JP4989234B2 - 転写装置 - Google Patents
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Description
3 ベースフレーム
5 被成型品保持体
7 可動体
11 スタンパ保持体
12 紫外線発生装置(UV発光器)
Claims (2)
- ベースフレームと;
前記ベースフレームに設けられ、所定の波長の電磁波の照射を受けることによって硬化する硬化性樹脂であって前記所定の波長の電磁波の照射を受ける前は温度変化に応じて粘度が変化する硬化性樹脂を備えた被成型品を保持する被成型品保持体と;
前記被成型品保持体に対して接近もしくは離反する方向で移動するように前記ベースフレームに設けられ、微細な転写パターンが形成されているスタンパを保持するスタンパ保持体と;
前記スタンパ保持体を移動するための駆動手段と;
前記被成型品保持体に保持されている被成型品、前記スタンパ保持体に保持されているスタンパの少なくともいずれかの温度を調整する温度調整手段と;
前記所定の波長の電磁波を発生する発生装置と;
前記被成型品保持体に保持されている被成型品と、前記スタンパ保持体に保持されているスタンパとがお互いに離れているときに、前記温度調整手段による温度調整を行い、この温度調整によって前記被成型品保持体に保持されている被成型品、前記スタンパ保持体に保持されているスタンパの少なくともいずれかの温度が所定の温度に達したときに、前記硬化性樹脂と前記スタンパとをお互いに接触させて、前記発生装置を用いて所定の波長の電磁波を前記硬化性樹脂に照射して転写を行なうように、前記駆動手段、前記温度調整手段、前記発生装置を制御する制御する制御手段と;を有し、
前記硬化性樹脂は、温度上昇に応じて粘度が低下する樹脂であり、
前記温度調整手段は、発熱体を備えて構成されており、
前記発熱体は、前記被成型品保持体に保持されている被成型品と前記スタンパ保持体に保持されているスタンパとがお互いに離れているときに前記被成型品と前記スタンパとの間に入り込んだ位置である挿入位置と、前記被成型品保持体に保持されている被成型品と前記スタンパ保持体に保持されているスタンパとから離れた位置である離反位置との間を移動自在になっており、
前記制御手段は、前記被成型品保持体に保持されている被成型品と前記スタンパ保持体に保持されているスタンパとがお互いに離れているときに、前記発熱体を前記挿入位置に位置させて前記被成型品と前記スタンパとの加熱を行い、前記転写を行なうときには、前記発熱体を前記離反位置に位置させるように、前記温度調整手段を制御する手段である、
ことを特徴とする転写装置。 - ベースフレームと;
前記ベースフレームに設けられ、微細な転写パターンが形成されているスタンパを保持するスタンパ保持体と;
前記スタンパ保持体に対して接近もしくは離反する方向で移動するように前記ベースフレームに設けられ、所定の波長の電磁波の照射を受けることによって硬化する硬化性樹脂であって前記所定の波長の電磁波の照射を受ける前は温度変化に応じて粘度が変化する硬化性樹脂を備えた被成型品を保持する被成型品保持体と;
前記被成型品保持体を移動するための駆動手段と;
前記被成型品保持体に保持されている被成型品、前記スタンパ保持体に保持されているスタンパの少なくともいずれかの温度を調整する温度調整手段と;
前記所定の波長の電磁波を発生する発生装置と;
前記被成型品保持体に保持されている被成型品と、前記スタンパ保持体に保持されているスタンパとがお互いに離れているときに、前記温度調整手段による温度調整を行い、この温度調整によって前記被成型品保持体に保持されている被成型品、前記スタンパ保持体に保持されているスタンパの少なくともいずれかの温度が所定の温度に達したときに、前記硬化性樹脂と前記スタンパとをお互いに接触させて、前記発生装置を用いて所定の波長の電磁波を前記硬化性樹脂に照射して転写を行なうように、前記駆動手段、前記温度調整手段、前記発生装置を制御する制御する制御手段と;を有し、
前記硬化性樹脂は、温度上昇に応じて粘度が低下する樹脂であり、
前記温度調整手段は、発熱体を備えて構成されており、
前記発熱体は、前記被成型品保持体に保持されている被成型品と前記スタンパ保持体に保持されているスタンパとがお互いに離れているときに前記被成型品と前記スタンパとの間に入り込んだ位置である挿入位置と、前記被成型品保持体に保持されている被成型品と前記スタンパ保持体に保持されているスタンパとから離れた位置である離反位置との間を移動自在になっており、
前記制御手段は、前記被成型品保持体に保持されている被成型品と前記スタンパ保持体に保持されているスタンパとがお互いに離れているときに、前記発熱体を前記挿入位置に位置させて前記被成型品と前記スタンパとの加熱を行い、前記転写を行なうときには、前記発熱体を前記離反位置に位置させるように、前記温度調整手段を制御する手段である、
ことを特徴とする転写装置。
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JP2007001224A JP4989234B2 (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 転写装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007001224A JP4989234B2 (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 転写装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP4989234B2 true JP4989234B2 (ja) | 2012-08-01 |
Family
ID=39697004
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007001224A Active JP4989234B2 (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 転写装置 |
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-
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