JP6587124B2 - インプリント装置及びインプリント方法 - Google Patents
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以下、図面を参照しながら本発明の各実施の形態について説明する。図面は例示であり、説明のために特徴部を誇張することがあり、実物とは異なる場合がある。なお、以下の各図において、同一部分には同一の符号を付している。
図9及び図10に示すように、本実施の形態にかかるインプリント用モールド11は、シート状に形成され、その対向する一対の面のうちの一方の面に、例えば、互いに隣接する第1パターン領域12と第2パターン領域13とが形成されている。図9の例においては、ドットを付して示した矩形の領域が、第1パターン領域12を示し、第1パターン領域12の周囲を囲んだ矩形枠状の領域が、第2パターン領域13を示している。本実施の形態では、一例として、第1パターン領域12及び第2パターン領域13の輪郭が共に矩形に形成されているが、これらは他の形状に形成されていてもよい。また、インプリント用モールド11は、ダミーパターンとなる第2パターン領域13を含むことなく、第1パターン領域12のみで形成されていてもよい。
次に上述したインプリント用モールド11を使用したインプリント装置及びインプリント方法について、以下に説明する。
ステージ2上の被転写物100はメカクランプや真空吸着等によりステージ2上に固定され、ステージ2と一体となって動作する。
メカクランプを用いる場合、クランプ部がプレスされることを避けるため、側面から固定するようにし、クランプ部が被転写物100の最表面よりも上に出ない構成とする。
また、被転写物100をステージ2上に載置したことによりステージ2上に1mm以上の段差が生じている場合ローラーが段差を乗り越えられない可能性があるためステージ上に段差を緩和するような治具を用いることが望ましい。
なお、構成が簡便となるためステージ2を移動させて押圧させているが、ステージ2とモールド11に対してローラー部50が相対的に同様の移動となればローラー部50側を移動させても構わない。
次に本発明の変形例について述べる。ベース1上でステージ2は水平方向に移動可能となっているが、この移動速度を可変としてもよい。
2 ステージ
3 モールドガイド
5 モールド保持部
5a スプリング部
6 把持体
7 モールド規制具
10 インプリント装置
11 インプリント用モールド
11a 一端
11b 他端
50 ローラー部
60 光照射装置
100 被転写物
101 転写基板
103 被成形材料
104 転写層
Claims (9)
- 被転写物が配置されるステージと、
前記被転写物上に載置され、パターンを含む可撓性をもつインプリント用モールドと、
前記モールドの一端をスプリング部を介して保持するモールド保持部と、
前記モールド上に回転自在に設けられ、前記ステージに対して水平方向に相対的に移動させることにより、前記被転写物に対して前記モールドを自由端となる他端側から押圧して前記モールドのパターンを前記被転写物に対して転写するローラー部と、
前記被転写物に対してエネルギを照射して前記被転写物を硬化させるエネルギ付与部と、を備えたことを特徴とするインプリント装置。 - 前記被転写物上に前記モールドを供給するモールドガイドを設けるとともに、前記モールド保持部を前記モールドガイドに設置したことを特徴とする請求項1記載のインプリント装置。
- 前記被転写物は転写基板と、この転写基板上に設けられた光硬化性樹脂からなる転写層とを有し、
前記エネルギ付与部は前記転写層を露光する光照射装置を有することを特徴とする請求項1記載のインプリント装置。 - 前記被転写物は転写基板と、この転写基板上に設けられた光硬化性樹脂からなる転写層とを有し、
前記エネルギ付与部は前記転写層を露光する光照射装置を有することを特徴とする請求項2記載のインプリント装置。 - 前記モールドガイドに、前記被転写物の初期位置を規制する規制具を設けたことを特徴とする請求項2または4記載のインプリント装置。
- 前記スプリング部は定荷重バネを含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか記載のインプリント装置。
- 前記スプリング部は、前記ローラー部を前記ステージに対して水平方向に相対的に前記一端側から前記他端側へ移動させることにより、前記モールドを前記被転写物から剥離する剥離装置となることを特徴とする請求項1乃至6いずれか記載のインプリント装置。
- ステージ上に被転写物を配置する工程と、
前記被転写物上にパターンを含む可撓性をもつインプリント用モールドを載置するとともに、前記モールドの一端をスプリング部を介してモールド保持部により保持する工程と、
前記モールド上に回転自在に設けられたローラー部を用い、前記ステージを前記ローラー部に対して相対的に一方向へ移動させることにより、前記被転写物に対して前記モールドを自由端となる他端側から押圧して前記モールドのパターンを前記被転写物に対して転写する工程と、
前記被転写物に対してエネルギ付与部からエネルギを照射して前記被転写物を硬化させる工程と、
を備えたことを特徴とするインプリント方法。 - 前記ローラー部を前記ステージに対して水平方向に相対的に前記一端側から前記他端側へ移動させることにより、前記スプリング部により前記モールドを前記被転写物から剥離することを特徴とする請求項8記載のインプリント方法。
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