JP5584241B2 - 半導体製造装置及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1の実施形態に係る半導体製造装置の構成を例示する模式図である。
図1に表したように、半導体製造装置210は、半導体を含む基板20がセットされる基板ステージ120と、基板20の主面20aにパターンを転写させる転写部100と、半導体製造装置210の各部と電気的に接続され、半導体製造装置210の各部の動作を制御する制御部150と、を備える。半導体製造装置210は、いわゆるナノインプリント処理を基板20に施す。半導体製造装置210は、例えば、トランジスタやメモリなどの半導体デバイスの製造に用いられる。半導体デバイスは、例えば、半導体部品と機械部品とが組み合わされたMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)でもよい。
制御部150は、異物検知部180から異物情報を処理する基板20毎に入手する。制御部150は、異物情報を入手すると、その異物情報に基づいて、異物5の個数の累積加算を行い、その累積値(加算値)を記憶する。異物5の累積加算は、新しいテンプレート10に交換された時点、または、テンプレート10の洗浄が行われた時点を基準とし、その時点からの累積値がカウントされる。なお、制御部150における異物情報の入手は、処理する全ての基板20毎に限ることなく、例えば、数枚おきに入手してもよい。
図2に表したように、半導体製造装置210によって半導体デバイスの製造を行う場合には、まずテンプレート10をテンプレート保持部110に保持させる(ステップS110)。また、複数の基板20を収納したカセットを半導体製造装置210にセットする。制御部150に処理の開始を指示する。
以上により、半導体製造装置210において、高効率かつ高精度にナノインプリントの処理を行うことができる。
図3に表したように、ステップS115において上限値に達したと判定され、ステップS121において転写部100によるパターン10pの転写の処理を停止させた後に、使用中のテンプレート10の洗浄回数が、所定値以上か否かの判定を行ってもよい(ステップS124)。
図4は、第2の実施形態に係る半導体製造装置の構成を例示する模式図である。
図4に表したように、半導体製造装置220は、テンプレート検査部222を、さらに備える。テンプレート検査部222は、例えば、搬送アーム192の搬送経路上に配置され、洗浄後のテンプレート10のパターン10pの検査を行う。テンプレート検査部222は、例えば、テンプレート10の転写面10aを撮像し、画像処理によってパターン10pの検査を行う。
UL2=UL1−α … (1)
すなわち、制御部150は、基の上限値UL1から、洗浄によって除去することができなかったパターン10pの欠陥の個数αを減算することによって、更新後の上限値UL2を求める。
図5に表したように、半導体製造装置220の制御部150は、ステップS115で上限値に達したと判定され、ステップS121で転写部100によるパターン10pの転写の処理を停止させ、ステップS122で洗浄部190に洗浄の実行を指示した後、テンプレート検査部222にパターン10pの検査の実行を指示する(ステップS131)。そして、制御部150は、テンプレート検査部222からパターン検査情報を入手する。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
Claims (6)
- 半導体を含む基板がセットされる基板ステージと、
凹凸状のパターンが転写面に設けられたテンプレートを着脱可能に保持し、転写材が塗布された前記基板の主面に前記転写面を接触させ、前記転写材を硬化させることにより前記主面に前記パターンを転写させる転写部と、
前記パターンを転写させる前の前記基板の前記主面上の異物の個数に関する情報を入手し、前記転写部により前記パターンが転写される複数の基板の、前記異物の前記個数を加算し、前記異物の前記個数の加算値が上限値未満のときに前記転写部に前記パターンの転写を実施させ、前記加算値が前記上限値に達したときに前記転写部に前記パターンの転写を実施させない制御部と、
前記主面上の前記異物を検知し、前記異物の個数に関する情報として前記制御部に供給する異物検知部と、
を備え、
前記制御部は、前記加算値が前記上限値に達したときに、前記テンプレートに向けて紫外線を照射する光源を含み前記テンプレートの洗浄を行う洗浄部に、洗浄の実行を指示する半導体製造装置。 - 半導体を含む基板がセットされる基板ステージと、
凹凸状のパターンが転写面に設けられたテンプレートを着脱可能に保持し、転写材が塗布された前記基板の主面に前記転写面を接触させ、前記転写材を硬化させることにより前記主面に前記パターンを転写させる転写部と、
前記パターンを転写させる前の前記基板の前記主面上の異物の個数に関する情報を入手し、前記転写部により前記パターンが転写される複数の基板の、前記異物の前記個数を加算し、前記異物の前記個数の加算値が上限値未満のときに前記転写部に前記パターンの転写を実施させ、前記加算値が前記上限値に達したときに前記転写部に前記パターンの転写を実施させない制御部と、
を備えた半導体製造装置。 - 前記制御部は、前記加算値が前記上限値に達したときに、前記テンプレートの洗浄を行う洗浄部に、洗浄の実行を指示する請求項2記載の半導体製造装置。
- 前記主面上の前記異物を検知し、前記異物の個数に関する情報として前記制御部に供給する異物検知部を、さらに備えた請求項2または3に記載の半導体製造装置。
- 前記洗浄部は、前記テンプレートに向けて紫外線を照射する光源を含む請求項2〜4のいずれか1つに記載の半導体製造装置。
- 基板ステージに半導体を含む基板をセットする工程と、
前記パターンを転写させる前の前記基板の主面上の異物の個数に関する情報を入手する工程と、
前記パターンが転写される複数の基板の前記異物の前記個数を加算する工程と、
前記異物の前記個数の加算値が上限値に達したか否かを判定し、前記上限値未満のときに、転写材が塗布された前記基板の前記主面に、凹凸状のパターンが設けられたテンプレートの転写面を接触させ、前記転写材を硬化させることにより前記主面に前記パターンを転写させる処理を実施し、前記加算値が前記上限値に達したときに前記パターンを転写させる処理を実施しない工程と、
を備えた半導体デバイスの製造方法。
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