JP5355614B2 - シート状デバイスの製造装置、シート状デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
まず、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、本発明の実施の形態1におけるシート状デバイスの製造装置の一例としてのインプリント装置の全体を示す側面図である。但し、インプリント用のモールド4(以下、インプリント用のモールドを、単に、モールドと称す。)が底面に配置された筐体3については、その内部を図示している。また、製造されるシート状デバイスとしては、例えば、反射防止シートがある。
続いて、本発明の実施の形態2について説明する。この実施の形態2は、弾性体が球状である点で、前述した実施の形態1と異なる。以下、実施の形態1と異なる点を中心に説明する。
2 Y軸テーブル
3 筐体
4 モールド
5 微細パターン
6 UV照射装置
7 圧力センサ
8 基材
9 弾性体
10 蛇行制御ローラ
11 回転制御ローラ
12 張力調整機構
13 UV硬化性樹脂
14 遮光膜
15 弾性体
Claims (15)
- パターンが形成されたパターン形成面を有するモールドと、
前記モールドに対向配置された弾性体と、
前記弾性体上の基材と離れた位置から前記モールドを移動させて、前記モールドと前記弾性体とで挟んだ前記基材上の樹脂に前記パターン形成面を押し当てて加圧する加圧装置と、
前記基材上の樹脂を硬化させる硬化装置と、を備え、
前記モールドに対向する前記弾性体の表面が、前記モールド側へ凸状の曲面であること
を特徴とするシート状デバイスの製造装置。 - 前記モールドに対向する前記弾性体の曲面が円筒面の一部を成すこと
を特徴とする請求項1記載のシート状デバイスの製造装置。 - 前記モールドに対向する前記弾性体の曲面が球面または非球面の一部を成すこと
を特徴とする請求項1記載のシート状デバイスの製造装置。 - 前記パターンが、平面または、前記弾性体側へ凸状の曲面上に配置されており、前記モールドに対向する前記弾性体の曲面が、前記パターンが配置されている領域の曲率よりも小さい曲率を持つこと
を特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のシート状デバイスの製造装置。 - 前記パターンが、前記弾性体側の反対側へ凸状の曲面上に配置されており、前記モールドに対向する前記弾性体の曲面が、前記パターンが配置されている領域の曲率よりも大きい曲率を持つこと
を特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のシート状デバイスの製造装置。 - 前記モールドに対向する前記弾性体の曲面が反射防止構造を有すること
を特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のシート状デバイスの製造装置。 - 前記弾性体として、合成ゴム、天然ゴムのうちの少なくとも1種を使用すること
を特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載のシート状デバイスの製造装置。 - 前記モールドと前記基材とを相対的に移動させる直線または回転の移動軸が1軸以上装備されており、前記基材上の場所をずらしてのインプリント成型が可能であること
を特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載のシート状デバイスの製造装置。 - 前記モールドのパターン形成面の外周部に、前記パターン形成面と前記基材上の樹脂とが接触する範囲のうちの所定範囲を硬化させるための遮光構造が設けられたこと
を特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載のシート状デバイスの製造装置。 - 前記基材の張力を調整する張力調整機構を備えたこと
を特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載のシート状デバイスの製造装置。 - 弾性体上の基材と離れた位置からモールドを移動させて、パターンが形成されているパターン形成面を有する前記モールドと曲率を持つ所定形状の前記弾性体とで、前記パターン形成面に対面する一方面上に樹脂が設けられた前記基材を挟み、前記パターン形成面を前記樹脂に押し当てて加圧し、
前記基材上の樹脂を硬化させて、前記樹脂に前記パターンを転写するに際し、
加圧時に前記パターン形成面と前記樹脂とが接触する範囲が、前記モールドと前記弾性体とを互いに接近する方向へ相対的に移動させるにつれて、前記パターン形成面の内側から外側に向かって広がること
を特徴とするシート状デバイスの製造方法。 - 前記モールドに対向する前記弾性体の表面が、その面の内側から外側へ向かって前記パターン形成面から離れていく形状の曲面であり、
加圧時に前記パターン形成面と前記樹脂とが接触する範囲が、前記モールドと前記弾性体とを互いに接近する方向へ相対的に移動させるにつれて、前記パターン形成面の内側から外側に向かって広がること
を特徴とする請求項11記載のシート状デバイスの製造方法。 - 前記モールドに対向する前記弾性体の表面が円筒面の一部を成し、
加圧時に前記パターン形成面と前記樹脂とが接触する範囲が、前記モールドと前記弾性体とを互いに接近する方向へ相対的に移動させるにつれて、線分から外側へ向かって広がること
を特徴とする請求項11もしくは12に記載のシート状デバイスの製造方法。 - 前記モールドに対向する前記弾性体の表面が球面または非球面の一部を成し、
加圧時に前記パターン形成面と前記樹脂とが接触する範囲が、前記モールドと前記弾性体とを互いに接近する方向へ相対的に移動させるにつれて、点から外側へ向かって広がること
を特徴とする請求項11もしくは12に記載のシート状デバイスの製造方法。 - 前記パターン形成面によって前記樹脂を加圧し、前記樹脂を硬化させて、前記樹脂に前記パターンを転写する工程を繰り返し、前記基材上の異なる場所に前記パターンを転写すること
を特徴とする請求項11ないし14のいずれかに記載のシート状デバイスの製造方法。
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