JP4469385B2 - 微細モールド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る微細モールド1の正面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A矢視断面図である。図1(a)と図1(b)に示すように、微細モールド1は、ロール2と、このロール2の周面に内周面が接する緩衝筒3と、この緩衝筒3の外周面に内周面が接し、外周面に微細な凹凸パターン4aが形成されたスタンパ筒4とを有している。微細な凹凸パターン4aのサイズは10nm以上10μm以下である。
図5(a)は、本発明の第2の実施形態に係る微細モールド1の正面図であり、図5(b)は、図5(a)のB−B矢視断面図である。第2の実施形態の微細モールド1が、第1の実施形態の微細モールド1と異なる点は、ロール2が、外周部に、前記緩衝筒3より、線膨張係数が小さく、弾性率が大きく、表面が鏡面であるハードコート層11を有している点である。転写の際には、緩衝筒3がつぶれるように圧縮変形し、その反発力で、被転写基材にスタンパ筒4が押し付けられ転写される。このハードコート層11の鏡面は、ハードコート層11の線膨張係数が小さく、弾性率が大きいので、変形しにくく、基準面として、緩衝筒3のつぶれを全幅にわたり一定にすることができる。そして、全幅にわたり微細な凹凸パターンを忠実に転写することができる。また、第2の実施形態でも、第1の実施形態と同様に、緩衝筒3とスタンパ筒4とを有するので、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図6(a)は、本発明の第3の実施形態に係る微細モールド1の正面図であり、図6(b)は、図6(a)のC−C矢視断面図である。第3の実施形態の微細モールド1が、第1の実施形態の微細モールド1と異なる点は、前記緩衝筒3の材料が、ポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、シンジオタクチックポリスチレン樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性エンジニアリングプラスチック、およびこれらにフィラーやガラス繊維などが配合された複合材料を有している点である。これらの材料によっても、緩衝筒3の線膨張係数をスタンパ筒4より大きく、緩衝筒3の弾性率をスタンパ筒4より小さく設定することができる。ただ、第1の実施形態では、緩衝筒3の材料にシリコーンエラストマ等のゴムを用いていたのに対し、第3の実施形態では、耐熱性エンジニアリングプラスチックを用いているので、第3の実施形態の方が第1の実施形態より、緩衝筒3の線膨張係数をより小さく、緩衝筒3の弾性率をより大きく設定することができる。このため、第3の実施形態の方が第1の実施形態より、緩衝筒3は、温度変化により膨張・収縮しにくく、圧縮にも変形しにくい。しかし、製造方法におけるはめ込みでは、緩衝筒3のある値以上の収縮が必要であり、転写でも、緩衝筒3がある値以上つぶれるように圧縮変形する必要がある。このため、第3の実施形態の緩衝筒3では、肉厚を第1の実施形態より厚くしている。このことにより、ロール本体2aが細くなり、ロール軸2b(図1参照)を兼ねている。
次に、第4の実施形態に係る微細モールドについて説明する。図9(c)に第4の実施形態の微細モールドのスタンパ筒4の断面図を示す。図9(c)に示すように、第4の実施形態の微細モールドが、第1の実施形態の微細モールドと異なる点は、スタンパ筒4に接合部10(図1(b)参照)が無く、スタンパ筒4がシームレスの筒である点である。シームレスであれば、緩衝筒3が膨張してスタンパ筒4に圧接する際に、スタンパ筒4に作用する引っ張り応力を、周方向全周にわたり均一に印加することができる。
実施例1では、第1の実施形態の微細モールドの製造方法にしたがって、微細モールドを製造した。以下では、実施例1の微細モールドの製造方法とその製造方法で製造された微細モールドについて説明する。
実施例2では、第2の実施形態の微細モールドの製造方法にしたがって、微細モールドを製造した。以下では、実施例2の微細モールドの製造方法とその製造方法で製造された微細モールドについて説明する。
実施例3では、第3の実施形態の微細モールドにしたがって、微細モールドを製造した。以下では、実施例3の微細モールドの製造方法とその製造方法で製造された微細モールドについて説明する。
実施例4では、第4の実施形態の微細モールドの製造方法にしたがって、微細モールドを製造した。以下では、実施例4の微細モールドの製造方法とその製造方法で製造された微細モールドについて説明する。
実施例5では、実施例4と同じ製造方法で作製したスタンパ筒4を、実施例2と同じ製造方法で作製した緩衝筒3付ロール2に固定し、実施例5の微細モールドを完成させた。
実施例6では、実施例4と同じ製造方法で作製したスタンパ筒4を、実施例3と同じ製造方法で作製した緩衝筒3付ロール2に固定し、実施例6の微細モールドを完成させた。
比較例1では、実施例1と同じ製造方法で作製したスタンパ筒4を、スタンパ筒4の内径に等しい外径のロール2に直接固定し、比較例1の微細モールドを完成させた。
比較例2では、実施例1と同様の方法でスタンパシート6を作製した。そして、スタンパシート6の両端部にモールド固定治具を溶接により固定した。このモールド固定治具を溶接されたスタンパシートを2枚作製した。次に、実施例1と同じ材質でモールド固定治具の取り付け部分が形成されたロールを作製した。この取り付け部分にモールド固定治具を固定ネジで固定することにより、ロールに2枚のスタンパシートを固定した。こうして、比較例2の微細モールドを完成させた。
2 ロール
2a ロール本体
2b ロール軸
2c 加熱機構
3 緩衝筒
4 スタンパ筒
4a 凹凸パターン
5 原版
5a 凹凸パターン
6 スタンパシート(電鋳層)
6a 凹凸パターン
6b 無電解メッキ層
6c 電解メッキ層
7 間隙(スタンパシートの端面間)
8 導電性粘着テープ(導電性部材)
9 メッキ用マスキングテープ
10 接合部
11 ハードコート層
12 マスタースタンパ筒
13 メッキ用マスキングテープ
Claims (14)
- ロールと、
前記ロールの外周面に内周面が接する緩衝筒と、
前記緩衝筒の外周面に内周面が接し、外周面に微細な凹凸パターンが形成されたスタンパ筒とを有し、
前記緩衝筒は、シリコーンエラストマを有し、前記スタンパ筒より、線膨張係数が大きく、弾性率が小さく、
前記スタンパ筒は、表面に前記微細な凹凸パターンが形成されたメッキ製のスタンパシートを、メッキ製の接合部により周方向に複数枚接合して形成されていることを特徴とする微細モールド。 - 前記接合部の材質と、前記スタンパシートの材質とでは、主成分とする金属が同じであることを特徴とする請求項1に記載の微細モールド。
- 前記スタンパ筒の材質は、ニッケル(Ni)を主成分とする金属であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の微細モールド。
- 前記緩衝筒は、弾性体であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の微細モールド。
- 前記ロールは、内部に加熱機構を有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の微細モールド。
- 前記ロールは、抵抗体、誘導加熱用のコイルと加熱用のランプの少なくとも1つを内部に有することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の微細モールド。
- 前記ロールは、前記緩衝筒より、線膨張係数が小さく、弾性率が大きく、
前記ロールの周面は、鏡面になっていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の微細モールド。 - 前記ロールは、外周部に、
前記緩衝筒より、線膨張係数が小さく、弾性率が大きく、表面が鏡面であるハードコート層を有することを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の微細モールド。 - 前記ロールの材質は、前記緩衝筒と同じであることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の微細モールド。
- 表面に微細な凹凸パターンが形成された原版上にメッキによりスタンパシートを形成して前記凹凸パターンを複数の前記スタンパシート上に複製し、
前記凹凸パターンが形成された前記表面が外周面となるように、複数の前記スタンパシートを周方向につなげて円筒形にし、電解メッキを行い前記スタンパシートの端面間に形成される間隙を埋め、前記間隙に接合部が形成されることで、前記スタンパシートが前記周方向に複数枚接合したスタンパ筒を形成し、
ロールの周面上に、シリコーンエラストマを有し、前記スタンパ筒より、線膨張係数が大きく、弾性率が小さい緩衝筒を形成し、
前記緩衝筒を冷却しながら、前記スタンパ筒を前記緩衝筒にはめ込むことを特徴とする微細モールドの製造方法。 - 前記接合部の材質と、前記スタンパシートの材質とでは、主成分とする金属が同じであることを特徴とする請求項10に記載の微細モールドの製造方法。
- 前記スタンパ筒の材質は、ニッケル(Ni)を主成分とする金属であることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の微細モールドの製造方法。
- 前記凹凸パターンの前記スタンパシート上への前記複製では、
前記原版上に前記スタンパシートとなる電鋳層を形成し、
前記電鋳層を前記原版から剥離することを特徴とする請求項10乃至請求項12のいずれか1項に記載の微細モールドの製造方法。 - 前記スタンパシートを周方向に複数枚接合することでは、
前記電鋳層を整形し、
前記電鋳層の端面を互いに対向させたまま、導電性部材で固定し、
前記電鋳層の端面間をメッキにより埋めることを特徴とする請求項13に記載の微細モールドの製造方法。
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