JP3301228B2 - 製造工程における物品の工程管理方法 - Google Patents
製造工程における物品の工程管理方法Info
- Publication number
- JP3301228B2 JP3301228B2 JP21351394A JP21351394A JP3301228B2 JP 3301228 B2 JP3301228 B2 JP 3301228B2 JP 21351394 A JP21351394 A JP 21351394A JP 21351394 A JP21351394 A JP 21351394A JP 3301228 B2 JP3301228 B2 JP 3301228B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- storage device
- instruction
- articles
- contamination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置等の製造工程
に使用されている製造工程における物品の工程管理方法
に関するものである。
に使用されている製造工程における物品の工程管理方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置等の製造工程に使用さ
れている物品の運搬並びに保管方法に関するものとし
て、例えば特開平４−３０２１２８号公報などに記載さ
れるものがある。前記特開平４−３０２１２８号公報
は、ウエーハ加工ラインにおいてウエハをカセットごと
加工する際に、ロット番号などの認識装置やイーサネッ
トのようなネットワークを必要としない、また中央コン
ピュータの異常停止の場合でもライン停止に至らない工
程管理方式を確立する技術を開示するものであり、加工
ライン１に設けられた加工装置２に通信制御装置３を内
臓しておき、一方加工処理されるウエーハ５を複数枚収
納したカセット４に内臓されたＩＣメモリ６にカセット
４の識別番号と各加工装置２で加工すべき作業内容など
のデータを記憶保持させ、個々の加工装置２に対応させ
て作業指示させるとともにその作業実績を入力して記憶
保持させるものからなる構成を特徴とする。
れている物品の運搬並びに保管方法に関するものとし
て、例えば特開平４−３０２１２８号公報などに記載さ
れるものがある。前記特開平４−３０２１２８号公報
は、ウエーハ加工ラインにおいてウエハをカセットごと
加工する際に、ロット番号などの認識装置やイーサネッ
トのようなネットワークを必要としない、また中央コン
ピュータの異常停止の場合でもライン停止に至らない工
程管理方式を確立する技術を開示するものであり、加工
ライン１に設けられた加工装置２に通信制御装置３を内
臓しておき、一方加工処理されるウエーハ５を複数枚収
納したカセット４に内臓されたＩＣメモリ６にカセット
４の識別番号と各加工装置２で加工すべき作業内容など
のデータを記憶保持させ、個々の加工装置２に対応させ
て作業指示させるとともにその作業実績を入力して記憶
保持させるものからなる構成を特徴とする。
【０００３】しかしながら、前記開示技術などは、汚染
源を含む工程で使用されるカセットと、それ以外の他工
程で使用されるカセットの層別がなされていなかった。
このため汚染源でのカセット汚染が半製品の特性に多大
な影響を与えているという問題がある。
源を含む工程で使用されるカセットと、それ以外の他工
程で使用されるカセットの層別がなされていなかった。
このため汚染源でのカセット汚染が半製品の特性に多大
な影響を与えているという問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のごと
き問題を鑑みて、汚染源でのカセット汚染による半製品
の特性への多大な影響を解決することが出来る製造工程
における物品の工程管理方法の提供を課題とするもので
ある。
き問題を鑑みて、汚染源でのカセット汚染による半製品
の特性への多大な影響を解決することが出来る製造工程
における物品の工程管理方法の提供を課題とするもので
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、複数の物品を収納できると共に、工程に応じて分類
される光学的に読み取り可能な識別記号を有するカセッ
トと、前記識別記号を読み取る事の出来る読み取り手段
と、複数の作業工程の順序または内容の一部が製品ごと
に異なる生産ラインにおける工程順序及び工程内容であ
る工程フローを記憶するためのフロー記憶装置と、前記
識別記号により前記カセットごとの工程進行状況を記憶
することができる工程進行状況記憶装置と、製品の工程
進行状況に応じて前記工程フローに従って作業条件を指
示する事の出来る指示手段と、前記読み取り手段からの
信号、及び前記フロー記憶装置からの信号、及び前記工
程進行状況記憶装置からの信号、及び前記指示手段から
の信号を処理する処理手段と、該処理手段の指示によ
り、物品を移し替えるための物品移し替え装置とから構
成され、しかも前記識別記号が、ある工程の汚染度に対
応した識別記号であり、かつ前記処理手段の指示が、前
記カセットに収納された物品を他のカセットに、移し替
えるための指示であることを特徴とする製造工程におけ
る物品の工程管理方法を手段として採用するものであ
る。
に、複数の物品を収納できると共に、工程に応じて分類
される光学的に読み取り可能な識別記号を有するカセッ
トと、前記識別記号を読み取る事の出来る読み取り手段
と、複数の作業工程の順序または内容の一部が製品ごと
に異なる生産ラインにおける工程順序及び工程内容であ
る工程フローを記憶するためのフロー記憶装置と、前記
識別記号により前記カセットごとの工程進行状況を記憶
することができる工程進行状況記憶装置と、製品の工程
進行状況に応じて前記工程フローに従って作業条件を指
示する事の出来る指示手段と、前記読み取り手段からの
信号、及び前記フロー記憶装置からの信号、及び前記工
程進行状況記憶装置からの信号、及び前記指示手段から
の信号を処理する処理手段と、該処理手段の指示によ
り、物品を移し替えるための物品移し替え装置とから構
成され、しかも前記識別記号が、ある工程の汚染度に対
応した識別記号であり、かつ前記処理手段の指示が、前
記カセットに収納された物品を他のカセットに、移し替
えるための指示であることを特徴とする製造工程におけ
る物品の工程管理方法を手段として採用するものであ
る。
【０００６】
【作用】上記手段を採用したことにより、即ち、請求項
１で特に、あらかじめ記述済みの工程フローから自動的
に移し替え装置にカセットの移し替えの指示がでる構成
を採用したことにより、物品の加工工程が進行し、物品
が汚染源を含む工程に進行するまえに、前記カセット移
し替え方法を記述した作業条件が、前記指示手段によ
り、前記移し替え装置に指示され、物品は汚染源を含む
工程以外で使用されるカセットから、汚染源を含む工程
で使用されるカセットに、前記移し替え装置により移し
替えが行われることにより、汚染源を含む工程で使用さ
れるカセットは層別され、汚染源でのカセット汚染の半
製品の特性への多大な影響を回避することができるよう
になる。
１で特に、あらかじめ記述済みの工程フローから自動的
に移し替え装置にカセットの移し替えの指示がでる構成
を採用したことにより、物品の加工工程が進行し、物品
が汚染源を含む工程に進行するまえに、前記カセット移
し替え方法を記述した作業条件が、前記指示手段によ
り、前記移し替え装置に指示され、物品は汚染源を含む
工程以外で使用されるカセットから、汚染源を含む工程
で使用されるカセットに、前記移し替え装置により移し
替えが行われることにより、汚染源を含む工程で使用さ
れるカセットは層別され、汚染源でのカセット汚染の半
製品の特性への多大な影響を回避することができるよう
になる。
【０００７】
【発明の効果】上記作用が奏功し、即ち、汚染源でのカ
セット汚染の半製品の特性への多大な影響が回避できる
本発明の製造工程における物品の工程管理方法の提供を
可能となる。
セット汚染の半製品の特性への多大な影響が回避できる
本発明の製造工程における物品の工程管理方法の提供を
可能となる。
【０００８】
【実施例】本発明者等は、上記課題に対して、鋭意検討
を重ねてきた。その結果、半導体装置の加工工程におけ
る燐拡散工程及びメタル工程が前記カセット汚染工程で
あり、これら汚染工程でのカセット汚染が半製品の特性
に多大な影響を与えていたことを明かにすることができ
た。そのために、製造工程における物品の工程管理方法
をどの様にしたらよいかを種々検討してきたが、その構
成について、以下、図に記した一実施例を参照しながら
説明する。
を重ねてきた。その結果、半導体装置の加工工程におけ
る燐拡散工程及びメタル工程が前記カセット汚染工程で
あり、これら汚染工程でのカセット汚染が半製品の特性
に多大な影響を与えていたことを明かにすることができ
た。そのために、製造工程における物品の工程管理方法
をどの様にしたらよいかを種々検討してきたが、その構
成について、以下、図に記した一実施例を参照しながら
説明する。
【０００９】図１は、本発明の実施例である半導体装置
製造工程における物品の管理方法を説明するための装置
構成図である。また、図２は、本発明の実施例である半
導体装置製造工程における物品の管理方法を説明するた
めの工程フロー図である。図において、１は、本発明の
物品の製造工程における物品の管理方法であり、カセッ
ト２と、バーコードリーダ３と、工程フロー記憶装置４
と、工程進行状況記憶装置５と、ホストコンピュター６
と、カセット移し替え装置７とから構成される。
製造工程における物品の管理方法を説明するための装置
構成図である。また、図２は、本発明の実施例である半
導体装置製造工程における物品の管理方法を説明するた
めの工程フロー図である。図において、１は、本発明の
物品の製造工程における物品の管理方法であり、カセッ
ト２と、バーコードリーダ３と、工程フロー記憶装置４
と、工程進行状況記憶装置５と、ホストコンピュター６
と、カセット移し替え装置７とから構成される。
【００１０】前記カセット２は、ウエハ収納容器であ
り、、バーコード８が取付けてある。さらに該バーコー
ド８にはカセットが使用される工程の汚染度に応じて５
種類に分類される１桁の識別記号Ｓ，Ｇ，Ａ，Ｐ，と、
これに続く４桁の数字が記入されている。前記工程フロ
ー記憶装置４は複数の作業工程を経て複数の製品を形成
し、その各作業工程の順序または内容の一部が各製品ご
とに異なるような生産ラインにおける工程順序及び工程
内容を記述した工程フローを記憶するもので、工程フロ
ーの開始では前記識別記号Ｓの記載されたバーコード８
の取り付いた前記カセット２に移し替えする作業の記述
がある。また燐拡散工程前には同Ｐの記載された前記バ
ーコード８の取り付いた前記カセット２にカセットを移
し替える作業の記述がある。燐拡散工程後には同じくＰ
→Ｇに、メタル工程前には同様にＧ→Ａにカセット移し
替え作業が記述してある。ウエハはＳ，Ｐ，Ｇ，Ａの順
に前記カセット２に移し替えられながら工程を進行する
よう記述してある。
り、、バーコード８が取付けてある。さらに該バーコー
ド８にはカセットが使用される工程の汚染度に応じて５
種類に分類される１桁の識別記号Ｓ，Ｇ，Ａ，Ｐ，と、
これに続く４桁の数字が記入されている。前記工程フロ
ー記憶装置４は複数の作業工程を経て複数の製品を形成
し、その各作業工程の順序または内容の一部が各製品ご
とに異なるような生産ラインにおける工程順序及び工程
内容を記述した工程フローを記憶するもので、工程フロ
ーの開始では前記識別記号Ｓの記載されたバーコード８
の取り付いた前記カセット２に移し替えする作業の記述
がある。また燐拡散工程前には同Ｐの記載された前記バ
ーコード８の取り付いた前記カセット２にカセットを移
し替える作業の記述がある。燐拡散工程後には同じくＰ
→Ｇに、メタル工程前には同様にＧ→Ａにカセット移し
替え作業が記述してある。ウエハはＳ，Ｐ，Ｇ，Ａの順
に前記カセット２に移し替えられながら工程を進行する
よう記述してある。
【００１１】前記工程進行状況記憶装置５は、前記バー
コード８により前記カセット２ごとに工程進行状況を記
憶する。前記ホストコンピュター６は、前記バーコード
リーダ３より読みとったカセット識別記号と、前記工程
進行状況記憶装置５より読みとった前記カセット２の現
在工程位置と、前記工程フロー記憶装置４から読みとっ
た次工程作業情報とより、カセット移し替え作業前に前
記カセット２が来た場合には、前記移し替え装置７に対
し、指定されたカセットに前記カセット２を移し替える
様指示する。
コード８により前記カセット２ごとに工程進行状況を記
憶する。前記ホストコンピュター６は、前記バーコード
リーダ３より読みとったカセット識別記号と、前記工程
進行状況記憶装置５より読みとった前記カセット２の現
在工程位置と、前記工程フロー記憶装置４から読みとっ
た次工程作業情報とより、カセット移し替え作業前に前
記カセット２が来た場合には、前記移し替え装置７に対
し、指定されたカセットに前記カセット２を移し替える
様指示する。
【００１２】前記移し替え装置７は必要な空のカセット
を保管し、前記ホストコンピューター６より前記移し替
え指示を受けると、指示に従い前記カセット２から別の
カセットに移し替えを行う。以上により燐拡散工程にて
使用されるＰカセットには汚染源が付着するが、清浄度
が要求される工程ではＳカセットを使用するので、汚染
源がカセットを経由して清浄なウエハを汚染することを
防止できる。同様に汚染源の付着したウエハによりＧカ
セットには汚染源が付着するが、清浄度の要求される工
程ではＳカセットを使用するので、汚染が防止できる。
さらにメタル工程で使用されるＡカセットには汚染源が
付着するが、清浄度の要求される工程ではＳカセット、
やや清浄度の要求される工程ではＧカセットを使用する
のでさらに汚染の進むメタル工程の汚染源の、カセット
を経由した汚染が防止できる。
を保管し、前記ホストコンピューター６より前記移し替
え指示を受けると、指示に従い前記カセット２から別の
カセットに移し替えを行う。以上により燐拡散工程にて
使用されるＰカセットには汚染源が付着するが、清浄度
が要求される工程ではＳカセットを使用するので、汚染
源がカセットを経由して清浄なウエハを汚染することを
防止できる。同様に汚染源の付着したウエハによりＧカ
セットには汚染源が付着するが、清浄度の要求される工
程ではＳカセットを使用するので、汚染が防止できる。
さらにメタル工程で使用されるＡカセットには汚染源が
付着するが、清浄度の要求される工程ではＳカセット、
やや清浄度の要求される工程ではＧカセットを使用する
のでさらに汚染の進むメタル工程の汚染源の、カセット
を経由した汚染が防止できる。
【００１３】尚、上記実施例において、読み取り手段
は、前記バーコード８であり、フロー記憶装置は、工程
フロー記憶装置４であり、処理手段及び指示手段は、ホ
ストコンピュータ６であり、物品移し替え装置は、移し
替え装置７である。
は、前記バーコード８であり、フロー記憶装置は、工程
フロー記憶装置４であり、処理手段及び指示手段は、ホ
ストコンピュータ６であり、物品移し替え装置は、移し
替え装置７である。
【図１】本発明の実施例である半導体装置製造工程にお
ける物品の管理方法を説明するための装置構成図であ
る。
ける物品の管理方法を説明するための装置構成図であ
る。
【図２】本発明の実施例である半導体装置製造工程にお
ける物品の管理方法を説明するための工程フロー図であ
る。
ける物品の管理方法を説明するための工程フロー図であ
る。
１ 物品の管理方法 ２ カセット ３ バーコードリーダー ４ 工程フロー記憶装置 ５ 工程進行状況記憶装置 ６ ホストコンピュータ ７ 移し替え装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−236307（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/02 G06F 17/60
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の物品を収納できると共に、工程に
応じて分類される光学的に読み取り可能な識別記号を有
するカセットと、前記識別記号を読み取る事の出来る読
み取り手段と、複数の作業工程の順序または内容の一部
が製品ごとに異なる生産ラインにおける工程順序及び工
程内容である工程フローを記憶するためのフロー記憶装
置と、前記識別記号により前記カセットごとの工程進行
状況を記憶することができる工程進行状況記憶装置と、
製品の工程進行状況に応じて前記工程フローに従って作
業条件を指示する事の出来る指示手段と、前記読み取り
手段からの信号、及び前記フロー記憶装置からの信号、
及び前記工程進行状況記憶装置からの信号、及び前記指
示手段からの信号を処理する処理手段と、該処理手段の
指示により、物品を移し替えるための物品移し替え装置
とから構成され、しかも前記識別記号が、ある工程の汚
染度に対応した識別記号であり、かつ前記処理手段の指
示が、前記カセットに収納された物品を他のカセット
に、移し替えるための指示であることを特徴とする製造
工程における物品の工程管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21351394A JP3301228B2 (ja) | 1994-09-07 | 1994-09-07 | 製造工程における物品の工程管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21351394A JP3301228B2 (ja) | 1994-09-07 | 1994-09-07 | 製造工程における物品の工程管理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0878301A JPH0878301A (ja) | 1996-03-22 |
| JP3301228B2 true JP3301228B2 (ja) | 2002-07-15 |
Family
ID=16640441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21351394A Expired - Fee Related JP3301228B2 (ja) | 1994-09-07 | 1994-09-07 | 製造工程における物品の工程管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3301228B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003068823A (ja) | 2001-08-28 | 2003-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | 基板キャリア管理システム、基板キャリア管理方法、プログラム、記録媒体及び半導体装置の製造方法 |
| JP4449319B2 (ja) | 2003-03-25 | 2010-04-14 | 株式会社デンソー | 製造管理方法 |
| JP4564241B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2010-10-20 | 株式会社東芝 | 半導体装置の生産システム |
| JP5100092B2 (ja) * | 2006-11-27 | 2012-12-19 | 株式会社日立製作所 | 作業指示管理システム、作業指示管理方法、作業指示管理プログラム、作業指示管理装置、および電子ペーパ |
-
1994
- 1994-09-07 JP JP21351394A patent/JP3301228B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0878301A (ja) | 1996-03-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6060992A (en) | Method and apparatus for tracking mobile work-in-process parts | |
| TWI332676B (en) | Carrier facilitating radio-frequency identification (rfid) operation in a semiconductor fabrication system | |
| TW517283B (en) | Equipment to process wafers | |
| US6772032B2 (en) | Semiconductor device manufacturing line | |
| US20030082032A1 (en) | Wafer management system and methods for managing wafers | |
| JP3301228B2 (ja) | 製造工程における物品の工程管理方法 | |
| JPH08335539A (ja) | 生産管理装置および生産管理方法 | |
| US6599763B1 (en) | Wafer randomization and alignment system integrated into a multiple chamber wafer processing system | |
| JP2005203498A (ja) | ウエハストッカ、半導体装置の搬送システムおよび搬送方法 | |
| JPS62123735A (ja) | ウエ−ハカセツト | |
| US6747230B2 (en) | Method and device for sorting wafers | |
| CN106335765A (zh) | 一种控制传送至半导体机台的方法、装置及系统 | |
| US20050096782A1 (en) | Automated sorter system and method thereof | |
| JPH06196544A (ja) | 製造工程管理システム | |
| US20060263197A1 (en) | Pod swapping internal to tool run time | |
| KR100596437B1 (ko) | 반도체 제조공정에서 발생하는 데이터의 자동 기록 장치 및 방법 | |
| JP2800023B2 (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
| JPH0613453A (ja) | カセット識別方法 | |
| JP2003228412A (ja) | 生産ラインの管理システム | |
| JP2523638B2 (ja) | 半導体設備運用デ−タ収集方法 | |
| JPH11330221A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP3000624B2 (ja) | カセットストッカー | |
| JP2005228859A (ja) | 半導体装置の製造システムおよび製造方法 | |
| JP2743908B2 (ja) | 半導体装置製造設備 | |
| JPH01257333A (ja) | 拡散モジュールシステムの制御方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020326 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080426 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110426 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120426 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120426 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130426 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130426 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140426 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |