JPS6144423A - 半導体装置の製造自動化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、半導体装置の製造に於いて、被処理対象とな
る半導体ウェハに所定のプロセス処理を施す半導体装置
の製造自動化装置に関する。

〔発明の背景〕

従来の半導体装置の製造に於いては１品種名。

複数枚の半導体ウェハを１単位とするロット名。

シーケンシャルに配列された製造工程名等を記述したコ
ントロール用紙を用いて１名製造段階を区別し制御して
いた。したがって、品種、ロット。

製造工程の識別は人間が行なっていた。このため（１）
製造工程での操作ミス、（２）コントロール用紙を持ち
歩くことの煩雑さ、（３）製造工程の進行を常時監視す
ることの難しさ、（４）コントロール用紙によるゴミの
発生などが間開点としてあった。

これらの問題点を解決するためには、品種名。

ロット名、製造工程名等を計算機で識別認知し、それに
対応して半導体製造装置を自動制御する必要がある。し
かも、この半導体装置の製造自動化装置は、計算機の使
用に不慣れな作業者にも使い易いものでなければならな
い。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記従来の問題を解決し、取扱いが極
めて容易な、半導体装置の製造自動化装置を提供するこ
とである。

〔発明の構成〕

上記目的を達成するため、本発明は、製造されるべき半
導体装置の属性など、所要条件を記録したＩＤカードを
用いることによって、取扱いを容易にするものである。

〔発明の実施例〕

第１図は１品種、ロット、製造工程名等を識別認知し、
製造条件を自動設定する製造自動化装置の実施例である
０品稚、ロット、製造工程あるいは製造条件等は、コン
トロール用紙の代りにＩＤカードｌに記録される。ＩＤ
カード１には、磁気方式、光学ピット方式、静電容量方
式などにより情報が記録される。

まず、ウェハ貯蔵装置１１に半導体ウェハをセットした
後、ＩＤカード判読装置１４でＩＤカード１を判読し、
その内容を伝送路１６により計算機１５に転送する。こ
の情報を用いて計算機１５が処理袋！（製造装置ｆり１
３を制御し、ウェハ搬送路１２を通って処理装置ｉ！１
３に取り込まれた半導体ウェハを加工し、ウェハ貯蔵装
置１７に収納する。

この結果、作業者がＩＤカード１をＩＤカード判読装！
ｉ！１４に入れるだけで、製造条件の設定が完了し、処
理装置１３の操作ミスが軽減する。また、多数枚におよ
ぶコントロール用紙を持ち歩く煩雑さはなくなり、さら
に無塵化が促進される。

第２図は、別の実施例であり、ＩＤカード判読装置１４
が処理装置１１３の一部として組み込まれた場合を示す
、この場合でも、ＩＤカード判読装置１４で判読された
情報は、伝送路１６を経て計算機１５に転送され、それ
に基づいて計算機１５が処理袋［１３を制御する。

第３図は、中央情報処理装置と大容量メモリを有するコ
ントローラ１８を処理装置！１３に直接組込み、かつＩ
Ｄカード判読装置ｉ１４を１８の一部として組み込み、
一体の製造自動化装置とした例である。このことにより
、処理装置！１３と計算機をケーブルを用いて結線する
ことが不要となり。

装置の保守および装置の配置が簡単になる。また、処理
装置１３のインテリジェント化が促進される。

〔発明の効果〕

上記説明から明らかなように１本発明によれば。

取扱いが容易になる、操作ミスが減少する、装置のイン
テリジェント化が促進されるなど多くの特長があり、得
られる利益は極めて大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図は、ＩＤカード判読装置を有す
る半導体装置の製造自動化装置の実施例を示すブロック
図である。 １・・・ＩＤカード、１１・・・ウェハ貯蔵装置、１２
・・・ウェハ搬送路、１３・・・処理装置（製造装置）
、１４・・・ＩＤカード判読装置、１５・・・計算機。 １６・・・信号伝送路、１７・・ウェハ貯蔵装置、１８
・・・コントローラである。 代理人　弁理士　小　川　勝　男１″パ＼、 第　１（］ 第　３　口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、製造されるべき半導体装置の属性や被処理対象とな
   る半導体ウェーハの属性等を記録したＩＤカードの判読
   装置と、該判読装置からの情報により製造装置を制御す
   る制御装置を有することを特徴とする半導体装置の製造
   自動化装置。