JPH067567B2

JPH067567B2 - 分散型作業進行管理方法

Info

Publication number: JPH067567B2
Application number: JP60283009A
Authority: JP
Inventors: 純中里; 武正岩崎
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1985-12-18
Filing date: 1985-12-18
Publication date: 1994-01-26
Anticipated expiration: 2009-01-26
Also published as: JPS62143415A

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野〕本発明は、作業・検査ラインにおける分散型作業進行管
理方法に係り、特に製品としての物に対するある作業や
検査に関する各種情報が効率的に処理されるようにした
分散型作業進行管理方法に関するものである。

〔発明の背景〕

作業実施単位で工程進行を行なうことによって、工程の
進行の管理の分散化を図る方法としては、これまでに特
開昭59−184958号公報に示された工程進行管理方式が知
られている。これは、記録媒体にロット識別コードや直
前までのそのロットに対する作業履歴、各工程対応の作
業条件を記録しておき、各工程ではその工程対応の作業
条件を記録媒体より読み出したうえその作業条件下で作
業を実施し、その作業結果を記録媒体に書き込むように
することによって、作業の分散自律化が図られるように
なっている。作業条件の自動的な指示を含むようにして
システムの拡張性や信頼性，性能性なども併せて図られ
にようになっているものである。しかしながら、これに
よる場合は記録媒体は製品としての物と一体化されてい
なく、工程間移動においてはその物とこれについての記
録媒体とを対応させる管理が必要となっている。また、
例えば半導体ウエハの製造工程においては作業条件の微
妙な差によってウエハ特性も異なるが、そのようにした
場合、作業条件を変更する必要が生じるので、各作業工
程でのＦ・Ｂ制御（その工程における前データにもとづ
いて次作業条件データなどを指示補正制御すること）
や、Ｆ・Ｆ制御（前工程でのデータにもとづく次工程の
制御）が考慮されていないものとなっている。

一方、製品としての物を識別する方法としては、これま
でに例えば特開昭55−40184 号公報に示されたものが知
られている。これによると計算機制御によりウエハをウ
エハ単位に処理すべく、ウエハに付された識別用印が読
み取られるようになっている。これとは別に特開昭55−
115325号公報にはまたウエハ周辺部の所定領域に放射性
物質を選択的に注入することによって、番号付けを行な
うことが示されている。しかしながら、これら方法は何
れもウエハ自体を識別するためのものであり、ウエハの
工程履歴（工程識別や作業条件の履歴，作業結果）、更
にはこの履歴をそのウエハに常に対応させることなどに
ついては何等考慮されていないものとなっている。即
ち、Ｆ・Ｂ制御，Ｆ・Ｆ制御を考慮しつつ、しかも物と
これについての工程履歴とを常に対応させて工程進行を
図るものは、現在のところまだ実現されていないのが実
情である。

〔発明の目的〕

よって本発明の目的は、Ｆ・Ｂ制御やＦ・Ｆ制御を考慮
しつつ、しかも物とこれについての工程履歴などを常に
対応させて工程進行が図れる分散型作業進行管理方法を
供するにある。

〔本発明の概要〕

この目的のため本発明は、物を個々にあるいはロット単
位に収容した状態で保管しかつ各々の作業ステーション
に順次移動するための手段に設けられた記録媒体に、作
業条件，比較基準データよりなる更新可能データと所定
の各種更新付加データとからなる工程進行データを予め
記録しておくこと、物が各々の作業ステーションに移動
された時点で、上記記録媒体の工程進行データを確認
し、該工程進行データ内の作業条件の範囲内で特定作業
を実施すること、その後、各作業ステーション毎にその
作業工程での作業実施結果と工程進行データ内の比較基
準データとを比較し、かつ該比較結果を作業実施条件と
共に前記記録媒体に記録すると共に、予め設けられたデ
ータ管理・解析ステーションにリアルタイムで転送する
こと、データ管理・解析ステーションが、前記転送され
た作業実施結果に基づき解析することによって物に対す
る工程進行データ内の前記更新可能データの変更内容の
有無を判定すると共にその変更内容を求めること、その
後、データ管理・解析ステーションが前記更新可能デー
タの変更内容を、対応する作業ステーションに選択的に
転送すること、選択的に転送された作業ステーション
が、更新可能データの変更内容を前記記録媒体に書き換
えて更新した後、更新した内容に応じ物に対する特定作
業を実施すると共に、その作業実施結果を比較すること
を特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を物が半導体ウエハであるとして第１図，
第２図により説明する。

先ず本発明に係る保管・移動手段について説明すれば、
第２図はその概観を示したものである。本例でのものは
半導体ウエハ用のものであり、この保管・移動手段とし
てのウエハカセット１には半導体ウエハがロット単位に
収容された状態で保管されたり、工程間を移動するよう
になっているものである。図示のようにウエハカセット
１はこれまでのものに磁気バブルメモリやＥ²PROMなど
の記録媒体２を、その入出力端子３が外部に露出された
状態で内蔵せしめるようにしたものである。ウエハカセ
ット１にはまた液晶表示素子４が外表面に設けられてお
り、これに記録媒体２に予め記録されているロット識別
情報としてのロットNo.が表示されるようになってい
る。なお、ウエハのナンバリングSEMi規格で行ないウエ
ハの周辺部あるいはその裏側にナンバリングするととも
に、ウエハカセット１の縁に対してもナンバリングが行
なわれるようになっている。

ここで、記録媒体２に記録される各種情報について説明
すれば以下のようである。

即ち、ロットとともに移動される記録媒体２にはそのロ
ットについての各種情報が工程進行データとして予め記
録されてるが、各工程ではそれら情報の１部が更新可と
なっている他、必要な情報が追加記録されるようになっ
ている。より具体的に説明すれば品種名やロット名，比
較基準データ，工程名，工程対応作業条件（基準），ロ
ットNo.などはそのロットに固有、あるいは必要不可欠
なものであり、これらは初期設定段階で予め記録される
ようになっている。尤も工程対応比較基準データや工程
対応作業条件は後に更新可となっているが、これについ
ては後述するところである。予め記録される情報は以上
のようであるが、設備No.や作業年月日，作業者名（但
し、これら設備No.や作業年月日，作業名は予め記録し
ておいてもよい），作業実施条件，作業結果あるいは検
査結果などは後に追加記録されるようになっている。半
導体ウエハがロット単位に必要とされる各工程を順次経
る度に工程対応比較基準データや工程対応作業条件は変
更されたり、作業実施条件などの必要な情報が追加記録
されるようになっているわけである。

さて、本発明を具体的に説明すれば、第１図は本発明に
係る半導体ウエハの作業・検査ラインシステムの概要を
示したものである。本例でのシステムは１つのロット別
作業命令発行ステーション５、１つのデータ管理・解析
ステーション７および複数の作業ステーション６が情報
転送手段としてのローカルエリアネットワーク８におけ
るトランシーバ（T/R）に収容されたものとなってい
る。ロット別作業命令発行ステーション５は記録データ
初期設定のためのものであり、ウエハカセット１に内蔵
されている記録媒体２を入出力端子３を介し読出・記録
装置５₂に接続した状態で、既述の品種名やロット名，
必要な工程名，ロットNo.，作業条件などを制御装置
（例えばキーボードおよびCRT付マイクロコンピュータ
より構成）５₁よりトランシーバを介し記録媒体２に書
込するものとなっている。この書込で初期設定データの
記録媒体２への記録が行なわれるわけである。この後ウ
エハカセット１は必要な工程についての作業ステーショ
ン６を順次経ることによって、ウエハに対しては必要な
作業あるいは検査が実施されることになるが、作業ステ
ーション６各々は作業装置あるいは検査装置６₃、作業
装置（制御装置５１に同じ）６₁および読出・記録装置
（読出・記録装置５₂に同じ）６₂より基本的に構成され
るものとなっている。作業実施単位としての作業ステー
ション６各々ではウエハカセット１は先ず読出・記録装
置６₂に装着され、次には作業装置５１による制御下に
記録媒体２に記録されている内容がトランシーバを介し
その制御装置６₁に送信されるようになっている。この
後は読出・記録装置６₂からの送信内容から工程トラッ
キングを行ない、その作業実施単位での作業を確認すべ
く品種名やロットNo.，工程名などがチェックされ、チ
ェック結果は制御装置６₁に表示されるものとなってい
る。作業内容確認後は制御装置６₁に予め登録されてい
る品種別・工程別の作業条件出し制御プログラムによる
制御下に作業あるいは検査のガイドと、作業装置あるい
は検査装置６₃に対する制御とを行ないつつ、与えられ
た作業条件の範囲内で作業あるいは検査が実施されるも
のである。この際に検査の場合にはその検査結果と比較
基準データとの比較結果が、また、作業の場合には作業
結果（実績）が制御装置６₁に作業実施条件とともに収
集された後、トランシーバを介し記録媒体２に記録され
る一方、データ管理・解析ステーション７に転送される
ようになっているものである。

即ち、より詳細には制御装置６₁はその作業開始前に作
業者名あるいは作業者番号が登録情報として入力される
ことによって、工程トラツキングから該当する作業条件
出し制御プログラムを選択し、作業条件にもとづき作業
内容を表示するとともに、オンラインで作業装置あるい
は検査装置６₃を制御しつつ作業実績を収集するように
なっているものである。この後は作業実績と比較基準デ
ータとが比較され、次作業ステーションへウエハカセッ
ト１を進めるか否かが表示されるようになっている。更
にこの後には工程トラッキングを処理して必要な情報
（品種名やロット名などの識別データと作業実施条件，
作業実績，検査結果など）がトランシーバを介し記録媒
体２に記録される一方、データ管理・解析ステーション
７にもトランシーバを介し転送されるようになっている
ものである。

データ管理・解析ステーション７においては転送されて
きた情報は解析処理装置（例えばスーパミニコンピュー
タ）７₁による制御下に直ちにメモリ（例えば磁気ディ
スク）７₂に記憶されたうえ、検査規格値や標準作業条
件との相関分析や時系列データ解析に供されるようにな
っているものである。その結果は表示装置（例えばコン
ソール付グラフィックディスプレイ）７₃に表示された
り、記録装置（例えばグラフィックプリンタ）７₄に図
形や表の形式で記録されるようになっているが、解析結
果によっては作業条件や比較基準データを変更すべくコ
ンソールが操作され、その旨の情報がトランシーバを介
し該当する作業ステーションにおける制御装置に先送り
されるようになっている。即ち、データ管理・解析ステ
ーション７による解析結果、作業条件や比較基準データ
を変更する必要がある場合には、その変更すべき内容の
データを求め、その求めたデータを該当する作業ステー
ションの制御装置に送る。しかして、そのステーション
に該当するウエハカセットが送られてきた時点でその記
録媒体の内容は所定に変更されるわけである。従って、
変更必要のある作業ステーションの制御装置は、送られ
てきたウエハカセットの記録媒体の内容をデータ管理・
解析ステーション６の解析結果に基づいて変更された作
業条件や比較基準データの内容に更新するので、以下の
工程においてはその更新された内容に従って作業あるい
は検査を行うこととなり、そのため、更新された内容に
従った作業あるいは検査を的確に実施し得るように構成
されている。

制御装置６₁に表示された内容より作業終了が確認され
た後は、ウエハカセットは次作業ステーションに送られ
同様な処理が繰り返されるものである。

したがって、本発明による場合は、作業工程の順序と内
容の一部が各製品ごとに異なる複数の製品について、各
作業工程ごとに、各作業単位ごとの作業の進行自律化と
作業指示の自動化が可能となり、生産の自動化やシステ
ムの拡張、他システムとの係合が容易になる。その結
果、下記のような顕著な効果が得られる。

(1) 作業票によって行なわれていた作業条件とその実
績がコンピュータ化されることで、自動制御を実現しや
すく、不良解析，条件値の設定と変更がオンラインでで
きるようになる。作業票がなくなり、記帳ミス，記帳に
よる環境のよごれがなくなる。以上から歩留りの向上、
対策の期間短縮および品質安定化が図られることにな
る。

(2) 工程内での作業条件がカセット内に全て、内蔵さ
れることで、ホストコンピュータとの問合せが減少化
し、自律的な管理ができ、かつホストコンピュータのダ
ウンの影響を少なくできる。

(3) 作業条件や実績をリアルタイムで解析することに
より、標準条件とのズレや、検査結果の合否の判定を即
時にでき、かつ条件の調整を指示できることで、品質の
安定に寄与できる。

以上から、低コストで信頼度の高い作業進行管理が実現
されることになる。

本発明は以上のようなものであるが、ロット単位ではな
くウエハ単位に作業進行管理を行なうことも可となって
いる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明データ管理・解析ステーショ
ンが作業実施結果に基づいて解析することにより工程進
行データ内の作業条件や比較基準データの変更の有無を
判定すると共にその変更内容を求め、求めた変更内容を
該当する作業ステーションに転送することはより、該作
業ステーションが変更した内容の作業条件及び比較基準
データを記録媒体に書き込んで更新し、更新された作業
条件に従って特定作業を行う一方、更新された比較基準
データに基づいて特定作業結果を求めるので、物として
例えば半導体ウエハのように作業条件の微妙な差によっ
て特性が異なっても、それに拘ることなくＦ・Ｂ制御や
Ｆ・Ｆ制御を行うことができ、しかも物とこれについて
の工程履歴とを常に対応させて工程進行を図ることがで
き、さらに各作業ステーションとデータ管理・解析ステ
ーション間をオンライン化することによってホストコン
ピュータがダウンするのを極力避けることができる結
果、対策の期間短縮および品質安定化並びに作業工程ラ
インの安定性を図ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る半導体ウエハの作業・検査ライ
ンシステムの概要を示す図、第２図は、本発明に係るウ
エハカセットの外観を示す図である。１…ウエハカセット、２…記録媒体、５…ロット別作業
命令発行ステーション、６…作業ステーション、７…デ
ータ管理・解析ステーション、８…ローカルエリアネッ
トワーク、５₁，６₁…制御装置、５₂，６₂…読出・記録
装置、６₃…作業装置あるいは検査装置。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】製品としての物を個々にあるいはロット単
位に収容した状態で各々の作業ステーションに順次送り
込み、その製品しての物に対し各作業ステーションの作
業工程毎に特定の作業を行うようにした分散型作業進行
管理方法であって、Ａ）物を個々にあるいはロット単位に収容した状態で保
管しかつ各々の作業ステーションに順次移動するための
手段に設けられた記録媒体に、作業条件，比較基準デー
タよりなる更新可能データと所定の各種更新不可データ
とからなる工程進行データを予め記録しておき、Ｂ）物が各々の作業ステーションに移動された時点で、
上記記録媒体の工程進行データを確認し、該工程進行デ
ータ内の作業条件の範囲内で特定作業を実施した後、Ｃ）各作業ステーション毎にその作業工程での作業実施
結果と工程進行データ内の比較基準データとを比較し、
かつ該比較結果を作業実施条件と共に前記記録媒体に記
録すると共に、予め設けられたデータ管理・解析ステー
ションにリアルタイムで転送し、Ｄ）データ管理・解析ステーションが、前記転送された
各作業ステーションからの作業実施結果に基づき解析を
することによって物に対する工程進行データ内の前記更
新可能データの変更の有無を判定すると共に、更新可能
データの変更がある場合にその変更内容を求め、Ｅ）その後、データ管理・解析ステーションが更新可能
データの変更内容を、対応する作業ステーションに選択
的に転送する一方、Ｆ）変更内容の転送された作業ステーションが、更新可
能データの変更内容を前記記録媒体に書き換えて更新し
た後、更新した変更内容に応じ物に対する特定作業を実
施すると共に、その作業実施結果を比較することを特徴
とする分散型作業進行管理方法。