JP6032492B2 - 微細パターン形成方法、及び微細パターン形成装置 - Google Patents
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Description
所定の微細パターンが形成されたシート状の湾曲可能な薄板モールドを、予め表面にUV硬化樹脂が塗布されたUV光を透過する基板の上方に保持部材によって所定の角度で張力をかけて傾けて保持し、
前記薄板モールドの上方に設置した第1押圧ロールを前記薄板モールドの上方から降下させた後、前記第1押圧ロールによって前記薄板モールドを前記UV硬化樹脂に対して所定の圧力で押圧しながら、前記第1押圧ロールと第2押圧ロールを横方向に固定した状態で、前記基板が取り付けられた支持台を横方向へ移動させることにより、前記薄板モールドの表面を前記UV硬化樹脂に対して順次接触させ、
前記薄板モールドと前記UV硬化樹脂の接触部に対して、前記基板の下方から前記UV光を照射することで、前記基板上に塗布された前記UV硬化樹脂を硬化させ、
前記薄板モールドと前記基板を離型させ、更に、
前記薄板モールドは、前記薄板モールドの一端が、前記基板を支持する支持台に連結された状態で、前記基板の上方に前記保持部材によって所定の角度で張力をかけて傾けて保持されている、
ことを特徴とする微細パターン形成方法である。
前記薄板モールドと前記基板を離型させる際、前記第1押圧ロールを逆方向へ相対的に移動させることで、前記薄板モールドと前記基板を順次離型させる、ことを特徴とする上記第1の本発明の微細パターン形成方法である。
前記第1押圧ロールを前記相対的に移動させる際、前記薄板モールドを保持する前記保持部材を前記第1押圧ロールの前記移動と同期して垂直方向へ移動させることにより、前記薄板モールドが前記基板の表面に対して成す角度を一定に保つ、ことを特徴とする上記第1又は2の本発明の微細パターン形成方法である。
前記第1押圧ロールの位置を基準として、前記保持部材とは反対側であって、前記薄板モールドの上方に設置された第2押圧ロールを、前記第1押圧ロールの前記降下と同期して降下させた後、所定の圧力で前記薄板モールドを押圧する、ことを特徴とする上記第1〜3の何れか一つの本発明の微細パターン形成方法である。
前記UV光を、前記第1押圧ロールと前記第2押圧ロールとの間の前記UV硬化樹脂に対して照射する、ことを特徴とする上記第4の本発明の微細パターン形成方法である。
前記基板の下方から前記UV光を照射する際、前記基板の下方に設置された遮光マスクを介して前記UV光を照射する、ことを特徴とする上記第1〜5の何れか一つの本発明の微細パターン形成方法である。
前記基板へ前記UV光を照射する際、照射に用いるUV光源を前記相対的な移動方向と垂直な基板幅方向に揺動させながら照射する、ことを特徴とする上記第1〜6の何れか一つの本発明の微細パターン形成方法である。
UV光源には、広がり角が5度以下にコリメートされた光源を用いる、ことを特徴とする上記第6の本発明の微細パターン形成方法である。
前記基板と前記基板の下方に設置された遮光マスクの間、および前記遮光マスクと前記基板を支持する支持台の間に、一定の厚みを有するスペーサー、又は微細な突起を有するフィルムを挿入する、ことを特徴とする上記第6の本発明の微細パターン形成方法である。
予め表面にUV硬化樹脂が塗布されたUV光を透過する基板と、
前記基板を支持する支持台と、
前記基板の上に配置された、所定の微細パターンが形成されたシート状の湾曲可能な薄板モールドと、
前記薄板モールドの上方に配置され、前記基板を基準として上昇・降下が可能な第1押圧ロールと、
前記基板の下方に設置されたUV光源と、を備え、
前記支持台は、前記薄板モールドとともに前記第1押圧ロールに対して相対的に横方向に移動可能であり、
前記第1押圧ロールが前記薄板モールドを押圧する際、前記薄板モールドの少なくとも一端側は、保持部材により前記UV硬化樹脂に対して持ち上げられており、
前記薄板モールドの他端側の所定位置において、前記薄板モールドは第2押圧ロールにより前記UV硬化樹脂に対して押圧されており、
前記基板の表面の前記UV硬化樹脂に前記UV光源からのUV光を照射する際に、前記第1押圧ロールと前記第2押圧ロールとを横方向に固定した状態で、前記基板が取り付けられた支持台を横方向へ移動させ、前記第1押圧ロールと前記第2押圧ロールの間の前記UV硬化樹脂に対し前記UV光源からのUV光を照射する
ことを特徴とする微細パターン形成装置である。
以下に、本発明における一実施の形態を説明する。図1に、本実施の形態の微細パターンの形成方法、及び微細パターン形成装置の模式図を示す。
12 モールド固定冶具
13 角度調整ロール
14 張力冶具
15 第1押圧ロール
16 第2押圧ロール
17 UV硬化樹脂
18 基板
19 支持台
20 第1スペーサー
21 遮光マスク
22 第2スペーサー
23 UV−LED光源
24 反射ミラー
25 UV光
26 基板固定冶具
31 微細円柱形状
32 微細パターン
41 PET基材
42 微細突起
51 ローラー
52 モールド
53 被転写膜
54 基板
55 UV照射器
61 モールド
62 基板
63 UV硬化樹脂
64 UV光
113 第2の角度調整ロール
114 第2の張力冶具
Claims (10)
- 所定の微細パターンが形成されたシート状の湾曲可能な薄板モールドを、予め表面にUV硬化樹脂が塗布されたUV光を透過する基板の上方に保持部材によって所定の角度で張力をかけて傾けて保持し、
前記薄板モールドの上方に設置した第1押圧ロールを前記薄板モールドの上方から降下させた後、前記第1押圧ロールによって前記薄板モールドを前記UV硬化樹脂に対して所定の圧力で押圧しながら、前記第1押圧ロールと第2押圧ロールを横方向に固定した状態で、前記基板が取り付けられた支持台を横方向へ移動させることにより、前記薄板モールドの表面を前記UV硬化樹脂に対して順次接触させ、
前記薄板モールドと前記UV硬化樹脂の接触部に対して、前記基板の下方から前記UV光を照射することで、前記基板上に塗布された前記UV硬化樹脂を硬化させ、
前記薄板モールドと前記基板を離型させ、更に、
前記薄板モールドは、前記薄板モールドの一端が、前記基板を支持する支持台に連結された状態で、前記基板の上方に前記保持部材によって所定の角度で張力をかけて傾けて保持されている、
ことを特徴とする微細パターン形成方法。 - 前記薄板モールドと前記基板を離型させる際、前記第1押圧ロールを逆方向へ相対的に移動させることで、前記薄板モールドと前記基板を順次離型させる、ことを特徴とする請求項1に記載の微細パターン形成方法。
- 前記第1押圧ロールを前記相対的に移動させる際、前記薄板モールドを保持する前記保持部材を前記第1押圧ロールの前記移動と同期して垂直方向へ移動させることにより、前記薄板モールドが前記基板の表面に対して成す角度を一定に保つ、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の微細パターン形成方法。
- 前記第1押圧ロールの位置を基準として、前記保持部材とは反対側であって、前記薄板モールドの上方に設置された第2押圧ロールを、前記第1押圧ロールの前記降下と同期して降下させた後、所定の圧力で前記薄板モールドを押圧する、ことを特徴とする請求項1〜3の何れか一つに記載の微細パターン形成方法。
- 前記UV光を、前記第1押圧ロールと前記第2押圧ロールとの間の前記UV硬化樹脂に対して照射する、ことを特徴とする請求項4に記載の微細パターン形成方法。
- 前記基板の下方から前記UV光を照射する際、前記基板の下方に設置された遮光マスクを介して前記UV光を照射する、ことを特徴とする請求項1〜5の何れか一つに記載の微細パターン形成方法。
- 前記基板へ前記UV光を照射する際、照射に用いるUV光源を前記相対的な移動方向と垂直な基板幅方向に揺動させながら照射する、ことを特徴とする請求項1〜6の何れか一つに記載の微細パターン形成方法。
- UV光源には、広がり角が5度以下にコリメートされた光源を用いる、ことを特徴とする請求項6に記載の微細パターン形成方法。
- 前記基板と前記基板の下方に設置された遮光マスクの間、および前記遮光マスクと前記基板を支持する支持台の間に、一定の厚みを有するスペーサー、又は微細な突起を有するフィルムを挿入する、ことを特徴とする請求項6に記載の微細パターン形成方法。
- 予め表面にUV硬化樹脂が塗布されたUV光を透過する基板と、
前記基板を支持する支持台と、
前記基板の上に配置された、所定の微細パターンが形成されたシート状の湾曲可能な薄板モールドと、
前記薄板モールドの上方に配置され、前記基板を基準として上昇・降下が可能な第1押圧ロールと、
前記基板の下方に設置されたUV光源と、を備え、
前記支持台は、前記薄板モールドとともに前記第1押圧ロールに対して相対的に横方向に移動可能であり、
前記第1押圧ロールが前記薄板モールドを押圧する際、前記薄板モールドの少なくとも一端側は、保持部材により前記UV硬化樹脂に対して持ち上げられており、
前記薄板モールドの他端側の所定位置において、前記薄板モールドは第2押圧ロールにより前記UV硬化樹脂に対して押圧されており、
前記基板の表面の前記UV硬化樹脂に前記UV光源からのUV光を照射する際に、前記第1押圧ロールと前記第2押圧ロールとを横方向に固定した状態で、前記基板が取り付けられた支持台を横方向へ移動させ、前記第1押圧ロールと前記第2押圧ロールの間の前記UV硬化樹脂に対し前記UV光源からのUV光を照射する
ことを特徴とする微細パターン形成装置。
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