JPH01316957A - 枚葉式処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子部品に例えばスパッタリング。

露光、現像等の処理を施す装置に関し、特に電子部品を
収納したカセットから自動的に１枚毎に処理部に供給し
て処理をし、処理を終了した電子部品を収納部に置かれ
たカセットに収納する方式の装置に関する。

〔従来の技術〕

化学処理、真空中での成膜処理１等の処理方式には、同
一の中間製品をまとめて処理をする一括処理方式、中間
製品を１枚毎に処理をする枚葉処理方式とがある。この
内枚葉処理方式の装置は、処理を施す製品を収納したカ
セットを供給部にセットし、製品を１枚１枚カセットか
ら取り出し、処理部に搬送して、処理を施した後、収納
部にセットした別のカセットに収納している。従って中
間製品を収納するカセットが、処理前と処理後では異な
るという問題がある。この様な方式の処理装置に於いて
、その中間製品の製品名、処理条件、処理履歴等を管理
する方法として、従来は、カセットに製品名を記録した
パンチカードを添付しておき、その記録媒体を製品の最
終製造工程まで途中で変えることなく製品に添付してお
き、そのパンチカードを作業者が、パンチカードリーダ
ーに装着して製品名を読み取る方式、前記のパンチカー
ドの代わりに磁気カード又はＩＣカードを用いる方式、
中間製品を収納したカセットに直接刻印等を施し、それ
を自動的に読み取る方式等がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記のパンチカード、磁気カード、ＩＣ
カードを用いて情報を管理する方式は、これらの記録媒
体を途中の工程で変えることなく最初の製造工程から最
終製造工程まで同じ記録媒体を中間製品に添付しており
、また一般的には枚葉式処理装置では処理前と処理後で
は製品を収納するカセットが異なる為、作業者がカセッ
トに添付されている記録媒体を抜き取り、処理装置のカ
ードリーダーに装着して、情報を読み取らせ所定の処理
をした後、必要な情報をカードリーダーに装着されてい
る記録媒体に記録し、再び記録媒体をカセットに添付す
る方法を用いている。しかしながら、この方法では作業
者がカセットに記録媒体を添付する際に入れ変えミスを
犯し易いという問題がある。このミスはカセット内の製
品が全て不良品になるという事態に直結する。一方カセ
、トに刻印する方式は、処理装置に於いて自動的に情報
を読み書きされるが、製造工程中の処理装置の全てが製
造工程を管理する上位のコンピュータに接続されている
必要があり、膨大なシステムを構築する必要がある、等
の問題がある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来の製品の最終工程まで同一の記録媒体を使
用し、作業者が記録媒体をカードリーダーに装着する方
式の処理装置に対し、本発明は記録媒体をカセットに固
定する方式を採用し、これらの記録媒体への読み書きを
自動的に行なう処理装置である点に相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、中間製品を収納したカセットに、ＩＣカード
を固定し、そのＩＣカードに製品名（製品番号）、各工
程での処理条件等を予め記録しておき、処理装置の供給
部でそのＩＣカードに記録された前記情報及び当該工程
前までの処理履歴を読み取り、その情報に基づいて、本
処理装置で処理をし、これらの全ての情報を収納部にセ
。

トされたカセットのＩＣカードに記録する方式を採用す
ることで、カセットと記録媒体との入れ替えミスを犯す
という事態を防止し、且つ比較的小規模のシステムを構
築するだけで情報の管理を可能にするものである。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の構成を現わした概略図
、第２図は中間製品を収納する第１の実施例におけるカ
セットにＩＣカードを固定したところを現わした図、第
３図はＩＣカードとその情報を読み書きするプローブと
を接触させたところを示す図である。

製品名、各処理工程での処理条件、処理した履歴等を記
録するＩＣカード５は、製品を収納するカセット１の側
面に固定されている。

一方処理装置は、現像、工、チング等を行なう処理部２
の両端に、処理前の製品を１枚ずつ自動的に取り出して
処理部２に供給する供給部３と、処理した製品をカセッ
ト１内に収納する収納部４とがある。この供給部３及び
収納部４の各々にはカセット１に固定したＩＣカード５
の端子６と電気的接触をするプローブ７が取り付けられ
ている。

供給部３に取り付けられたプローブ７は、ＩＣカードの
情報の読み取りを行なう読取部８に、−方収納部４に取
り付けられたプローブ７はＩＣカードに情報を書き込む
書込部ｌＯに各々接続されている。また読込部８と書込
部１０はこれらを制御する制御部９を介して接続されて
いる。

カセットに収納された中間製品は、供給部でカセットか
ら１枚１枚自動的に取り出され、処理部に送られて処理
が施される。一方収納部には空のカセットをセットして
おき、処理の完了した製品をカセットに自動的に収納す
る。

この処理装置で情報を制御する方法は、供給部に製品を
収納したカセットが、収納部に空のカセットがセットさ
れると、読込部は供給部にセ。

トされているカセットのＩＣカードから記録されている
情報を読み出し、書込部は収納部にセットされているカ
セットのＩＣカードの情報を消去する。読み込まれた情
報は制御部に転送され、更に書込部に転送されて収納部
にセットされているカセットのＩＣカードに書き込まれ
る。この読み込まれた情報を基に制御部は各部を制御し
て製品を処理し、処理が完了すると処理した条件等必要
な情報な書込部に転送して収納部にセットされているカ
セットのＩＣカードに記録する。

本発明による第２の実施例を第４図、第５図で説明する
。第４図は情報を記録するＩＣカードをカセットの底面
に固定した状態を示す図、第５図はそのＩＣカードを読
み書きする部分を示す図である。カセット１の底面には
情報を記録するＩＣカード５が端子部６をカセット１の
底面から突出した状態で固定されている。一方供給及び
収納部でＩＣカードの情報を読み書きする部分は第１の
実施例のプローブ７に代わってソケット１１が取り付け
られている（図示せず）。カセット１に固定されたＩＣ
カード５は供給部及び収納部にカセット１をセットする
際にソケット１１にＩＣカード５の端子部６を挿入する
。これでＩＣカードと読取部及び書込部と電気的に接続
され、製品及び情報が第１の実施例と同じ方法で処理さ
れる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明による方式では、カセットと
ＩＣカードとが固定されており、従来の方式で問題とな
っていたカセットと情報記録媒体との入れ替えミスを犯
すことがなくなる。

また記録された情報は、製品の製造工程の要所要所で読
み出すことで、製品の進度管理、実績の管理等ができ、
ＩＣカードの記憶容量が不足する場合には記録されてい
る情報をここで上位のコンピュータに転送し、新たに以
降の製造工程の情報を記録すれば非常に情報量の多い製
造工程でも使用可能である。従って製造工程の全ての処
理装置を上位のコンピュータに接続する必要がなく、膨
大な情報管理システムを構築しなくても情報の管理を容
易に行なうことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の構成の概略図、第２図はカセットとＩ
Ｃカードの固定位置を示す図、第３図はＩＣカードにプ
ローブを接触させている状態を示す図、第４図はカセッ
トとＩＣカードの固定方法を示す第２の実施例を示す図
、第５図は第４図のＩＣカードをソケットに挿入した状
態を示す図である。 ｌ・・・・・・カセット、２・・・・・・処理部、３・
・・・・・供給部、４・・・・・・収納部、５・・・・
・・ＩＣカード、７・・・・・・プローブ、８・・・・
・・読取部、９・・・・・・制御部、１０・・・・・・
書込部 代理人　弁理士　　内　原　　　音 、茅　２　ｍ 茅　３　菌 斗４ｒ！ｌＪ 茅　Ｓ　酊

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　電子部品にスパッタリング、現像、露光、エッチング
   等の処理を１枚毎に施す処理部と、処理前の中間製品を
   収納したカセットから該中間製品を自動的に１枚毎に該
   処理部に供給する供給部と、該供給部に設けられ、該カ
   セットに取り付けられたＩＣカードに記録された情報を
   読み取る読取部と、処理された製品をカセットに収納す
   る収納部と、該収納部に設けられ、供給部から読み取ら
   れた情報と、処理部で処理された情報とをＩＣカードに
   書き込む書込部と、該読取部からの情報及び処理部で処
   理された情報とを該書込部に送る情報制御部とから少な
   くとも成る枚葉式処理装置。