JPS58177938U - 自動化ラインにおける搬送用ボツクス - Google Patents

自動化ラインにおける搬送用ボツクス

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JPS58177938U
JPS58177938U JP7547382U JP7547382U JPS58177938U JP S58177938 U JPS58177938 U JP S58177938U JP 7547382 U JP7547382 U JP 7547382U JP 7547382 U JP7547382 U JP 7547382U JP S58177938 U JPS58177938 U JP S58177938U
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JP
Japan
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automated
transport boxes
automated lines
semiconductor device
box
Prior art date
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Pending
Application number
JP7547382U
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English (en)
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相合　征一郎
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Individual
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Individual
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一例を示す斜視図、第２図はＬ　　第
１図の線Ａ−Ａ断面図、第３図は他の実施例の寥　　斜
視図である。 ＝　　　図中、２・・・・・・搬送用ボックス、３・・
・・・・モジューン　　ル、１１．１２・・・・・・半
導体装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 、　　自動化ラインめ各工程に被処理物または工具今を
    順次に搬送するためのボックスにおいて、前記ボックス
    の適宜位置には情報交換処理おＪび作業指示用半導体装
    置とメモリを構成する半導体装置とを含むモジュールが
    固定されているニーを特徴とする自動化う・インにおけ
    る搬送用ボッビス。
JP7547382U 1982-05-22 1982-05-22 自動化ラインにおける搬送用ボツクス Pending JPS58177938U (ja)

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JP7547382U JPS58177938U (ja) 1982-05-22 1982-05-22 自動化ラインにおける搬送用ボツクス

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JPS58177938U true JPS58177938U (ja) 1983-11-28

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JP7547382U Pending JPS58177938U (ja) 1982-05-22 1982-05-22 自動化ラインにおける搬送用ボツクス

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62143415A (ja) * 1985-12-18 1987-06-26 Hitachi Ltd 分散型作業進行管理方法
JPS63110627A (ja) * 1986-10-28 1988-05-16 Tokyo Electron Ltd マスク・レチクル収納体
WO1993009565A1 (fr) * 1991-10-29 1993-05-13 Komatsu Electronic Metals Co., Ltd. Appareil et procede pour la fabrication de tranches de semi-conducteur

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5434777A (en) * 1977-08-24 1979-03-14 Hitachi Ltd Mask aligner
JPS5671949A (en) * 1979-11-15 1981-06-15 Nissin Electric Co Ltd Specimen carrier for charge particle injector

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5434777A (en) * 1977-08-24 1979-03-14 Hitachi Ltd Mask aligner
JPS5671949A (en) * 1979-11-15 1981-06-15 Nissin Electric Co Ltd Specimen carrier for charge particle injector

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62143415A (ja) * 1985-12-18 1987-06-26 Hitachi Ltd 分散型作業進行管理方法
JPS63110627A (ja) * 1986-10-28 1988-05-16 Tokyo Electron Ltd マスク・レチクル収納体
WO1993009565A1 (fr) * 1991-10-29 1993-05-13 Komatsu Electronic Metals Co., Ltd. Appareil et procede pour la fabrication de tranches de semi-conducteur

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