JP5559574B2 - 転写方法 - Google Patents
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Description
ローラ140を移動する場合、ローラ140を固定し、基板110を矢印M方向との逆方向に直線的に移動させてもよい。これらの移動時には、モールド130は定位置に固定されている。
(1)前記押圧部材の移動速度を、紫外線硬化樹脂の量が多い所では遅くし、紫外線硬化樹脂の量が少ない所では速くする。
(2)前記押圧部材で前記モールドにかける圧力を、紫外線硬化樹脂の量が多い所では大きくし、紫外線硬化樹脂の量が少ない所では小さくする。
2 紫外線硬化樹脂
3 モールド
7 ローラ
8 移動始端
9 移動終端
Claims (2)
- 微細な転写パターンが形成されたシート状のモールドのパターン形成面を基板上に設けられた紫外線硬化樹脂に対向させ、押圧部材によって前記モールドを紫外線硬化樹脂に押圧した状態で押圧部材又は基板の少なくとも一方を他方に対して相対的に直線的に移動させながら紫外線硬化樹脂を硬化させて前記転写パターンを紫外線硬化樹脂に転写する転写方法において、
前記移動方向における移動終端側の紫外線硬化樹脂の量が移動始端側の紫外線硬化樹脂の量よりも少なくなるように紫外線硬化樹脂を基板上に設け、
前記押圧部材の制御を、以下の(1)、(2)のいずれか又は両方によって行うことを特徴とする転写方法。
(1)前記押圧部材の移動速度を、紫外線硬化樹脂の量が多い所では遅くし、紫外線硬化樹脂の量が少ない所では速くする。
(2)前記押圧部材で前記モールドにかける圧力を、紫外線硬化樹脂の量が多い所では大きくし、紫外線硬化樹脂の量が少ない所では小さくする。 - 請求項1記載の転写方法であって、
前記紫外線硬化樹脂は、以下の(1)〜(4)のいずれか又は組み合わせによって基板上に設けられていることを特徴とする転写方法。
(1)前記移動始端側から移動終端側に向かって紫外線硬化樹脂の厚さが連続して次第に薄くなるように設ける。
(2)前記移動始端側から移動終端側に向かって紫外線硬化樹脂の厚さが階段状に薄くなるように設ける。
(3)前記移動方向と交差する方向における紫外線硬化樹脂の幅が前記移動始端側から移動終端側に向かって連続して次第に小さくなるように設ける。
(4)前記移動方向と交差する方向における紫外線硬化樹脂の幅が前記移動始端側から移動終端側に向かって階段状に小さくなるように設ける。
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