JP5727905B2 - インクジェットヘッドの吐出量補正方法、吐出量補正装置、及びナノインプリントシステム - Google Patents
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Description
まず、図1(a)〜(f)を用いて、本実施形態に係るナノインプリント方法について、工程順を追って説明する。本例に示すナノインプリント方法は、モールド(例えば、Siモールド)に形成された凹凸パターンを、基板(石英基板等)上に形成された機能性インク(光硬化性樹脂液)を硬化させた光硬化性樹脂膜に転写し、該光硬化性樹脂膜をマスクパターンとして基板上に微細パターンを形成するものである。
上記のように、モールド16に形成された凹凸パターンが光硬化性樹脂膜18に転写される。その後のアッシング工程において、基板間のアッシング条件を常に一定にするためには、光硬化性樹脂膜18の厚みが一定である必要がある。即ち、インクジェットヘッドから吐出される液滴14の滴量が一定である必要がある。
第1の実施形態では、1つの領域に対して全てのノズルから打滴したが、本実施形態では、ノズル毎に異なる領域に打滴する。
本実施形態では、実際にナノインプリントを行う際に、吐出速度を測定して吐出量の補正を行う。ここでは、第1の実施形態におけるテーブル500が事前に作成されており、メモリなどの記憶手段に記憶されているものとする。
図14は、第1〜第3の実施形態に適用されるナノインプリントシステム600の構成を示すブロック図である。同図に示すように、ナノインプリントシステム600は、インクジェットヘッド300、制御部610、速度計測部620、走査部630、接触部640、紫外線照射部650、離型部660、厚み計測部670、演算部680、メモリ690、制御バス700から構成される。
Claims (11)
- インクジェットヘッドのノズルから機能性インクをインク滴として吐出させ、前記インク滴を基板表面に離散的に配置する配置工程と、
前記基板表面に配置されたインク滴にモールドを接触させることで、前記モールドと前記基板との間に前記機能性インクを充填させる接触工程と、
前記充填された機能性インクを硬化させ、機能性膜を生成する硬化工程と、
前記機能性膜から前記モールドを剥離する離型工程と、
前記機能性膜の厚みを計測する計測工程と、
前記計測した厚みに基づいて、前記ノズルからの吐出量を補正する補正工程と、
を備え、
前記モールドのインク滴接触面は、溝に囲まれた複数の平坦な領域を有し、
前記配置工程は、前記溝に囲まれた複数の平坦な領域に対応する前記基板表面の領域毎に前記ノズルからの吐出量を異ならせて前記インク滴を配置し、
前記計測工程は、前記基板表面の領域毎に前記機能性膜の厚みを計測することを特徴とするインクジェットヘッドの吐出量補正方法。 - 前記配置工程は、前記溝に囲まれた複数の平坦な領域に対応する前記基板表面の領域毎に全てのノズルから吐出されたインク滴を配置することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの吐出量補正方法。
- 前記配置工程は、前記溝に囲まれた複数の平坦な領域に対応する前記基板表面の領域毎に異なるノズルから吐出されたノズル滴を配置し、
前記補正工程は、前記計測した厚みに基づいて、前記ノズル毎に吐出量を補正することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの吐出量補正方法。 - 前記配置工程は、前記ノズルの駆動電圧を変更することで前記ノズルからの吐出量を異ならせ、
前記補正工程は、前記ノズルの駆動電圧を補正することを特徴とする請求項1から3の
いずれか1項に記載のインクジェットヘッドの吐出量補正方法。 - 前記インクジェットヘッドには、複数のノズルが所定の方向に所定の間隔で配置されており、
前記配置工程は、前記所定の間隔よりも短い間隔で前記インク滴を配置することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの吐出量補正方法。 - 前記配置工程は、前記インク滴の径よりも前記インク滴の間隔が大きくなるように該インク滴を配置することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの吐出量補正方法。
- 前記ノズルから吐出されたノズル滴の吐出速度を計測する速度計測工程と、
前記計測した吐出速度と前記計測した厚みとの関係をメモリに記憶する記憶工程と、
を備え、
前記補正工程は、前記計測した吐出速度に基づいて、前記ノズルからの吐出量を補正することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの吐出量補正方法。 - 前記計測工程は、原子間力顕微鏡によって前記機能性膜の厚みを計測することを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの吐出量補正方法。
- 前記計測工程は、エリプソメータによって前記機能性膜の厚みを計測することを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの吐出量補正方法。
- 基板に向けてノズルから機能性インクをインク滴として吐出するインクジェットヘッドと、
前記基板と前記インクジェットヘッドとを相対的に移動させる走査手段と、
前記走査手段により前記基板と前記インクジェットヘッドとを相対的に移動させるとともに、該インクジェットヘッドのノズルから所定の条件でインク滴を吐出させることで、前記基板上に前記インク滴を離散的に配置する配置手段と、
前記基板表面に配置されたインク滴にモールドを接触させることで、前記モールドと前記基板との間に前記機能性インクを充填させる接触手段と、
前記充填された機能性インクを硬化させ、機能性膜を生成する硬化手段と、
前記機能性膜から前記モールドを剥離する離型手段と、
前記機能性膜の厚みを計測する計測手段と、
前記計測した厚みに基づいて、前記ノズルからの吐出量を補正する補正手段と、
を備え、
前記モールドのインク滴接触面は、溝に囲まれた複数の平坦な領域を有し、
前記配置手段は、前記溝に囲まれた複数の平坦な領域に対応する前記基板表面の領域毎に前記ノズルからの吐出量を異ならせて前記インク滴を配置し、
前記計測手段は、前記基板表面の領域毎に前記機能性膜の厚みを計測することを特徴とするナノインプリントシステム。 - 基板に向けてノズルから機能性インクをインク滴として吐出するインクジェットヘッドと、前記基板と前記インクジェットヘッドとを相対的に移動させる走査手段と、前記走査手段により前記基板と前記インクジェットヘッドとを相対的に移動させるとともに、該インクジェットヘッドのノズルから所定の条件でインク滴を吐出させることで、前記基板上に前記インク滴を離散的に配置する配置手段であって、前記基板表面の所定の領域毎に前記ノズルからの吐出量を異ならせて前記インク滴を配置する配置手段と、前記基板表面に配置されたインク滴にモールドを接触させることで、前記モールドと前記基板との間に前記機能性インクを充填させる接触手段と、前記充填された機能性インクを硬化させ、機能性膜を生成する硬化手段と、前記機能性膜から前記モールドを剥離する離型手段と、を備え、前記モールドのインク滴接触面は、溝に囲まれた複数の平坦な領域を有し、前記配置手段は、前記溝に囲まれた複数の平坦な領域に対応する前記基板表面の領域毎に前記ノズルからの吐出量を異ならせて前記インク滴を配置するナノインプリントシステムにおいて前記基板表面の領域毎に生成された前記機能性膜の厚みを取得する取得手段と、
前記取得した厚みと前記所定の条件との関係テーブルを算出する算出手段と、
前記算出した関係テーブルを記憶する記憶手段と、
を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの吐出量補正装置。
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