記可撓性インプリント用型フィルムを駆動するステップをさらに含み、
前記可撓性インプリント用型フィルムが前記第1状態にある時、前記第1インプリントセグメントが、前記第1離型位置に位置し、前記第2インプリントセグメントが、前記インプリント位置に位置し、前記可撓性インプリント用型フィルムが前記第2状態にある時、前記第1インプリントセグメントが、前記インプリント位置に位置し、前記第2インプリントセグメントが、前記第2離型位置に位置する請求項25〜28のいずれか1項に記載のインプリント方法。 - 前記インプリントセグメントが、さらに、互いに隣接する第3インプリントセグメントおよび第4インプリントセグメントを含み、
前記駆動ローラセットにより前記第3インプリントセグメントおよび前記第4インプリントセグメントが前記加工領域に位置するよう前記可撓性インプリント用型フィルムを駆動するステップと、
前記第3インプリントセグメントおよび前記第4インプリントセグメントが前記加工領域にある時、前記駆動ローラセットにより前記往復運動を行うよう前記可撓性インプリント用型フィルムを駆動するステップと、
をさらに含む請求項29に記載のインプリント方法。 - 第2検出ユニットを介してインプリントされた前記ワークピースを検出し、対応する前記インプリントセグメントの摩耗状態を判断するステップをさらに含む請求項18〜30のいずれか1項に記載のインプリント方法。
- 第2コンベアユニットによりインプリントされた前記ワークピースを運搬して、前記第2検出ユニットを通過するステップをさらに含む請求項31に記載のインプリント方法。
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