CN110209012A - 压印设备及利用压印设备的压印方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及用于防止衬底与柔性膜之间的剥离的压印设备以及利用其的压印方法，其中，压印设备包括辊对辊单元、衬底、台、台阶补偿单元、冲压施压单元和固定单元，其中，辊对辊单元用于卷绕或重绕柔性膜，衬底布置成与辊对辊单元相对，台包括对衬底进行支承的主台，台阶补偿单元布置在台上，冲压施压单元布置成与台相对并且对柔性膜和衬底进行施压，并且固定单元布置成与台阶补偿单元相对，其中，柔性膜位于固定单元与台阶补偿单元之间。
Description
技术领域
本发明涉及压印设备及利用其的压印方法。
背景技术
精细图案化技术包括光刻(photolithography)、激光干涉光刻(Laserinterference lithography)、扫描探针光刻(Scanning Probe Lithography，SPL)、电子束光刻(E-beam lithography)、纳米压印(Nano imprint)等技术。
利用光的光刻中存在光的衍射极限，并且扫描探针光刻(Scanning ProbeLithography，SPL)和电子束光刻会消耗长时间以在大面积上通过点扫描(pointscanning)方式制造图案。相反，纳米压印作为最有希望实现高吞吐量(high-throughput)和高精度(high-resolution)的技术而备受瞩目。
然而，由于纳米压印是基于物理接触的工艺，且在接触面变宽的情况下因衬底和冲压件均非完整的平面而可能具有表面上的弯曲或缺陷，因此难以使衬底与冲压件保持完美的平行。这将作为不均匀的残留膜(residual layer)对后续的工艺产生影响，并且由于冲压件与衬底通常具有彼此不同的热膨胀系数(thermal expansion coefficient)，导致冲压件和衬底的尺寸分别因压印工艺中所产生的热而发生变化，而这在大面积的情况下会导致衬底与冲压件的剥离。
发明内容
解决的技术问题
本发明是为解决如上所述的问题而提出，其目的在于提供能够改善在压印工艺中产生的图案缺陷的压印设备以及利用其的压印方法。解决方法
为了实现如上所述目的，根据本发明的压印设备包括辊对辊单元、衬底、台、台阶补偿单元、冲压施压单元和固定单元，其中，辊对辊单元用于卷绕或重绕柔性膜，衬底布置成与辊对辊单元相对，台包括对衬底进行支承的主台，台阶补偿单元布置在台上，冲压施压单元布置成与台相对并且对柔性膜和衬底进行施压，并且固定单元布置成与台阶补偿单元相对，其中，柔性膜位于固定单元与台阶补偿单元之间
台阶补偿单元的厚度可与衬底的厚度相同。
台阶补偿单元可布置在主台上。
辊对辊单元可包括卷绕有柔性膜的柔性膜供给辊部、以及卷绕有柔性膜并且布置成与柔性膜供给辊部相对的柔性膜回收辊部，并且台阶补偿单元可包括布置在衬底与柔性膜供给辊部之间的第一台阶补偿单元、以及布置在衬底与柔性膜回收辊部之间的第二台阶补偿单元。
固定单元可布置成分别与第一台阶补偿单元和第二台阶补偿单元相对。
第一台阶补偿单元可与衬底的一侧面和衬底的与一侧面相对的另一侧面中的至少一个接触。
压印设备还可包括布置在主台的侧面处的驱动台，并且台阶补偿单元可布置在驱动台上。
驱动台能够相对于主台进行相对移动。
主台的宽度可与衬底的宽度相同。
主台的宽度可大于衬底的宽度。
台阶补偿单元的宽度可大于驱动台的宽度。
台阶补偿单元可与主台的至少一部分和驱动台的至少一部分重叠。
台阶补偿单元可包括高分子化合物(Polymer)、金属(Metal)和玻璃(Glass)中的任一种。
台阶补偿单元可以是粘性垫(Sticky Pad)、粘合片(Gecko Sheet)、真空夹持件(Vaccum Chuck)、多孔夹持件(Porous Chuck)和静电夹持件(Electro Static Chuck)中的任一种。
衬底可包括形成为凹凸状的图案。
为了实现如上所述目的，根据本发明的利用压印设备的压印方法包括以下步骤：将涂覆有树脂的衬底布置到台上；通过固定单元使柔性膜与布置成与衬底相邻的台阶补偿单元接触；使冲压施压单元从衬底的与台阶补偿单元相邻的一端部朝着与一端部相对的另一端部移动，从而使柔性膜与涂覆有树脂的所述衬底接触；以及通过布置在台的上方的紫外灯朝向彼此接触的柔性膜和涂覆有树脂的衬底照射紫外线。
台阶补偿单元可包括布置在主台的一端部上的第一台阶补偿单元、以及布置在主台的与一端部相对的另一端部上的第二台阶补偿单元。
通过固定单元使柔性膜与布置成衬底相邻的台阶补偿单元接触的步骤可包括以下步骤：通过固定单元使柔性膜与第一台阶补偿单元接触。
通过布置在台的上方的紫外灯朝向彼此接触的柔性膜和涂覆有树脂的所述衬底照射紫外线的步骤可包括以下步骤：通过固定单元使柔性膜与第二台阶补偿单元接触。
在通过固定单元使柔性膜与布置成与衬底相邻的台阶补偿单元接触的步骤之前，还可包括以下步骤：移动台阶补偿单元使得台阶补偿单元与衬底的侧面接触。
有益效果
根据本发明一实施方式的压印设备以及利用其的压印方法能够改善压印工艺中所产生的图案缺陷。
附图说明
图1为根据本发明一实施方式的压印设备的示意图。
图2为根据本发明一实施方式的压印设备的放大示意图。
图3a至图3c为用于说明利用根据本发明一实施方式的压印设备的压印方法的视图。
图4为根据本发明另一实施方式的压印设备的放大示意图。
图5a至图5c为用于说明利用根据本发明另一实施方式的压印设备的压印方法的视图。
图6a和图6b为根据本发明又一实施方式的压印设备的放大示意图。
图7a和图7b为根据本发明又一实施方式的压印设备的放大示意图。
具体实施方式
参照在下文中结合附图详细描述的实施方式，本发明的优点和特征以及实现它们的方法将变得明确。然而，本发明并不限于下文中所公开的实施方式，而是可实现为彼此不同的各种形态。本实施方式仅仅是为了使本发明的公开完整并且将发明的范围完整地告知给本发明所属技术领域的普通技术人员而被提供的。本发明仅由权利要求书的范围来限定。因此，在一些实施方式中，为了避免模糊地解释本发明，将不具体说明众所周知的工艺步骤、众所周知的器件结构和众所周知的技术。在整个说明书中，相同的附图标记指示相同的构成要素。
在附图中，为了明确地表现多个层和区域，厚度被放大示出。在整个说明书中，对相似的部分指定了相同的附图标记。当层、膜、区域、板等部分被称为位于其它部分“上”时，不仅包括“直接”位于其它部分“上”的情况，而且也包括其中间存在另外的其它部分的情况。相反，当某一部分被称为“直接”位于其它部分“上”时，则意味着中间不存在其它部分。此外，当层、膜、区域、板等部分被称为位于其它部分“下”时，不仅包括“直接”位于其它部分“下”的情况，而且也包括其中间存在另外的其它部分的情况。相反，当某一部分被称为“直接”位于其它部分“下”时，则意味着中间不存在其它部分。
“下方(below)”、“之下(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等空间相对用语如图中所示可用于容易地阐述一个器件或构成要素与其它器件或构成要素的相关关系。空间相对用语应理解为包括图中所示的方向以及器件在使用时或操作时的彼此不同的方向的用语。例如，在图中所示的器件被翻转的情况下，被记载为位于其它器件“下方(below)”或“之下(beneath)”的器件可放置在其它器件“上方(above)”。因此，作为示例性用语的“下方”可包括上方向和下方向两者。器件也可定向在其它方向上，因此空间相对用语可根据定向进行解释。
虽然第一、第二、第三等用语可在本说明书中用于说明各种构成要素，但是这些构成要素并不由上述用语限定。上述用语用于将一个构成要素与其它构成要素区分开的目的。例如，在不背离本发明的权利范围的情况下，第一构成要素可被命名为第二构成要素或第三构成要素等，且类似地，第二构成要素或第三构成要素也可相互交换命名。
除非另有定义，否则本说明书中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)可以以本发明所属技术领域的普通技术人员所能够共同理解的含义来使用。此外，除非明确地特别定义，否则不应理想化地或过度地解释常用词典中所定义的术语。。
图1为根据本发明一实施方式的压印设备的示意图，并且图2为根据本发明一实施方式的压印设备的放大示意图。
参照图1，根据本实施方式的压印设备1包括辊对辊单元100、台200、台阶补偿单元221、222、冲压施压单元300、涂覆单元400、紫外灯(图3c的500)和固定单元600。
参照图1，辊对辊单元100包括柔性膜供给辊部110、柔性膜回收辊部120、分隔支承部130、进料辊模块140、出料辊模块150、复位支承模块160和保护膜去除部170。
柔性膜f可以是聚碳酸酯(PC：poly carbonate)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET：polyethylene terephthalate)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN：polyethylene naphthalene)、聚酰亚胺(PI：polyimde)等聚合物膜，或者可以是薄玻璃(thin glass)或金属等物质。此外，柔性膜f上可布置有SiOx、SiNx的无机薄膜或保护膜P。
柔性膜供给辊部110包括卷绕辊111和能够使卷绕辊111旋转的卷绕旋转轴112。卷绕旋转轴112可被施加旋转力。
柔性膜回收辊部120可布置成与前述柔性膜供给辊部110相对。
柔性膜回收辊部120包括重绕辊121和能够使重绕辊121旋转的重绕旋转轴122。重绕旋转轴122可被施加旋转力。由此，柔性膜f能够在从柔性膜供给辊部110解开并卷绕到柔性膜回收辊部120的同时以预定区间为单位进行移动，并且柔性膜f的卷绕路径上布置有分隔支承部130、台200和冲压施压单元300。
分隔支承部130使布置在柔性膜供给辊部110与柔性膜回收辊部120之间的柔性膜f布置成与衬底i相隔开。
进料辊模块140布置在柔性膜供给辊部110与台200之间。进料辊模块140布置成能够使柔性膜f与衬底i相隔开。
进料辊模块140包括可旋转的上部辊141和下部辊142。上部辊141的表面和下部辊142的表面上可布置有如摩擦垫的防滑元件，以防止柔性膜f的移动。进料辊模块140将自柔性膜供给辊部110至进料辊模块140的张力与经过进料辊模块140之后的张力分隔开。由此，柔性膜f布置可在上部辊141与下部辊142之间，并且在朝着柔性膜供给辊部110侧的、反方向的移动被限制的状态下朝着台200侧方向的移动被允许，从而能够朝着台200侧移动。
出料辊模块150维持自进料辊模块140至出料辊模块150的张力。当冲压施压单元300的施压辊311在台200处于静止的状态下朝着x方向移动时，进料辊模块140与出料辊模块150之间的柔性膜f的张力发生变化。
出料辊模块150包括第一分隔支承辊151、第二分隔支承辊152和辊驱动部153，其中，柔性膜f布置在第一分隔支承辊151与第二分隔支承辊152之间，并且辊驱动部153能够提供用于移动的动力。
第一分隔支承辊151对柔性膜f的上表面进行支承。随着冲压施压单元300的施压辊311的移动，第一分隔支承辊151在θ方向上进行旋转驱动，使得作为工艺区间的进料辊模块140与出料辊模块150之间的张力保持一致。具体地，第一分隔支承辊151可在θ方向上旋转，以对柔性膜f保持一致的张力。
第二分隔支承辊152可与能够提供用于移动的动力的辊驱动部153连接。例如，辊驱动部153可以是气压缸。
第二分隔支承辊152可布置成与第一分隔支承辊151相隔开。例如，在期望使柔性膜f在柔性膜f的冲压图案不与第二分隔支承辊152接触的状态下朝着柔性膜回收辊部120侧移动的情况下，第二分隔支承辊152可布置成与第一分隔支承辊151相隔开。
进料辊模块140与出料辊模块150之间可布置有用于测量张力的装置。例如，测量出的张力可以被利用为用于驱动出料辊模块150的反馈信号。
复位支承模块160的作用在于：存放所需的柔性膜f，并在柔性膜f通过施压辊311被按压到衬底i的期间提供柔性膜f。复位支承模块160可包括复位支承辊161、多个支承引导辊162和弹性部件163，其中，复位支承辊161能够通过被施压而进行上下移动，多个支承引导辊162布置成与复位支承辊161相邻，并且弹性部件163与复位支承辊161结合并且提供能够使复位支承辊161复位的弹性力。
当柔性膜f通过冲压施压单元300被施压时，柔性膜f的部分区域可在反方向上移动，即，可朝着台200侧移动。当柔性膜f的部分区域朝着台200侧移动时，柔性膜f的其它区域通过复位支承辊161被施加弹性力。由此，当冲压施压单元300对柔性膜f的施压被解除时，柔性膜f的移动的部分区域可通过弹性部件163复位到原来的状态。
弹性部件163可与复位支承辊161的下部连接，并且可以是螺旋弹簧。然而，本发明的权利范围并不限于此，并且弹性部件163也可连接至复位支承辊161的上部，且除了螺旋弹簧以外，弹性部件163可连接至能够对复位支承辊161提供复位力的致动器(未示出)。
多个支承引导辊162可在复位支承辊161的两侧处以相同的水平布置为一对。例如，柔性膜f可以在经过出料辊模块150卷绕到布置在前侧的支承引导辊162上之后，以反方向卷绕到复位支承辊161上并接着卷绕到布置在后侧的支承引导辊162上，并且以这种状态朝着柔性膜回收辊部120侧移动。
出料辊模块150和复位支承模块160布置在柔性膜回收辊部120与台200之间，使得柔性膜f与布置在台200上的衬底i相隔开。出料辊模块150布置在高于进料辊模块140的位置处，并且柔性膜f布置在高于进料辊模块140的位置处。
由此，柔性膜f可以从进料辊模块140至出料辊模块150布置成相对于布置在台200上的衬底i倾斜，并且柔性膜f可通过冲压施压单元300被按压到衬底i侧。当柔性膜f被冲压施压单元300施压时，柔性膜f不与衬底i接触，而是与涂覆在衬底i上的树脂接触。
保护膜去除部170布置成与柔性膜供给辊部110相邻。冲压施压单元300可去除从柔性膜供给辊部110取出的柔性膜f的保护膜P，以回收附着在柔性膜f上的保护膜P。
虽然未示出，但是压印设备还可在柔性膜供给辊部110与进料辊模块140之间或者进料辊模块140与出料辊模块150之间的区域中包括边缘位置控制器(E.P.C，EdgePosition Controller)等用于控制柔性膜f的宽度(横越机器方向；CD，Cross MachineDirection)方向的位置的装置、测量张力的负荷传感器(load cell)、用于去除微粒的离子发生器(ionizer)、以及用于通过柔性膜f上的标记测量辊的宽度方向位置的视觉装置。
冲压施压单元300布置在通过辊对辊单元100连续移动的柔性膜f的卷绕路径上。具体地，冲压施压单元300可布置在进料辊模块140与出料辊模块150之间，并将柔性膜f按压到支承在台200上的衬底i。
冲压施压单元300包括柔性膜施压部310和依次接触移动部320，其中，柔性膜施压部310设置在台200的上方并使柔性膜f与衬底i接触，并且依次接触移动部320使柔性膜施压部310进行移动使得柔性膜f依次与衬底i接触。
柔性膜施压部310包括施压辊311，其中，施压辊311将柔性膜f按压到衬底i并使柔性膜f与衬底i接触。
施压辊311可在以柔性膜f的宽度方向布置的状态下通过依次接触移动部320沿着柔性膜f的卷绕方向进行移动，从而使柔性膜f与衬底i连续地线接触，进而在涂覆于衬底i上的树脂上形成图案。即，柔性膜施压部310可在通过依次接触移动部320沿着柔性膜f进行移动以随着柔性膜f的移动使柔性膜f能够依次与衬底i接触之后，再次通过依次接触移动部320复位到原来的位置使得柔性膜f能够与衬底i分离。
柔性膜施压部310包括施压辊311。然而，本发明的权利范围并不限于此，且例如，柔性膜施压部310也可利用空气将柔性膜f依次按压到衬底i并使柔性膜f与衬底i接触。
依次接触移动部320包括辊移动模块321和导轨322，其中，辊移动模块321使施压辊311沿着柔性膜f进行移动，并且施压辊311以能够进行相对移动的方式与导轨322结合。由此，施压辊311可通过辊移动模块321沿着导轨322移动并将柔性膜f依次按压到对象物侧，并且可在树脂的图案固化之后通过辊移动模块321复位。
辊移动模块321可以是与施压辊311连接并能够使施压辊311进行线性移动的线性驱动装置。例如，线性驱动装置可包括诸如丝杠和电机的驱动元件。此外，线性驱动装置也可包括直线电机以作为能够提供线性移动的驱动元件。
台200能够根据各个工艺进行移动。具体地，在进行树脂涂覆工艺时，台200可位于能够使树脂涂覆到衬底i的表面上的涂覆位置处，并且在进行压印工艺时，台200能够移动到与冲压施压单元300相对的位置处。例如，台200可位于台轨道(未示出)上，并且可通过能够安装在台轨道(未示出)上的直线电机等进行移动。
虽然未示出，但是台200可包括对衬底i进行固定和对齐的台夹持件。
根据本发明一实施方式，台200包括主台210。
主台210可具有比衬底i大的面积。主台210可根据工艺进行移动，但在工艺过程中可被固定。
根据本发明一实施方式的压印设备1还包括台阶补偿单元221、222。台阶补偿单元221、222可布置在主台210上。台阶补偿单元221、222可布置成与衬底i相邻，并且台阶补偿单元221、222的厚度可与衬底i的厚度实质上相同。
如图2中所示，台阶补偿单元221、222可包括第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222。第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222可以隔开地布置，使得衬底i位于第一台阶补偿单元221与第二台阶补偿单元222之间。具体地，第一台阶补偿单元221可布置成与柔性膜供给辊部110相邻，并且第二台阶补偿单元222可布置成与柔性膜回收辊部120相邻。即，第一台阶补偿单元221可布置在柔性膜供给辊部110与衬底i之间，并且第二台阶补偿单元222可布置在柔性膜回收辊部120与衬底i之间。此时，第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222可布置成与衬底i的侧面相隔开。然而，并不限于此，第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222也可分别与衬底i的侧面接触。
台阶补偿单元221、222可包括高分子化合物(Polymer)、金属(Metal)和玻璃(Glass)中的任一种。
台阶补偿单元221、222可以是粘性垫(Sticky Pad)、粘合片(GeckoSheet)、真空夹持件(Vaccum Chuck)、多孔夹持件(Porous Chuck)和静电夹持件(Electro Static Chuck)中的任一种。
涂覆单元400可布置在能够涂覆树脂的位置处。涂覆单元400可通过喷墨法、狭缝式模头涂覆等各种涂覆方法或者通过点胶(dispensing)方法对衬底i涂覆用于压印的树脂等。
根据本发明一实施方式的压印设备包括固定单元600。
如图1和图2中所示，固定单元600可布置成与第一台阶补偿单元221相对，其中，第一台阶补偿单元221布置成与柔性膜供给辊部110相邻。
虽然在附图中示出了固定单元600具有梯形形状，但并不限于此，固定单元600可具有能够对柔性膜f施压的多种形态。
虽然以如下一种压印工艺为例进行了说明，即，在该压印工艺中，台200对衬底i进行支承，并且冲压施压单元300将柔性膜f按压到衬底i侧以使形成有冲压图案的柔性膜f与衬底i接触，从而在衬底i的表面上形成图案，但是根据本发明的压印设备也可在包括有形成为凹凸状的图案的衬底上涂覆树脂并在柔性膜f上形成冲压图案的工艺中使用。
在下文中，参照图3a至图3c对利用根据本发明一实施方式的压印设备的压印方法进行详细说明。
图3a至图3c是用于说明利用根据本发明一实施方式的压印设备的压印方法的视图，其示出了在衬底i上形成图案的压印工艺。
台200上布置通过涂覆单元400被涂覆树脂的衬底i，并且将布置有经涂覆树脂的衬底i的台200布置成与冲压施压单元300相对。
在将涂覆有树脂的衬底i布置到台200上之后，通过辊对辊单元100的柔性膜供给辊部110和柔性膜回收辊部120使柔性膜f的预定区域移动到台200的上方。此时，柔性膜f的预定区域中形成有冲压图案。
然后，如图3a中所示，固定单元600对形成有冲压图案的柔性膜f施压以使柔性膜f与第一台阶补偿单元221接触。
随后，如图3b中所示，冲压施压单元300将形成有冲压图案的柔性膜f的部分区域按压到第一台阶补偿单元221、衬底i和第二台阶补偿单元222。具体地，冲压施压单元300的施压辊311可将形成有冲压图案的柔性膜f的部分区域按压到第一台阶补偿单元221，并且通过依次接触移动部320使柔性膜f从第一台阶补偿单元221朝着衬底i和第二台阶补偿单元222连续地进行线接触，进而在涂覆于衬底i的树脂上形成图案。此时，第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222的厚度可与衬底i的厚度实质上相同。
根据本发明一实施方式，在通过冲压施压单元300将柔性膜f按压到衬底i之前，固定单元600对柔性膜f施压以使柔性膜f与第一台阶补偿单元221接触，其中第一台阶补偿单元221的厚度与衬底i的厚度相同。此外，在冲压施压单元300使柔性膜f从第一台阶补偿单元221至衬底i连续地进行线接触之后，冲压施压单元300使柔性膜f从衬底i至第二台阶补偿单元222连续地进行线接触。即，冲压施压单元300对柔性膜f施压以使柔性膜f与第二台阶补偿单元222接触，其中第二台阶补偿单元222的厚度与衬底i的厚度相同。
由此，根据本发明一实施方式的压印设备1施加压力直至衬底i的端部为止，从而能够防止衬底i的端部处产生褶皱，并且能够防止因褶皱而产生的柔性膜f与衬底i剥离的现象。
在冲压施压单元300解除对于柔性膜f的施压的情况下，柔性膜f可与衬底i分离。
接着，如图3c中所示，紫外灯500使涂覆在衬底i上的树脂固化。由此，在布置有经固化的树脂的衬底i上形成图案。
虽然以利用根据本发明一实施方式的压印设备在衬底i上转印图案的压印工艺为例进行了说明，但是根据本发明一实施方式的压印设备也可用于在柔性膜f上形成冲压图案的膜冲压工艺中。
在下文中参照图4对根据本发明另一实施方式的压印设备进行详细说明。
图4为根据本发明另一实施方式的压印设备的放大示意图。
根据本发明另一实施方式，台200包括台阶补偿单元221、222。台阶补偿单元221、222可布置成与衬底i相邻，并且台阶补偿单元221、222的厚度可与衬底i的厚度实质上相同。
如图4中所示，台阶补偿单元221、222可包括第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222。第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222可布置成相隔开，且衬底i位于第一台阶补偿单元221与第二台阶补偿单元222之间。具体地，第一台阶补偿单元221可布置成与柔性膜供给辊部110相邻，并且第二台阶补偿单元222可布置成与柔性膜回收辊部120相邻。即，第一台阶补偿单元221可布置成邻近于衬底i的与柔性膜供给辊部110相对的一侧面，并且第二台阶补偿单元222可布置成邻近于衬底i的与柔性膜回收辊部120相对的另一侧面。此时，第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222可布置成与衬底i的侧面相隔开。然而，并不限于此，第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222也可分别与衬底i的侧面接触。
台阶补偿单元221、222可包括高分子化合物(Polymer)、金属(Metal)和玻璃(Glass)中的任一种。
台阶补偿单元221、222可由粘性垫(Sticky Pad)、粘合片(GeckoSheet)、真空夹持件(Vaccum Chuck)、多孔夹持件(Porous Chuck)和静电夹持件(Electro Static Chuck)中的任一种构成。
根据本发明另一实施方式的压印设备包括多个固定单元600。
如图4中所示，多个固定单元600可分别布置成与布置在柔性膜供给辊部110与衬底i之间的第一台阶补偿单元221以及布置在柔性膜回收辊部120与衬底i之间的第二台阶补偿单元222相对。
在下文中，参照图5a至图5c对利用根据本发明另一实施方式的压印设备的压印方法进行详细说明。
图5a至图5c是用于说明利用根据本发明另一实施方式的压印设备的压印方法的视图，其示出了在衬底i上形成图案的压印工艺。
在台200上布置通过涂覆单元400被涂覆树脂的衬底i，并且将布置有经涂覆树脂的衬底i的台200布置成与冲压施压单元300相对。
在将涂覆有树脂的衬底i布置到台200上之后，通过辊对辊单元100的柔性膜供给辊部110和柔性膜回收辊部120使柔性膜f的预定区域移动到台200的上方。此时，柔性膜f的预定区域中形成有冲压图案。
然后，如图5a中所示，固定单元600对形成有冲压图案的柔性膜f施压以使柔性膜f与第一台阶补偿单元221接触。
随后，如图5b中所示，冲压施压单元300将形成有冲压图案的柔性膜f的部分区域按压到第一台阶补偿单元221、衬底i和第二台阶补偿单元222上。具体地，冲压施压单元300的施压辊311可将形成有冲压图案的柔性膜f的部分区域按压到第一台阶补偿单元221上，并且通过依次接触移动部320使柔性膜f从第一台阶补偿单元221朝着衬底i和第二台阶补偿单元222连续地进行线接触，进而在涂覆于衬底i的树脂上形成图案。
根据本发明另一实施方式，如图5c中所示，在通过依次接触移动部320使施压辊311移动到第二台阶补偿单元222上使得柔性膜f与第二台阶补偿单元222接触之后，布置成与第二台阶补偿单元222相对的固定单元600使柔性膜f保持与第二台阶补偿单元222接触的状态。此时，第一台阶补偿单元221和第二台阶补偿单元222的厚度可与衬底i的厚度实质上相同。
根据本发明另一实施方式，在通过冲压施压单元300将柔性膜f按压到衬底i之前，固定单元600对柔性膜f施压以使柔性膜f与第一台阶补偿单元221接触，其中的厚度与衬底i的厚度相同。随后，在冲压施压单元300使柔性膜f从第一台阶补偿单元221至衬底i连续地进行线接触之后，冲压施压单元300使柔性膜f从衬底i至第二台阶补偿单元222连续地进行线接触。最后，布置成与第二台阶补偿单元222相对的固定单元600使柔性膜f保持与第二台阶补偿单元222接触的状态。
由此，根据本发明一实施方式的压印设备1将压力施加至衬底i的端部为止，从而能够防止在衬底i的端部处产生褶皱，并且能够防止因褶皱而产生的柔性膜f与衬底i剥离的现象。
在冲压施压单元300解除对于柔性膜f的施压的情况下，柔性膜f可与衬底i分离。
接着，如图5c中所示，紫外灯500使涂覆在衬底i上的树脂固化。由此，在布置有经固化的树脂的衬底i上形成图案。
在下文中，参照图6a和图6b对根据本发明又一实施方式的压印设备进行详细说明。
图6a和图6b为根据本发明又一实施方式的压印设备的放大示意图。
根据本发明又一实施方式，如图6a和图6b中所示，台200还可包括驱动台230。
主台210的宽度可与衬底i的宽度相同。
驱动台230可布置在主台210的相对的两个侧面处。
驱动台230能够相对于主台210进行相对移动。如图6a中所示，驱动台230的侧面可布置成与主台210的侧面相隔开。此外，如图6b中所示，驱动台230可进行移动以使驱动台230的侧面与主台210的侧面接触。即，在柔性膜f通过冲压施压单元300被施压而与衬底i接触之前，驱动台230可进行移动以使台阶补偿单元221、222与衬底i接触。
台阶补偿单元221、222可分别布置在布置于主台210的两个侧面处的驱动台230上。
根据本发明又一实施方式的压印设备将均匀的压力施加至衬底i的端部为止，从而能够防止在衬底i的端部产生褶皱，并且能够防止因褶皱而产生的柔性膜f与衬底i剥离的现象。
在下文中，参照图7a和图7b对根据本发明又一实施方式的压印设备进行详细说明。
图7a和图7b为根据本发明又一实施方式的压印设备的放大示意图。
根据本发明又一实施方式，如图7a和图7b中所示，台200还可包括驱动台230。
主台210的宽度可大于衬底i的宽度。
驱动台230可布置在主台210的相对的两个侧面处。
驱动台230能够相对于主台210进行相对移动。如图7a中所示，驱动台230的侧面可布置成与主台210的侧面相隔开。此外，如图7b中所示，驱动台230可进行移动以更加靠近主台210的侧面。即，在柔性膜f通过冲压施压单元300被施压而与衬底i接触之前，驱动台230可进行移动使得台阶补偿单元221、222与衬底i接触。
台阶补偿单元221、222可分别布置在布置于主台210的两个侧面处的驱动台230上。此时，台阶补偿单元221、222的宽度可大于驱动台230的宽度。由此，台阶补偿单元221、222可布置成与主台210的至少一部分以及驱动台230的至少一部分重叠。
根据本发明又一实施方式的压印设备将均匀的压力施加至衬底i的端部为止，从而能够防止在衬底i的端部产生褶皱，并且能够防止因褶皱而产生的柔性膜f与衬底i剥离的现象。
上文中所述的本发明并不限于所阐述的实施方式和随附的视图，并且对于本领域普通技术人员显而易见的是，在不脱离本发明技术思想的范围内，能够进行各种置换、变型和改变。
附图标记
f：柔性膜 i：衬底
100：辊对辊单元 110：柔性膜供给辊部
120：柔性膜回收辊部 130：分隔支承部
140：进料辊模块 150：出料辊模块
160：复位支承模块 170：保护膜去除部
200：台 210：主台
221、222：台阶补偿单元 230：驱动台
300：冲压施压单元 310：柔性膜施压部
320：依次接触移动部
400：涂覆单元
Claims (20)
1.压印设备，包括：
辊对辊单元，所述辊对辊单元用于卷绕或重绕柔性膜；
衬底，所述衬底布置成与所述辊对辊单元相对；
台，所述台包括对所述衬底进行支承的主台；
台阶补偿单元，所述台阶补偿单元布置在所述台上；
冲压施压单元，所述冲压施压单元布置成与所述台相对并且对所述柔性膜和所述衬底进行施压；以及
固定单元，所述固定单元布置成与所述台阶补偿单元相对，其中，所述柔性膜位于所述固定单元与所述台阶补偿单元之间。
2.如权利要求1所述的压印设备，其中，所述台阶补偿单元的厚度与所述衬底的厚度相同。
3.如权利要求1所述的压印设备，其中，所述台阶补偿单元布置在所述主台上。
4.如权利要求1所述的压印设备，其中，
所述辊对辊单元包括：
柔性膜供给辊部，所述柔性膜供给辊部上卷绕有所述柔性膜；以及
柔性膜回收辊部，所述柔性膜回收辊部上卷绕有所述柔性膜，并且所述柔性膜回收辊部布置成与所述柔性膜供给辊部相对，以及
其中，所述台阶补偿单元包括：
第一台阶补偿单元，所述第一台阶补偿单元布置在所述衬底与所述柔性膜供给辊部之间；以及
第二台阶补偿单元，所述第二台阶补偿单元布置在所述衬底与所述柔性膜回收辊部之间。
5.如权利要求4所述的压印设备，其中，所述固定单元布置成分别与所述第一台阶补偿单元和所述第二台阶补偿单元相对。
6.如权利要求4所述的压印设备，其中，所述第一台阶补偿单元与所述衬底的一侧面和所述衬底的与一侧面相对的另一侧面中的至少一个接触。
7.如权利要求1所述的压印设备，还包括：
驱动台，所述驱动台布置在所述主台的侧面处，
其中，所述台阶补偿单元布置在所述驱动台上。
8.如权利要求7所述的压印设备，其中，所述驱动台能够相对于所述主台进行相对移动。
9.如权利要求7所述的压印设备，其中，所述主台的宽度与所述衬底的宽度相同。
10.如权利要求7所述的压印设备，其中，所述主台的宽度大于所述衬底的宽度。
11.如权利要求7所述的压印设备，其中，所述台阶补偿单元的宽度大于所述驱动台的宽度。
12.如权利要求7所述的压印设备，其中，所述台阶补偿单元与所述主台的至少一部分和所述驱动台的至少一部分重叠。
13.如权利要求1所述的压印设备，其中，所述台阶补偿单元包括高分子化合物、金属和玻璃中的任一种。
14.如权利要求1所述的压印设备，其中，所述台阶补偿单元为粘性垫、粘合片、真空夹持件、多孔夹持件和静电夹持件中的任一种。
15.如权利要求1所述的压印设备，其中，所述衬底包括形成为凹凸状的图案。
16.压印方法，包括以下步骤：
将涂覆有树脂的衬底布置到台上；
通过固定单元使柔性膜与布置成与所述衬底相邻的台阶补偿单元接触；
使冲压施压单元从所述衬底的与所述台阶补偿单元相邻的一端部朝着与所述一端部相对的另一端部移动，使得所述柔性膜与涂覆有树脂的所述衬底接触；以及
通过布置在所述台的上方的紫外灯朝向彼此接触的所述柔性膜和涂覆有树脂的所述衬底照射紫外线。
17.如权利要求16所述的压印方法，其中，所述台包括对所述衬底进行支承的主台，且所述台阶补偿单元包括：
第一台阶补偿单元，所述第一台阶补偿单元布置在所述主台的一端部上；以及
第二台阶补偿单元，所述第二台阶补偿单元布置在所述主台的与所述一端部相对的另一端部上。
18.如权利要求17所述的压印方法，其中，所述通过固定单元使柔性膜与布置成与所述衬底相邻的台阶补偿单元接触的步骤包括以下步骤：
通过所述固定单元使所述柔性膜与所述第一台阶补偿单元接触。
19.如权利要求17所述的压印方法，其中，所述通过布置在所述台的上方的紫外灯朝向彼此接触的所述柔性膜和涂覆有树脂的所述衬底照射紫外线的步骤包括以下步骤：
通过所述固定单元使所述柔性膜与所述第二台阶补偿单元接触。
20.如权利要求16所述的压印方法，其中，在所述通过固定单元使柔性膜与布置成与所述衬底相邻的台阶补偿单元接触的步骤之前，还包括以下步骤：
通过驱动台移动所述台阶补偿单元使得所述台阶补偿单元与所述衬底的侧面接触。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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