JP2894407B2 - レチクル保管箱の洗浄時期判定方法及び装置 - Google Patents
レチクル保管箱の洗浄時期判定方法及び装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の製造工場な
どで、レチクル保管箱固有のデータが記述されている認
識媒体、例えば、磁気カードを用い、レチクル保管箱の
所在を管理するレチクル所在管理装置におけるレチクル
保管箱の洗浄時期判定方法に関する。
どで、レチクル保管箱固有のデータが記述されている認
識媒体、例えば、磁気カードを用い、レチクル保管箱の
所在を管理するレチクル所在管理装置におけるレチクル
保管箱の洗浄時期判定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、このようなレチクル保管箱の洗浄
時期は、レチクル保管箱を２〜４のグループに分けてグ
ループ毎にレチクル保管箱を色分けし、洗浄の時期のレ
チクル保管箱の色によって人間が視覚的に識別し洗浄を
行っていた。
時期は、レチクル保管箱を２〜４のグループに分けてグ
ループ毎にレチクル保管箱を色分けし、洗浄の時期のレ
チクル保管箱の色によって人間が視覚的に識別し洗浄を
行っていた。
【０００３】または、洗浄を行ったレチクル保管箱に対
して、洗浄した月、または週を示すラベルを貼ってその
ラベルから、洗浄後どのくらいの時間が経過したかを人
間が認識してレチクル保管箱の洗浄時期を決定してい
た。
して、洗浄した月、または週を示すラベルを貼ってその
ラベルから、洗浄後どのくらいの時間が経過したかを人
間が認識してレチクル保管箱の洗浄時期を決定してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】レチクルを保管するレ
チクル保管箱内部が、ダスト等によって汚染されている
とレチクル表面をレチクル保管箱内部のダスト等で汚染
してしまう。半導体装置は、製造中にダスト等がレチク
ル表面へ付着し、そのまま製品にダストの付いたレチク
ルパターンが露光されてしまうと製品の製造歩留りが大
きく低下してしまう。また、製品への露光作業直前にレ
チクル表面ヘダストが付着していることがわかりレチク
ルの洗浄を行う場合は、製品作業の段取りが崩れてしま
い作業の効率が低下するという欠点がある。
チクル保管箱内部が、ダスト等によって汚染されている
とレチクル表面をレチクル保管箱内部のダスト等で汚染
してしまう。半導体装置は、製造中にダスト等がレチク
ル表面へ付着し、そのまま製品にダストの付いたレチク
ルパターンが露光されてしまうと製品の製造歩留りが大
きく低下してしまう。また、製品への露光作業直前にレ
チクル表面ヘダストが付着していることがわかりレチク
ルの洗浄を行う場合は、製品作業の段取りが崩れてしま
い作業の効率が低下するという欠点がある。
【０００５】レチクル保管箱は、搬送中にレチクル保管
箱内部と、レチクルが擦れることによりダストを発生さ
せるが、搬送の回数が多い場合は、搬送の回数が少ない
ものに比べてより多くのダストを発生させることを言う
までもない。この搬送回数と、レチクル保管箱内部のダ
ストの数はほぼ比例しており、単に洗浄後の経過時間だ
けからでは本当の洗浄必要時期はわからない。
箱内部と、レチクルが擦れることによりダストを発生さ
せるが、搬送の回数が多い場合は、搬送の回数が少ない
ものに比べてより多くのダストを発生させることを言う
までもない。この搬送回数と、レチクル保管箱内部のダ
ストの数はほぼ比例しており、単に洗浄後の経過時間だ
けからでは本当の洗浄必要時期はわからない。
【０００６】また、レチクル保管箱は、レチクル保管箱
の蓋の開閉により蓋の開閉機構部から発生するダストが
蓄積されるとともに、レチクル保管箱周辺に存在するダ
ストが保管箱内部へ進入することにより、ダストが蓄積
されてしまい、たとえ、搬送回数がゼロでも時間が経過
して行くと内部がダストにより汚染されてしまう。その
ため、レチクル保管箱の洗浄時期の的確に知るためには
レチクル保管箱の洗浄後の経過時間と、搬送回数を管理
する必要があったが、従来技術では搬送の回数までの管
理ができない。
の蓋の開閉により蓋の開閉機構部から発生するダストが
蓄積されるとともに、レチクル保管箱周辺に存在するダ
ストが保管箱内部へ進入することにより、ダストが蓄積
されてしまい、たとえ、搬送回数がゼロでも時間が経過
して行くと内部がダストにより汚染されてしまう。その
ため、レチクル保管箱の洗浄時期の的確に知るためには
レチクル保管箱の洗浄後の経過時間と、搬送回数を管理
する必要があったが、従来技術では搬送の回数までの管
理ができない。
【０００７】また、従来技術では洗浄後の時間管理を行
うにもレチクル保管箱にラベルを貼るなどの管理工数が
かかったり、ラベルを見逃すことによるレチクル保管箱
の洗浄忘れ等が発生する問題点があった。
うにもレチクル保管箱にラベルを貼るなどの管理工数が
かかったり、ラベルを見逃すことによるレチクル保管箱
の洗浄忘れ等が発生する問題点があった。
【０００８】そこで、本発明の技術的課題は、上記欠点
に鑑み、レチクル保管箱の洗浄時期を自動的に判定する
方法を提供することにある。
に鑑み、レチクル保管箱の洗浄時期を自動的に判定する
方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、レチク
ル保管箱の前回の洗浄からの搬送回数を記録し、レチク
ル保管箱の前回の洗浄からの経過時間を記録する第一の
ステップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数
が、所定搬送回数内であるか否か判定する第二のステッ
プと、前記レチクル保管箱の洗浄後の経過時間が、所定
経過時間内であるか否か判定する第三のステップと、前
記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数及び経過時間が共
に、所定搬送回数、所定経過時間内であるときにレチク
ル所在管理装置へ搬送の報告を行う第四のステップと、
前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数を計数している
データを一回増加させる第五のステップと、前記レチク
ル保管箱の洗浄後の搬送回数、または、経過時間のうち
のどちらか一方が所定搬送回数、または、所定経過時間
を経過しているときに、レチクル保管箱の洗浄が必要で
あることを知らせる第六のステップとを含むことを特徴
とするレチクル保管箱の洗浄時期判定方法が得られる。
ル保管箱の前回の洗浄からの搬送回数を記録し、レチク
ル保管箱の前回の洗浄からの経過時間を記録する第一の
ステップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数
が、所定搬送回数内であるか否か判定する第二のステッ
プと、前記レチクル保管箱の洗浄後の経過時間が、所定
経過時間内であるか否か判定する第三のステップと、前
記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数及び経過時間が共
に、所定搬送回数、所定経過時間内であるときにレチク
ル所在管理装置へ搬送の報告を行う第四のステップと、
前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数を計数している
データを一回増加させる第五のステップと、前記レチク
ル保管箱の洗浄後の搬送回数、または、経過時間のうち
のどちらか一方が所定搬送回数、または、所定経過時間
を経過しているときに、レチクル保管箱の洗浄が必要で
あることを知らせる第六のステップとを含むことを特徴
とするレチクル保管箱の洗浄時期判定方法が得られる。
【００１０】また、本発明によれば、レチクル保管箱の
洗浄後の移動回数とレチクル保管箱の前回の洗浄からの
経過時間とを記録される記録媒体と、該記録媒体にアク
セスし、前記移動回数と前記経過時間とが所定の値内で
あるか否かを比較する比較手段と、前記所定の値内であ
れば、レチクル保管箱の搬送を許可し、前記記録媒体に
移動回数を１増加した値を書き込み、前記所定の値外で
あれば、レチクル保管箱の洗浄を指示する判断手段とを
有することを特徴とするレチクル保管箱の洗浄時期判定
装置が得られる。
洗浄後の移動回数とレチクル保管箱の前回の洗浄からの
経過時間とを記録される記録媒体と、該記録媒体にアク
セスし、前記移動回数と前記経過時間とが所定の値内で
あるか否かを比較する比較手段と、前記所定の値内であ
れば、レチクル保管箱の搬送を許可し、前記記録媒体に
移動回数を１増加した値を書き込み、前記所定の値外で
あれば、レチクル保管箱の洗浄を指示する判断手段とを
有することを特徴とするレチクル保管箱の洗浄時期判定
装置が得られる。
【００１１】即ち、この発明によるレチクル所在管理装
置におけるレチクル保管箱の洗浄時期判定方法は、レチ
クル保管箱固有のデータが記述されている認識媒体を用
い、この認識媒体の読み取りデータ、または、この読み
取りデータでアクセスされたデータにより所在を管理す
るレチクル所在管理装置におけるレチクル保管箱の洗浄
時期判定方法において、レチクル保管箱の前回の洗浄か
らの搬送回数を記録する計数手段、レチクル保管箱の前
回の洗浄からの経過時間を記録する計時手段および搬送
しようとするレチクル保管箱が洗浄時期に達している場
合に、その事実を第三者に知らせる伝達手段を備え、レ
チクル保管箱の所在を管理するときに、搬送されるレチ
クル保管箱が、洗浄されてからの搬送回数と、経過時間
を認識する第一のステップと、このレチクル保管箱の洗
浄後の搬送回数が、所定搬送回数内であるか否か判定す
る第二のステップと、このレチクル保管箱の洗浄後の経
過時間が、所定経過時間内であるか否か判定する第三の
ステップと、このレチクル保管箱の洗浄後の搬送回数、
経過時間ともに、所定搬送回数、所定経過時間内である
ときにレチクル所在管理装置へ搬送の報告を行う第四の
ステップと、このレチクル保管箱の洗浄後の搬送回数を
計数しているデータを一回増加させる第五のステップ
と、このレチクル保管箱の洗浄後の搬送回数、または、
経過時間のうちのどちらか一方が所定搬送回数、また
は、所定経過時間を超過しているときに、第三者ヘレチ
クル保管箱の洗浄が必要であることを知らせる第六のス
テップを含むことを特徴とする。
置におけるレチクル保管箱の洗浄時期判定方法は、レチ
クル保管箱固有のデータが記述されている認識媒体を用
い、この認識媒体の読み取りデータ、または、この読み
取りデータでアクセスされたデータにより所在を管理す
るレチクル所在管理装置におけるレチクル保管箱の洗浄
時期判定方法において、レチクル保管箱の前回の洗浄か
らの搬送回数を記録する計数手段、レチクル保管箱の前
回の洗浄からの経過時間を記録する計時手段および搬送
しようとするレチクル保管箱が洗浄時期に達している場
合に、その事実を第三者に知らせる伝達手段を備え、レ
チクル保管箱の所在を管理するときに、搬送されるレチ
クル保管箱が、洗浄されてからの搬送回数と、経過時間
を認識する第一のステップと、このレチクル保管箱の洗
浄後の搬送回数が、所定搬送回数内であるか否か判定す
る第二のステップと、このレチクル保管箱の洗浄後の経
過時間が、所定経過時間内であるか否か判定する第三の
ステップと、このレチクル保管箱の洗浄後の搬送回数、
経過時間ともに、所定搬送回数、所定経過時間内である
ときにレチクル所在管理装置へ搬送の報告を行う第四の
ステップと、このレチクル保管箱の洗浄後の搬送回数を
計数しているデータを一回増加させる第五のステップ
と、このレチクル保管箱の洗浄後の搬送回数、または、
経過時間のうちのどちらか一方が所定搬送回数、また
は、所定経過時間を超過しているときに、第三者ヘレチ
クル保管箱の洗浄が必要であることを知らせる第六のス
テップを含むことを特徴とする。
【００１２】換言すれば、従来は、レチクル保管箱の色
を変えたり、ラベルを貼ったりしてレチクル保管箱の洗
浄後の経過時間に着目してレチクル保管箱の洗浄時期を
判断していたが、本発明のレチクル保管箱の搬送回数と
洗浄後の経過時間を考慮し、かつ、レチクル保管箱の洗
浄時期を自動で判断するという相違点がある。
を変えたり、ラベルを貼ったりしてレチクル保管箱の洗
浄後の経過時間に着目してレチクル保管箱の洗浄時期を
判断していたが、本発明のレチクル保管箱の搬送回数と
洗浄後の経過時間を考慮し、かつ、レチクル保管箱の洗
浄時期を自動で判断するという相違点がある。
【００１３】
【実施例】次にこの発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１４】以下この発明を、レチクル保管箱の認識媒
体として磁気カード１０を使用し、磁気カード１０の情
報に洗浄後の搬送回数、及び洗浄日時を記録させたレチ
クル所在管理装置に適用した一実施例について説明す
る。
体として磁気カード１０を使用し、磁気カード１０の情
報に洗浄後の搬送回数、及び洗浄日時を記録させたレチ
クル所在管理装置に適用した一実施例について説明す
る。
【００１５】図１に、磁気カード１０をレチクル保管箱
１１の認識媒体とした場合のレチクル保管箱１１の外観
を示す。
１１の認識媒体とした場合のレチクル保管箱１１の外観
を示す。
【００１６】図２は、報告端末１０３の外観を示してい
る。報告端末１０３の傾斜した上面には、レチクル保管
箱１１が洗浄時期に達している場合などに洗浄の指示を
人間に表示する表示装置１０１が設置されている。報告
端末１０３の前面部に突出しているカードリーダーライ
ター１０２は、レチクル保管箱１１の認識媒体として使
用される磁気カード１０を読み取るためのものである。
レチクル保管箱１１を搬送する場合には、レチクル保管
箱１１に付属している認識媒体の磁気カード１０を移動
先のカードリーダーライター１０２へ通して搬送の報告
を報告端末１０３へ行う。
る。報告端末１０３の傾斜した上面には、レチクル保管
箱１１が洗浄時期に達している場合などに洗浄の指示を
人間に表示する表示装置１０１が設置されている。報告
端末１０３の前面部に突出しているカードリーダーライ
ター１０２は、レチクル保管箱１１の認識媒体として使
用される磁気カード１０を読み取るためのものである。
レチクル保管箱１１を搬送する場合には、レチクル保管
箱１１に付属している認識媒体の磁気カード１０を移動
先のカードリーダーライター１０２へ通して搬送の報告
を報告端末１０３へ行う。
【００１７】図３は、この各報告端末１０３とホスト２
０２との接続状態をネットワーク図で示したものであ
る。ホスト２０２は、各報告端末１０３からのレチクル
保管箱１１についている磁気カード１０の内容にしたが
ってレチクル保管箱１１の所在を記録し、各報告端末１
０３からレチクル保管箱１１の所在問合せが有った場合
に、各レチクル保管箱１１の所在を連絡する。
０２との接続状態をネットワーク図で示したものであ
る。ホスト２０２は、各報告端末１０３からのレチクル
保管箱１１についている磁気カード１０の内容にしたが
ってレチクル保管箱１１の所在を記録し、各報告端末１
０３からレチクル保管箱１１の所在問合せが有った場合
に、各レチクル保管箱１１の所在を連絡する。
【００１８】図４は、報告端末１０３の機器構成を示し
ている。報告端末１０３は、中央処理装置（以下、ＣＰ
Ｕと称す）３０３によって制御される。ＣＰＵ３０３
は、表示装置１０１、カードリーダーライター１０２、
通信装置３０１等と入出力インターフェース３０２を介
して接続されている。
ている。報告端末１０３は、中央処理装置（以下、ＣＰ
Ｕと称す）３０３によって制御される。ＣＰＵ３０３
は、表示装置１０１、カードリーダーライター１０２、
通信装置３０１等と入出力インターフェース３０２を介
して接続されている。
【００１９】前記通信装置３０１はホスト２０２のデー
タのやり取りを行うためのものである。前記ＣＰＵ３０
３は、搬送報告処理および洗浄時期判定処理を行うもの
であり、そのプログラムおよび各種データを記憶するメ
モリ３０４ならびに経過時間を計算する処理に用いられ
る時計３０５を備えている。
タのやり取りを行うためのものである。前記ＣＰＵ３０
３は、搬送報告処理および洗浄時期判定処理を行うもの
であり、そのプログラムおよび各種データを記憶するメ
モリ３０４ならびに経過時間を計算する処理に用いられ
る時計３０５を備えている。
【００２０】図５は、前記ＣＰＵ３０３による搬送時の
レチクル保管箱１１の洗浄時期判定処理手順を示してい
る。レチクル保管箱１１を搬送させるときに、カードリ
ーダーライター１０２でレチクル保管箱１１に付属して
いる磁気カード１０を読むと（ステップ４０１）、磁気
カード１０に登録されている前回の洗浄からの搬送回数
が所定搬送回数内であるかどうかが判定される（ステッ
プ４０２）。この所定搬送回数は、あらかじめメモリ３
０４に登録されている。
レチクル保管箱１１の洗浄時期判定処理手順を示してい
る。レチクル保管箱１１を搬送させるときに、カードリ
ーダーライター１０２でレチクル保管箱１１に付属して
いる磁気カード１０を読むと（ステップ４０１）、磁気
カード１０に登録されている前回の洗浄からの搬送回数
が所定搬送回数内であるかどうかが判定される（ステッ
プ４０２）。この所定搬送回数は、あらかじめメモリ３
０４に登録されている。
【００２１】洗浄後の搬送回数が所定搬送回数よりも少
ない場合（ステップ４０２でＮＯ）、磁気カドー１０に
登録されている前回の洗浄日時と、時計３０５のデータ
を参照して前回の洗浄からの経過時間が、所定経過時間
内であるかどうかが判定される（ステップ４０３）。こ
の所定経過時間は、あらかじめメモリ３０４に登録され
ている。
ない場合（ステップ４０２でＮＯ）、磁気カドー１０に
登録されている前回の洗浄日時と、時計３０５のデータ
を参照して前回の洗浄からの経過時間が、所定経過時間
内であるかどうかが判定される（ステップ４０３）。こ
の所定経過時間は、あらかじめメモリ３０４に登録され
ている。
【００２２】洗浄後の経過時間が所定経過時間内の場合
（ステップ４０３でＮＯ）、通信装置３０１によりホス
ト２０２へレチクル保管箱１１の所在変更を報告しホス
ト２０２において所在の変更を記録する（ステップ４０
４）。
（ステップ４０３でＮＯ）、通信装置３０１によりホス
ト２０２へレチクル保管箱１１の所在変更を報告しホス
ト２０２において所在の変更を記録する（ステップ４０
４）。
【００２３】表示装置１０１へ、もう一度、磁気カード
１０をカードリーダーライター１０２へ通すよう案内が
表示され、磁気カード１０がカードリーダーライター１
０２を通ったときに前記、洗浄後の搬送回数を１増加さ
せた回数を磁気カード１０に書き込んで（ステップ４０
５，４０６）、レチクル保管箱１１の洗浄時期判定処理
手順は終了する。
１０をカードリーダーライター１０２へ通すよう案内が
表示され、磁気カード１０がカードリーダーライター１
０２を通ったときに前記、洗浄後の搬送回数を１増加さ
せた回数を磁気カード１０に書き込んで（ステップ４０
５，４０６）、レチクル保管箱１１の洗浄時期判定処理
手順は終了する。
【００２４】上記ステップ４０２で洗浄後の搬送回数が
所定搬送回数を越えている場合（ステップ４０２でＹＥ
Ｓ）、レチクル保管箱１１の洗浄が必要であると判断さ
れ、ステップ４０７に移って、表示装置１０１にレチク
ル保管箱１１を洗浄するよう案内を表示してレチクル保
管箱１１の洗浄時期判定処理手順は終了する。
所定搬送回数を越えている場合（ステップ４０２でＹＥ
Ｓ）、レチクル保管箱１１の洗浄が必要であると判断さ
れ、ステップ４０７に移って、表示装置１０１にレチク
ル保管箱１１を洗浄するよう案内を表示してレチクル保
管箱１１の洗浄時期判定処理手順は終了する。
【００２５】同様に、上記ステップ４０３で洗浄後の経
過時間が所定経過時間を越えている場合（ステップ４０
３でＹＥＳ）、レチクル保管箱１１の洗浄が必要である
と判断され、ステップ４０７に移って、表示装置１０１
にレチクル保管箱を洗浄するよう案内を表示してレチク
ル保管箱１１の洗浄時期判定処理手順は終了する。
過時間が所定経過時間を越えている場合（ステップ４０
３でＹＥＳ）、レチクル保管箱１１の洗浄が必要である
と判断され、ステップ４０７に移って、表示装置１０１
にレチクル保管箱を洗浄するよう案内を表示してレチク
ル保管箱１１の洗浄時期判定処理手順は終了する。
【００２６】次に、本発明を、レチクル保管箱１１の認
識媒体として磁気カード１０を使用し、磁気カード１０
の情報にもとずき、ホスト２０２より報告端末１０３へ
洗浄後の搬送回数、及び洗浄日時を連絡するレチクル所
在管理装置に適用した第二の実施例について説明する。
識媒体として磁気カード１０を使用し、磁気カード１０
の情報にもとずき、ホスト２０２より報告端末１０３へ
洗浄後の搬送回数、及び洗浄日時を連絡するレチクル所
在管理装置に適用した第二の実施例について説明する。
【００２７】報告端末、その他構成については図２、図
３、図４に示した前記実施例と同じ構成であるので、第
二の実施例における説明は省略する。
３、図４に示した前記実施例と同じ構成であるので、第
二の実施例における説明は省略する。
【００２８】図６は、この発明の第二の実施例の前記Ｃ
ＰＵ３０３による搬送時のレチクル保管箱１１の洗浄時
期判定処理手順を示している。
ＰＵ３０３による搬送時のレチクル保管箱１１の洗浄時
期判定処理手順を示している。
【００２９】レチクル保管箱１１を搬送させるときに、
カードリーダーライター１０２でレチクル保管箱１１に
付属している磁気カード１０を読むと（ステップ５０
１）、磁気カード１０に登録されているレチクル保管箱
１１のデータにもとずき、通信装置３０１によりホスト
２０２、レチクル保管箱１１の洗浄後の経過時間、洗浄
後の搬送回数を問い合わせ（ステップ５０２）、ホスト
２０２から送られた、前回の洗浄からの搬送回数が所定
搬送回数内であるかどうかが判定される（ステップ５０
３）。
カードリーダーライター１０２でレチクル保管箱１１に
付属している磁気カード１０を読むと（ステップ５０
１）、磁気カード１０に登録されているレチクル保管箱
１１のデータにもとずき、通信装置３０１によりホスト
２０２、レチクル保管箱１１の洗浄後の経過時間、洗浄
後の搬送回数を問い合わせ（ステップ５０２）、ホスト
２０２から送られた、前回の洗浄からの搬送回数が所定
搬送回数内であるかどうかが判定される（ステップ５０
３）。
【００３０】この所定搬送回数は、あらかじめメモリ３
０４に登録されている。洗浄後の搬送回数が所定搬送回
数よりも少ない場合（ステップ５０３でＮＯ）、ホスト
２０２から送られた前回の洗浄日時と、時計３０５のデ
ータを参照して前回の洗浄からの経過時間が、所定経過
時間内であるかどうかが判定される（ステップ５０
４）。この所定経過時間は、あらかじめメモリ３０４に
登録されている。
０４に登録されている。洗浄後の搬送回数が所定搬送回
数よりも少ない場合（ステップ５０３でＮＯ）、ホスト
２０２から送られた前回の洗浄日時と、時計３０５のデ
ータを参照して前回の洗浄からの経過時間が、所定経過
時間内であるかどうかが判定される（ステップ５０
４）。この所定経過時間は、あらかじめメモリ３０４に
登録されている。
【００３１】洗浄後の経過時間が所定経過時間内の場合
（ステップ５０４でＮＯ）、レチクル保管箱１１の新し
い所在と前回ホストから送られてきた搬送回数を１増加
させた搬送回数を通信装置３０１を通してホストへ連絡
し（ステップ５０５）、レチクル保管箱１１の洗浄時期
判定処理手順は終了する。
（ステップ５０４でＮＯ）、レチクル保管箱１１の新し
い所在と前回ホストから送られてきた搬送回数を１増加
させた搬送回数を通信装置３０１を通してホストへ連絡
し（ステップ５０５）、レチクル保管箱１１の洗浄時期
判定処理手順は終了する。
【００３２】上記ステップ５０３で洗浄後の搬送回数が
所定搬送回数を越えている場合（ステップ５０３でＹＥ
Ｓ）、レチクル保管箱１１の洗浄が必要であると判断さ
れ、ステップ５０６に移って、表示装置１０１にレチク
ル保管箱１１を洗浄するよう案内を表示してレチクル保
管箱１１の洗浄時期判定処理手順は終了する。
所定搬送回数を越えている場合（ステップ５０３でＹＥ
Ｓ）、レチクル保管箱１１の洗浄が必要であると判断さ
れ、ステップ５０６に移って、表示装置１０１にレチク
ル保管箱１１を洗浄するよう案内を表示してレチクル保
管箱１１の洗浄時期判定処理手順は終了する。
【００３３】同様に、上記ステップ５０４で洗浄後の経
過時間が所定経過時間を越えている場合（ステップ５０
４でＹＥＳ）、レチクル保管箱１１の洗浄が必要である
と判断され、ステップ５０６に移って、表示装置１０１
にレチクル保管箱１１を洗浄するよう案内を表示してレ
チクル保管箱１１の洗浄時期判定処理手順は終了する。
過時間が所定経過時間を越えている場合（ステップ５０
４でＹＥＳ）、レチクル保管箱１１の洗浄が必要である
と判断され、ステップ５０６に移って、表示装置１０１
にレチクル保管箱１１を洗浄するよう案内を表示してレ
チクル保管箱１１の洗浄時期判定処理手順は終了する。
【００３４】第二の実施例においては、搬送回数をホス
トが記憶するので搬送決定後、第一の実施例のようにも
う一度、磁気カード１０をカードリーダーライター１０
２へ通す必要がなく、カードの通し忘れによる搬送回数
のカウントミスを防止できる利点がある。
トが記憶するので搬送決定後、第一の実施例のようにも
う一度、磁気カード１０をカードリーダーライター１０
２へ通す必要がなく、カードの通し忘れによる搬送回数
のカウントミスを防止できる利点がある。
【００３５】
【発明の効果】本発明は、レチクル保管箱の搬送を行う
前にそのレチクル保管箱が前回の洗浄からどのくらい時
間が経過しているか、また、どのくらい搬送されたかを
記憶し、前回の洗浄より所定の時間、または所定の搬送
回数が経過した場合に、レチクル保管箱の洗浄を指示す
ることができるので、レチクル保管箱内にダストが溜り
レチクル保管箱内部が汚染されるのを防止できる。ま
た、本発明は、搬送回数を記憶し、搬送回数からも洗浄
の時期を判定しているので、洗浄後の経過時間だけより
も効果的な洗浄必要時期を知ることができる。
前にそのレチクル保管箱が前回の洗浄からどのくらい時
間が経過しているか、また、どのくらい搬送されたかを
記憶し、前回の洗浄より所定の時間、または所定の搬送
回数が経過した場合に、レチクル保管箱の洗浄を指示す
ることができるので、レチクル保管箱内にダストが溜り
レチクル保管箱内部が汚染されるのを防止できる。ま
た、本発明は、搬送回数を記憶し、搬送回数からも洗浄
の時期を判定しているので、洗浄後の経過時間だけより
も効果的な洗浄必要時期を知ることができる。
【図１】レチクル保管箱の外観を示す斜視図である。
【図２】報告端末の外観を示す斜視図である。
【図３】報告端末とホストを結ぶ通信経路のネットワー
ク図である。
ク図である。
【図４】報告端末の機器構成を示すブロック図である。
【図５】この発明の一実施例のフローチャートである。
【図６】この発明の第二の実施例のフローチャートであ
る。
る。
１０ 磁気カード １１ レチクル保管箱 １２ レチクル １０１ 表示装置 １０２ カードリーダーライター １０３ 報告端末 ２０１ 通信網 ２０２ ホスト ３０１ 通信装置 ３０２ 入出力インターフェース ３０３ ＣＰＵ ３０４ メモリ ３０５ 時計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/027 B08B 13/00 G03F 1/14
Claims (2)
- 【請求項１】 レチクル保管箱の前回の洗浄からの搬送
回数を記録しレチクル保管箱の前回の洗浄からの経過時
間を記録する第一のステップと、前記レチクル保管箱の
洗浄後の搬送回数が所定搬送回数内であるか否か判定す
る第二のステップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の経
過時間が所定経過時間内であるか否か判定する第三のス
テップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数及び
経過時間が共に所定搬送回数所定経過時間内であるとき
にレチクル所在管理装置へ搬送の報告を行う第四のステ
ップと、前記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数を計数
しているデータを一回増加させる第五のステップと、前
記レチクル保管箱の洗浄後の搬送回数または経過時間の
うちのどちらか一方が所定搬送回数または所定経過時間
を経過しているときにレチクル保管箱の洗浄が必要であ
ることを知らせる第六のステップとを含むことを特徴と
するレチクル保管箱の洗浄時期判定方法。 - 【請求項２】 レチクル保管箱の洗浄後の移動回数とレ
チクル保管箱の前回の洗浄からの経過時間とを記録され
る記録媒体と、該記録媒体にアクセスし前記移動回数と
前記経過時間とが所定の値内であるか否かを比較する比
較手段と、前記所定の値内であればレチクル保管箱の搬
送を許可し前記記録媒体に移動回数を１増加した値を書
き込み、前記所定の値外であればレチクル保管箱の洗浄
を指示する判断手段とを有することを特徴とするレチク
ル保管箱の洗浄時期判定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25152792A JP2894407B2 (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | レチクル保管箱の洗浄時期判定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25152792A JP2894407B2 (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | レチクル保管箱の洗浄時期判定方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06104157A JPH06104157A (ja) | 1994-04-15 |
| JP2894407B2 true JP2894407B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=17224140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25152792A Expired - Lifetime JP2894407B2 (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | レチクル保管箱の洗浄時期判定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2894407B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI417649B (zh) * | 2005-12-28 | 2013-12-01 | 尼康股份有限公司 | 十字標記運送裝置、曝光裝置、十字標記運送方法以及十字標記的處理方法 |
| JP5584241B2 (ja) | 2012-02-27 | 2014-09-03 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置及び半導体デバイスの製造方法 |
-
1992
- 1992-09-21 JP JP25152792A patent/JP2894407B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06104157A (ja) | 1994-04-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990203 |