JPH0751798Y2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH0751798Y2 JPH0751798Y2 JP1992053773U JP5377392U JPH0751798Y2 JP H0751798 Y2 JPH0751798 Y2 JP H0751798Y2 JP 1992053773 U JP1992053773 U JP 1992053773U JP 5377392 U JP5377392 U JP 5377392U JP H0751798 Y2 JPH0751798 Y2 JP H0751798Y2
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- Japan
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- wafer cassette
- supporting
- wafer
- supported
- cassette
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、物品の搬送装置に関す
る。特に、種類の異なる複数個の物品を一時的に貯蔵し
て次工程に供給することができるとともに、貯蔵された
物品の個別の情報を読みとって、物品の種類等を検知す
ることが可能な搬送装置に関するものである。
る。特に、種類の異なる複数個の物品を一時的に貯蔵し
て次工程に供給することができるとともに、貯蔵された
物品の個別の情報を読みとって、物品の種類等を検知す
ることが可能な搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、物品の製造工程においては、生産
効率を高めるために、複数個の物品をひとつにまとめて
製造ラインに供給する手段が用いられている。例えば、
半導体集積回路を作るときに使うウエハは、製造段階に
おいて専用のウエハカセットに複数枚収納され、カセッ
ト単位で、半導体集積回路の製造工程に供給されてい
る。
効率を高めるために、複数個の物品をひとつにまとめて
製造ラインに供給する手段が用いられている。例えば、
半導体集積回路を作るときに使うウエハは、製造段階に
おいて専用のウエハカセットに複数枚収納され、カセッ
ト単位で、半導体集積回路の製造工程に供給されてい
る。
【０００３】このようなウエハの製造工程において、ト
ラブル等が発生した場合には、次の製造工程にウエハカ
セットが供給されず生産効率が著しく低下することがあ
った。また、一つのウエハ供給ラインから複数の製造ラ
インへウエハカセットを供給するような場合において、
複数の製造ライン間に生産効率の差があるようなときに
は、ある製造ラインに供給するウエハカセットが余って
も、そのウエハカセットを一時的に貯蔵することができ
ず、ライン全体の生産効率を高めることができなかっ
た。
ラブル等が発生した場合には、次の製造工程にウエハカ
セットが供給されず生産効率が著しく低下することがあ
った。また、一つのウエハ供給ラインから複数の製造ラ
インへウエハカセットを供給するような場合において、
複数の製造ライン間に生産効率の差があるようなときに
は、ある製造ラインに供給するウエハカセットが余って
も、そのウエハカセットを一時的に貯蔵することができ
ず、ライン全体の生産効率を高めることができなかっ
た。
【０００４】既に本件出願人は、製造工程においてトラ
ブル等が発生した場合でも、生産効率が著しく低下する
のを防止することができ、また製造ラインに生産効率の
差があるような場合でも、ライン全体の生産効率を高め
ることができる搬送装置を提案している。
ブル等が発生した場合でも、生産効率が著しく低下する
のを防止することができ、また製造ラインに生産効率の
差があるような場合でも、ライン全体の生産効率を高め
ることができる搬送装置を提案している。
【０００５】図７はこの搬送装置を示す正面図、図８は
同じく平面図、図９はピッチ送り手段を示す斜視図であ
る。
同じく平面図、図９はピッチ送り手段を示す斜視図であ
る。
【０００６】これらの図面において、１〜３は搬送装置
の上部に設けられた第１〜第３の支持部であり、一定の
間隔を置いて配置され、複数枚のウエハを収納したウエ
ハカセットＣをそれぞれ両側から支持する。図９におい
て、４はピッチ送り手段であり、移動ブロック５と、こ
の移動ブロック５を進退動させる進退動手段６と、移動
ブロック５に昇降動可能に支持されたテーブル７と、こ
のテーブル７を昇降動させる昇降動手段８とからなって
いる。テーブル７は、進退動手段６と昇降動手段８とに
よる進退動および昇降動を伴って移動するようになって
いる。
の上部に設けられた第１〜第３の支持部であり、一定の
間隔を置いて配置され、複数枚のウエハを収納したウエ
ハカセットＣをそれぞれ両側から支持する。図９におい
て、４はピッチ送り手段であり、移動ブロック５と、こ
の移動ブロック５を進退動させる進退動手段６と、移動
ブロック５に昇降動可能に支持されたテーブル７と、こ
のテーブル７を昇降動させる昇降動手段８とからなって
いる。テーブル７は、進退動手段６と昇降動手段８とに
よる進退動および昇降動を伴って移動するようになって
いる。
【０００７】このような構成を有する搬送装置によれ
ば、ウエハカセットＣは、ピッチ送り手段４により、第
１の支持部１から第２の支持部２へ、第２の支持部２か
ら第３の支持部３へと順にピッチ送りされて、第１〜第
３の支持部１〜３にそれぞれ貯蔵される。また、搬送装
置に貯蔵されたウエハカセットＣは、第３の支持部３か
ら図示しないフォーク等によって受け取られ、送り出さ
れる。
ば、ウエハカセットＣは、ピッチ送り手段４により、第
１の支持部１から第２の支持部２へ、第２の支持部２か
ら第３の支持部３へと順にピッチ送りされて、第１〜第
３の支持部１〜３にそれぞれ貯蔵される。また、搬送装
置に貯蔵されたウエハカセットＣは、第３の支持部３か
ら図示しないフォーク等によって受け取られ、送り出さ
れる。
【０００８】このような搬送装置を、例えば、ある製造
工程と製造工程との間に配置すれば、搬送装置の前の製
造工程でトラブル等が発生しても搬送装置の支持部１〜
３に貯蔵してある分だけのウエハカセットＣを次の製造
工程に供給することができる。
工程と製造工程との間に配置すれば、搬送装置の前の製
造工程でトラブル等が発生しても搬送装置の支持部１〜
３に貯蔵してある分だけのウエハカセットＣを次の製造
工程に供給することができる。
【０００９】したがって、トラブルが発生した工程より
あとの製造ラインを停止させる必要がなく、ウエハカセ
ットが供給されないことにより生ずる生産効率の低下を
防止することができる。
あとの製造ラインを停止させる必要がなく、ウエハカセ
ットが供給されないことにより生ずる生産効率の低下を
防止することができる。
【００１０】また、製造ラインに生産効率の差があるよ
うな場合でも、生産効率の低いラインに送り出す分のウ
エハカセットを搬送装置に貯蔵しておくことができ、そ
の結果、ライン全体の生産効率を高めることができる。
うな場合でも、生産効率の低いラインに送り出す分のウ
エハカセットを搬送装置に貯蔵しておくことができ、そ
の結果、ライン全体の生産効率を高めることができる。
【００１１】
【考案が解決しようとする課題】上述した搬送装置は、
ウエハカセットＣを一時的に貯蔵して送り出すことが可
能であったが、ウエハカセットの個別の情報、例えば、
支持部に貯蔵されているウエハカセットの種類がどのよ
うなものであるか等の情報を検知することができなかっ
た。
ウエハカセットＣを一時的に貯蔵して送り出すことが可
能であったが、ウエハカセットの個別の情報、例えば、
支持部に貯蔵されているウエハカセットの種類がどのよ
うなものであるか等の情報を検知することができなかっ
た。
【００１２】このため、支持部に貯蔵されているウエハ
カセットの種類を判別することができず、ウエハカセッ
トの種類により異なっている製造工程へ、ウエハカセッ
トを適切に送り出すことができないという問題があっ
た。
カセットの種類を判別することができず、ウエハカセッ
トの種類により異なっている製造工程へ、ウエハカセッ
トを適切に送り出すことができないという問題があっ
た。
【００１３】本考案の目的は、以上のような問題点を解
決し、支持部に貯蔵されている物品の個別情報を検知す
ることができ、適切な製造工程へ物品を送り出すことが
できる搬送装置を提供することにある。
決し、支持部に貯蔵されている物品の個別情報を検知す
ることができ、適切な製造工程へ物品を送り出すことが
できる搬送装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の搬送装置は、次の工程に供給する物品
を供給前に一時的に貯蔵しておくための搬送装置であっ
て、装置本体に複数個設けられ、前記物品がそれぞれひ
とつづつ支持される支持部と、進退動および上下動を伴
って前記支持部に支持された物品を他の空いている支持
部に移動させる送り手段とを備え、前記物品に配置さ
れ、物品の個別情報が記録された記録媒体と、前記支持
部に設けられ、前記記録媒体に記録されている情報を読
み取る読取部とを具備した構成とした。請求項２記載の
搬送装置によれば、次の工程に供給するウエハカセット
を供給前に一時的に貯蔵しておくための搬送装置であっ
て、装置本体に複数個設けられ、前記ウエハカセットが
それぞれひとつづつ支持される支持部と、進退動および
上下動を伴って前記支持部に支持されたウエハカセット
を他の空いている支持部にピッチ送りするピッチ送り手
段とを備え、前記ウエハカセットの底面部に配置され、
カセットの個別情報が記載されたＩＤタグと、前記支持
部に設けられ、前記ＩＤタグに記録されている情報を読
み取る読取部とを具備した構成とした。請求項３記載の
搬送装置によれば、次の工程に供給するウエハカセット
を供給前に一時的に貯蔵しておくための搬送装置であっ
て、装置本体に複数個設けられ、前記ウエハカセットが
それぞれひとつづつ支持される支持部と、進退動および
上下動を伴って前記支持部に支持されたウエハカセット
を他の空いている支持部にピッチ送りするピッチ送り手
段とを備え、前記ウエハカセットの底面部に配置され、
カセットの個別情報が記載されたＩＤタグと、前記支持
部に設けられ、前記ＩＤタグに記録されている情報を読
み取る読取部と、この読取部が読み取った情報をハンド
リングロボットへ送信する送信手段とを具備した構成と
した。
に請求項１記載の搬送装置は、次の工程に供給する物品
を供給前に一時的に貯蔵しておくための搬送装置であっ
て、装置本体に複数個設けられ、前記物品がそれぞれひ
とつづつ支持される支持部と、進退動および上下動を伴
って前記支持部に支持された物品を他の空いている支持
部に移動させる送り手段とを備え、前記物品に配置さ
れ、物品の個別情報が記録された記録媒体と、前記支持
部に設けられ、前記記録媒体に記録されている情報を読
み取る読取部とを具備した構成とした。請求項２記載の
搬送装置によれば、次の工程に供給するウエハカセット
を供給前に一時的に貯蔵しておくための搬送装置であっ
て、装置本体に複数個設けられ、前記ウエハカセットが
それぞれひとつづつ支持される支持部と、進退動および
上下動を伴って前記支持部に支持されたウエハカセット
を他の空いている支持部にピッチ送りするピッチ送り手
段とを備え、前記ウエハカセットの底面部に配置され、
カセットの個別情報が記載されたＩＤタグと、前記支持
部に設けられ、前記ＩＤタグに記録されている情報を読
み取る読取部とを具備した構成とした。請求項３記載の
搬送装置によれば、次の工程に供給するウエハカセット
を供給前に一時的に貯蔵しておくための搬送装置であっ
て、装置本体に複数個設けられ、前記ウエハカセットが
それぞれひとつづつ支持される支持部と、進退動および
上下動を伴って前記支持部に支持されたウエハカセット
を他の空いている支持部にピッチ送りするピッチ送り手
段とを備え、前記ウエハカセットの底面部に配置され、
カセットの個別情報が記載されたＩＤタグと、前記支持
部に設けられ、前記ＩＤタグに記録されている情報を読
み取る読取部と、この読取部が読み取った情報をハンド
リングロボットへ送信する送信手段とを具備した構成と
した。
【００１５】
【作用効果】請求項１記載の搬送装置によれば、支持部
は装置本体に複数個設けられ、物品がそれぞれひとつづ
つ支持される構成となっているとともに、送り手段は進
退動および上下動を伴って、支持部に支持された物品を
他の空いている支持部に移動させるようになっているの
で、各支持部に物品をそれぞれひとつづつ載置すること
ができ、全体として複数個の物品を一時的に貯蔵してお
くことができる。したがって、搬送装置より前の製造工
程でトラブル等が発生して物品が供給されなくなったと
しても、各支持部に支持されて貯蔵されている分の物品
を次の製造工程に供給することができ、物品が供給され
ないことにより生ずる生産効率の低下を防止することが
できる。物品には物品の個別情報が記録された記録媒体
が配置され、この記録媒体に記録されている情報を読み
取る読取部が支持部に設けられているので、支持部に支
持されて貯蔵された物品の個別情報を読み取ることがで
きる。したがって、この読取部により読み取られた個別
情報に基づいて物品を識別することが可能となり、次の
製造工程へ物品を供給する際の送り出しを適切に行なう
ことができる。請求項２記載の搬送装置によれば、支持
部は装置本体に複数個設けられ、ウエハカセットがそれ
ぞれひとつづつ支持される構成となっているとともに、
ピッチ送り手段は進退動および上下動を伴って、支持部
に支持されたウエハカセットを他の空いている支持部に
ピッチ送りするようになっているので、各支持部にウエ
ハカセットをそれぞれひとつづつ載置することができ、
全体として複数個のウエハカセットを一時的に貯蔵して
おくことができる。したがって、搬送装置より前の製造
工程でトラブル等が発生してウエハカセットが供給され
なくなったとしても、装置に貯蔵してある分だけのウエ
ハカセットを次の製造工程に供給することができるの
で、ウエハカセットが供給されないことにより生ずる生
産効率の低下を防止することができる。ウエハカセット
の底面部にはウエハカセットの個別情報が記録されたＩ
Ｄタグが配置され、このＩＤタグに記録されている情報
を読み取る読取部が支持部に設けられているので、支持
部に支持されて貯蔵されたウエハカセットの個別情報を
読み取ることができる。したがって、この読取部により
読み取られた個別情報に基づいてウエハカセットを識別
することが可能となり、次の製造工程へウエハカセット
を供給する際の送り出しを適切に行なうことができる。
ウエハカセットはピッチ送り手段により支持部から他の
空いている支持部へ順にピッチ送りされて貯蔵されるこ
ととなるので、装置上においてウエハカセット同士が干
渉しないという利点が得られる。したがって、信頼性の
高いウエハの製造を実現することができる。ＩＤタグは
ウエハカセットの底面部に配置されているとともに、読
取部が支持部に設けられているので、ウエハカセットが
支持部に支持された状態の時にそのウエハカセットのＩ
Ｄタグが読み取られることとなり、個別情報の確実な読
み取りが実現される。したがって、このような搬送装置
によれば、確実性の高いウエハカセットの識別を実現す
ることができ、次の製造工程へウエハカセットを供給す
る際の送り出しをより一層正確に行なうことができる。
請求項３記載の搬送装置によれば、上述した請求項２の
有する作用効果に加え、読取部が読み取った情報をハン
ドリングロボットへ送信する送信手段が設けられている
ので、支持部に支持されているウエハカセットをハンド
リングロボットを用いて次の適切な製造工程へ送り出す
際に、ハンドリングロボットに対してウエハカセットの
正確な情報を送ることができ、より一層正確なウエハカ
セットの送り出しを実現することができる。
は装置本体に複数個設けられ、物品がそれぞれひとつづ
つ支持される構成となっているとともに、送り手段は進
退動および上下動を伴って、支持部に支持された物品を
他の空いている支持部に移動させるようになっているの
で、各支持部に物品をそれぞれひとつづつ載置すること
ができ、全体として複数個の物品を一時的に貯蔵してお
くことができる。したがって、搬送装置より前の製造工
程でトラブル等が発生して物品が供給されなくなったと
しても、各支持部に支持されて貯蔵されている分の物品
を次の製造工程に供給することができ、物品が供給され
ないことにより生ずる生産効率の低下を防止することが
できる。物品には物品の個別情報が記録された記録媒体
が配置され、この記録媒体に記録されている情報を読み
取る読取部が支持部に設けられているので、支持部に支
持されて貯蔵された物品の個別情報を読み取ることがで
きる。したがって、この読取部により読み取られた個別
情報に基づいて物品を識別することが可能となり、次の
製造工程へ物品を供給する際の送り出しを適切に行なう
ことができる。請求項２記載の搬送装置によれば、支持
部は装置本体に複数個設けられ、ウエハカセットがそれ
ぞれひとつづつ支持される構成となっているとともに、
ピッチ送り手段は進退動および上下動を伴って、支持部
に支持されたウエハカセットを他の空いている支持部に
ピッチ送りするようになっているので、各支持部にウエ
ハカセットをそれぞれひとつづつ載置することができ、
全体として複数個のウエハカセットを一時的に貯蔵して
おくことができる。したがって、搬送装置より前の製造
工程でトラブル等が発生してウエハカセットが供給され
なくなったとしても、装置に貯蔵してある分だけのウエ
ハカセットを次の製造工程に供給することができるの
で、ウエハカセットが供給されないことにより生ずる生
産効率の低下を防止することができる。ウエハカセット
の底面部にはウエハカセットの個別情報が記録されたＩ
Ｄタグが配置され、このＩＤタグに記録されている情報
を読み取る読取部が支持部に設けられているので、支持
部に支持されて貯蔵されたウエハカセットの個別情報を
読み取ることができる。したがって、この読取部により
読み取られた個別情報に基づいてウエハカセットを識別
することが可能となり、次の製造工程へウエハカセット
を供給する際の送り出しを適切に行なうことができる。
ウエハカセットはピッチ送り手段により支持部から他の
空いている支持部へ順にピッチ送りされて貯蔵されるこ
ととなるので、装置上においてウエハカセット同士が干
渉しないという利点が得られる。したがって、信頼性の
高いウエハの製造を実現することができる。ＩＤタグは
ウエハカセットの底面部に配置されているとともに、読
取部が支持部に設けられているので、ウエハカセットが
支持部に支持された状態の時にそのウエハカセットのＩ
Ｄタグが読み取られることとなり、個別情報の確実な読
み取りが実現される。したがって、このような搬送装置
によれば、確実性の高いウエハカセットの識別を実現す
ることができ、次の製造工程へウエハカセットを供給す
る際の送り出しをより一層正確に行なうことができる。
請求項３記載の搬送装置によれば、上述した請求項２の
有する作用効果に加え、読取部が読み取った情報をハン
ドリングロボットへ送信する送信手段が設けられている
ので、支持部に支持されているウエハカセットをハンド
リングロボットを用いて次の適切な製造工程へ送り出す
際に、ハンドリングロボットに対してウエハカセットの
正確な情報を送ることができ、より一層正確なウエハカ
セットの送り出しを実現することができる。
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】
【実施例】以下、本考案の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００２０】図１は本考案に係る搬送装置の正面図、図
２は同じく平面図、図３は図１のIII-III 線拡大断面
図、図４はピッチ送り手段を示す斜視図である。
２は同じく平面図、図３は図１のIII-III 線拡大断面
図、図４はピッチ送り手段を示す斜視図である。
【００２１】これらの図面において、本実施例の搬送装
置は、第１〜第３の支持部１０〜１２と、送り手段とし
てのピッチ送り手段２０と、記録媒体としてのＩＤタグ
４０と、読取部５０とを備えている。
置は、第１〜第３の支持部１０〜１２と、送り手段とし
てのピッチ送り手段２０と、記録媒体としてのＩＤタグ
４０と、読取部５０とを備えている。
【００２２】図１に示すように、本実施例の搬送装置
は、下部にキャスター９を備えており、製造工程等のレ
イアウトに合わせて移動可能な構成となっている。
は、下部にキャスター９を備えており、製造工程等のレ
イアウトに合わせて移動可能な構成となっている。
【００２３】第１〜第３の支持部１０〜１２は、搬送装
置の上部に一定の間隔をおいて配置されており、複数枚
のウエハを収納した物品としてのウエハカセットＣをそ
れぞれひとつづつ支持するようになっている。支持部１
０〜１２の上面はいずれも傾斜をもたせてあり、ウエハ
カセットＣを支持し易いようにしてある。これらの支持
部１０〜１２は、図２，３に示すように、搬送装置の上
面９ａに形成された２つの溝１３，１３に沿って、溝１
３，１３の内側に一対ずつ配置されている。
置の上部に一定の間隔をおいて配置されており、複数枚
のウエハを収納した物品としてのウエハカセットＣをそ
れぞれひとつづつ支持するようになっている。支持部１
０〜１２の上面はいずれも傾斜をもたせてあり、ウエハ
カセットＣを支持し易いようにしてある。これらの支持
部１０〜１２は、図２，３に示すように、搬送装置の上
面９ａに形成された２つの溝１３，１３に沿って、溝１
３，１３の内側に一対ずつ配置されている。
【００２４】ピッチ送り手段２０は、図４に示すよう
に、移動ブロック２１と、この移動ブロック２１を進退
動させる進退動手段２２と、移動ブロック２１に昇降動
可能に支持された一対のテーブル２３ａ，２３ｂと、こ
のテーブル２３ａ，２３ｂを昇降動させる昇降動手段２
４とからなっている。
に、移動ブロック２１と、この移動ブロック２１を進退
動させる進退動手段２２と、移動ブロック２１に昇降動
可能に支持された一対のテーブル２３ａ，２３ｂと、こ
のテーブル２３ａ，２３ｂを昇降動させる昇降動手段２
４とからなっている。
【００２５】移動ブロック２１は、基板２１ａに固定さ
れたＬＭ（Linear Motive ）ガイド２５によって、案内
されるようになっている。
れたＬＭ（Linear Motive ）ガイド２５によって、案内
されるようになっている。
【００２６】進退動手段２２は、駆動モータ２６と、こ
の駆動モータ２６の作動により回転するタイミングベル
ト２７とタイミングベルト２７を支持するタイミングプ
ーリ２８とからなっている。
の駆動モータ２６の作動により回転するタイミングベル
ト２７とタイミングベルト２７を支持するタイミングプ
ーリ２８とからなっている。
【００２７】移動ブロック２１の一端側２１ｂには、フ
ック２１ｃが設けられており、タイミングベルト２７に
連結されている。これにより、駆動モータ２６を作動さ
せると、タイミングベルト２７が回転し、その回転方向
にしたがって、移動ブロック２１が図４中矢印Ｘ方向に
進退動するようになっている。
ック２１ｃが設けられており、タイミングベルト２７に
連結されている。これにより、駆動モータ２６を作動さ
せると、タイミングベルト２７が回転し、その回転方向
にしたがって、移動ブロック２１が図４中矢印Ｘ方向に
進退動するようになっている。
【００２８】図３に示すように、一対のテーブル２３
ａ，２３ｂは、搬送装置の上面９ａの溝１３，１３を通
る支柱２３ｃ，２３ｄにより、移動ブロック２１の上方
に支持されている。これにより、一対のテーブル２３
ａ，２３ｂは、後述する昇降動手段２４によって上昇し
たときに、例えば、第１の支持部１０に支持されたウエ
ハカセットＣを持ち上げるようになっている。
ａ，２３ｂは、搬送装置の上面９ａの溝１３，１３を通
る支柱２３ｃ，２３ｄにより、移動ブロック２１の上方
に支持されている。これにより、一対のテーブル２３
ａ，２３ｂは、後述する昇降動手段２４によって上昇し
たときに、例えば、第１の支持部１０に支持されたウエ
ハカセットＣを持ち上げるようになっている。
【００２９】支柱２３ｃ，２３ｄには、ラックが形成さ
れている。
れている。
【００３０】昇降動手段２４は、ボールスプラインナッ
ト２９と、歯車３０と、ボールスプライン３１と、昇降
駆動モータ３２とからなっている。
ト２９と、歯車３０と、ボールスプライン３１と、昇降
駆動モータ３２とからなっている。
【００３１】ボールスプラインナット２９および歯車３
０は、移動ブロック２１の内部にそれぞれ回動自在に設
けられている。ボールスプラインナット２９には、ピニ
オン２９ａが形成されており、このピニオン２９ａが歯
車３０に噛み合っている。また、ピニオン２９ａは、テ
ーブル２３ａの支柱２３ｃのラックにも噛み合ってい
る。さらに歯車３０は、テーブル２３ｂの支柱２３ｄの
ラックにも噛み合っている。
０は、移動ブロック２１の内部にそれぞれ回動自在に設
けられている。ボールスプラインナット２９には、ピニ
オン２９ａが形成されており、このピニオン２９ａが歯
車３０に噛み合っている。また、ピニオン２９ａは、テ
ーブル２３ａの支柱２３ｃのラックにも噛み合ってい
る。さらに歯車３０は、テーブル２３ｂの支柱２３ｄの
ラックにも噛み合っている。
【００３２】図４に示すように、ボールスプライン３１
は、ボールスプラインナット２９に挿通してある。３
３，３３はボールスプライン３１の支持部である。昇降
駆動モータ３２は、ボールスプライン３１の一端側にプ
ーリ３４、タイミングベルト３５、プーリ３６を介して
連結されている。これにより、昇降駆動モータ３２を作
動させると、プーリ３６、タイミングベルト３５、およ
びプーリ３４を介してボールスプライン３１が回転し、
ボールスプラインナット２９の回転が歯車３０および支
柱２３ｃのラックに伝わり、歯車３０の回転が支柱２３
ｄに伝わって、一対のテーブル２３ａ，２３ｂが昇降す
るようになっている。
は、ボールスプラインナット２９に挿通してある。３
３，３３はボールスプライン３１の支持部である。昇降
駆動モータ３２は、ボールスプライン３１の一端側にプ
ーリ３４、タイミングベルト３５、プーリ３６を介して
連結されている。これにより、昇降駆動モータ３２を作
動させると、プーリ３６、タイミングベルト３５、およ
びプーリ３４を介してボールスプライン３１が回転し、
ボールスプラインナット２９の回転が歯車３０および支
柱２３ｃのラックに伝わり、歯車３０の回転が支柱２３
ｄに伝わって、一対のテーブル２３ａ，２３ｂが昇降す
るようになっている。
【００３３】３７は制御部であり、進退動手段２２の駆
動モータ２６および昇降動手段２４の昇降駆動モータ３
２の作動等を制御するようになっている。
動モータ２６および昇降動手段２４の昇降駆動モータ３
２の作動等を制御するようになっている。
【００３４】図３に示すように、ＩＤタグ４０は、ウエ
ハカセットＣの底面部Ｃ１に配置されており、ウエハカ
セットＣの個別情報、例えば、ウエハカセットＣの種類
等を判別するための情報がバーコード等により記録され
ている。
ハカセットＣの底面部Ｃ１に配置されており、ウエハカ
セットＣの個別情報、例えば、ウエハカセットＣの種類
等を判別するための情報がバーコード等により記録され
ている。
【００３５】読取部５０は、支持部１０の間に設けられ
ており、ウエハカセットＣのＩＤタグ４０のバーコード
等を読み取るスキャナが内蔵されている。この読取部５
０に読み取られた個別情報は、制御部３７により記録部
５１に送られ、記録されるようになっている。記録部５
１は、支持部１０〜１２に貯蔵されるウエハカセットＣ
の個別情報をピッチ送りがされるたびに更新して、それ
ぞれの支持部１０〜１２にどの種類のウエハカセットＣ
が支持されているのかを記録するようになっている。
ており、ウエハカセットＣのＩＤタグ４０のバーコード
等を読み取るスキャナが内蔵されている。この読取部５
０に読み取られた個別情報は、制御部３７により記録部
５１に送られ、記録されるようになっている。記録部５
１は、支持部１０〜１２に貯蔵されるウエハカセットＣ
の個別情報をピッチ送りがされるたびに更新して、それ
ぞれの支持部１０〜１２にどの種類のウエハカセットＣ
が支持されているのかを記録するようになっている。
【００３６】図６において、５２は搬送装置に内蔵され
た送信手段であり、ピッチ送り手段２０により支持部１
２に送られてきたウエハカセットＣの個別情報を、制御
部３７を介して記録部５１より読み出し、ハンドリング
ロボットＲに送信するようになっている。ハンドリング
ロボットＲは、搬送装置Ｍと次の製造工程Ｋ１〜Ｋ３と
の間を移動し、搬送装置Ｍの送信手段５２により送られ
てきた個別情報にもとづいて、支持部１２に支持された
ウエハカセットＣを製造工程Ｋ１〜Ｋ３のいずれかに移
送するようになっている。すなわち、支持部１２に支持
されたウエハカセットＣは、ハンドリングロボットＲに
よって、次の適切な製造工程に移送される。
た送信手段であり、ピッチ送り手段２０により支持部１
２に送られてきたウエハカセットＣの個別情報を、制御
部３７を介して記録部５１より読み出し、ハンドリング
ロボットＲに送信するようになっている。ハンドリング
ロボットＲは、搬送装置Ｍと次の製造工程Ｋ１〜Ｋ３と
の間を移動し、搬送装置Ｍの送信手段５２により送られ
てきた個別情報にもとづいて、支持部１２に支持された
ウエハカセットＣを製造工程Ｋ１〜Ｋ３のいずれかに移
送するようになっている。すなわち、支持部１２に支持
されたウエハカセットＣは、ハンドリングロボットＲに
よって、次の適切な製造工程に移送される。
【００３７】次に、このような構成よりなる搬送装置の
作用を図５をも参照して説明する。
作用を図５をも参照して説明する。
【００３８】まず、搬送装置の第１の支持部１０に、図
示しない前工程からウエハカセットＣが移送され、支持
される（図５（ａ）参照）。すると、ウエハカセットＣ
のＩＤタグ４０が支持部１０の読取部５０によって読み
取られ、ウエハカセットＣの個別情報が読取部５０から
制御部３７を介して記録部５１に記録される。これとと
もに、制御部３７は駆動モータ２６を作動させ、移動ブ
ロック２１を進退動させることにより、移動ブロック２
１のテーブル２３ａ，２３ｂを第１の支持部１０の側方
に配置する。
示しない前工程からウエハカセットＣが移送され、支持
される（図５（ａ）参照）。すると、ウエハカセットＣ
のＩＤタグ４０が支持部１０の読取部５０によって読み
取られ、ウエハカセットＣの個別情報が読取部５０から
制御部３７を介して記録部５１に記録される。これとと
もに、制御部３７は駆動モータ２６を作動させ、移動ブ
ロック２１を進退動させることにより、移動ブロック２
１のテーブル２３ａ，２３ｂを第１の支持部１０の側方
に配置する。
【００３９】この場合、移動ブロック２１のテーブル２
３ａ，２３ｂが初めから第１の支持部１０の下方にある
ときには、駆動モータ２６は作動しない。
３ａ，２３ｂが初めから第１の支持部１０の下方にある
ときには、駆動モータ２６は作動しない。
【００４０】次に、制御部３７は、昇降駆動モータ３２
を作動させて移動ブロック２１を作動させて移動ブロッ
ク２１のテーブル２３ａ，２３ｂを上昇させる。これに
より、第１の支持部１０に支持されたウエハカセットＣ
は、テーブル２３ａ，２３ｂによって第１の支持部１０
から持ち上げられる（図５（ｂ）参照）。
を作動させて移動ブロック２１を作動させて移動ブロッ
ク２１のテーブル２３ａ，２３ｂを上昇させる。これに
より、第１の支持部１０に支持されたウエハカセットＣ
は、テーブル２３ａ，２３ｂによって第１の支持部１０
から持ち上げられる（図５（ｂ）参照）。
【００４１】ウエハカセットＣは、第１の支持部１０の
高さより、高く持ち上げられて停止する。その後、制御
部３７は、駆動モータ２６を作動させて移動ブロック２
１のテーブル２３ａ，２３ｂが第２の支持部１１の上方
に来るように、移動ブロック２１を矢印Ｘ方向に移動さ
せる（図５（ｃ）参照）。
高さより、高く持ち上げられて停止する。その後、制御
部３７は、駆動モータ２６を作動させて移動ブロック２
１のテーブル２３ａ，２３ｂが第２の支持部１１の上方
に来るように、移動ブロック２１を矢印Ｘ方向に移動さ
せる（図５（ｃ）参照）。
【００４２】ここで、再び昇降駆動モータ３２が制御部
３７によって作動制御され、移動ブロック２１のテーブ
ル２３ａ，２３ｂが下降する。これにより、テーブル２
３ａ，２３ｂにより持ち上げられていたウエハカセット
Ｃが第２の支持部１１に支持される。同様の動作によっ
て、第２の支持部１１に支持されたウエハカセットＣ
は、第３の支持部１２に送られて支持される。
３７によって作動制御され、移動ブロック２１のテーブ
ル２３ａ，２３ｂが下降する。これにより、テーブル２
３ａ，２３ｂにより持ち上げられていたウエハカセット
Ｃが第２の支持部１１に支持される。同様の動作によっ
て、第２の支持部１１に支持されたウエハカセットＣ
は、第３の支持部１２に送られて支持される。
【００４３】このように、ウエハカセットＣは、進退動
および昇降動を伴って第１の支持部１０から第２の支持
部１１へ、第２の支持部１１から第３の支持部１２へと
ピッチ送りされて、第１〜第３の支持部１０〜１２にそ
れぞれ貯蔵される（図５（ｄ）参照）。これに伴って、
記録部５１は、支持部１０〜１２に貯蔵されるウエハカ
セットＣの個別情報をピッチ送りがされるたびに更新し
て、それぞれの支持部１０〜１２にどの種類のウエハカ
セットＣが支持されているのかを記録する。
および昇降動を伴って第１の支持部１０から第２の支持
部１１へ、第２の支持部１１から第３の支持部１２へと
ピッチ送りされて、第１〜第３の支持部１０〜１２にそ
れぞれ貯蔵される（図５（ｄ）参照）。これに伴って、
記録部５１は、支持部１０〜１２に貯蔵されるウエハカ
セットＣの個別情報をピッチ送りがされるたびに更新し
て、それぞれの支持部１０〜１２にどの種類のウエハカ
セットＣが支持されているのかを記録する。
【００４４】搬送装置に貯蔵されたウエハカセットＣの
送り出しは次のように行なわれる。
送り出しは次のように行なわれる。
【００４５】まず、支持部１２に支持されているウエハ
カセットＣの個別情報が制御部３７により記録部５１か
ら読み出され、送信手段５２によりハンドリングロボッ
トＲに送信される。ハンドリングロボットＲは、この送
信手段５２からの個別情報を受信して移動し、支持部１
２に支持されているウエハカセットＣを把持し、次の適
切な製造工程、例えば、製造工程Ｋ１に搬送する（図５
（ｅ）および図６参照）。
カセットＣの個別情報が制御部３７により記録部５１か
ら読み出され、送信手段５２によりハンドリングロボッ
トＲに送信される。ハンドリングロボットＲは、この送
信手段５２からの個別情報を受信して移動し、支持部１
２に支持されているウエハカセットＣを把持し、次の適
切な製造工程、例えば、製造工程Ｋ１に搬送する（図５
（ｅ）および図６参照）。
【００４６】そして、第２の支持部１１のウエハカセッ
トＣを第３の支持部１２へピッチ送りした後、第１の支
持部１０から第２の支持部１１へとウエハカセットＣを
ピッチ送りする。そして、空いた第１の支持部１０に新
たなウエハカセットＣを支持する（図５（ｆ）参照）。
このようにして、ウエハカセットＣをピッチ送りして搬
送装置にウエハカセットＣを貯蔵する。そして、上述し
たハンドリングロボットＲの作用により、支持部１２に
支持されたウエハカセットＣが製造工程Ｋ１〜Ｋ３のい
ずれかに渡される。
トＣを第３の支持部１２へピッチ送りした後、第１の支
持部１０から第２の支持部１１へとウエハカセットＣを
ピッチ送りする。そして、空いた第１の支持部１０に新
たなウエハカセットＣを支持する（図５（ｆ）参照）。
このようにして、ウエハカセットＣをピッチ送りして搬
送装置にウエハカセットＣを貯蔵する。そして、上述し
たハンドリングロボットＲの作用により、支持部１２に
支持されたウエハカセットＣが製造工程Ｋ１〜Ｋ３のい
ずれかに渡される。
【００４７】以上のような搬送装置によれば、支持部１
０〜１２にウエハカセットＣがそれぞれひとつづつ支持
される構成となっているとともに、ピッチ送り手段２０
は進退動および上下動を伴って、支持部に支持されたウ
エハカセットＣを他の空いている支持部にピッチ送りす
るようになっているので、各支持部１０〜１２にウエハ
カセットＣをそれぞれひとつづつ載置することができ、
全体として複数個（本実施例では３個）のウエハカセッ
トＣを一時的に貯蔵しておくことができる。したがっ
て、搬送装置より前の製造工程でトラブル等が発生して
ウエハカセットＣが供給されなくなったとしても、装置
に貯蔵してある分だけのウエハカセットＣを次の製造工
程に供給することができるので、ウエハカセットＣが供
給されないことにより生ずる生産効率の低下を防止する
ことができる。ウエハカセットＣの底面部Ｃ１にはウエ
ハカセットＣの個別情報が記録されたＩＤタグ４０が配
置され、このＩＤタグ４０に記録されている情報を読み
取る読取部５０が支持部１０に設けられているので、支
持部１０に支持されて貯蔵されたウエハカセットＣの個
別情報を読み取ることができる。したがって、この読取
部５０により読み取られた個別情報に基づいてウエハカ
セットＣを識別することが可能となり、次の製造工程へ
ウエハカセットＣを供給する際の送り出しを適切に行な
うことができる。ウエハカセットＣはピッチ送り手段２
０により支持部から他の空いている支持部へ順にピッチ
送りされて貯蔵されることとなるので、装置上において
ウエハカセットＣ同士が干渉しないという利点が得られ
る。したがって、信頼性の高いウエハの製造を実現する
ことができる。ＩＤタグ４０はウエハカセットＣの底面
部Ｃ１に配置されているとともに、読取部５０が支持部
１０に設けられているので、ウエハカセットＣが支持部
１０に支持された状態の時にそのウエハカセットＣのＩ
Ｄタグ４０が読み取られることとなり、個別情報の確実
な読み取りが実現される。したがって、このような搬送
装置によれば、確実性の高いウエハカセットＣの識別を
実現することができ、次の製造工程Ｋ１〜Ｋ３へウエハ
カセットＣを供給する際の送り出しをより一層正確に行
なうことができる。また、読取部５０が読み取った情報
をハンドリングロボットＲへ送信する送信手段５２が設
けられているので、支持部１２に支持されているウエハ
カセットＣをハンドリングロボットＲを用いて次の適切
な製造工程Ｋ１〜Ｋ３へ送り出す際に、ハンドリングロ
ボットＲに対してウエハカセットＣの正確な情報を送る
ことができ、より一層正確なウエハカセットＣの送り出
しを実現することができる。
０〜１２にウエハカセットＣがそれぞれひとつづつ支持
される構成となっているとともに、ピッチ送り手段２０
は進退動および上下動を伴って、支持部に支持されたウ
エハカセットＣを他の空いている支持部にピッチ送りす
るようになっているので、各支持部１０〜１２にウエハ
カセットＣをそれぞれひとつづつ載置することができ、
全体として複数個（本実施例では３個）のウエハカセッ
トＣを一時的に貯蔵しておくことができる。したがっ
て、搬送装置より前の製造工程でトラブル等が発生して
ウエハカセットＣが供給されなくなったとしても、装置
に貯蔵してある分だけのウエハカセットＣを次の製造工
程に供給することができるので、ウエハカセットＣが供
給されないことにより生ずる生産効率の低下を防止する
ことができる。ウエハカセットＣの底面部Ｃ１にはウエ
ハカセットＣの個別情報が記録されたＩＤタグ４０が配
置され、このＩＤタグ４０に記録されている情報を読み
取る読取部５０が支持部１０に設けられているので、支
持部１０に支持されて貯蔵されたウエハカセットＣの個
別情報を読み取ることができる。したがって、この読取
部５０により読み取られた個別情報に基づいてウエハカ
セットＣを識別することが可能となり、次の製造工程へ
ウエハカセットＣを供給する際の送り出しを適切に行な
うことができる。ウエハカセットＣはピッチ送り手段２
０により支持部から他の空いている支持部へ順にピッチ
送りされて貯蔵されることとなるので、装置上において
ウエハカセットＣ同士が干渉しないという利点が得られ
る。したがって、信頼性の高いウエハの製造を実現する
ことができる。ＩＤタグ４０はウエハカセットＣの底面
部Ｃ１に配置されているとともに、読取部５０が支持部
１０に設けられているので、ウエハカセットＣが支持部
１０に支持された状態の時にそのウエハカセットＣのＩ
Ｄタグ４０が読み取られることとなり、個別情報の確実
な読み取りが実現される。したがって、このような搬送
装置によれば、確実性の高いウエハカセットＣの識別を
実現することができ、次の製造工程Ｋ１〜Ｋ３へウエハ
カセットＣを供給する際の送り出しをより一層正確に行
なうことができる。また、読取部５０が読み取った情報
をハンドリングロボットＲへ送信する送信手段５２が設
けられているので、支持部１２に支持されているウエハ
カセットＣをハンドリングロボットＲを用いて次の適切
な製造工程Ｋ１〜Ｋ３へ送り出す際に、ハンドリングロ
ボットＲに対してウエハカセットＣの正確な情報を送る
ことができ、より一層正確なウエハカセットＣの送り出
しを実現することができる。
【００４８】以上本考案の一実施例について説明した
が、本考案は上記実施例に限定されるものではなく、適
宜変形実施可能である。
が、本考案は上記実施例に限定されるものではなく、適
宜変形実施可能である。
【図１】本考案に係る搬送装置の一実施例を示す正面
図。
図。
【図２】同じく平面図。
【図３】図１のIII-III 線拡大断面図。
【図４】ピッチ送り手段を示す斜視図。
【図５】（ａ）〜（ｆ）は作用説明図。
【図６】ハンドリングロボットの作用説明図。
【図７】従来の搬送装置の正面図。
【図８】同じく平面図。
【図９】同じくピッチ送り手段の斜視図。
【符号の説明】 １０〜１２ 支持部 ２０ ピッチ送り手段 ４０ ＩＤタグ ５０ 読取部 Ｃ ウエハカセット
Claims (3)
- 【請求項１】 次の工程に供給する物品を供給前に一時
的に貯蔵しておくための搬送装置であって、装置本体に
複数個設けられ、前記物品がそれぞれひとつづつ支持さ
れる支持部と、進退動および上下動を伴って前記支持部
に支持された物品を他の空いている支持部に移動させる
送り手段とを備え、前記物品に配置され、物品の個別情
報が記録された記録媒体と、前記支持部に設けられ、前
記記録媒体に記録されている情報を読み取る読取部とを
具備した搬送装置。 - 【請求項２】 次の工程に供給するウエハカセットを供
給前に一時的に貯蔵しておくための搬送装置であって、
装置本体に複数個設けられ、前記ウエハカセットがそれ
ぞれひとつづつ支持される支持部と、進退動および上下
動を伴って前記支持部に支持されたウエハカセットを他
の空いている支持部にピッチ送りするピッチ送り手段と
を備え、前記ウエハカセットの底面部に配置され、カセ
ットの個別情報が記載されたＩＤタグと、前記支持部に
設けられ、前記ＩＤタグに記録されている情報を読み取
る読取部とを具備した搬送装置。 - 【請求項３】 次の工程に供給するウエハカセットを供
給前に一時的に貯蔵しておくための搬送装置であって、
装置本体に複数個設けられ、前記ウエハカセットがそれ
ぞれひとつづつ支持される支持部と、進退動および上下
動を伴って前記支持部に支持されたウエハカセットを他
の空いている支持部にピッチ送りするピッチ送り手段と
を備え、前記ウエハカセットの底面部に配置され、カセ
ットの個別情報が記載されたＩＤタグと、前記支持部に
設けられ、前記ＩＤタグに記録されている情報を読み取
る読取部と、この読取部が読み取った情報をハンドリン
グロボットへ送信する送信手段とを具備した搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992053773U JPH0751798Y2 (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992053773U JPH0751798Y2 (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0626259U JPH0626259U (ja) | 1994-04-08 |
| JPH0751798Y2 true JPH0751798Y2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=12952141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992053773U Expired - Lifetime JPH0751798Y2 (ja) | 1992-07-09 | 1992-07-09 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0751798Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6318002B2 (ja) * | 2014-05-22 | 2018-04-25 | あおい精機株式会社 | 搬送装置 |
| CN107954178B (zh) * | 2017-11-14 | 2024-02-23 | 湖南艾博特机器人技术有限公司 | 一种电池片花篮自动取料机构 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH067567B2 (ja) * | 1985-12-18 | 1994-01-26 | 株式会社日立製作所 | 分散型作業進行管理方法 |
| JPS63252101A (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | 三菱重工業株式会社 | 建屋内インテリア交換設備 |
-
1992
- 1992-07-09 JP JP1992053773U patent/JPH0751798Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0626259U (ja) | 1994-04-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |