KR102574036B1 - 임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판과 플렉서블 필름 사이의 박리를 방지하기 위한 임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법에 대한 것으로, 플렉서블 필름을 와인딩 또는 리와인딩하는 롤투롤 유닛; 롤투롤 유닛과 대향하여 배치되는 기판; 기판을 지지하는 메인 스테이지를 포함하는 스테이지; 스테이지 상에 배치된 단차 보상 유닛; 스테이지와 대향하여 배치되고 플렉서블 필름 및 기판을 가압하는 스탬핑 가압 유닛; 및 플렉서블 필름을 사이에 두고 단차 보상 유닛과 대향하여 배치된 고정 유닛;을 포함한다.

Description

임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법{IMPRINTING APPARATUS AND METHOD OF IMPRINTING USING THE SAME}
본 발명은 임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법에 관한 것이다.
미세 패터닝 기술로, 포토리소그래피(photolithography), 레이저 간섭 노광(Laser interference lithography), 스캐닝 프로브 리소그래피(Scanning Probe Lithography, SPL), 전자빔 리소그래피(E-beam lithography), 나노 임프린트(Nano imprint) 등의 기술이 있다.
빛을 이용하는 포토리소그래피는 빛의 회절 한계가 존재하며, 스캐닝 프로브 리소그래피(Scanning Probe Lithography, SPL)와 전자빔 리소그래피는 포인트 스캐닝(point scanning) 방식으로 넓은 면적에 패턴을 만들기 위해서는 긴 시간이 소요된다. 반면에, 나노 임프린트는 높은 처리율(high-throughput) 및 높은 정밀도(high-resolution)를 구현할 가장 유망한 기술로 촉망받고 있다.
다만, 나노 임프린트는 물리적인 접촉기반의 공정이므로 접촉면이 넓어질 경우 기판과 스탬프가 모두 완벽한 평면이 아니므로 표면상의 굴곡이나 결함을 가질 수 있고, 따라서 기판과 스탬프를 완벽하게 평행하도록 유지하기 어렵다. 이는 불균일한 잔류막(residual layer)으로 후속 공정에 영향을 미치게 되고, 일반적으로 스탬프와 기판은 서로 다른 열팽창 계수(thermal expansion coefficient)를 가지기 때문에, 임프린트 공정 중에 발생한 열로 인해 스탬프와 기판의 치수가 각각 변하게 되며 이는 대면적의 경우 기판과 스탬프의 박리를 유발시키게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 임프린트 공정 중에 발생하는 패터닝 불량을 개선할 수 있는 임플린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 임프린팅 장치는, 플렉서블 필름을 와인딩 또는 리와인딩하는 롤투롤 유닛; 롤투롤 유닛과 대향하여 배치되는 기판; 기판을 지지하는 메인 스테이지를 포함하는 스테이지; 스테이지 상에 배치된 단차 보상 유닛; 스테이지와 대향하여 배치되고 플렉서블 필름 및 기판을 가압하는 스탬핑 가압 유닛; 및 플렉서블 필름을 사이에 두고 단차 보상 유닛과 대향하여 배치된 고정 유닛;을 포함한다.
단차 보상 유닛은 기판과 동일한 두께를 가질 수 있다.
단차 보상 유닛은 메인 스테이지 상에 배치될 수 있다.
롤투롤 유닛은, 플렉서블 필름이 감긴 기판공급 롤부 및기 플렉서블 필름이 감기고 기판공급 롤부와 대향하여 배치된 기판회수 롤부를 포함하고, 단차 보상 유닛은, 기판과 기판공급 롤부 사이에 배치된 제1 단차 보상 유닛 및 기판과 기판회수 롤부 사이에 배치된 제2 단차 보상 유닛을 포함할 수 있다.
고정 유닛은 제1 단차 보상 유닛 및 제2 단차 보상 유닛과 각각 대향하여 배치될 수 있다.
제1 단차 보상 유닛은 기판의 한 측면 또는 기판의 한 측면과 대향하는 다른 한 측면 중 적어도 하나와 접촉할 수 있다.
메인 스테이지의 측면에 배치된 구동 스테이지를 더 포함하고, 단차 보상 유닛은 구동 스테이지 상에 배치될 수 있다.
구동 스테이지는 메인 스테이지에 대하여 상대적으로 이동 가능할 수 있다.
메인 스테이지는 기판과 동일한 폭을 가질 수 있다.
메인 스테이지는 기판보다 큰 폭을 가질 수 있다.
단차 보상 유닛은 구동 스테이지보다 큰 폭을 가질 수 있다.
단차 보상 유닛은 메인 스테이지 및 구동 스테이지의 적어도 일부와 중첩할 수 있다.
단차 보상 유닛은 고분자 화합물(Polymer), 금속(Metal) 및 글래스(Glass) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
단차 보상 유닛은 점착 패드(Sticky Pad), 점착 시트(Gecko Sheet), 진공 척(Vaccum Chuck), 다공질 척(Porous Chuck) 및 정전 척(Electro Static Chuck)중 어느 하나일 수 있다.
기판은 요철로 이루어진 패턴을 포함할 수 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 임프린팅 장치를 이용한임프린팅 방법은, 스테이지 상에 레진이 코팅된 기판이 배치되는 단계; 고정 유닛이 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계;스탬핑 가압 유닛이 단차 보상 유닛과 인접한 기판의 한 단부에서 한 단부와 대향하는 다른 한 단부를 향해 이동하며 플렉서블 필름을 상기 레진이 코팅된 기판에 접촉시키는 단계; 및 스테이지 상에 배치된 UV 램프가 서로 접촉하고 있는 플렉서블 필름 및 레진이 코팅된 기판에 자외선을 조사하는 단계;를 포함한다.
단차 보상 유닛은, 메인 스테이지의 한 단부 상에 배치된 제1 단차 보상 유닛, 및 메인 스테이지의 한 단부와 대향하는 다른 한 단부 상에 배치된 제2 단차 보상 유닛을 포함할 수 있다.
고정 유닛이 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계는 고정 유닛이 제1 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계를 포함할 수 있다.
스테이지 상에 배치된 UV 램프가 서로 접촉하고 있는 플렉서블 필름 및 상기 레진이 코팅된 기판에 자외선을 조사하는 단계는, 고정 유닛이 제2 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계를 포함할 수 있다.
고정 유닛이 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계 전, 단차 보상 유닛을 이동시켜 기판의 측면에 접촉시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시에에 따른 임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법은 임프린팅 공정 중에 발생하는 패터닝 불량을 개선할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 아래에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)"등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 전기적으로 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 그에 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 명세서에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제 1 구성 요소가 제 2 또는 제 3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제 2 또는 제 3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 임프린팅 장치(1)는, 롤투롤 유닛(100) 스테이지(200), 단차 보상 유닛(221, 222), 스탬핑 가압유닛(300), 코팅유닛(400), UV 램프(도 3c의 500) 및 고정 유닛(600)을 포함한다.
도 1을 참조하면, 롤투롤 유닛(100)은 기판공급 롤부(110), 기판회수 롤부(120), 이격지지부(130), 인피드 롤모듈(140), 아웃피드 롤모듈(150), 복귀 지지모듈(160) 및 보호필름 제거부(170)를 포함한다.
플렉서블 필름(f)은 PC(poly carbonate), PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthalene), PI(polyimde) 등의 고분자 필름이거나 얇은 유리(thin glass), 또는 금속 등의 물질일 수 있다. 또한, 플렉서블 필름(f) 상에 SiOx, SiNx의 무기 박막 또는 보호필름(P)이 배치될 수 있다.
기판공급 롤부(110)는 와인딩 롤(111) 및 와인딩 롤(111)을 회전시킬 수 있는 와인딩 회전축(112)을 포함한다. 와인딩 회전축(112)에는 회전력이 적용될 수 있다.
기판회수 롤부(120)는 전술한 기판공급 롤부(110)와 대향하여 배치될 수 있다.
기판회수 롤부(120)는 리와인딩 롤(121)과, 리와인딩 롤(121)을 회전시킬 수 있는 리와인딩 회전축(122)을 포함한다. 리와인딩 회전축(122)에는 회전력이 적용될 수 있다. 이에 따라, 플렉서블 필름(f)은 기판공급 롤부(110)로부터 풀리어 기판회수 롤부(120)에 감기면서 일정 구간씩 이동 가능하며, 플렉서블 필름(f)의 와인딩 경로에는 이격지지부(130), 스테이지(200) 및 스탬핑 가압유닛(300)이 배치된다.
이격지지부(130)는 기판공급 롤부(110) 및 기판회수 롤부(120) 사이에 배치된 플렉서블 필름(f)을 기판(i)과 이격하여 배치한다.
인피드 롤모듈(140)은 기판공급 롤부(110)와 스테이지(200) 사이에 배치된다. 인피드 롤모듈(140)은 플렉서블 필름(f)을 기판(i)으로부터 이격시킬 수 있도록 배치된다.
인피드 롤모듈(140)은 회전 가능한 상부롤러(141)와 하부롤러(142)를 포함한다. 상부롤러(141)와 하부롤러(142)의 표면에는 플렉서블 필름(f)의 이동을 방지하기 위해 마찰 패드와 같은 미끄럼 방지 요소가 배치될 수 있다. 인피드 롤모듈(140)은 기판공급 롤부(110)로부터 인피드 롤모듈(140)까지의 장력과 인피드 롤모듈(140) 이후의 장력을 분리한다. 이에 따라, 플렉서블 필름(f)은 상부롤러(141)와 하부롤러(142) 사이에 배치되어 기판공급 롤부(110) 측으로 역방향의 이동이 제한되는 상태에서 스테이지(200) 측 방향으로 이동이 허용되어 스테이지(200) 측으로 이동될 수 있다.
아웃피드 롤모듈(150)은 인피드 롤모듈(140)에서부터 아웃피드 롤모듈(150)까지의 장력을 유지한다. 스테이지(200)가 정지한 상태에서 스탬핑 가압유닛(300)의 가압롤러(311)가 x 방향으로 움직이게 되면, 인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이에서 플렉서블 필름(f)의 장력이 변하게 된다.
아웃피드 롤모듈(150)은 제1 이격지지롤러(151), 제1 이격지지롤러(151)와 플렉서블 필름(f)을 사이에 두고 배치된 제2 이격지지롤러(152) 및 이동을 위한 동력을 제공할 수 있는 롤러 구동부(153)를 포함한다.
제1 이격지지롤러(151)는 플렉서블 필름(f)의 상면을 지지한다. 스탬핑 가압유닛(300)의 가압롤러(311)의 움직임에 따라 θ 방향으로 회전 구동하여 공정 구간인 인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이의 장력을 일정하게 유지시킨다. 구체적으로, 제1 이격지지롤러(151)는 플렉서블 필름(f)에 대해 일정한 장력이 유지되도록 θ 방향으로 회전될 수 있다.
제2 이격지지롤러(152)는 이동을 위한 동력을 제공할 수 있는 롤러 구동부(153)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 롤러 구동부(153)는 공압 실린더일 수 있다.
제2 이격지지롤러(152)는 제1 이격지지롤러(151)와 이격되어 배치될 수 있다. 예를 들어, 플렉서블 필름(f)의 스탬핑 패턴이 제2 이격지지롤러(152)에 접촉되지 않은 상태로 플렉서블 필름(f)을 기판회수 롤부(120) 측으로 이동시키고자 하는 경우, 제2 이격지지롤러(152)는 제1 이격지지롤러(151)부터 이격되어 배치될 수 있다.
인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이에는 장력을 측정하는 장치가 배치될 수 있다. 예를 들어, 측정된 장력은 아웃피드 롤모듈(150)의 구동을 위한 피드백 신호로 활용될 수 있다.
복귀 지지모듈(160)은 필요한 플렉서블 필름(f)을 저장하고 있다가 플렉서블 필름(f)이 가압롤러(311)에 의해 기판(i)으로 가압되는 동안 플렉서블 필름(f)을 공급해주는 역할을 한다. 복귀 지지모듈(160)은 가압에 의해 상하 이동이 가능한 복귀지지롤러(161)와, 복귀지지롤러(161)에 인접하게 배치된 복수의 지지안내롤러(162)와, 복귀지지롤러(161)에 결합되어 복귀지지롤러(161)를 복귀시킬 수 있는 탄성력을 제공하는 탄성부재(163)를 포함할 수 있다.
플렉서블 필름(f)이 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 가압될 때, 플렉서블 필름(f)의 일부 영역이 역 방향으로 즉 스테이지(200) 측으로 이동될 수 있다. 플렉서블 필름(f)의 일부 영역이 스테이지(200) 측으로 이동될 때, 플렉서블 필름(f)의 다른 영역이 복귀지지롤러(161)에 의해 탄성력이 적용된다. 이에 따라, 플렉서블 필름(f)에 대한 스탬핑 가압유닛(300)의 가압이 해제되면, 탄성부재(163)에 의해 플렉서블 필름(f)의 이동된 일부 영역이 원래 상태로 복귀될 수 있다.
탄성부재(163)는 복귀지지롤러(161)의 하부에 연결되고, 코일 스프링일 수 있다. 다만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며, 탄성부재(163)는 복귀지지롤러(161)의 상부에도 연결될 수 있고, 탄성부재(163)는 코일 스프링 외에 복귀지지롤러(161)에 대한 복귀력을 제공할 수 있는 액츄에이터(미도시)에 연결될 수 있다.
복수의 지지안내롤러(162)는 복귀지지롤러(161)의 양측에 동일한 레벨로 한 쌍이 배치될 수 있다. 예를 들어, 플렉서블 필름(f)은 아웃피드 롤모듈(150)을 거쳐 앞쪽에 배치된 지지안내롤러(162)에 감긴 후 복귀지지롤러(161)에 반대로 감기어 다시 뒤쪽에 배치된 지지안내롤러(162)에 감긴 상태로, 기판회수 롤부(120) 측으로 이동될 수 있다.
아웃피드 롤모듈(150)과 복귀 지지모듈(160)은 플렉서블 필름(f)을 스테이지(200)의 기판(i)과 이격되도록 기판회수 롤부(120)와 스테이지(200) 사이에 배치된다. 아웃피드 롤모듈(150)은 인피드 롤모듈(140)보다 높은 위치에 배치되어, 플렉서블 필름(f)이 인피드 롤모듈(140)보다 높은 위치에 배치된다.
이에 따라, 플렉서블 필름(f)은 인피드 롤모듈(140)로부터 아웃피드 롤모듈(150)까지 스테이지(200) 상에 배치되는 기판(i)에 대해 경사지게 배치되어 플렉서블 필름(f)은 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 기판(i) 측으로 가압될 수 있다. 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 가압될 때, 플렉서블 필름(f)은 기판(i)에 접촉되지 않고 기판(i)에 도포된 레진에 접촉된다.
보호필름 제거부(170)는, 기판공급 롤부(110)에 인접하게 배치된다. 스탬핑 가압유닛(300)은 기판공급 롤부(110)로부터 인출되는 플렉서블 필름(f)의 보호필름(P)을 제거하여 플렉서블 필름(f)에 부착되어 있는 보호필름(P)을 회수할 수 있다.
도시되지 않았으나, 임프린팅 장치는 기판공급 롤부(110)와 인피드 롤모듈(140) 사이 또는 인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이의 구간에 에지 위치 컨트롤러(E.P.C, Edge Position Controller) 등 플렉서블 필름(f)의 폭(CD, Cross Machine Direction) 방향의 위치를 제어하는 장치, 장력을 측정하는 로드셀(load cell), 파티클 제거를 위한 이오나이저(ionizer), 그리고 플렉서블 필름(f) 상의 마크를 통해 롤의 폭 방향 위치를 측정하기 위한 비전장치를 더 포함할 수 있다.
스탬핑 가압유닛(300)은 롤투롤 유닛(100)에 의해 연속적으로 이동되는 플렉서블 필름(f)의 와인딩 경로에 배치된다. 구체적으로, 스탬핑 가압 유닛(300)은 인피드 롤모듈(140)과 아웃피드 롤모듈(150) 사이에 배치되어, 스테이지(200)에 지지되고 있는 기판(i)으로 플렉서블 필름(f)을 가압할 수 있다.
스탬핑 가압유닛(300)은 스테이지(200) 상부에 설치되어 플렉서블 필름(f)을 기판(i)에 접촉시키는 플렉서블 필름(f) 가압부(310)와, 플렉서블 필름(f)이 기판(i)에 순차적으로 접촉되도록 플렉서블 필름(f) 가압부(310)를 이동시키는 순차접촉 이동부(320)를 포함한다.
플렉서블 필름(f) 가압부(310)는, 플렉서블 필름(f)을 기판(i)에 접촉 가압시키는 가압롤러(311)를 포함한다.
가압롤러(311)는 플렉서블 필름(f)의 너비 방향으로 배치된 상태에서 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)의 와인딩 방향을 따라 이동됨으로써 플렉서블 필름(f)을 기판(i)에 연속적으로 선 접촉시켜 기판(i)에 도포되어 있는 레진에 패턴을 형성할 수 있다. 즉, 플렉서블 필름(f) 가압부(310)는, 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)을 이동하면서 순차적으로 기판(i)에 플렉서블 필름(f)을 접촉시킬 수 있도록 플렉서블 필름(f)을 따라 이동된 후 다시 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)이 기판(i)으로부터 분리될 수 있도록 원 위치로 복귀될 수 있다.
플렉서블 필름(f) 가압부(310)는 가압롤러(311)를 포함한다. 다만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되지 않으며, 예를 들어, 플렉서블 필름(f) 가압부(310)는 에어로 플렉서블 필름(f)을 기판(i)에 순차적으로 접촉 가압시킬 수도 있다.
순차접촉 이동부(320)는, 가압롤러(311)를 플렉서블 필름(f)을 따라 이동시키는 롤러 이동모듈(321)과, 가압롤러(311)가 상대 이동가능하게 결합되는 가이드 레일(322)을 포함한다. 이에 따라, 가압롤러(311)는 롤러 이동모듈(321)에 의해 가이드 레일(322)을 따라 이동되어 플렉서블 필름(f)을 대상물 측으로 순차적으로 가압할 수 있으며, 레진의 패턴이 경화된 후에는 롤러 이동모듈(321)에 의해 복귀될 수 있다.
롤러 이동모듈(321)은, 가압롤러(311)에 연결되어 가압롤러(311)를 선형으로 이동시킬 수 있는 선형 구동 장치일 수 있다. 예를 들어, 선형 구동 장치는 리드 스크류 및 모터와 같은 구동요소들을 포함할 수 있다. 또한, 선형 구동 장치는, 선형 이동을 제공할 수 있는 구동요소로서 리니어 모터를 포함할 수도 있다.
스테이지(200)는 각 공정에 따라 이동이 가능하다. 구체적으로, 레진 코팅 공정시 레진이 기판(i) 표면에 도포될 수 있는 코팅위치에 위치할 수 있고, 임프린팅 공정시 스탬핑 가압유닛(300)과 대향하는 위치로 이동이 가능하다. 예를 들어, 스테이지(200)는 스테이지 레일(미도시) 상에 위치하고, 스테이지 레일(미도시) 상에 장착될 수 있는 리니어 모터 등에 의해 이동할 수 있다.
도시되지 않았으나, 스테이지(200)는 기판(i)을 고정 및 정렬하는 스테이지 척을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 스테이지(200)는 메인 스테이지(210)를 포함한다.
메인 스테이지(210)는 기판(i)보다 큰 면적을 가질 수 있다. 메인 스테이지(210)는 공정에 따라 이동될 수 있으며, 다만, 공정 중에는 고정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치(1)는 단차 보상 유닛(221, 222)을 더 포함한다. 단차 보상 유닛(221, 222)은 메인 스테이지(210) 상에 배치될 수 있다. 단차 보상 유닛(221, 222)은 기판(i)과 인접하게 배치되고, 기판(i)과 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 단차 보상 유닛(221, 222)은 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)을 포함할 수 있다. 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)을 사이에 두고 이격되어 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 단차 보상 유닛(221)은 기판공급 롤부(110)에 인접하게 배치되고, 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판회수 롤부(120)와 인접하게 배치될 수 있다. 즉, 제1 단차 보상 유닛(221)은 기판공급 롤부(110)와 기판(i) 사이에 배치될 수 있고, 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판회수 롤부(120)와 기판(i) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)의 측면과 이격되어 배치될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)의 측면과 각각 접촉할 수도 있다.
단차 보상 유닛(221, 222)은 고분자 화합물(Polymer), 금속(Metal) 및 글래스(Glass) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
단차 보상 유닛(221, 222)은 점착 패드(Sticky Pad), 점착 시트(Gecko Sheet), 진공 척(Vaccum Chuck), 다공질 척(Porous Chuck) 및 정전 척(Electro Static Chuck)중 어느 하나일 수 있다.
코팅 유닛(400)은 레진을 도포할 수 있는 위치에 배치될 수 잇다. 코팅 유닛(400)은 기판(i)에 대해 임프린트용 레진 등을 잉크 젯팅, 슬롯다이 코팅 등 여러 가지 코팅이나 디스펜싱 방법에 의해서 기판(i)을 코팅할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 고정 유닛(600)을 포함한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 고정 유닛(600)은 기판공급 롤부(110)와 인접하게 배치된 제1 단차 보상 유닛(221)에 대향하여 배치될 수 있다.
도면에는 고정 유닛(600)이 사다리꼴 형상을 갖는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 플렉서블 필름(f)을 가압할 수 있는 다양한 형태를 가질 수 있다.
다만, 스테이지(200)는 기판(i)을 지지하고, 스탬핑 가압유닛(300)은 플렉서블 필름(f)을 기판(i) 측으로 가압하여 스탬핑 패턴이 형성되어 있는 플렉서블 필름(f)이 기판(i)에 접촉되어 기판(i)의 표면에 패턴을 형성하는 임프린트 공정을 전제로 설명하였으나, 본 발명에 따른 임플린팅 장치는 요철로 이루어진 패턴을 포함하는 기판 상에 레진이 도포되고 플렉서블 필름(f)에 스탬핑 패턴을 형성하는 공정에 이용될 수도 있다.
이하, 도 3a 내지 도 3c를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법에 대해 상세히 설명한다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법을 설명하기 위한 도면으로, 기판(i)에 패턴을 형성하는 임프린팅 공정을 도시하고 있다.
스테이지(200) 상에 코팅 유닛(400)에 의해 레진이 코팅된 기판(i)이 배치되고, 레진이 코팅된 기판(i)이 배치된 스테이지(200)는 스탬핑 가압유닛(300)과 대향하여 배치된다.
레진이 코팅된 기판(i)이 스테이지(200) 상에 배치된 후, 롤투롤 유닛(100)의 기판공급 롤부(110)와 기판회수 롤부(120)에 의해 플렉서블 필름(f)의 미리 정해진 영역이 스테이지(200) 상으로 이동된다. 이때 플렉서블 필름(f)의 미리 정해진 영역에는 스탬핑 패턴이 형성되어 있다.
그 후, 도 3a에 도시된 바와 같이, 고정 유닛(600)은 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)을 가압하여 제1 단차 보상 유닛(221)에 접촉시킨다.
다음으로, 도 3b에 도시된 바와 같이, 스탬핑 가압유닛(300)은 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)의 일부 영역을 제1 단차 보상 유닛(221), 기판(i) 및 제2 단차 보상 유닛(222)에 가압한다. 구체적으로, 스탬핑 가압유닛(300)의 가압 롤러(311)는 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)의 일부 영역을 제1 단차 보상 유닛(221)에 가압하고, 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)을 제1 단차 보상 유닛(221)으로부터 기판(i) 및 제2 단차 보상 유닛(222)을 향해 연속적으로 선 접촉시켜 기판(i)에 도포되어 있는 레진에 패턴을 형성할 수 있다. 이때, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)과 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 기판(i)에 가압되기 전 고정 유닛(600)은 플렉서블 필름(f)을 가압하여 기판(i)과 동일한 두께를 갖는 제1 단차 보상 유닛(221)에 접촉시킨다. 또한, 스탬핑 가압유닛(300)은 제1 단차 보상 유닛(221)에서 기판(i)까지 연속적으로 선 접촉시킨 후, 스탬핑 가압유닛(300)은 기판(i)에서 제2 단차 보상 유닛(222)까지 연속적으로 선 접촉시킨다. 즉, 스탬핑 가압유닛(300)은 플렉서블 필름(f)을 가압하여 기판(i)과 동일한 두께를 갖는 제2 단차 보상 유닛(222)에 접촉시킨다.
이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치(1)는 기판(i)의 단부까지 압력을 적용하여, 기판(i)의 단부에서 발생하는 주름을 방지하고, 주름에 의해 발생하는 플렉서블 필름(f)과 기판(i)의 박리 현상을 방지할 수 있다.
스탬핑 가압유닛(300)이 플렉서블 필름(f)의 가압을 해제하는 경우, 플렉서블 필름(f)은 기판(i)으로부터 분리될 수 있다.
다음으로, 도 3c에 도시된 바와 같이, UV 램프(500)는 기판(i) 상에 도포된 레진을 경화시킨다. 이에 따라, 경화된 레진이 배치된 기판(i)에 패턴이 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 기판(i)에 패턴을 전사하는 임프린트 공정을 전제로 설명하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 플렉서블 필름(f)에 스탬핑 패턴을 형성하는 필름 스탬프 공정에 이용될 수도 있다.
이하, 도 4를 참조하여, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치에 대해 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 스테이지(200)는 단차 보상 유닛(221, 222)을 포함한다. 단차 보상 유닛(221, 222)은 기판(i)과 인접하게 배치되고, 기판(i)과 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 단차 보상 유닛(221, 222)은 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)을 포함할 수 있다. 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)을 사이에 두고 이격되어 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 단차 보상 유닛(221)은 기판공급 롤부(110)에 인접하게 배치되고, 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판회수 롤부(120)와 인접하게 배치될 수 있다. 즉, 제1 단차 보상 유닛(221)은 기판공급 롤부(110)와 대향하는 기판(i)의 한 측면에 인접하게 배치될 수 있고, 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판회수 롤부(120)와 대향하는 기판(i)의 다른 한 측면에 인접하게 배치될 수 있다. 이때, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)의 측면과 이격되어 배치될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)의 측면과 각각 접촉할 수도 있다.
단차 보상 유닛(221, 222)은 고분자 화합물(Polymer), 금속(Metal) 및 글래스(Glass) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
단차 보상 유닛(221, 222)은 점착 패드(Sticky Pad), 점착 시트(Gecko Sheet), 진공 척(Vaccum Chuck), 다공질 척(Porous Chuck) 및 정전 척(Electro Static Chuck)으로 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 복수의 고정 유닛(600)을 포함한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 고정 유닛(600)은 기판공급 롤부(110)와 기판(i) 사이에 배치된 제1 단차 보상 유닛(221) 및 기판회수 롤부(120)와 기판(i) 사이에 배치된 제2 단차 보상 유닛(222)에 대향하여 각각 배치될 수 있다.
이하, 도 5a 내지 도 5c를 참조하여, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법에 대해 상세히 설명한다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치를 이용한 임프린팅 방법을 설명하기 위한 도면으로, 기판(i)에 패턴을 형성하는 임프린팅 공정을 도시하고 있다.
스테이지(200) 상에 코팅 유닛(400)에 의해 레진이 코팅된 기판(i)이 배치되고, 레진이 코팅된 기판(i)이 배치된 스테이지(200)는 스탬핑 가압유닛(300)과 대향하여 배치된다.
레진이 코팅된 기판(i)이 스테이지(200) 상에 배치된 후, 롤투롤 유닛(100)의 기판공급 롤부(110)와 기판회수 롤부(120)에 의해 플렉서블 필름(f)의 미리 정해진 영역이 스테이지(200) 상으로 이동된다. 이때 플렉서블 필름(f)의 미리 정해진 영역에는 스탬핑 패턴이 형성되어 있다.
그 후, 도 5a에 도시된 바와 같이, 고정 유닛(600)은 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)을 가압하여 제1 단차 보상 유닛(221)에 접촉시킨다.
다음으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 스탬핑 가압유닛(300)은 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)의 일부 영역을 제1 단차 보상 유닛(221), 기판(i) 및 제2 단차 보상 유닛(222)에 가압한다. 구체적으로, 스탬핑 가압유닛(300)의 가압 롤러(311)는 스탬핑 패턴이 형성된 플렉서블 필름(f)의 일부 영역을 제1 단차 보상 유닛(221)에 가압하고, 순차접촉 이동부(320)에 의하여 플렉서블 필름(f)을 제1 단차 보상 유닛(221)에서 기판(i) 및 제2 단차 보상 유닛(222)을 향해 연속적으로 선 접촉시켜 기판(i)에 도포되어 있는 레진에 패턴을 형성할 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 도 5c에 도시된 바와 같이, 순차접촉 이동부(320)에 의해 가압 롤러(311)가 제2 단차 보상 유닛(222) 상으로 이동하여 플렉서블 필름(f)이 제2 단차 보상 유닛(222)과 접촉한 후, 제2 단차 보상 유닛(222)과 대향하여 배치된 고정 유닛(600)이 플렉서블 필름(f)을 제2 단차 보상 유닛(222)에 접촉된 상태를 유지시킨다. 이때, 제1 단차 보상 유닛(221) 및 제2 단차 보상 유닛(222)은 기판(i)과 실질적으로 동일한 두께를 가질 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 기판(i)에 가압되기 전 고정 유닛(600)은 플렉서블 필름(f)을 가압하여 기판(i)과 동일한 두께를 갖는 제1 단차 보상 유닛(221)에 접촉시킨다. 그 후, 스탬핑 가압유닛(300)은 제1 단차 보상 유닛(221)에서 기판(i)까지 연속적으로 선 접촉시킨 후, 스탬핑 가압유닛(300)은 기판(i)에서 제2 단차 보상 유닛(222)까지 연속적으로 선 접촉시킨다. 마지막으로, 제2 단차 보상 유닛(222)과 대향하여 배치된 고정 유닛(600)이 플렉서블 필름(f)을 제2 단차 보상 유닛(222)에 접촉된 상태를 유지시킨다.
이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린팅 장치(1)는 기판(i)의 단부까지 압력을 적용하여, 기판(i)의 단부에서 발생하는 주름을 방지하고, 주름에 의해 발생하는 플렉서블 필름(f)과 기판(i)의 박리 현상을 방지할 수 있다.
스탬핑 가압유닛(300)이 플렉서블 필름(f)의 가압을 해제하는 경우, 플렉서블 필름(f)은 기판(i)으로부터 분리될 수 있다.
다음으로, 도 5c에 도시된 바와 같이, UV 램프(500)는 기판(i) 상에 도포된 레진을 경화시킨다. 이에 따라, 경화된 레진이 배치된 기판(i)에 패턴이 형성된다.
이하, 도 6a 및 도 6b를 참조하여, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치에 대해 상세히 설명한다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대 개략도이다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따르면, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 스테이지(200)는 구동 스테이지(230)를 더 포함할 수 있다.
메인 스테이지(210)는 기판(i)과 동일한 폭을 가질 수 있다.
구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)의 대향하는 두 측면에 배치될 수 있다.
구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)에 대하여 상대적으로 이동이 가능하다. 도 6a에 도시된 바와 같이, 구동 스테이지(230)의 측면은 메인 스테이지(210)의 측면과 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 도 6b에 도시된 바와 같이, 구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)의 측면과 구동 스테이지(230)의 측면이 접촉하도록 이동할 수 있다. 즉, 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 가압되어 기판(i)에 접촉되기 전에, 구동 스테이지(230)는 단차 보상 유닛(221, 222)이 기판(i)과 접촉하도록 이동할 수 있다.
단차 보상 유닛(221, 222)은 메인 스테이지(210)의 양 측면에 배치된 구동 스테이지(230) 상에 각각 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 기판(i)의 단부까지 균일한 압력을 적용하여, 기판(i)의 단부에서 발생하는 주름을 방지하고, 주름에 의해 발생하는 플렉서블 필름(f)과 기판(i)의 박리 현상을 방지할 수 있다.
이하, 도 7a 내지 도 7b를 참조하여, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치에 대해 상세히 설명한다.
도 7a 내지 도 7b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치의 확대개략도이다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따르면, 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 스테이지(200)는 구동 스테이지(230)를 더 포함할 수 있다.
메인 스테이지(210)는 기판(i)보다 큰 폭을 가질 수 있다.
구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)의 대향하는 두 측면에 배치될 수 있다.
구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)에 대하여 상대적으로 이동이 가능하다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 구동 스테이지(230)의 측면은 메인 스테이지(210)의 측면과 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 도 7b에 도시된 바와 같이, 구동 스테이지(230)는 메인 스테이지(210)의 측면에 보다 인접하도록 이동할 수 있다. 즉, 스탬핑 가압유닛(300)에 의해 플렉서블 필름(f)이 가압되어 기판(i)에 접촉되기 전에, 구동 스테이지(230)는 단차 보상 유닛(221, 222)이 기판(i)과 접촉하도록 이동할 수 있다.
단차 보상 유닛(221, 222)은 메인 스테이지(210)의 양 측면에 배치된 구동 스테이지(230) 상에 각각 배치될 수 있다. 이때, 단차 보상 유닛(221, 222)은 구동 스테이지(230)보다 더 큰 폭을 가질 수 있다. 이에 따라, 단차 보상 유닛(221, 222)은 메인 스테이지(210) 및 구동 스테이지(230)의 적어도 일부와 중첩하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 임프린팅 장치는 기판(i)의 단부까지 균일한 압력을 적용하여, 기판(i)의 단부에서 발생하는 주름을 방지하고, 주름에 의해 발생하는 플렉서블 필름(f)과 기판(i)의 박리 현상을 방지할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
f: 플렉서블 필름 i: 기판
100: 롤투롤 유닛 110: 기판공급 롤부
120: 기판회수 롤부 130: 이격지지부
140: 인피드 롤모듈 150: 아웃피드 롤모듈
160: 복귀 지지 모듈 170: 보호필름 제거부
200: 스테이지 210: 메인 스테이지
221, 222: 단차 보상 유닛 230: 구동 스테이지
300: 스탬핑 가압 유닛 310: 플렉서블 필름 가압부
320: 순차접촉 안내부
400: 코팅 유닛

Claims (20)

  1. 플렉서블 필름을 와인딩 또는 리와인딩하는 롤투롤 유닛;
    롤투롤 유닛과 대향하여 배치되는 기판;
    상기 기판을 지지하는 메인 스테이지를 포함하는 스테이지;
    상기 스테이지 상에 배치된 단차 보상 유닛;
    상기 스테이지와 대향하여 배치되고 상기 플렉서블 필름 및 상기 기판을 가압하는 스탬핑 가압 유닛;
    상기 플렉서블 필름을 사이에 두고 상기 단차 보상 유닛과 대향하여 배치된 고정 유닛; 및
    상기 메인 스테이지의 측면에 배치된 구동 스테이지를 포함하고,
    상기 단차 보상 유닛은 구동 스테이지 상에 배치된 임프린팅 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 단차 보상 유닛은 상기 기판과 동일한 두께를 가지는 임프린팅 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 단차 보상 유닛은 상기 메인 스테이지 상에 배치된 임프린팅 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 롤투롤 유닛은,
    상기 플렉서블 필름이 감긴 기판공급 롤부 및
    상기 플렉서블 필름이 감기고 상기 기판공급 롤부와 대향하여 배치된 기판회수 롤부를 포함하고,
    상기 단차 보상 유닛은,
    상기 기판과 상기 기판공급 롤부 사이에 배치된 제1 단차 보상 유닛 및
    상기 기판과 상기 기판회수 롤부 사이에 배치된 제2 단차 보상 유닛을 포함하는 임프린팅 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 고정 유닛은 상기 제1 단차 보상 유닛 및 상기 제2 단차 보상 유닛과 각각 대향하여 배치된 임프린팅 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 단차 보상 유닛은 상기 기판의 한 측면 또는 상기 기판의 한 측면과 대향하는 다른 한 측면 중 적어도 하나와 접촉하는 임프린팅 장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 구동 스테이지는 상기 메인 스테이지에 대하여 상대적으로 이동 가능한 임프린팅 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 메인 스테이지는 기판과 동일한 폭을 가지는 임프린팅 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 메인 스테이지는 기판보다 큰 폭을 가지는 임프린팅 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 단차 보상 유닛은 상기 구동 스테이지보다 큰 폭을 갖는 임프린팅 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 단차 보상 유닛은 상기 메인 스테이지 및 상기 구동 스테이지의 적어도 일부와 중첩하는 임프린팅 장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 단차 보상 유닛은 고분자 화합물(Polymer), 금속(Metal) 및 글래스(Glass) 중 어느 하나를 포함하는 임프린팅 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 단차 보상 유닛은 점착 패드(Sticky Pad), 점착 시트(Gecko Sheet), 진공 척(Vaccum Chuck), 다공질 척(Porous Chuck) 및 정전 척(Electro Static Chuck)중 어느 하나인 임프린팅 장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 요철로 이루어진 패턴을 포함하는 임프린팅 장치.
  16. 메인 스테이지와 구동 스테이지를 포함하는 스테이지 상에 레진이 코팅된 기판이 배치되는 단계;
    상기 구동 스테이지가 단차 보상 유닛을 이동시켜 상기 기판의 측면에 인접하게 배치시키는 단계;
    고정 유닛이 상기 기판과 인접하게 배치된 상기 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계;
    스탬핑 가압 유닛이 상기 단차 보상 유닛과 인접한 기판의 한 단부에서 상기 한단부와 대향하는 다른 한 단부를 향해 이동하며 플렉서블 필름을 상기 레진이 코팅된 기판에 접촉시키는 단계; 및
    상기 스테이지 상에 배치된 UV 램프가 서로 접촉하고 있는 플렉서블 필름 및 상기 레진이 코팅된 기판에 자외선을 조사하는 단계;를 포함하는 임프린팅 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 단차 보상 유닛은,
    상기 메인 스테이지의 한 단부 상에 배치된 제1 단차 보상 유닛, 및
    상기 메인 스테이지의 한 단부와 대향하는 다른 한 단부 상에 배치된 제2 단차 보상 유닛을 포함하는 임프린팅 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 고정 유닛이 상기 기판과 인접하게 배치된 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계는
    상기 고정 유닛이 제1 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계를 포함하는 임프린팅 방법.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 스테이지 상에 배치된 UV 램프가 서로 접촉하고 있는 플렉서블 필름 및 상기 레진이 코팅된 기판에 자외선을 조사하는 단계는,
    상기 고정 유닛이 상기 제2 단차 보상 유닛에 플렉서블 필름을 접촉시키는 단계를 포함하는 임프린팅 방법.
  20. 삭제
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