KR100510065B1 - 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법 - Google Patents
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Abstract
1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법 및 그를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 반도체 제조를 위한 사진공정의 인라인 장비에서 공정을 마친 로트의 작업 파일이 존재하는 해당 베이의 A1 모드 오버레이 장비에 제공하는 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법과, 이를 실현시키기 위한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 셀 제어서버에서 해당 베이의 A1 모드 오버레이 장비에 공정을 진행할 로트의 작업파일이 존재하는지를 판단하는 제 1단계; 인라인 장비에서 해당 로트의 공정을 진행하는 제 2단계; 상기 인라인 장비에서 발생된 공정데이터를 제1장비서버에 전송하는 제 3단계; 제2장비서버에서 상기 인라인 장비에서 공정을 마친 로트의 오버레이 공정을 진행할 오버레이 장비가 A1 모드인지를 판단하고, 그 결과 A1 모드인 경우, 해당 오버레이 장비에 빈 포트가 있는지를 판단하는 제 4단계; 및 상기 제 4단계의 판단결과, 오버레이 장비에 빈 포트가 있으면, 상기 오버레이 장비에서 해당 로트를 투입하여 공정을 진행하는 제 5단계를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화에 이용됨.
Description
본 발명은 반도체 제조공정에서 사용되는 장비의 자동화 방법에 관한 것으로 특히, 반도체 라인관리용 통합 자동화시스템에 의한 반도체 제조공정중 사진공정에서 사용되는 오버레이 장비의 자동화 방법과, 이를 실현시키기 위한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정의 다른 공정에서와 마찬가지로 사진 공정에도 다수의 측정 웨이퍼가 존재하고 있다.
그리고, 사진공정은 일반적으로 코팅공정, 노광공정, 현상공정, 오버레이 측정의 순서로 공정이 진행되는데, 상기 코팅공정 및 현상공정을 수행하는 트랙(track)장비와 노광공정을 수행하는 스텝퍼(stepper)장비는 인라인(inline)으로 연결된다. 여기서, 상기 스테퍼 장비와 트랙장비를 이하 인라인 장비라 칭한다.
사진공정에서는 오버레이 장비가 완전 자동 모드(Full auto mode; 이하 "A1 모드"라 칭함)로 운영되는 중에 측정 웨이퍼의 진행을 위해 반자동 모드(Semi auto mode; 이하 "A2 모드"라 칭함)로 변경하는 것은 매우 어렵기 때문에, 사진공정에서는 A1 모드로 운영되는 오버레이 장비와 A2 모드로 운영되는 오버레이 장비를 각각 사용하였다.
이에 따라, 종래에는 도1에 도시된 바와 같이 오버레이 장비 자동화 방법이 개발되어 사용되고 있다.
먼저, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 셀 제어서버에 인라인 장비에서 진행할 로트 정보를 입력하므로써 로트를 예약한다(S100).
다음으로, 상기 셀 제어서버가 자동반송 로봇 제어서버에 카세트 제공요청을 하면, 상기 자동반송 로봇 제어서버는 카세트 제공명령을 자동반송 로봇으로 전송한다.
이어서, 상기 자동반송 로봇은 예약된 로트를 저장하고 있는 스토커에서 카세트를 운반하여 상기 인라인 장비에 제공한다(S102).
이후, 상기 인라인 장비에서는 그에 투입된 예약된 로트의 사진공정을 진행하여 공정 완료시킨다(S104, S106).
상기 인라인 장비에서 생산공정이 완료되면, 오버레이 장비에 카세트를 자동으로 제공하기 위하여 인라인 장비서버에서 해당 베이(bay)에 있는 다수의 오버레이 장비 중 사용가능한 A1 모드의 오버레이 장비가 존재하는지 판단한다(S108).
상기 판단결과(S108), A1 모드의 오버레이 장비가 존재할 경우, 상기 제1장비서버에서 상기 A1 모드의 오버레이 장비에 카세트를 제공할 수 있는 빈 포트가 존재하는지를 판단한다(S110).
상기 판단결과(S110), A1 모드의 오버레이 장비에 빈 포트가 존재할 경우, 상기 제1장비서버는 상기 셀 제어서버로 카세트 회수 요청을 한다.
다음으로, 상기 셀 제어서버가 카세트 회수 요청을 상기 자동반송 로봇 제어서버로 전송하고, 상기 자동반송 로봇 제어서버가 카세트 회수 명령을 상기 자동반송 로봇에 인가함에따라, 자동반송 로봇은 상기 인라인 장비에서 카세트를 회수하여 상기 A1 모드 오버레이 장비에 카세트를 제공한다(S114).
한편, S108단계의 판단결과, A1 모드의 오버레이 장비가 존재하지 않거나, 상기 S110단계의 판단결과 오버레이 장비에 빈 포트가 없는 경우, 상기 인라인 장비서버는 상기 셀 제어서버로 카세트 회수 요청을 한다.
다음으로, 상기 셀 제어서버가 카세트 회수 요청을 상기 자동반송 로봇 제어서버로 전송하고, 자동반송 로봇 제어서버가 카세트 회수 명령을 상기 자동반송 로봇에 인가하면, 상기 자동반송 로봇은 상기 인라인 장비에서 카세트를 회수하여 스토커에 저장하고(S112), 상기 S114단계를 수행한다.
상기 S114단계 수행후, 오버레이 장비에서 로트가 공정을 진행하게 된다(S116).
그러나, 상기와 같은 일련의 과정을 수행하는 종래의 오버레이 장비 자동화 방법은, A1 모드로 진행하는 오버레이 장비에 모든 제품의 작업 파일이 존재하지 않기 때문에 A1 모드로 운영할 경우 해당 로트의 작업 파일이 존재하기 않아 오류가 빈번히 발생하는 문제가 있다.
또한, A2 모드로 오버레이 장비를 운영하는 경우, 인라인장비에서 공정이 끝난 로트가 곧바로 오버레이 장비에 제공되지 못하고 스토커에 저장되므로 공정을 진행하는데 많은 시간이 소요되므로써 생산량이 저하되는 문제가 있고, 스토커에 저장된 로트를 오버레이 장비에서 진행하기 위하여 다시 예약해야 하기 때문에 작업자의 부가작업이 필요한 또 다른 문제점이 있다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 반도체 제조를 위한 사진공정의 인라인 장비에서 공정을 마친 로트의 작업 파일이 존재하는 해당 베이의 완전자동(A1) 모드 오버레이 장비측으로 로트를 자동적으로 제공할 수 있는 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법과, 이를 실현시키기 위한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 셀 제어서버에서 해당 베이의 A1 모드 오버레이 장비에 공정을 진행할 로트의 작업파일이 존재하는지를 판단하는 제 1단계; 인라인 장비에서 해당 로트의 공정을 진행하는 제 2단계; 상기 인라인 장비에서 발생된 공정데이터를 제1장비서버에 전송하는 제 3단계; 제2장비서버에서 상기 인라인 장비에서 공정을 마친 로트의 오버레이 공정을 진행할 오버레이 장비가 A1 모드인지를 판단하고, 그 결과 A1 모드인 경우, 해당 오버레이 장비에 빈 포트가 있는지를 판단하는 제 4단계; 및 상기 제 4단계의 판단결과, 오버레이 장비에 빈 포트가 있으면, 상기 오버레이 장비에서 해당 로트를 투입하여 공정을 진행하는 제 5단계를 제공한다.
또한, 본 발명은, 셀 제어서버에서 해당 베이의 A1 모드 오버레이 장비에 공정을 진행할 로트의 작업파일이 존재하는지를 판단하는 제 1기능; 인라인 장비에서 해당 로트의 공정을 진행하는 제 2기능; 상기 인라인 장비에서 발생된 공정데이터를 제1장비서버에 전송하는 제 3기능; 제2장비서버에서 상기 인라인 장비에서 공정을 마친 로트의 오버레이 공정을 진행할 오버레이 장비가 A1 모드인지를 판단하고, 그 결과 A1 모드인 경우, 해당 오버레이 장비에 빈 포트가 있는지를 판단하는 제 4기능; 및 상기 제 4기능의 판단결과, 오버레이 장비에 빈 포트가 있으면, 상기 오버레이 장비에서 해당 로트를 투입하여 공정을 진행하는 제 5기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법을 제공하는 시스템은, 작업자의 명령을 받아들여 셀 제어서버로 전송하는 작업자 인터페이스 프로세스(200)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 명령을 수신하여 장비서버, 자동반송 로봇 제어서버 및 스토커 제어서버로 전송하고 데이터 수집 서버로 공정데이터를 전송하는 셀 제어서버(202)와, 상기 셀 제어서버로부터 트랜잭션 데이터를 수신하며 각각 인라인 장비와 오버레이 장비를 제어하는 제1장비서버(204) 및 제 2장비서버(208)와, 상기 제1장비서버의 제어를 받으며 코팅공정, 현상공정 및 노광공정을 수행하는 인라인장비(206)와, 상기 제2장비서버(208)의 제어를 받으며 오버레이 측정 공정을 수행하는 오버레이 장비(210)와, 상기 셀 제어서버(202)에 의해 작성된 로트의 각종 정보를 저장하는 작업 파일(212)와, 상기 셀 제어서버(202)로부터 트랜잭션 데이터를 수신하고 자동반송 로봇에 반송명령을 인가하는 자동반송 로봇 제어서버(214)와, 상기 셀 제어서버(202)로부터 트랜잭션 데이터를 수신하고 스토커를 제어하는 스토커 제어서버(218)와, 상기 자동반송 로봇 제어서버(214)로부터 반송명령을 수신하고 카세트를 상기 오버레이 장비(210)에 제공하는 자동반송 로봇(216)과, 상기 스토커 제어서버(218)의 제어를 받으며 로트를 저장하는 스토커(220)와, 상기 셀 제어서버(202)로부터 데이터 수집 트랜잭션을 수신하여 작업자 데이터를 수집하고 이력 데이터베이스에 저장하는 데이터 수집 서버(222)와, 상기 데이터 수집 서버(222)가 제공한 작업자 데이터를 저장하는 이력 데이터베이스(224)로 구성된다.
그리고, 각 베이당 한 대의 오버레이 장비가 완전 자동 모드인 A1 모드로 운영된다.
상기와 같이 구성되어 동작하는 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법을 도3을 참조하여 설명한다.
도3은 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법을 수행하기 위한 처리 흐름도이다.
먼저, 셀 제어서버(202)에서 해당 베이의 A1 모드 오버레이 장비에 공정을 진행할 로트의 작업파일이 존재하는지를 판단한다(S300).
상기 판단결과(S300), A1 모드 오버레이 장비에 공정을 진행할 로트의 작업파일이 존재하는 경우, A1 모드 오버레이 장비를 인라인 장비(206)에서 공정을 마친 로트가 진행할 장비로 할당하고(S302), 작업자는 작업자 인터페이스 프로세스(200)에 로트에 대한 정보를 입력하므로써 상기 인라인 장비(206)에서 진행할 로트를 예약한다(S304).
상기 판단결과(S300), A1 모드 오버레이 장비에 공정을 진행할 로트의 작업 파일이 존재하지 않는 경우, 해당 베이의 A2 모드 오버레이 장비를 인라인 장비(206)에서 공정을 마친 로트가 진행할 오버레이 장비로 할당하고(S306), 상기 S304단계를 진행한다.
상기 S304단계 수행후, 상기 셀 제어서버(202)는 로트 진행 시작 트랜잭션 메세지를 상기 인라인 장비(206)를 제어하는 제1장비서버(204), 자동반송 로봇(216)을 제어하는 자동반송 로봇 제어서버(214) 및 스토커(220)를 제어하는 스토커 제어서버(218)로 전송한다.
이어서, 상기 자동반송 로봇 제어서버(214)가 반송인가 명령을 상기 자동반송 로봇(216)에 제공하면, 자동반송 로봇(216)은 상기 스토커(220)에서 공정진행이 예약된 해당 로트를 취득하여, 상기 인라인 장비(206)에 해당 로트가 담긴 카세트를 제공한다(S308).
다음으로, 상기 인라인 장비(206)는 코팅공정, 현상공정 및 노광공정을 진행한다(S310).
상기 S310단계 수행후, 상기 인라인 장비(206)는 로트가 코팅공정, 현상공정 및 노광공정을 진행할 때 발생하는 공정데이터를 상기 제1장비서버(204)로 전송하고, 상가 제1장비서버(204)는 수신한 공정데이터를 데이터 수집 서버(222)로 전송하며, 상기 데이터 수집 서버(222)는 상기 공정데이터를 이력 데이터베이스(224)에 저장한다.
상기 제2장비서버(204)는 인라인 장비(206)에서 공정을 마친 로트의 오버레이 공정을 진행할 오버레이 장비가 A1 모드인가를 판단한다(S312).
상기 판단결과(S312), 할당된 오버레이 장비가 A1 모드일 경우, 상기 오버레이 장비(210)를 제어하는 제2장비서버는 상기 오버레이 장비(210)에 카세트를 제공받을 수 있는 빈 포트가 있는가를 판단한다(S314).
상기 S314단계의 판단결과, 오버레이 장비(210)에 카세트를 제공받을 수 있는 빈 포트가 있을 경우, 상기 셀 제어서버(202)에 카세트 제공요청 메세지를 전송하여, 상기 카세트 요청 메세지를 수신한 셀 제어서버(202)는 로트 진행 시작 트랜잭션 메세지를 상기 인라인 장비(206)를 제어하는 제1장비서버, 자동반송 로봇(216)을 제어하는 자동반송 로봇 제어서버(214) 및 스토커(220)를 제어하는 스토커 제어서버(218)로 전송한다.
이어서, 상기 자동반송 로봇 제어서버(214)가 반송인가 명령을 상기 자동반송 로봇(216)에 제공하면, 자동반송 로봇(216)은 상기 인라인 장비(206)에서 공정진행이 완료된 로트를 취득하여, 상기 오버레이 장비(210)에 해당 로트가 담긴 카세트를 제공한다(S320).
상기 판단결과(S312), 할당된 오버레이 장비가 A1 모드가 아닐 경우 즉, A2 모드의 오버레이 장비일 경우, 상기 제1장비서버(204)가 셀 제어서버(202)에 카세트 회수 요청 메세지를 전송하게 되면, 상기 셀 제어서버(202)는 로트 이동 트랜잭션 메세지를 상기 제1장비서버, 제2장비서버(208), 자동반송 로봇 제어서버(214) 및 스토커 제어서버(218)에 전송한다.
이어서, 상기 셀 제어서버(202)로부터 로트 이동 트랜잭션 메세지를 수신한 상기 자동반송 로봇 제어서버(216)은 반송명령을 상기 자동반송 로봇(216)에 인가하고, 자동반송 로봇(216)은 상기 인라인 장비(206)에서 카세트를 회수하여 상기 스토커(220)에 저장한다(S316).
이후, 작업자는 상기 A2 모드 오버레이 장비에서 진행할 로트의 정보를 입력하므로써 로트를 예약하고, 작업파일을 제작하며(S318), 상기 S320단계를 진행한다.
상기 판단결과(S314), 상기 오버레이 장비(210)에 카세트를 제공받을 수 있는 빈 포트가 없을 경우, 상기 S316단계부터 진행한다.
다음으로, 상기 오버레이 장비(210)에 제공된 카세트에 담긴 로트는 공정을 진행하고(S322), 상기 로트가 공정을 진행할 때 발생하는 공정데이터는 상기 제2장비서버(208)로 전송되고, 제2장비서버(208)는 상기 셀 제어서버(202)로 공정데이터를 전송한다.
마지막으로, 상기 셀 제어서버(202)가 작업자 데이터 수집 트랜잭션 메세지를 데이터수집 서버(222)로 전송하면, 데이터수집 서버(222)는 작업자 데이터를 수집하여 이력 데이터베이스(224)에 저장한다.
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 반도체 제조를 위한 오버레이 장비의 자동화 방법에 있어서, 인라인 장비에서 로트가 공정을 진행하기 이전에 인라인 장비에서 공정을 완료한 로트가 진행할 오버레이 장비에 해당 로트의 작업파일이 존재하는지를 판단하여 오버레이 장비의 공정진행 모드를 결정하므로써 작업파일이 없어 로트가 진행하지 않아 발생하는 유지보수 시간을 줄일 수 있는 효과가 있으며, 오버레이 장비의 자동화율을 높일 수 있으므로 궁극적으로 생산성 향상을 높이는데 효과가 있다.
도1은 종래의 반도체 제조를 위한 오버레이 장비의 자동화 방법을 수행하기 위한 처리흐름도.
도2는 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 오버레이 장비의 자동화 방법을 제공하는 시스템의 구성을 나타낸 블럭 다이어그램.
도3은 본 발명에 의한 반도체 제조를 위한 오버레이 장비의 자동화 방법을 수행하기 위한 처리흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
200 : 작업자 인터페이스 프로세스 202 : 셀 제어서버
204 : 제1장비서버 208 : 제2장비서버
214 : 자동반송 로봇 제어서버 216 : 스토커 제어서버
222 : 데이터 수집서버 224 : 이력 데이터베이스
Claims (6)
- 셀 제어서버에서 해당 베이의 완전자동 모드 오버레이 장비에 공정을 진행할 로트의 작업파일이 존재하는지를 판단하는 제 1단계;인라인 장비에서 해당 로트의 공정을 진행하는 제 2단계;상기 인라인 장비에서 발생된 공정데이터를 제1장비서버에 전송하는 제 3단계;제2장비서버에서 상기 인라인 장비에서 공정을 마친 로트의 오버레이 공정을 진행할 오버레이 장비가 완전자동 모드인지를 판단하고, 그 결과 완전자동 모드인 경우, 해당 오버레이 장비에 빈 포트가 있는지를 판단하는 제 4단계; 및상기 제 4단계의 판단결과, 오버레이 장비에 빈 포트가 있으면, 상기 오버레이 장비에서 해당 로트를 투입하여 공정을 진행하는 제 5단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1단계는,상기 제 1단계의 판단결과, 완전자동 모드 오버레이 장비에 공정을 진행할 로트의 작업파일이 존재하는 경우, 상기 로트를 완전자동 모드 오버레이 장비에 할당하고, 작업파일이 존재하지 않을 경우, 상기 로트를 반자동 모드 오버레이 장비에 할당하는 제 6단계;상기 제 6단계 수행후, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스에 로트에 대한 정보를 입력하므로써 상기 인라인 장비에서 진행할 로트를 예약하는 제 7단계를 더 포함하는 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제 2단계는,상기 셀 제어서버가 로트 진행 시작 트랜잭션 메세지를 상기 인라인 장비를 제어하는 제1장비서버, 자동반송 로봇을 제어하는 자동반송 로봇 제어서버 및 스토커를 제어하는 스토커 제어서버로 전송하는 제 8단계;상기 제 8단계 수행후, 상기 자동반송 로봇 제어서버가 반송인가 명령을 상기 자동반송 로봇에 제공하는 제 9단계;상기 제 9단계 수행후, 상기 자동반송 로봇이 상기 스토커에서 공정진행이 예약된 해당 로트를 취득하여, 상기 인라인 장비에 해당 로트가 담긴 카세트를 제공하는 제 10단계; 및상기 인라인 장비에 제공된 카세트에 담긴 로트가 코팅공정, 현상공정 및 노광공정을 진행하는 제 11단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제 4단계에서, 공정을 마친 로트의 오버레이 공정을 진행할 오버레이 장비가 완전자동 모드가 아닌 경우와, 해당 오버레이 장비에 빈 포트가 없는 경우, 상기 제1장비서버가 셀 제어서버에 카세트 회수 요청 메세지를 전송하고, 상기 셀 제어서버가 로트 이동 트랜잭션 메세지를 상기 제1장비서버, 제2장비서버, 자동반송 로봇 제어서버 및 스토커 제어서버로 전송하는 제 12단계;상기 셀 제어서버로부터 로트 이동 트랜잭션 메세지를 수신한 상기 자동반송 로봇 제어서버가 반송명령을 상기 자동반송 로봇에 인가하는 제 13단계;상기 제 13단계 수행후, 상기 자동반송 로봇이 상기 인라인 장비에서 카세트를 회수하여 상기 스토커에 저장하는 제 14단계;상기 제 14단계 수행후, 외부로부터 상기 반자동 모드 오버레이 장비에서 진행할 로트의 정보를 입력하므로써 로트를 예약하고, 작업파일을 제작하는 제 15단계;상기 제2장비서버가 상기 셀 제어서버에 카세트 제공요청 메세지를 전송하는 제 16단계;상기 제 16단계 수행후, 상기 셀 제어서버가 로트 진행 시작 트랜잭션 메세지를 상기 인라인 장비를 제어하는 제1장비서버, 자동반송 로봇 제어서버 및 스토커 제어서버로 전송하는 제 17단계; 및상기 자동반송 로봇 제어서버가 반송인가 명령을 상기 자동반송 로봇에 제공하면, 자동반송 로봇이 상기 인라인 장비에서 공정진행이 완료된 로트를 취득하여, 상기 오버레이 장비에 해당 로트가 담긴 카세트를 제공하는 제 18단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제 5단계는,상기 오버레이 장비가 로트가 공정을 진행할 때 발생하는 공정데이터를 상기 제2장비서버로 전송하고, 제2장비서버가 상기 셀 제어서버로 공정데이터를 전송하는 제 19단계;상기 셀 제어서버가 작업자 데이터 수집 트랜잭션 메세지를 데이터수집 서버로 전송하는 제 20단계; 및상기 제 20단계 수행후, 상기 데이터수집 서버가 작업자 데이터를 수집하여 이력 데이터베이스에 저장하는 제 21단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법.
- 반도체 제조를 위한 오버레이 장비 자동화 방법을 제공하는 시스템에,셀 제어서버에서 해당 베이의 완전자동 모드 오버레이 장비에 공정을 진행할 로트의 작업파일이 존재하는지를 판단하는 제 1기능;인라인 장비에서 해당 로트의 공정을 진행하는 제 2기능;상기 인라인 장비에서 발생된 공정데이터를 제1장비서버에 전송하는 제 3기능;제2장비서버에서 상기 인라인 장비에서 공정을 마친 로트의 오버레이 공정을 진행할 오버레이 장비가 완전자동 모드인지를 판단하고, 그 결과 완전자동 모드인 경우, 해당 오버레이 장비에 빈 포트가 있는지를 판단하는 제 4기능; 및상기 제 4기능의 판단결과, 오버레이 장비에 빈 포트가 있으면, 상기 오버레이 장비에서 해당 로트를 투입하여 공정을 진행하는 제 5기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.
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