JP2011216810A - 転写装置及び転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板2における複数の部位の厚さを測定する厚さ測定手段11と、基板1の厚さ方向の一方の面に、薄膜状の紫外線硬化樹脂を設置する紫外線硬化樹脂設置手段12と、基板1の各部位における厚さと、紫外線硬化樹脂設置手段12で設置される基板1の各部位における紫外線硬化樹脂3の膜厚との和が一定になるように厚さ測定手段11の測定結果に応じて紫外線硬化樹脂設置手段12で設置する紫外線硬化樹脂3の量を制御する制御手段9と、微細な転写パターンが外周に形成されている型14により基板1の紫外線硬化樹脂3を押圧し、型14を回転させつつ基板1を移動することによって押圧する部位を移動し、押圧部位に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化して転写する転写手段13とを有する。
【選択図】図1
Description
2 基板
3、3a 紫外線硬化樹脂
5 第1ステーション
7 第2ステーション
9 制御手段
11 第1厚さセンサ
12 第1塗工ノズル
13 第1転写手段
14 第1転写ローラ
15 第1バックアップローラ
16 第1光源
21 第2厚さセンサ
22 第2塗工ノズル
23 第2転写手段
24 第2転写ローラ
25 第2バックアップローラ
Claims (4)
- 平板状の基板に設けられた紫外線硬化樹脂に、型に形成されている微細な転写パターンを転写する転写装置において、
前記基板における複数の部位の厚さを測定する厚さ測定手段と、
前記基板の厚さ方向の一方の面に、薄膜状の紫外線硬化樹脂を設置する紫外線硬化樹脂設置手段と、
前記基板の各部位における厚さと、前記紫外線硬化樹脂設置手段で設置される前記基板の各部位における紫外線硬化樹脂の膜厚との和が一定になるように前記厚さ測定手段の測定結果に応じて、前記紫外線硬化樹脂設置手段で設置する紫外線硬化樹脂の量を制御する制御手段と、
前記微細な転写パターンが外周に形成されている前記型により前記基板の紫外線硬化樹脂を押圧し、前記型を回転させつつ前記基板を移動することによって押圧する部位を移動し、前記押圧部位に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化して転写する転写手段と、
を有することを特徴とする転写装置。 - 請求項1に記載の転写装置において、
前記微細な転写パターンが形成されている型と、バックアップローラとによって前記基板と前記紫外線硬化樹脂とを挟み込んで前記押圧が行われることを特徴とする転写装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の転写装置において、
前記厚さ測定手段と紫外線硬化樹脂設置手段と転写手段とが前記基板の搬送路に沿って2組が設けられており、
前記搬送路の下流側における厚さ測定手段、紫外線硬化樹脂設置手段及び転写手段は、上流側の転写手段によって形成された基板及び基板上の硬化後の紫外線硬化樹脂に対してそれぞれの処理を行うことを特徴とする転写装置。 - 平板状の基板に設けられた紫外線硬化樹脂に、型に形成されている微細な転写パターンを転写する転写方法において、
前記基板における複数の部位の厚さを測定する厚さ測定段階と、
前記基板の厚さ方向の一方の面に、薄膜状の紫外線硬化樹脂を設置する紫外線硬化樹脂設置段階と、
前記基板の各部位における厚さと、前記基板の各部位における紫外線硬化樹脂の膜厚との和が一定になるように前記厚さ測定段階の測定結果に応じて、前記紫外線硬化樹脂設置段階で設置する紫外線硬化樹脂の量を制御する段階と、
前記微細な転写パターンが外周に形成されている前記型により前記基板上の紫外線硬化樹脂を押圧し、前記型を回転させつつ前記基板を移動することによって押圧する部位を移動し、前記押圧部位に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化して転写する転写段階と、
を有することを特徴とする転写方法。
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