JP2774911B2 - 半導体ウエハ搬送装置 - Google Patents
半導体ウエハ搬送装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、クリーン度の異なる
クリーンルーム間の半導体ウエハ（以下、「ウエハ」と
いう。）の搬送を行い、またウエハカセットを洗浄する
半導体ウエハ搬送装置に関するものである。
クリーンルーム間の半導体ウエハ（以下、「ウエハ」と
いう。）の搬送を行い、またウエハカセットを洗浄する
半導体ウエハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、半導体ウエハ搬送装置で搬送さ
れる対象物を示す図である。図３において、ウエハ２５
を収納しているウエハカセット２４が示されている。ウ
エハカセット２４には、ウエハ２５が等間隔で並立状態
に収納されている。
れる対象物を示す図である。図３において、ウエハ２５
を収納しているウエハカセット２４が示されている。ウ
エハカセット２４には、ウエハ２５が等間隔で並立状態
に収納されている。
【０００３】従来の半導体ウエハ搬送装置の構成につい
て図４及び図５を参照しながら説明する。図４は、従来
の半導体ウエハ搬送装置のレイアウトを示す図である。
また、図５は、従来の半導体ウエハ搬送装置の制御構成
を示すブロック図である。
て図４及び図５を参照しながら説明する。図４は、従来
の半導体ウエハ搬送装置のレイアウトを示す図である。
また、図５は、従来の半導体ウエハ搬送装置の制御構成
を示すブロック図である。
【０００４】図４において、３、４及び１１は同一処理
装置群（以下、「モジュール」という。）の出入口に設
置され、各搬送機器とウエハカセット２４の授受を行う
移載ステージである。また、５及び１０はＩＤカード内
の情報の読み込み・書き込みを行うＩＤ認識装置であ
る。さらに、６及び１２はウエハカセット２４を一時的
に保管するカセットダム、１３は投入された空カセット
を洗浄するカセット洗浄機である。
装置群（以下、「モジュール」という。）の出入口に設
置され、各搬送機器とウエハカセット２４の授受を行う
移載ステージである。また、５及び１０はＩＤカード内
の情報の読み込み・書き込みを行うＩＤ認識装置であ
る。さらに、６及び１２はウエハカセット２４を一時的
に保管するカセットダム、１３は投入された空カセット
を洗浄するカセット洗浄機である。
【０００５】また、１７はクリーン度の異なるクリーン
ルーム間を隔てるためのパーテーションである。１８は
クリーン度の高いクリーンルーム（以下、「高クリーン
ルーム」という。）を表し、１９はクリーン度の低いク
リーンルーム（以下、「低クリーンルーム」という。）
を表す。
ルーム間を隔てるためのパーテーションである。１８は
クリーン度の高いクリーンルーム（以下、「高クリーン
ルーム」という。）を表し、１９はクリーン度の低いク
リーンルーム（以下、「低クリーンルーム」という。）
を表す。
【０００６】図５において、２０は数モジュールの処理
装置・搬送機器に作業指示を行う統括制御計算機、２１
及び２２は１モジュール内の搬送機器の制御を行うユニ
ット計算機である。なお、図中、移載ステージ３〜カセ
ットダム６、ＩＤ認識装置１０〜カセット洗浄装置１３
は図４の各装置・搬送機器に対応している。
装置・搬送機器に作業指示を行う統括制御計算機、２１
及び２２は１モジュール内の搬送機器の制御を行うユニ
ット計算機である。なお、図中、移載ステージ３〜カセ
ットダム６、ＩＤ認識装置１０〜カセット洗浄装置１３
は図４の各装置・搬送機器に対応している。
【０００７】次に、従来の半導体ウエハ搬送装置の動作
について説明する。まず、作業者は、移載ステージ４に
実カセットを搬送し、ＩＤ認識装置５により実カセット
のＩＤ情報をユニット計算機２１へ報告する。ユニット
計算機２１は、統括制御計算機２０へ同様の報告をし、
統括制御計算機２０は搬送されてきた実カセットに問題
がないか確認をする。問題がなければユニット計算機２
１に作業開始を指示する。
について説明する。まず、作業者は、移載ステージ４に
実カセットを搬送し、ＩＤ認識装置５により実カセット
のＩＤ情報をユニット計算機２１へ報告する。ユニット
計算機２１は、統括制御計算機２０へ同様の報告をし、
統括制御計算機２０は搬送されてきた実カセットに問題
がないか確認をする。問題がなければユニット計算機２
１に作業開始を指示する。
【０００８】次に、作業者はユニット計算機２１より作
業許可を受け、ウエハカセット２４内のウエハ２５を、
高クリーンルーム用カセットから低クリーンルーム用カ
セットに移し替える。
業許可を受け、ウエハカセット２４内のウエハ２５を、
高クリーンルーム用カセットから低クリーンルーム用カ
セットに移し替える。
【０００９】次に、作業者は実カセットに付属している
ＩＤカードを抜き取り、ＩＤ認識装置５により低クリー
ンルーム用ＩＤカードに実カセットのＩＤ情報をコピー
する。抜き取られた実カセットのＩＤカードはここで一
時ストックしておく。その後、カセットを一時カセット
ダム６に保管する。ユニット計算機２１は、コピーが完
了したことを統括制御計算機２０に報告し、本工程内処
理が終了したことを知らせる。作業者は、ウエハ２５を
移し替えられた実カセットに、コピーされた低クリーン
ルーム用ＩＤカードを挿入し、低クリーンルーム１９側
へ搬送する。
ＩＤカードを抜き取り、ＩＤ認識装置５により低クリー
ンルーム用ＩＤカードに実カセットのＩＤ情報をコピー
する。抜き取られた実カセットのＩＤカードはここで一
時ストックしておく。その後、カセットを一時カセット
ダム６に保管する。ユニット計算機２１は、コピーが完
了したことを統括制御計算機２０に報告し、本工程内処
理が終了したことを知らせる。作業者は、ウエハ２５を
移し替えられた実カセットに、コピーされた低クリーン
ルーム用ＩＤカードを挿入し、低クリーンルーム１９側
へ搬送する。
【００１０】移し替えた空カセットは人手により移載ス
テージ１１に搬送され、ＩＤ認識装置１０によりＩＤ情
報をユニット計算機２２へ報告する。ユニット計算機２
２は統括制御計算機２０へ報告し、搬送されてきた空カ
セットに問題がないか確認をし、その後空カセット洗浄
作業開始指示を出す。
テージ１１に搬送され、ＩＤ認識装置１０によりＩＤ情
報をユニット計算機２２へ報告する。ユニット計算機２
２は統括制御計算機２０へ報告し、搬送されてきた空カ
セットに問題がないか確認をし、その後空カセット洗浄
作業開始指示を出す。
【００１１】次に、作業者はユニット計算機２２より作
業許可を受け、空カセットをカセット洗浄機１３へ投入
する。カセット洗浄後、作業者はＩＤカードを洗浄され
たカセットに挿入し、ＩＤ認識装置１０によりユニット
計算機２２へ洗浄終了を報告し、カセットダム１２に一
時保管する。ここで、ユニット計算機２２は洗浄終了を
統括制御計算機２０へ報告し、統括制御計算機２０は洗
浄済み空カセットが発生したことを認識する。最後に作
業者は、カード付き洗浄済み空カセットを外部へ払い出
す。
業許可を受け、空カセットをカセット洗浄機１３へ投入
する。カセット洗浄後、作業者はＩＤカードを洗浄され
たカセットに挿入し、ＩＤ認識装置１０によりユニット
計算機２２へ洗浄終了を報告し、カセットダム１２に一
時保管する。ここで、ユニット計算機２２は洗浄終了を
統括制御計算機２０へ報告し、統括制御計算機２０は洗
浄済み空カセットが発生したことを認識する。最後に作
業者は、カード付き洗浄済み空カセットを外部へ払い出
す。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体ウエハ搬
送装置は、以上のように構成されているので、ウエハカ
セット２４内のウエハ２５の移し替え、ＩＤカードのコ
ピー、ＩＤカードの挿抜・一時保管、カセット洗浄機１
３への投入・払い出し、及び洗浄後のカセット搬送全て
を作業者により行わなければならず、作業者からの発塵
の影響を受けるので、歩留まりが低下し、また、作業性
の影響を受けるので稼働が不安定であるという問題点が
あった。
送装置は、以上のように構成されているので、ウエハカ
セット２４内のウエハ２５の移し替え、ＩＤカードのコ
ピー、ＩＤカードの挿抜・一時保管、カセット洗浄機１
３への投入・払い出し、及び洗浄後のカセット搬送全て
を作業者により行わなければならず、作業者からの発塵
の影響を受けるので、歩留まりが低下し、また、作業性
の影響を受けるので稼働が不安定であるという問題点が
あった。
【００１３】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、ウエハカセット内のウエハ移
し替え・ＩＤカードのコピー、ＩＤカードの挿抜・一時
保管、カセット洗浄機への投入・払い出し、及び洗浄後
のカセット搬送を自動化することができる半導体ウエハ
搬送装置を得ることを目的とする。
るためになされたもので、ウエハカセット内のウエハ移
し替え・ＩＤカードのコピー、ＩＤカードの挿抜・一時
保管、カセット洗浄機への投入・払い出し、及び洗浄後
のカセット搬送を自動化することができる半導体ウエハ
搬送装置を得ることを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る半導体ウエハカセット搬送装置は、次に掲げる手段を
備えたものである。 〔１〕 第１のウエハカセット内の半導体ウエハを第２
のウエハカセットに移し替え、かつ前記第１のウエハカ
セットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報を前記
第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカードにコ
ピーするコピーチェンジャー手段。 〔２〕 半導体ウエハが収納された前記第１のウエハカ
セットを第１の移載ステージから前記コピーチェンジャ
ー手段へ移載するとともに、前記コピーチェンジャー手
段によって半導体ウエハが移し替えられて空になった前
記第１のウエハカセットを前記コピーチェンジャー手段
からカセットダムへ移送する第１のトラバーサ手段。 〔３〕 空の前記第２のウエハカセットを第２の移載ス
テージから前記コピーチェンジャー手段へ移載するとと
もに、前記コピーチェンジャー手段によって移し替えら
れて半導体ウエハが収納された前記第２のウエハカセッ
トを前記コピーチェンジャー手段から前記第２の移載ス
テージへ移送する第２のトラバーサ手段。〔４〕 前記コピーチェンジャー手段並びに前記第１及
び第２のトラバーサ手段を制御する計算機手段。
る半導体ウエハカセット搬送装置は、次に掲げる手段を
備えたものである。 〔１〕 第１のウエハカセット内の半導体ウエハを第２
のウエハカセットに移し替え、かつ前記第１のウエハカ
セットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報を前記
第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカードにコ
ピーするコピーチェンジャー手段。 〔２〕 半導体ウエハが収納された前記第１のウエハカ
セットを第１の移載ステージから前記コピーチェンジャ
ー手段へ移載するとともに、前記コピーチェンジャー手
段によって半導体ウエハが移し替えられて空になった前
記第１のウエハカセットを前記コピーチェンジャー手段
からカセットダムへ移送する第１のトラバーサ手段。 〔３〕 空の前記第２のウエハカセットを第２の移載ス
テージから前記コピーチェンジャー手段へ移載するとと
もに、前記コピーチェンジャー手段によって移し替えら
れて半導体ウエハが収納された前記第２のウエハカセッ
トを前記コピーチェンジャー手段から前記第２の移載ス
テージへ移送する第２のトラバーサ手段。〔４〕 前記コピーチェンジャー手段並びに前記第１及
び第２のトラバーサ手段を制御する計算機手段。
【００１５】この発明の請求項２に係る半導体ウエハカ
セット搬送装置は、次に掲げる手段を備えたものであ
る。 〔１〕 空ウエハカセットに付属するＩＤカードを挿抜
し、抜き取ってから挿入するまでの間前記ＩＤカードを
一時保管するカードストッカー手段。 〔２〕 投入された前記空ウエハカセットの洗浄を行う
カセット洗浄機手段。 〔３〕 他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を
行うための移載ステージと前記カードストッカー手段及
びカセット洗浄機手段との間の前記空ウエハカセットの
搬送授受を行うトラバーサ手段。 〔４〕 前記カードストッカー手段、前記カセット洗浄
機手段及び前記トラバーサ手段を制御する計算機手段。
セット搬送装置は、次に掲げる手段を備えたものであ
る。 〔１〕 空ウエハカセットに付属するＩＤカードを挿抜
し、抜き取ってから挿入するまでの間前記ＩＤカードを
一時保管するカードストッカー手段。 〔２〕 投入された前記空ウエハカセットの洗浄を行う
カセット洗浄機手段。 〔３〕 他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を
行うための移載ステージと前記カードストッカー手段及
びカセット洗浄機手段との間の前記空ウエハカセットの
搬送授受を行うトラバーサ手段。 〔４〕 前記カードストッカー手段、前記カセット洗浄
機手段及び前記トラバーサ手段を制御する計算機手段。
【００１６】この発明の請求項３に係る半導体ウエハカ
セット搬送装置は、次に掲げる手段を備えたものであ
る。 〔１〕 第１のウエハカセット内の半導体ウエハを第２
のウエハカセットに移し替え、かつ前記第１のウエハカ
セットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報を前記
第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカードにコ
ピーするコピーチェンジャー手段。 〔２〕 他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を
行うための第１の移載ステージと前記コピーチェンジャ
ー手段との間の前記第１及び第２のウエハカセットの搬
送授受を行う第１のトラバーサ手段。 〔３〕 前記コピーチェンジャー手段及び前記第１のト
ラバーサ手段を制御する第１の下位計算機手段。 〔４〕 前記第１のウエハカセットに付属する第１のＩ
Ｄカードを挿抜し、抜き取ってから挿入するまでの間前
記第１のＩＤカードを一時保管するカードストッカー手
段。 〔５〕 投入された前記第１のウエハカセットの洗浄を
行うカセット洗浄機手段。 〔６〕 他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を
行うための第２の移載ステージと前記カードストッカー
手段及び前記カセット洗浄機手段との間の前記第１のウ
エハカセットの搬送授受を行う第２のトラバーサ手段。 〔７〕 前記カードストッカー手段、前記カセット洗浄
機手段及び前記第２のトラバーサ手段を制御する第２の
下位計算機手段。 〔８〕 前記第１及び第２の移載ステージ間のウエハカ
セットの搬送授受を行う無人搬送車手段。
セット搬送装置は、次に掲げる手段を備えたものであ
る。 〔１〕 第１のウエハカセット内の半導体ウエハを第２
のウエハカセットに移し替え、かつ前記第１のウエハカ
セットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報を前記
第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカードにコ
ピーするコピーチェンジャー手段。 〔２〕 他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を
行うための第１の移載ステージと前記コピーチェンジャ
ー手段との間の前記第１及び第２のウエハカセットの搬
送授受を行う第１のトラバーサ手段。 〔３〕 前記コピーチェンジャー手段及び前記第１のト
ラバーサ手段を制御する第１の下位計算機手段。 〔４〕 前記第１のウエハカセットに付属する第１のＩ
Ｄカードを挿抜し、抜き取ってから挿入するまでの間前
記第１のＩＤカードを一時保管するカードストッカー手
段。 〔５〕 投入された前記第１のウエハカセットの洗浄を
行うカセット洗浄機手段。 〔６〕 他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を
行うための第２の移載ステージと前記カードストッカー
手段及び前記カセット洗浄機手段との間の前記第１のウ
エハカセットの搬送授受を行う第２のトラバーサ手段。 〔７〕 前記カードストッカー手段、前記カセット洗浄
機手段及び前記第２のトラバーサ手段を制御する第２の
下位計算機手段。 〔８〕 前記第１及び第２の移載ステージ間のウエハカ
セットの搬送授受を行う無人搬送車手段。
〔９〕 前記各手段と作業指示・報告に関する通信を行
い、次動作の決定を行う上位計算機手段。
い、次動作の決定を行う上位計算機手段。
【００１７】
【作用】この発明の請求項１に係る半導体ウエハカセッ
ト搬送装置においては、コピーチェンジャー手段によっ
て、第１のウエハカセット内の半導体ウエハが第２のウ
エハカセットに移し替えられ、かつ前記第１のウエハカ
セットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報が前記
第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカードにコ
ピーされる。また、第１のトラバーサ手段によって、半
導体ウエハが収納された前記第１のウエハカセットが第
１の移載ステージから前記コピーチェンジャー手段へ移
載されるとともに、前記コピーチェンジャー手段によっ
て半導体ウエハが移し替えられて空になった前記第１の
ウエハカセットが前記コピーチェンジャー手段からカセ
ットダムへ移送される。 さらに、第２のトラバーサ手段
によって、空の前記第２のウエハカセットが第２の移載
ステージから前記コピーチェンジャー手段へ移載される
とともに、前記コピーチェンジャー手段によって移し替
えられて半導体ウエハが収納された前記第２のウエハカ
セットが前記コピーチェンジャー手段から前記第２の移
載ステージへ移送移送される。そして、計算機手段によ
って、前記コピーチェンジャー手段並びに前記第１及び
第２のトラバーサ手段が制御される。
ト搬送装置においては、コピーチェンジャー手段によっ
て、第１のウエハカセット内の半導体ウエハが第２のウ
エハカセットに移し替えられ、かつ前記第１のウエハカ
セットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報が前記
第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカードにコ
ピーされる。また、第１のトラバーサ手段によって、半
導体ウエハが収納された前記第１のウエハカセットが第
１の移載ステージから前記コピーチェンジャー手段へ移
載されるとともに、前記コピーチェンジャー手段によっ
て半導体ウエハが移し替えられて空になった前記第１の
ウエハカセットが前記コピーチェンジャー手段からカセ
ットダムへ移送される。 さらに、第２のトラバーサ手段
によって、空の前記第２のウエハカセットが第２の移載
ステージから前記コピーチェンジャー手段へ移載される
とともに、前記コピーチェンジャー手段によって移し替
えられて半導体ウエハが収納された前記第２のウエハカ
セットが前記コピーチェンジャー手段から前記第２の移
載ステージへ移送移送される。そして、計算機手段によ
って、前記コピーチェンジャー手段並びに前記第１及び
第２のトラバーサ手段が制御される。
【００１８】この発明の請求項２に係る半導体ウエハカ
セット搬送装置においては、カードストッカー手段によ
って、空ウエハカセットに付属するＩＤカードが挿抜さ
れ、抜き取ってから挿入するまでの間前記ＩＤカードが
一時保管される。また、カセット洗浄機手段によって、
投入された前記空ウエハカセットの洗浄が行われる。さ
らに、他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を行
うための移載ステージと前記カードストッカー手段及び
カセット洗浄機手段との間の前記空ウエハカセットの搬
送授受が行われる。そして、計算機手段によって、前記
カードストッカー手段、前記カセット洗浄機手段及び前
記トラバーサ手段が制御される。
セット搬送装置においては、カードストッカー手段によ
って、空ウエハカセットに付属するＩＤカードが挿抜さ
れ、抜き取ってから挿入するまでの間前記ＩＤカードが
一時保管される。また、カセット洗浄機手段によって、
投入された前記空ウエハカセットの洗浄が行われる。さ
らに、他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を行
うための移載ステージと前記カードストッカー手段及び
カセット洗浄機手段との間の前記空ウエハカセットの搬
送授受が行われる。そして、計算機手段によって、前記
カードストッカー手段、前記カセット洗浄機手段及び前
記トラバーサ手段が制御される。
【００１９】この発明の請求項３に係る半導体ウエハカ
セット搬送装置においては、コピーチェンジャー手段に
よって、第１のウエハカセット内の半導体ウエハが第２
のウエハカセットに移し替えられ、かつ前記第１のウエ
ハカセットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報が
前記第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカード
にコピーされる。また、第１のトラバーサ手段によっ
て、他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を行う
ための第１の移載ステージと前記コピーチェンジャー手
段との間の前記第１及び第２のウエハカセットの搬送授
受が行われる。そして、下位計算機手段によって、前記
コピーチェンジャー手段及び前記第１のトラバーサ手段
が制御される。さらに、カードストッカー手段によっ
て、前記第１のウエハカセットに付属する第１のＩＤカ
ードが挿抜され、抜き取ってから挿入するまでの間前記
第１のＩＤカードが一時保管される。またさらに、カセ
ット洗浄機手段によって、投入された前記第１のウエハ
カセットの洗浄が行われる。またさらに、第２のトラバ
ーサ手段によって、他のモジュールとウエハカセットの
搬送授受を行うための第２の移載ステージと前記カード
ストッカー手段及び前記カセット洗浄機手段との間の前
記第１のウエハカセットの搬送授受が行われる。そし
て、第２の計算機手段によって、前記カードストッカー
手段、前記カセット洗浄機手段及び前記第２のトラバー
サ手段が制御される。またさらに、無人搬送車手段によ
って、前記第１及び第２の移載ステージ間のウエハカセ
ットの搬送授受が行われる。そして、上位計算機手段に
よって、前記各手段と作業指示・報告に関する通信が行
われ、次動作の決定が行われる。
セット搬送装置においては、コピーチェンジャー手段に
よって、第１のウエハカセット内の半導体ウエハが第２
のウエハカセットに移し替えられ、かつ前記第１のウエ
ハカセットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報が
前記第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカード
にコピーされる。また、第１のトラバーサ手段によっ
て、他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を行う
ための第１の移載ステージと前記コピーチェンジャー手
段との間の前記第１及び第２のウエハカセットの搬送授
受が行われる。そして、下位計算機手段によって、前記
コピーチェンジャー手段及び前記第１のトラバーサ手段
が制御される。さらに、カードストッカー手段によっ
て、前記第１のウエハカセットに付属する第１のＩＤカ
ードが挿抜され、抜き取ってから挿入するまでの間前記
第１のＩＤカードが一時保管される。またさらに、カセ
ット洗浄機手段によって、投入された前記第１のウエハ
カセットの洗浄が行われる。またさらに、第２のトラバ
ーサ手段によって、他のモジュールとウエハカセットの
搬送授受を行うための第２の移載ステージと前記カード
ストッカー手段及び前記カセット洗浄機手段との間の前
記第１のウエハカセットの搬送授受が行われる。そし
て、第２の計算機手段によって、前記カードストッカー
手段、前記カセット洗浄機手段及び前記第２のトラバー
サ手段が制御される。またさらに、無人搬送車手段によ
って、前記第１及び第２の移載ステージ間のウエハカセ
ットの搬送授受が行われる。そして、上位計算機手段に
よって、前記各手段と作業指示・報告に関する通信が行
われ、次動作の決定が行われる。
【００２０】
実施例１．以下、この発明の実施例１の構成について図
１及び図２を参照しながら説明する。図１は、この発明
の実施例１のレイアウトを示す図である。また、図２
は、この発明の実施例１の制御構成を示すブロック図で
ある。なお、従来装置と重複する部分は適宜その説明を
省略する。
１及び図２を参照しながら説明する。図１は、この発明
の実施例１のレイアウトを示す図である。また、図２
は、この発明の実施例１の制御構成を示すブロック図で
ある。なお、従来装置と重複する部分は適宜その説明を
省略する。
【００２１】図１において、１はウエハ２５を実カセッ
トから空カセットへ移し替えると共に、実カセットに関
するＩＤ情報を空カセットのＩＤカードへコピーするＩ
Ｄカードコピー・ウエハ移し替え機（以下、「コピーチ
ェンジャー」という。）である。
トから空カセットへ移し替えると共に、実カセットに関
するＩＤ情報を空カセットのＩＤカードへコピーするＩ
Ｄカードコピー・ウエハ移し替え機（以下、「コピーチ
ェンジャー」という。）である。
【００２２】また、２、５及び１０はＩＤカード内の情
報の読み込み・書き込みを行うＩＤ認識装置、７、８、
１４及び１５はモジュール内でカセットを搬送する有軌
道走行ロボット（以下、「トラバーサ」という。）であ
る。
報の読み込み・書き込みを行うＩＤ認識装置、７、８、
１４及び１５はモジュール内でカセットを搬送する有軌
道走行ロボット（以下、「トラバーサ」という。）であ
る。
【００２３】さらに、９はウエハカセット２４よりＩＤ
カードを抜き取りマガジンに一時保管し、再びウエハカ
セット２４にＩＤカードを差し込むＩＤカード挿抜機
（以下、「カードストッカー」という。）である。
カードを抜き取りマガジンに一時保管し、再びウエハカ
セット２４にＩＤカードを差し込むＩＤカード挿抜機
（以下、「カードストッカー」という。）である。
【００２４】そして、１６は床上搬送式の無人搬送車で
ある。３、４及び１１は移載ステージ、６及び１２はカ
セットダム、１３はカセット洗浄機、１７はパーテーシ
ョン、１８は高クリーンルーム、１９は低クリーンルー
ムでいずれも従来装置と同様のものである。
ある。３、４及び１１は移載ステージ、６及び１２はカ
セットダム、１３はカセット洗浄機、１７はパーテーシ
ョン、１８は高クリーンルーム、１９は低クリーンルー
ムでいずれも従来装置と同様のものである。
【００２５】図２において、２３は無人搬送車１６を制
御する無人搬送車制御機器である。２０は統括制御計算
機、２１及び２２はユニット計算機でいずれも従来装置
と同様のものである。図中、コピーチェンジャー１〜無
人搬送車１６は図１の各装置・搬送機器に対応してい
る。
御する無人搬送車制御機器である。２０は統括制御計算
機、２１及び２２はユニット計算機でいずれも従来装置
と同様のものである。図中、コピーチェンジャー１〜無
人搬送車１６は図１の各装置・搬送機器に対応してい
る。
【００２６】次に、この発明の実施例１の動作について
説明する。統括制御計算機２０が無人搬送車制御機器２
３にカセット搬送指示を出すと、無人搬送車制御機器２
３は無人搬送車１６に同様の指示を出し、無人搬送車１
６がウエハカセット２４を移載ステージ４に搬入する。
移載ステージ４に搬入されたウエハカセット２４のＩＤ
情報をＩＤ認識装置５が読み取り、ユニット計算機２１
は統括制御計算機２０へ報告する。
説明する。統括制御計算機２０が無人搬送車制御機器２
３にカセット搬送指示を出すと、無人搬送車制御機器２
３は無人搬送車１６に同様の指示を出し、無人搬送車１
６がウエハカセット２４を移載ステージ４に搬入する。
移載ステージ４に搬入されたウエハカセット２４のＩＤ
情報をＩＤ認識装置５が読み取り、ユニット計算機２１
は統括制御計算機２０へ報告する。
【００２７】統括制御計算機２０は、報告されたＩＤ情
報に問題がなければユニット計算機２１に作業開始指示
を送る。ユニット計算機２１は、指示された内容が作業
できる条件であれば統括制御計算機２０に作業開始を報
告する。
報に問題がなければユニット計算機２１に作業開始指示
を送る。ユニット計算機２１は、指示された内容が作業
できる条件であれば統括制御計算機２０に作業開始を報
告する。
【００２８】ユニット計算機２１より指示を受け、トラ
バーサ７が実ロットを移載ステージ４からコピーチェン
ジャー１へ、またトラバーサ８が移載ステージ３から空
カセットをコピーチェンジャー１に移載したところで、
ユニット計算機２１は、統括制御計算機２０にカセット
到着報告をする。ユニット計算機２１はコピーチェンジ
ャー１に作業開始指示を送信し、コピーチェンジャー１
はＩＤカードのコピー及びウエハカセット２４内のウエ
ハ２５の移し替えを行う。
バーサ７が実ロットを移載ステージ４からコピーチェン
ジャー１へ、またトラバーサ８が移載ステージ３から空
カセットをコピーチェンジャー１に移載したところで、
ユニット計算機２１は、統括制御計算機２０にカセット
到着報告をする。ユニット計算機２１はコピーチェンジ
ャー１に作業開始指示を送信し、コピーチェンジャー１
はＩＤカードのコピー及びウエハカセット２４内のウエ
ハ２５の移し替えを行う。
【００２９】処理終了後、移し替えられた実ロットは、
ユニット計算機２１より指示を受けたトラバーサ８によ
り低クリーンルーム１９側の移載ステージ３へ、移し替
えた空カセットはトラバーサ７によりセットダム６に移
送され、ユニット計算機２１は統括制御計算機２０に実
ロット移送完了を報告する。
ユニット計算機２１より指示を受けたトラバーサ８によ
り低クリーンルーム１９側の移載ステージ３へ、移し替
えた空カセットはトラバーサ７によりセットダム６に移
送され、ユニット計算機２１は統括制御計算機２０に実
ロット移送完了を報告する。
【００３０】ユニット計算機２１は統括制御計算機２０
に空カセット払い出し要求を出し、統括制御計算機２０
は搬送先の条件が成立すると、払い出し作業開始許可を
送信する。ユニット計算機２１は処理開始宣言を統括制
御計算機２０に報告をし、トラバーサ７に空カセットを
カセットダム６より移載ステージ４に移載するよう指示
する。
に空カセット払い出し要求を出し、統括制御計算機２０
は搬送先の条件が成立すると、払い出し作業開始許可を
送信する。ユニット計算機２１は処理開始宣言を統括制
御計算機２０に報告をし、トラバーサ７に空カセットを
カセットダム６より移載ステージ４に移載するよう指示
する。
【００３１】移載後、ユニット計算機２１は機統括制御
計算機２０に移載完了及び作業完了指示を報告する。つ
ぎに、統括制御計算機２０は、無人搬送車制御機器２３
へ空カセット搬送指示を出し、条件が揃えば無人搬送車
制御機器２３は無人搬送車１６に搬送指示を出し、空カ
セットは移載ステージ４から移載ステージ１１へ搬送さ
れる。
計算機２０に移載完了及び作業完了指示を報告する。つ
ぎに、統括制御計算機２０は、無人搬送車制御機器２３
へ空カセット搬送指示を出し、条件が揃えば無人搬送車
制御機器２３は無人搬送車１６に搬送指示を出し、空カ
セットは移載ステージ４から移載ステージ１１へ搬送さ
れる。
【００３２】移載ステージ１１に搬入された空カセット
を、トラバーサ１４がユニット計算機２２の指示により
カードストッカー９まで移送する。ユニット計算機２２
はＩＤ認識装置１０にＩＤカードの情報を読ませ、統括
制御計算機２０へ報告し、報告された情報に問題がなけ
れば統括制御計算機２０はユニット計算機２２にカセッ
トダム収納開始指示する。
を、トラバーサ１４がユニット計算機２２の指示により
カードストッカー９まで移送する。ユニット計算機２２
はＩＤ認識装置１０にＩＤカードの情報を読ませ、統括
制御計算機２０へ報告し、報告された情報に問題がなけ
れば統括制御計算機２０はユニット計算機２２にカセッ
トダム収納開始指示する。
【００３３】作業開始指示された内容が作業できる条件
であれば、統括制御計算機２０に作業開始を報告する。
ユニット計算機２２はカードストッカー９に作業開始指
示を送信し、カードストッカー９は、空カセットのＩＤ
カードを抜き取り一時保管する。
であれば、統括制御計算機２０に作業開始を報告する。
ユニット計算機２２はカードストッカー９に作業開始指
示を送信し、カードストッカー９は、空カセットのＩＤ
カードを抜き取り一時保管する。
【００３４】ユニット計算機２２は、トラバーサ１４に
カード無し空カセットを移載ステージ１１へ移載指示を
出す。移載後、ユニット計算機２２はカセット無し空カ
セットをカセットダム１２に収容するようラバーサ１５
に指示をする。トラバーサ１５は、カセットダム１２へ
カード無し空カセットをする移送する。ユニット計算機
２２は統括制御計算機２０へカセット移送終了、及び作
業終了を報告する。
カード無し空カセットを移載ステージ１１へ移載指示を
出す。移載後、ユニット計算機２２はカセット無し空カ
セットをカセットダム１２に収容するようラバーサ１５
に指示をする。トラバーサ１５は、カセットダム１２へ
カード無し空カセットをする移送する。ユニット計算機
２２は統括制御計算機２０へカセット移送終了、及び作
業終了を報告する。
【００３５】ユニット計算機２２は、カセット洗浄機１
３から空カセット要求されると、トラバーサ１５にカセ
ットダム１２からカセット洗浄機１３へ空カセット移送
指示を出す。移送後、カセット洗浄機１３に作業開始指
示を出す。
３から空カセット要求されると、トラバーサ１５にカセ
ットダム１２からカセット洗浄機１３へ空カセット移送
指示を出す。移送後、カセット洗浄機１３に作業開始指
示を出す。
【００３６】カセット洗浄後、ユニット計算機２２は、
トラバーサ１５に移載ステージ１１へカセット移送指示
を出し、移送後、ユニット計算機２２は、カードストッ
カー９に作業開始指示を出し、空カセットにＩＤカード
を挿入する。
トラバーサ１５に移載ステージ１１へカセット移送指示
を出し、移送後、ユニット計算機２２は、カードストッ
カー９に作業開始指示を出し、空カセットにＩＤカード
を挿入する。
【００３７】ユニット計算機２２はトラバーサ１４に、
ＩＤカード付きウエハカセットを移載ステージ１１へカ
セット移載指示を出す。移載後、トラバーサ１５に、カ
セットダム１２へカセットを収容するように移送指示を
出し、移送後、統括制御計算機２０は払い出しの条件が
揃うと、ユニット計算機２２へ払い出しの作業開始指示
をする。ユニット計算機２２は、受信すると統括制御計
算機２０へ作業開始宣言を行い、トラバーサ１５へ移送
指示を出し、空カセットを移載ステージ１１へ移送して
移送終了と作業完了の報告する。
ＩＤカード付きウエハカセットを移載ステージ１１へカ
セット移載指示を出す。移載後、トラバーサ１５に、カ
セットダム１２へカセットを収容するように移送指示を
出し、移送後、統括制御計算機２０は払い出しの条件が
揃うと、ユニット計算機２２へ払い出しの作業開始指示
をする。ユニット計算機２２は、受信すると統括制御計
算機２０へ作業開始宣言を行い、トラバーサ１５へ移送
指示を出し、空カセットを移載ステージ１１へ移送して
移送終了と作業完了の報告する。
【００３８】最後に、統括制御計算機２０が無人搬送車
制御機器２３にカセット搬送指示を出すと、無人搬送車
制御機器２３は無人搬送車１６に同様の指示を出し、無
人搬送車１６がウエハカセットを移載ステージ１１より
搬出する。
制御機器２３にカセット搬送指示を出すと、無人搬送車
制御機器２３は無人搬送車１６に同様の指示を出し、無
人搬送車１６がウエハカセットを移載ステージ１１より
搬出する。
【００３９】この発明の実施例１は、前述したように、
ウエハカセット２４内のウエハ２５の移し替え及びＩＤ
カードのコピーと、ＩＤカードの挿抜・一時保管と、カ
セット洗浄機への投入・払い出しと、洗浄後のカセット
搬送の自動化を目的とする。そこで、ウエハカセット２
４内のウエハ２５を移し替え、かつ実カセットに付属す
るＩＤカード内のＩＤ情報を空カセットに付属するＩＤ
カードにコピーする機能を備えるコピーチェンジャー１
と、ウエハカセット２４に付属するＩＤカードを挿抜
し、かつ一時保管するマガジンを備えるカードストッカ
ー９と、空カセットを洗浄するカセット洗浄機１３と、
上記各装置へウエハカセット２４を供給するトラバーサ
７、８、１４、１５及び無人搬送車１６とを配置したも
のである。その結果、クリーン度の異なる場所へのウエ
ハ搬送の自動化、及びカセット洗浄時の物流の自動化が
計れ、クリーンルームの洗浄度の維持、また半導体製造
ラインの安定稼働を得ることができるという効果を奏す
る。
ウエハカセット２４内のウエハ２５の移し替え及びＩＤ
カードのコピーと、ＩＤカードの挿抜・一時保管と、カ
セット洗浄機への投入・払い出しと、洗浄後のカセット
搬送の自動化を目的とする。そこで、ウエハカセット２
４内のウエハ２５を移し替え、かつ実カセットに付属す
るＩＤカード内のＩＤ情報を空カセットに付属するＩＤ
カードにコピーする機能を備えるコピーチェンジャー１
と、ウエハカセット２４に付属するＩＤカードを挿抜
し、かつ一時保管するマガジンを備えるカードストッカ
ー９と、空カセットを洗浄するカセット洗浄機１３と、
上記各装置へウエハカセット２４を供給するトラバーサ
７、８、１４、１５及び無人搬送車１６とを配置したも
のである。その結果、クリーン度の異なる場所へのウエ
ハ搬送の自動化、及びカセット洗浄時の物流の自動化が
計れ、クリーンルームの洗浄度の維持、また半導体製造
ラインの安定稼働を得ることができるという効果を奏す
る。
【００４０】
【発明の効果】この発明の請求項１に係る半導体ウエハ
カセット搬送装置は、第１のウエハカセット内の半導体
ウエハを第２のウエハカセットに移し替え、かつ前記第
１のウエハカセットに付属する第１のＩＤカード内のＩ
Ｄ情報を前記第２のウエハカセットに付属する第２のＩ
Ｄカードにコピーするコピーチェンジャー手段と、半導
体ウエハが収納された前記第１のウエハカセットを第１
の移載ステージから前記コピーチェンジャー手段へ移載
するとともに、前記コピーチェンジャー手段によって半
導体ウエハが移し替えられて空になった前記第１のウエ
ハカセットを前記コピーチェンジャー手段からカセット
ダムへ移送する第１のトラバーサ手段と、空の前記第２
のウエハカセットを第２の移載ステージから前記コピー
チェンジャー手段へ移載するとともに、前記コピーチェ
ンジャー手段によって移し替えられて半導体ウエハが収
納された前記第２のウエハカセットを前記コピーチェン
ジャー手段から前記第２の移載ステージへ移送する第２
のトラバーサ手段と、前記コピーチェンジャー手段並び
に前記第１及び第２のトラバーサ手段を制御する計算機
手段とを備えたので、ウエハカセット内のウエハ移し替
え・ＩＤカードのコピー、カセット搬送を自動化するこ
とができるという効果を奏する。
カセット搬送装置は、第１のウエハカセット内の半導体
ウエハを第２のウエハカセットに移し替え、かつ前記第
１のウエハカセットに付属する第１のＩＤカード内のＩ
Ｄ情報を前記第２のウエハカセットに付属する第２のＩ
Ｄカードにコピーするコピーチェンジャー手段と、半導
体ウエハが収納された前記第１のウエハカセットを第１
の移載ステージから前記コピーチェンジャー手段へ移載
するとともに、前記コピーチェンジャー手段によって半
導体ウエハが移し替えられて空になった前記第１のウエ
ハカセットを前記コピーチェンジャー手段からカセット
ダムへ移送する第１のトラバーサ手段と、空の前記第２
のウエハカセットを第２の移載ステージから前記コピー
チェンジャー手段へ移載するとともに、前記コピーチェ
ンジャー手段によって移し替えられて半導体ウエハが収
納された前記第２のウエハカセットを前記コピーチェン
ジャー手段から前記第２の移載ステージへ移送する第２
のトラバーサ手段と、前記コピーチェンジャー手段並び
に前記第１及び第２のトラバーサ手段を制御する計算機
手段とを備えたので、ウエハカセット内のウエハ移し替
え・ＩＤカードのコピー、カセット搬送を自動化するこ
とができるという効果を奏する。
【００４１】この発明の請求項２に係る半導体ウエハカ
セット搬送装置は、空ウエハカセットに付属するＩＤカ
ードを挿抜し、抜き取ってから挿入するまでの間前記Ｉ
Ｄカードを一時保管するカードストッカー手段と、投入
された前記空ウエハカセットの洗浄を行うカセット洗浄
機手段と、他のモジュールとウエハカセットの搬送授受
を行うための移載ステージと前記カードストッカー手段
及びカセット洗浄機手段との間の前記空ウエハカセット
の搬送授受を行うトラバーサ手段と、前記カードストッ
カー手段、前記カセット洗浄機手段及び前記トラバーサ
手段を制御する計算機手段とを備えたので、ウエハカセ
ット内のウエハ移し替え・ＩＤカードのコピー、ＩＤカ
ードの挿抜・一時保管、カセット洗浄機への投入・払い
出し、及び洗浄後のカセット搬送を自動化することがで
きるという効果を奏する。
セット搬送装置は、空ウエハカセットに付属するＩＤカ
ードを挿抜し、抜き取ってから挿入するまでの間前記Ｉ
Ｄカードを一時保管するカードストッカー手段と、投入
された前記空ウエハカセットの洗浄を行うカセット洗浄
機手段と、他のモジュールとウエハカセットの搬送授受
を行うための移載ステージと前記カードストッカー手段
及びカセット洗浄機手段との間の前記空ウエハカセット
の搬送授受を行うトラバーサ手段と、前記カードストッ
カー手段、前記カセット洗浄機手段及び前記トラバーサ
手段を制御する計算機手段とを備えたので、ウエハカセ
ット内のウエハ移し替え・ＩＤカードのコピー、ＩＤカ
ードの挿抜・一時保管、カセット洗浄機への投入・払い
出し、及び洗浄後のカセット搬送を自動化することがで
きるという効果を奏する。
【００４２】この発明の請求項３に係る半導体ウエハカ
セット搬送装置は、第１のウエハカセット内の半導体ウ
エハを第２のウエハカセットに移し替え、かつ前記第１
のウエハカセットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ
情報を前記第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤ
カードにコピーするコピーチェンジャー手段と、他のモ
ジュールとウエハカセットの搬送授受を行うための第１
の移載ステージと前記コピーチェンジャー手段との間の
前記第１及び第２のウエハカセットの搬送授受を行う第
１のトラバーサ手段と、前記コピーチェンジャー手段及
び前記第１のトラバーサ手段を制御する第１の下位計算
機手段と、前記第１のウエハカセットに付属する第１の
ＩＤカードを挿抜し、抜き取ってから挿入するまでの間
前記第１のＩＤカードを一時保管するカードストッカー
手段と、投入された前記第１のウエハカセットの洗浄を
行うカセット洗浄機手段と、他のモジュールとウエハカ
セットの搬送授受を行うための第２の移載ステージと前
記カードストッカー手段及び前記カセット洗浄機手段と
の間の前記第１のウエハカセットの搬送授受を行う第２
のトラバーサ手段と、前記カードストッカー手段、前記
カセット洗浄機手段及び前記第２のトラバーサ手段を制
御する第２の下位計算機手段と、前記第１及び第２の移
載ステージ間のウエハカセットの搬送授受を行う無人搬
送車手段と、前記各手段と作業指示・報告に関する通信
を行い、次動作の決定を行う上位計算機手段とを備えた
ので、ウエハカセット内のウエハ移し替え・ＩＤカード
のコピー、ＩＤカードの挿抜・一時保管、カセット洗浄
機への投入・払い出し、及び洗浄後のカセット搬送を自
動化することができるという効果を奏する。
セット搬送装置は、第１のウエハカセット内の半導体ウ
エハを第２のウエハカセットに移し替え、かつ前記第１
のウエハカセットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ
情報を前記第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤ
カードにコピーするコピーチェンジャー手段と、他のモ
ジュールとウエハカセットの搬送授受を行うための第１
の移載ステージと前記コピーチェンジャー手段との間の
前記第１及び第２のウエハカセットの搬送授受を行う第
１のトラバーサ手段と、前記コピーチェンジャー手段及
び前記第１のトラバーサ手段を制御する第１の下位計算
機手段と、前記第１のウエハカセットに付属する第１の
ＩＤカードを挿抜し、抜き取ってから挿入するまでの間
前記第１のＩＤカードを一時保管するカードストッカー
手段と、投入された前記第１のウエハカセットの洗浄を
行うカセット洗浄機手段と、他のモジュールとウエハカ
セットの搬送授受を行うための第２の移載ステージと前
記カードストッカー手段及び前記カセット洗浄機手段と
の間の前記第１のウエハカセットの搬送授受を行う第２
のトラバーサ手段と、前記カードストッカー手段、前記
カセット洗浄機手段及び前記第２のトラバーサ手段を制
御する第２の下位計算機手段と、前記第１及び第２の移
載ステージ間のウエハカセットの搬送授受を行う無人搬
送車手段と、前記各手段と作業指示・報告に関する通信
を行い、次動作の決定を行う上位計算機手段とを備えた
ので、ウエハカセット内のウエハ移し替え・ＩＤカード
のコピー、ＩＤカードの挿抜・一時保管、カセット洗浄
機への投入・払い出し、及び洗浄後のカセット搬送を自
動化することができるという効果を奏する。
【図１】この発明の実施例１のレイアウトを示す図であ
る。
る。
【図２】この発明の実施例１の制御構成を示す図であ
る。
る。
【図３】この発明の実施例１及び従来の半導体ウエハカ
セット搬送装置で搬送するウエハカセットを示す図であ
る。
セット搬送装置で搬送するウエハカセットを示す図であ
る。
【図４】従来の半導体ウエハカセット搬送装置のレイア
ウトを示す図である。
ウトを示す図である。
【図５】従来の半導体ウエハカセット搬送装置の制御構
成を示す図である。
成を示す図である。
１ コピーチェンジャー ２、５、１０ ＩＤ認識装置 ３、４、１１ 移載ステージ ６、１２ カセットダム ７、８、１４、１５ トラバーサ ９ カードストッカー １３ カセット洗浄機 １６ 無人搬送車 １７ パーテーション １８ 高クリーンルーム １９ 低クリーンルーム ２０ 統括制御計算機 ２１、２２ ユニット計算機 ２３ 無人搬送車制御機器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B65G 1/00 - 1/20 H01L 21/68 B65G 49/07
Claims (3)
- 【請求項１】 第１のウエハカセット内の半導体ウエハ
を第２のウエハカセットに移し替え、かつ前記第１のウ
エハカセットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報
を前記第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカー
ドにコピーするコピーチェンジャー手段と、半導体ウエハが収納された前記第１のウエハカセットを
第１の移載ステージから前記コピーチェンジャー手段へ
移載するとともに、前記コピーチェンジャー手段によっ
て半導体ウエハが移し替えられて空になった前記第１の
ウエハカセットを前記コピーチェンジャー手段からカセ
ットダムへ移送する第１のトラバーサ手段と、 空の前記第２のウエハカセットを第２の移載ステージか
ら前記コピーチェンジャー手段へ移載するとともに、前
記コピーチェンジャー手段によって移し替えられて半導
体ウエハが収納された前記第２のウエハカセットを前記
コピーチェンジャー手段から前記第２の移載ステージへ
移送する第２のトラバーサ手段と 、 前記コピーチェンジャー手段並びに前記第１及び第２の
トラバーサ手段を制御する計算機手段とを備えたことを
特徴とする半導体ウエハ搬送装置。 - 【請求項２】 空ウエハカセットに付属するＩＤカード
を挿抜し、抜き取ってから挿入するまでの間前記ＩＤカ
ードを一時保管するカードストッカー手段、投入された
前記空ウエハカセットの洗浄を行うカセット洗浄機手
段、他のモジュールとウエハカセットの搬送授受を行う
ための移載ステージと前記カードストッカー手段及びカ
セット洗浄機手段との間の前記空ウエハカセットの搬送
授受を行うトラバーサ手段、並びに前記カードストッカ
ー手段、前記カセット洗浄機手段及び前記トラバーサ手
段を制御する計算機手段を備えたことを特徴とする半導
体ウエハ搬送装置。 - 【請求項３】 第１のウエハカセット内の半導体ウエハ
を第２のウエハカセットに移し替え、かつ前記第１のウ
エハカセットに付属する第１のＩＤカード内のＩＤ情報
を前記第２のウエハカセットに付属する第２のＩＤカー
ドにコピーするコピーチェンジャー手段、他のモジュー
ルとウエハカセットの搬送授受を行うための第１の移載
ステージと前記コピーチェンジャー手段との間の前記第
１及び第２のウエハカセットの搬送授受を行う第１のト
ラバーサ手段、前記コピーチェンジャー手段及び前記第
１のトラバーサ手段を制御する第１の下位計算機手段、
前記第１のウエハカセットに付属する第１のＩＤカード
を挿抜し、抜き取ってから挿入するまでの間前記第１の
ＩＤカードを一時保管するカードストッカー手段、投入
された前記第１のウエハカセットの洗浄を行うカセット
洗浄機手段、他のモジュールとウエハカセットの搬送授
受を行うための第２の移載ステージと前記カードストッ
カー手段及び前記カセット洗浄機手段との間の前記第１
のウエハカセットの搬送授受を行う第２のトラバーサ手
段、前記カードストッカー手段、前記カセット洗浄機手
段及び前記第２のトラバーサ手段を制御する第２の下位
計算機手段、前記第１及び第２の移載ステージ間のウエ
ハカセットの搬送授受を行う無人搬送車手段、並びに前
記各手段と作業指示・報告に関する通信を行い、次動作
の決定を行う上位計算機手段を備えたことを特徴とする
半導体ウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33723092A JP2774911B2 (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 半導体ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33723092A JP2774911B2 (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 半導体ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06183522A JPH06183522A (ja) | 1994-07-05 |
| JP2774911B2 true JP2774911B2 (ja) | 1998-07-09 |
Family
ID=18306671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33723092A Expired - Fee Related JP2774911B2 (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 半導体ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2774911B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103854963A (zh) * | 2012-11-30 | 2014-06-11 | 无锡华润上华科技有限公司 | 基于晶圆清洗设备的产品追踪方法及系统 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222903A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-09-30 | Toshiba Corp | 自動在席管理方法 |
| JPS62263510A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-16 | Tokyo Electron Ltd | 物品搬送用収納装置 |
| JPS6329923A (ja) * | 1986-07-24 | 1988-02-08 | Tokyo Electron Ltd | ウエハカセツト収納箱 |
| JP2513897B2 (ja) * | 1990-04-12 | 1996-07-03 | 村田機械株式会社 | 紡績工場の生産管理システム |
-
1992
- 1992-12-17 JP JP33723092A patent/JP2774911B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06183522A (ja) | 1994-07-05 |
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