TWI608917B - 被成形體組裝體、被成形體組裝體之製造裝置及被成形體組裝體之製造方法 - Google Patents

Description

被成形體組裝體、被成形體組裝體之製造裝置及被成形體組裝體之製造方法

本發明是關於被成形體組裝體、被成形體組裝體之製造裝置及被成形體組裝體之製造暨使用方法，特別是關於從模子在被成型體轉印有微細轉印圖案的被成型品(轉印成型品)。

近年來，已研究開發有以電子束光刻等方法在石英基板等形成有超微細轉印圖案藉此製成模具(模子)，將上述模具以指定的壓力推壓被成型品，對被成型品轉印該模具上所形成之轉印圖案的納米壓印技術(例如參閱非專利文獻1)。

該納米壓印技術以例子進行說明時，如第12(a)圖所示，事先將模子301和被成形體309設置成相向。

模子301，其由模子用基材303和轉印圖案形成體305所構成，微細轉印圖案(以下簡稱轉印圖案)307，乃形成在轉印圖案形成體305。被成形體309，其由被 成形體用基材311和被成形物313所構成。被成形物313例如採用未固化之紫外線固化樹脂。

從第12(a)圖所示狀態降下模子301，如第12(b)圖所示，使模子301接觸被成形體309，以模子301推壓被成形體309並且照射紫外線使被成形物313固化。

然後，如第12(d)圖所示，將模子301從被成形體309脫離，就可獲得已轉印有轉印圖案315的被成形體309。

[先行技術文獻]

[非專利文獻]

非專利文獻1：Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology25(2001)192-199

然而，第12(d)圖所示之形成有轉印圖案315的被成形體309，例如是使用做為智慧型手機之顯示部的光學薄膜。但是，以第12(d)圖所示狀態搬運，並且組入智慧型手機等製品時，會有搬運時及組裝時恐怕損傷到轉印圖案的問題。

本發明，乃有鑑於上述問題點而為的發明，目的在於提供一種能夠極力免除擔心損傷到經由轉印形成 在被成形體之轉印圖案的被成形體組裝體、被成形體組裝體之製造裝置及被成形體組裝體之製造暨使用方法。

本發明之第1形態為被成形體組裝體，其主旨為具有被成形體及模子，該模子，其形成為薄片狀，於厚度方向之一方的面形成有微細轉印圖案，藉由將上述微細轉印圖案轉印在上述被成形體而貼附在上述被成形體藉此保護形成在上述被成形體之微細轉印圖案。

上述轉印，也可使用從捲繞成滾筒狀之模子原料延伸出來的未切斷模子之一部份執行。上述模子，也可以是上述未切斷模子在長度方向之指定部位切斷後形成的模子。於上述模子之長度方向，上述模子的尺寸也可形成為比上述被成形體的尺寸還大。上述模子之長度方向的兩端部也可從上述被成形體的兩端僅延伸出指定長度。

本發明的第2形態為上述第1形態相關之被成形體組裝體的製造暨使用方法，其主旨為，具有：將上述模子之微細轉印圖案轉印在上述被成形體的轉印步驟；將經由上述轉印步驟的轉印而形成為彼此貼附的上述模子和上述被成形體搬運至指定場所的搬運步驟；及從上述搬運步驟所搬運過來的被成形體組裝體撕開上述模子的撕開步驟。

本發明第3形態為上述第1形態相關之被成形體組裝體的製造裝置，其主旨為，具有：要設置且保持 被成形體用的被成形體保持體；要設置有模子原料的原料滾筒設置部；保持著從上述模子原料延伸出來之未切斷模子的前端部，對上述被成形體保持體成移動的模子保持體；將上述未切斷模子之微細轉印圖案轉印至設置且保持在上述被成形體保持體之被成形體的轉印部；將上述未切斷模子在其長度方向的指定部位切斷的切斷部；及控制上述被成形體保持體和上述模子保持體和上述轉印部及上述切斷部用的控制部，該控制部構成為於上述被成形體設置且保持在上述被成形體保持體，上述原料滾筒設置部設有模子原料，上述模子保持體保持著上述未切斷模子之前端部的狀態下，執行下述控制：使上述未切斷模子之微細轉印圖案和設置且保持在上述被成形體保持體的被成形體成為相向地移動上述模子保持體，將上述未切斷模子從設置在上述原料滾筒設置部的模子原料拉出，以上述轉印部將未切斷模子之微細轉印圖案轉印至設置且保持在上述被成形體保持體的被成形體，解除上述被成形體保持體之上述被成形體的保持，直到經由上述轉印而貼附在上述未切斷模子的被成形體於上述未切斷模子之長度方向從上述被成形體保持體離開為止移動上述模子保持體，使上述未切斷模子和上述形成貼附的被成形體一起從設置在上述原料滾筒設置部的模子原料更加拉出，將上述未切斷模子利用上述切斷部，於設置在上述原料滾筒設置部之模子原料側的遠離上述形成貼附的被成形體的指定部位切斷。

根據本發明時，可達到能夠極力免除擔心損傷到經由轉印形成在被成形體的微細轉印圖案。

1‧‧‧被成形體組裝體

3‧‧‧被成形體

5‧‧‧模子

7‧‧‧轉印圖案(微細轉印圖案)

9‧‧‧轉印圖案(微細轉印圖案)

11‧‧‧模子原料(原料滾筒)

13‧‧‧未切斷模子

15‧‧‧模子用基材

17‧‧‧轉印圖案形成體

19‧‧‧轉印圖案形成體不存在部

21‧‧‧被成形體用基材

23‧‧‧被成形物

25‧‧‧被成形物不存在部

27‧‧‧非緊貼部位

29‧‧‧被成形體組裝體製造裝置

31‧‧‧被成形體保持體

33‧‧‧原料滾筒設置部(模子原料設置部)

35‧‧‧模子保持體

37‧‧‧轉印部

39‧‧‧切斷部

41‧‧‧控制部

43‧‧‧臨時保持部

45(45A、45B)‧‧‧導輥

47‧‧‧底座體

49‧‧‧被成形體設置面

51‧‧‧推壓輥

53‧‧‧紫外線產生裝置

55‧‧‧夾具

57‧‧‧裁刀

301‧‧‧模子

303‧‧‧模子用基材

305‧‧‧轉印圖案形成體

307‧‧‧轉印圖案(微細轉印圖案)

309‧‧‧被成形體

311‧‧‧被成形體用基材

313‧‧‧被成形物

315‧‧‧轉印圖案

C1‧‧‧軸

C2‧‧‧旋轉中心軸

C3、C4‧‧‧軸

第1圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的概略構成圖。

第2圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第3圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第4圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第5圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第6圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第7圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第8圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第9圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第10圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第11圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體之製造裝置的動作圖。

第12(a)圖~第12(d)圖為轉印的說明圖。此外，第12(c)圖為表示本發明實施形態相關的被成形體組裝體的概略構成圖。

[發明之實施形態]

本發明實施形態相關的被成形體組裝體1，如第12(c)圖所示，其具備有被成形體3和模子5。

被成形體3和模子5，分別形成為薄片狀(薄膜狀)。

模子5，其具有形成在其厚度方向之一方的面之微細轉印圖案(以下簡稱轉印圖案)7。模子5，其藉由轉印有轉印圖案7，例如在轉印有圖案的狀態下貼附在在被成形體3，藉由維持該貼附來保護已經形成在被成形體3的微細轉印圖案(以下簡稱轉印圖案)9。

模子5，其構成為可從被成形體3撕開。在被成形體3形成有轉印圖案9之後，於被成形體3做為製品或半成品使用時，將模子5從被成形體3撕開。

就被成形體組裝體1而言，乃於被成形體3貼附有模子5，彼此形成為重疊著。被成形體3的厚度方 向和模子5的厚度方向彼此為一致。此外，模子5之形成有轉印圖案7的面和被成形體3之轉印有轉印圖案9的面彼此為緊貼著。

具有轉印圖案9的被成形體3，例如使用在智 慧型手機(多功能行動電話)或平板電腦PC(板狀的行動電腦)的圖像顯示部做為薄膜等光學元件。此外，該被成形體3，也可做為例如晶圓(wafer)或光罩基板(例如6025光罩基板)使用。

被成形體組裝體1的轉印，乃使用從捲繞成 滾筒狀的模子原料(原料滾筒)11延伸出來的帶狀未切斷模子(長模)13的一部份(參閱第1圖等)執行。

模子5，其由從模子原料11延伸出來的帶狀 未切斷模子13在長度方向之指定部位切斷後形成。

如第12(c)圖所示，就模子5的長度方向[第 12(c)圖的左右方向]而言，模子5的尺寸形成為比被成形體3的尺寸還大。此外，模子5之長度方向的兩端部從被成形體3的兩端僅延伸出(突出)指定的長度。

轉印圖案7，其間距及高度例如以可視光線之 波長程度的凹凸形成。利用轉印，使轉印圖案7轉印在被成形體3，於被成形體3形成有與轉印圖案7相反形態的轉印圖案9。

模子5，其具備撓性。模子5，大致上可視為 剛體即使施加其厚度方向之正交方向的拉力也完全不會彈性變形。另一方面，模子5，其如紙幣等所示容易被朝厚 度方向翻起成變形。換句話說，模子5會因為朝其厚度方向及長度方向之正交方向延伸的軸轉力距而容易變形。因此，模子5，其於撕開時，就容易從被成形體3翻起。

此外，模子5，其具備薄片狀的基材(模子用基材)15和轉印圖案形成體17[參閱第12(a)圖]。

薄片狀的模子用基材15，例如由紫外線可透過的PET樹脂等樹脂材料形成板狀。

轉印圖案形成體17，例如由紫外線可透過的樹脂形成板狀薄膜狀。轉印圖案形成體17形成用的樹脂為紫外線固化樹脂、熱固性樹脂、熱塑性樹脂等。轉印圖案形成體17，乃以其厚度方向和模子用基材15的厚度方向為一致的狀態，在模子用基材15厚度方向之一方的面設置成與模子用基材15形成為一體。

轉印圖案7，乃形成在轉印圖案形成體17的表面。該表面，其為轉印圖案形成體17厚度方向之一方的面，且與模子用基材15接觸之面為相反的面。另外，轉印圖案7，乃經由形成在未圖示之母模的微細轉印圖案轉印生成。

模子用基材15，例如形成為矩形板狀。模子用基材15的寬度尺寸[第12(c)圖紙面正交方向的尺寸]或長度尺寸[第12(c)圖左右方向的尺寸]，乃比模子用基材15的厚度尺寸[第12(c)圖上下方向的尺寸]還大許多。

轉印圖案形成體17，其同樣地例如形成為矩形板狀。轉印圖案形成體17，乃以其寬度方向與模子用 基材15的寬度方向為一致的狀態且以其長度方向與模子用基材15的長度方向為一致的狀態設置在模子用基材15。

轉印圖案形成體17的寬度尺寸比模子用基材 15的寬度尺寸還小。轉印圖案形成體17的寬度方向中心和模子用基材15的寬度方向中心彼此為一致。

轉印圖案形成體17的長度尺寸比模子用基材 15的長度尺寸還小。轉印圖案形成體17的長度方向中心和模子用基材15的長度方向中心彼此為一致。

如此一來，於模子5的外圍部就會形成有矩 形環狀之轉印圖案形成體不存在部(僅模子用基材的部位)19。

被成形體3雖具備撓性但比模子5的剛性還 高。因此，轉印模子5後，從被成形體3撕開模子5時，被成形體3就不易翻起。

此外，薄片狀的被成形體3，其由薄片狀的基 材(被成形體用基材)21和被成形物23所構成。

薄片狀的被成形體用基材21，例如由PET樹 脂等樹脂材料形成板狀。被成形物23，其由紫外線固化樹脂、熱固性樹脂、熱塑性樹脂等樹脂形成薄膜狀。

被成形體用基材21，其也形成為例如矩形的 板狀。被成形體用基材21的寬度尺寸和模子用基材15的寬度尺寸為相同程度。被成形體用基材21的長度尺寸比模子用基材15的長度尺寸還小。

被成形物23，其也形成為例如矩形的板狀。 被成形物23，乃以其厚度方向和被成形體用基材21的厚度方向為一致的狀態設置在被成形體用基材21厚度方向之一方的面。此外，被成形物23，其寬度方向和被成形體用基材21的寬度方向一致，其長度方向和被成形體用基材21的長度方向一致。

被成形物23的寬度尺寸比被成形體用基材21 的寬度尺寸還小。被成形物23的長度尺寸也比被成形體用基材21的長度尺寸還小。

被成形物23的寬度方向中心和被成形體用基 材21的寬度方向中心彼此為一致。被成形物23的長度方向中心和被成形體用基材21的長度方向中心彼此為一致。

如此一來，於被成形物23的外圍部就會形成 有矩形環狀之被成形物不存在部(僅被成形體用基材21的部位)25。

被成形物23的微細轉印圖案9，乃經由轉印 圖案7的轉印形成在被成形物23的表面(其為厚度方向之一方的面，且與被成形體用基材21接觸面為相反的面)。

當被成形物23為紫外線固化樹脂或熱固性樹 脂時，轉印圖案7轉印之前的被成形物23為未固化的狀態。即，此時的被成形物23為液體(視材質而定有時為黏性液體)。被成形物23，其於轉印時開始固化，於轉印結束時完全固化。

就被成形體組裝體1而言，模子用基材15的 寬度方向和被成形體用基材21的寬度方向彼此為一致。 模子用基材15的長度方向和被成形體用基材21的長度方向彼此為一致。

此外，模子用基材15的寬度方向中心和被成 形體用基材21的寬度方向中心彼此為一致。模子用基材15的長度方向中心和被成形體用基材21的長度方向中心彼此為一致。

如此一來，於被成形體組裝體1的外圍就會 形成有離開被成形體3之模子5的矩形環狀非緊貼部位27。

模子原料11，其為轉印使用前之帶狀未切斷 模子13捲繞成滾筒狀的模子。即，模子原料11，乃帶狀未切斷模子13於圓柱狀的芯材外圍以該外圍的圓周方向和薄片狀未切斷模子13的長度方向彼此為一致的狀態捲繞重疊形成為圓筒狀或圓柱狀。

於未切斷模子13，在模子用基材13(未切斷 模子基材15)的長度方向隔著指定間隔設有複數的轉印圖案形成體17。未切斷模子13，乃於彼此鄰接之轉印圖案形成體17之間的部位切斷生成模子5。

其次，針對被成形體組裝體1的製造暨使用 方法進行說明。

首先，將模子5的轉印圖案7轉印在被成形 體3[參閱第12(a)圖、第12(b)圖；轉印步驟]。

接著，將經由轉印步驟之轉印形成為彼此貼 附的模子5和被成形體3[參閱第12(c)圖]搬運至指定的場 所(搬運步驟)。此時，模子5和被成形體3維持成彼此貼附的狀態。例如：該貼附狀態維持直到執行後續的步驟為止，或者，組裝在製品之後依然維持著該貼附狀態。

然後，從搬運步驟所搬運過來的被成形體組 裝體1撕開模子5，使轉印在被成形體3的轉印圖案9露出[參閱第12(d)圖；撕開步驟]。

其次，針對被成形體組裝體1的製造裝置(被 成形體組裝體製造裝置)29進行說明。

如第1圖等所示，被成形體組裝體製造裝置 29，具備有被成形體保持體31、原料滾筒設置部(模子原料設置部)33、模子保持體35、轉印部37、切斷部39及控制部41。

於被成形體保持體31設置有被成形體3。被 成形體保持體31，其為被成形體3保持用的構件。

於原料滾筒設置部33設置有模子原料11。於 模子原料11設置在原料滾筒設置部33的狀態下，相對於被成形體保持體31之模子原料(設置後的模子原料)11的旋轉中心軸C2之位置為一定。即，設置後的模子原料11的旋轉中心軸C2，其相對被成形體保持體31為不動狀態。

模子保持體(模子引導體)35，其保持著從模子 原料11延伸出來之未切斷模子13的前端部，且相對被成形體保持體31為移動狀態。

轉印部37，乃將未切斷模子13的轉印圖案7 設置在被成形體保持體31，並且轉印在已經被保持之被 成形體3。

切斷部39，乃將未切斷模子13在該未切斷模子13長度方向的指定部位切斷。

控制部(包括CPU的控制部)41，其對被成形體保持體31和原料滾筒設置部33和模子保持體35和轉印部37及切斷部39進行控制如下述所示。

於初期狀態(參閱第2圖)，被成形體3設置且保持在被成形體保持體31。模子原料11設置在原料滾筒設置部33。未切斷模子13從模子原料11稍微延伸出來。模子保持體35，乃在模子原料11的附近保持著未切斷模子13的前端部。

直到未切斷模子13之轉印圖案7與被成形體保持體31上的被成形體3相向為止，模子保持體35乃移動成將未切斷模子13從模子原料11拉出(參閱第3圖)。

被拉出的未切斷模子13，乃以被成形體3為中間，形成為位於被成形體保持體31的相反側位置。此時，未切斷模子13，乃形成為例如稍微離開被成形體3。

模子保持體35的拉出執行後，轉印部37乃將未切斷模子13之微細轉印圖案7轉印至被成形體保持體31上的被成形體3(參閱第4圖~第7圖)。

轉印部37轉印之後，被成形體保持體31就釋放被成形體3(參閱第8圖)。即，被成形體3脫離被成形體保持體31。

被成形體保持體31釋放被成形體3之後，模 子保持體35，乃以被成形體3貼附在未切斷模子13的狀態下，又從模子原料11拉出未切斷模子13直到被成形體3脫離被成形體保持體31為止(參閱第9圖)。

然後，切斷部39，乃將未切斷模子13於遠離 未切斷模子13上所貼附之被成形體3的模子原料11側之指定部位切斷(參閱第10圖、第11圖)。

如此一來，就可獲得第12(c)圖所示的被成形 體組裝體1。

另外，於控制部41的控制下執行上述動作時 ，未切斷模子13，在模子保持體35和模子原料11之間，於其長度方向施有指定的張力。因此，未切斷模子13就會以緊繃狀態延伸著。

如第1圖所示，於製造裝置29設有臨時保持 部43和導輥45(45A、45B)。

如第10圖及第11圖所示，臨時保持部43， 於切斷部39將未切斷模子13切斷時，在控制部41的控制下，乃在未切斷模子13長度方向的指定部位保持未切斷模子13。

當臨時保持部43保持著未切斷模子13，切斷 部39要將未切斷模子13切斷時，從模子原料11延伸出來之未切斷模子13的基端側(模子原料11側)朝前端側(模子保持體35側)，依順序排列有被成形體保持體31(轉印部37)、臨時保持部43、切斷部39、貼附在未切斷模子13上的被成形體3、模子保持體35(參閱第10圖)。

由於切斷部39執行切斷後，臨時保持部43 仍然保持著未切斷模子13，因此在臨時保持部43和模子原料11之間，未切斷模子13還是由指定的張力使其緊繃朝長度方向延伸著。

切斷部39執行切斷後，模子保持體35，乃朝 向未切斷模子13移動，重新保持未切斷模子13新的前端部(參閱第11圖)。然後，臨時保持部43就會釋放未切斷模子13，而模子原料11會捲取未切斷模子13。基於模子原料11的捲取，模子保持體35會移動至模子原料11的附近。另一方面，新的被成形體3會設置在被成形體保持體31，由被成形體保持體31保持著。經由以上的動作，製造裝置29就會恢復成第2圖的初期狀態。

導輥45(45A、45B)，於未切斷模子13的長度 方向，對被成形體保持體31成彼此設置在相反側。導輥45，其構成為於控制部41的控制下移動自如及定位自如在接近暨離開被成形體保持體31的方向。

於未切斷模子13的長度方向，一方的導輥 45A乃稍微離開被成形體保持體31的一端，另一方的導輥45B，乃稍微離開被成形體保持體31的另一端。

當轉印部37轉印時，導輥45(45A、45B)，乃 會使未切斷模子13往被成形體保持體31側適當移動(引導)。

於此，針對被成形體組裝體製造裝置29進行 更加詳細的說明。

為了方便說明，將水平的一方向為X軸方向，將水平的另一方向且對X軸方向成正交的方向為Y軸方向，將對X軸方向和Y軸方向成正交的上下方向為Z軸方向。

被成形體組裝體製造裝置29，其具備底座體47。

被成形體保持體31，其於底座體47設置成一體性。被成形體保持體31，具有形成在其上端的平面(被成形體設置面)49。平面49，其對Z軸方向成正交。被成形體3，例如由真空吸附保持在被成形體保持體31的平面49。

如上述所示，於被成形體用基材21厚度方向之一方的面設有被成形物23。當被成形體3保持在被成形體保持體31時，被成形體用基材21厚度方向之另一方的面(與被成形物23為相反側的面)會面接觸在被成形體設置面49。因此，被成形物23就會在被成形體用基材21的上面。

於模子原料11為設置在原料滾筒設置部33的狀態下，模子原料11，就Z軸方向而言，其位於被成形體保持體31的上側，就X軸方向而言，其離開被成形體保持體31的一端。此外，模子原料11，以延伸在Y軸方向的軸C2為旋轉中心形成旋轉。

模子保持體35，例如：從未切斷模子13的厚度方向把持著未切斷模子13的前端，藉此保持該未切斷 模子13。模子保持體35，就Z軸方向而言，其位於被成形體保持體31的上側。

此外，模子保持體35，其透過未圖示之線性 導向軸承保持在底座體47。模子保持體35，由未圖示之伺服馬達等致動器使其移動及定位在X軸方向。

原料滾筒設置部33，利用馬達等致動器和扭 矩限制器，將未切斷模子13捲取方向的旋轉扭矩賦予在模子原料11。

如此一來，於延伸在模子保持體35和模子原 料11之間的未切斷模子13，就施有指定張力在X軸方向。

未切斷模子13，於延伸在模子保持體35和模 子原料11之間的狀態下，其厚度方向和Z軸方向一致。 此外，未切斷模子13的長度方向(長度方向)和X軸方向一致。未切斷模子13的寬度方向和Y軸方向一致。轉印圖案形成體17位於模子用基材15的下面。

此外，模子保持體35定位後，轉印準備完成 的狀態從Z軸方向看時，未切斷模子13的轉印圖案7與被成形體保持體31上之被成形體3的被成形物23形成重疊。

導輥45(45A、45B)由未圖示之導輥支撐體支撐著，以延伸在Y軸方向的軸C3、C4為中心形成旋轉。導輥支撐體是透過未圖示之線性導向軸承支撐在底座體47，構成為於控制部41的控制下移動及定位在Z軸方向。

轉印部37，具備推壓輥51和紫外線產生裝置 53。

推壓輥51，由未圖示之推壓輥支撐體支撐著 ，以延伸在Y軸方向的軸C1為中心形成旋轉。推壓輥支撐體是透過未圖示之線性導向軸承支撐在底座體47，構成為於控制部41的控制下移動及定位在Z軸方向和X軸方向。

另外，推壓輥51，由致動器等伺服馬達驅動 成以軸C1為中心進行旋轉。

即，於轉印時，推壓輥51，乃於控制部41的 控制下移動及定位在Z軸方向，並與被成形體保持體31合作夾住被成形體3，對被成形體3進行推壓。此外，推壓輥51，其以夾著被成形體3進行推壓的狀態朝X軸方向移動。藉由該移動，形成為與未切斷模子13對位滾動，使未切斷模子13和被成形體3中推壓部位從X軸方向的一端側往另一端側移動。

如此一來，被成形體3的被成形物23全部就 會從X軸方向的一端朝另一端依順序受到推壓。

推壓輥51往X軸方向移動的期間，推壓輥 51會以X軸方向移動速度同步的旋轉速度形成旋轉。如此一來，就能夠防止推壓輥51和未切斷模子13之間的滑動產生。另外，推壓輥51也可構成為以自由狀態(不受旋轉驅動的狀態)旋轉，防止上述滑動產生。

紫外線產生裝置53，其對推壓輥51所推壓之 部位附近的被成形物23照射紫外線，使被成形物23固化。

臨時保持部43，由一對夾具55形成。夾具 55由缸筒等致動器於控制部41的控制下移動在Z軸方向，從未切斷模子13的厚度方向把持未切斷模子13，藉此保持著未切斷模子13。

另外，夾具55，於X軸方向，以導輥45B為 中間形成位於與被成形體保持體31為相反側的位置。

切斷部39，由一對的裁刀57構成。裁刀57 ，於控制部41的控制下，由缸筒等致動器移動在Z軸方向，在未切斷模子13的厚度方向夾住並切斷未切斷模子13。

另外，裁刀57，就X軸方向而言，其以夾具 55為中間形成位於與導輥45B為相反側的位置。

此外，模子保持體35，於Z軸方向，其位於 被成形體保持體31的上側，並且，位於導輥45的下側。 另外，模子保持體35，於Z軸方向位於各夾具55之間，且位於各裁刀57之間。接著，模子保持體35構成為朝X軸方向移動。

其次，針對被成形體組裝體製造裝置29的動 作進行說明。

如第2圖所示，就上述所示之初期狀態而言 ，被成形體3設置且保持在被成形體保持體31。未切斷模子13從設置在原料滾筒設置部33的模子原料11延伸出來。未切斷模子13的前端由模子保持體35保持著。導輥45為上昇。此外，推壓輥51為上昇，並且，位於X軸 方向的一端。紫外線產生裝置53並未產生紫外線。夾具55和裁刀57為張開著。

從該初期狀態，於控制部41的控制下，模子 保持體35，乃於裁刀57的近旁，移動至裁刀57之X軸方向的另一端側之位置(參閱第3圖)。就該狀態而言，未切斷模子13的轉印圖案形成體17(第1圖~第11圖中未圖示)乃離開被成形體3而位於被成形體3的正上方。

接著，導輥45會下降(參閱第4圖)。就第4 圖所示的狀態而言，位於各輥45A、45B之間的未切斷模子13是接觸被成形體3。

接著，推壓輥51會下降，與被成形體保持體 31合作夾住被成形體3和未切斷模子13，對被成形體3和未切斷模子13進行推壓。再加上，推壓輥51會從X軸方向的一端側移動至另一端側。此時，紫外線產生裝置53會產生紫外線使被成形物23固化。利用上述一連貫的動作執行轉印(參閱第5圖、第6圖)。

然後，推壓輥51會上昇(參閱第7圖)，被成 形體保持體31會結束被成形體3的保持(釋放被成形體3)。當導輥45上昇時，被成形體3會因為未切斷模子13的張力關係而使其貼附在未切斷模子13的同時上昇，離開被成形體保持體31(參閱第8圖)。

接著，於被成形體3貼附在未切斷模子13的 狀態下，模子保持體35會移動直到位於裁刀57的另一端側為止(參閱第9圖)。

然後，臨時保持部43會保持著未切斷模子13 ，切斷部39會切斷未切斷模子13(參閱第10圖)。

接著，張開裁刀57，結束模子保持體35對模 子5[被成形體組裝體1，參閱第12(c)圖]的保持(釋放被成形體組裝體1)。然後，被成形體組裝體1，就會經由未圖示的機器人等從被成形體組裝體製造裝置29搬出。模子保持體35，其會在臨時保持部43的近旁重新保持未切斷模子13新的端部(參閱第11圖)。

接著，臨時保持部43就會結束未切斷模子13 的保持(釋放未切斷模子13)。然後，模子保持體35會從X軸方向的另一端側移動至一端側，製造裝置29就會恢復成第2圖所示的初期狀態。

根據本實施形態的被成形體組裝體1時，模 子5會經由轉印圖案7的轉印而貼附在被成形體3的同時保護形成在被成形體3的轉印圖案9。模子5，其直到轉印圖案9露出在外部為止都是貼附在被成形體3。因此，不需另外設置保護膜，就能夠極力免除擔心損傷到被成形體3之轉印圖案9。

被成形體組裝體1，乃於模子5貼附在被成形 體3的狀態下搬運至後續步驟。或者，被成形體組裝體1，乃以上述狀態做為製品的一部份加以組裝、搬運，進而販售。被成形體3，其由貼附在該被成形體3的模子5保護著，因此對轉印圖案9損傷的擔心基本上已消除。

另外，模子5，其形成為可根據需求從被成形 體3撕開。

此外，根據本實施形態的被成形體組裝體1 時，轉印乃使用從模子原料11延伸出來之未切斷模子13的一部份執行，基於模子5的兩端部乃從被成形體3的兩端延伸出指定長度，因此就能夠有效率執行轉印，並且使模子5能夠容易從被成形體撕開。

於此，模子5的轉印圖案7並非設置成連續 ，但也可設置成連續。此外，雖然本實施形態構成為以推壓輥51進行推壓，但也可構成為以平面狀的推壓裝置推壓模子5。

[產業上之可利用性]

根據本發明時，可提供一種能夠極力免除擔心損傷到經由轉印形成在被成形體之微細轉印圖案的被成形體組裝體、被成形體組裝體之製造裝置及被成形體組裝體之製造暨使用方法。

3‧‧‧被成形體

11‧‧‧模子原料(原料滾筒)

13‧‧‧未切斷模子

29‧‧‧被成形體組裝體製造裝置

31‧‧‧被成形體保持體

33‧‧‧原料滾筒設置部(模子原料設置部)

35‧‧‧模子保持體

37‧‧‧轉印部

39‧‧‧切斷部

41‧‧‧控制部

43‧‧‧臨時保持部

45(45A、45B)‧‧‧導輥

47‧‧‧底座體

49‧‧‧被成形體設置面

51‧‧‧推壓輥

53‧‧‧紫外線產生裝置

55‧‧‧夾具

57‧‧‧裁刀

C1‧‧‧軸

C2‧‧‧旋轉中心軸

C3、C4‧‧‧軸

Claims (5)

1. 一種被成形體組裝體，其特徵為，具有：被成形體；及模子，該模子形成為薄片狀，於厚度方向之一方的面形成有微細轉印圖案，藉由將上述微細轉印圖案轉印在上述被成形體而貼附在上述被成形體，在上述轉印後至上述被成形體作為製品或半製品使用為止的期間，藉由對上述被成形體的貼附，作為用來保護形成在上述被成形體之微細轉印圖案之保護薄片的功能。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的被成形體組裝體，其中，上述轉印，使用從捲繞成滾筒狀之模子原料延伸出來的未切斷模子之一部份執行，上述模子，係上述未切斷模子在長度方向之指定部位切斷後形成的模子，於上述模子之長度方向，上述模子的尺寸形成為比上述被成形體的尺寸還大，上述模子之長度方向的兩端部從上述被成形體的兩端僅延伸出指定長度。
3. 一種被成形體組裝體的製造方法，具有：被成形體、與於厚度方向之一方的面形成有微細轉印圖案的模子之被成形體組裝體的製造方法，其特徵為，具有：使用作為上述模子之具有上述微細轉印圖案的未切斷模子的一部份轉印在上述被成形體的轉印步驟；以讓上述未切斷模子的另一部份位於進行上述轉印的場所的方式，將經由上述轉印步驟的轉印而形成為彼此貼 附的上述未切斷模子的一部份和上述被成形體，從上述場所拉出的拉出步驟；及在上述未切斷模子的一部份與上述被成形體互相貼附的狀態，將上述未切斷模子的一部份與上述另一部份之間切斷的切斷步驟，上述未切斷模子在切斷後被貼附於上述被成形體的模子是在上述被成形體作為製品或半製品使用為止的期間，貼附於上述被成形體。
4. 如申請專利範圍第3項所記載的被成形體組裝體的製造方法，其中，上述切斷步驟包含：以讓上述模子的長度方向的兩端部從上述被成形體的兩端僅延伸出指定長度的方式，來切斷上述未切斷模子。
5. 一種被成形體組裝體的製造裝置，為申請專利範圍第1項或第2項所記載之被成形體組裝體的製造裝置，其特徵為，具有：設置且保持被成形體用的被成形體保持體；設置有模子原料的原料滾筒設置部；保持著從上述模子原料延伸出來之未切斷模子的前端部，對上述被成形體保持體成移動的模子保持體；將上述未切斷模子之微細轉印圖案轉印至設置且保持在上述被成形體保持體之被成形體的轉印部；將上述未切斷模子在其長度方向的指定部位切斷的切斷部；及控制上述被成形體保持體和上述模子保持體和上述轉 印部及上述切斷部用的控制部，該控制部構成為於上述被成形體設置且保持在上述被成形體保持體，上述原料滾筒設置部設有模子原料，上述模子保持體保持著上述未切斷模子之前端部的狀態下，執行下述控制：使上述未切斷模子之微細轉印圖案和設置且保持在上述被成形體保持體的被成形體成為相向地移動上述模子保持體，將上述未切斷模子從設置在上述原料滾筒設置部的模子原料拉出，以上述轉印部將上述未切斷模子之微細轉印圖案轉印至設置且保持在上述被成形體保持體的被成形體，解除上述被成形體保持體之上述被成形體的保持，直到經由上述轉印而貼附在上述未切斷模子的被成形體於上述未切斷模子之長度方向從上述被成形體保持體離開為止移動上述模子保持體，使上述未切斷模子和上述形成貼附的被成形體一起從設置在上述原料滾筒設置部的模子原料更進一步拉出，將上述未切斷模子利用上述切斷部，於設置在上述原料滾筒設置部之模子原料側的遠離上述形成貼附的被成形體的指定部位切斷。