JPH046640A - スタンパー - Google Patents

スタンパー

Info

Publication number
JPH046640A
JPH046640A JP10649490A JP10649490A JPH046640A JP H046640 A JPH046640 A JP H046640A JP 10649490 A JP10649490 A JP 10649490A JP 10649490 A JP10649490 A JP 10649490A JP H046640 A JPH046640 A JP H046640A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stamper
information recording
recording medium
patterns
roller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10649490A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirofumi Kamitakahara
上高原 弘文
Tetsuya Sato
哲也 佐藤
Osamu Shikame
修 鹿目
Hitoshi Yoshino
斉 芳野
Hisanori Hayashi
林 久範
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP10649490A priority Critical patent/JPH046640A/ja
Publication of JPH046640A publication Critical patent/JPH046640A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、情報記録媒体用基板を製作するローラー・グ
ループ成型法に用いるスタンパ−及びその製造方法に関
するものである。
〔従来の技術〕
従来、特開昭56−87203、同5684921、同
52−82204号公報等に記載されているように情報
記録媒体用基板には、その情報記録面に、トラッキング
用溝、情報用ビット等のグループが形成されている。
この様に、情報記録媒体用基板にグループを形成する方
法としては■情報記録媒体用基板の材料が可塑性樹脂か
らなる場合には、インジェクション成型法やコンプレッ
ション成型法、ローラー・グループ成型法、■光硬化性
樹脂組成物を硬化させて、情報記録媒体のグループ形成
用スタンパ−のレプリカを透明樹脂基板に転写するいわ
ゆる2P成型法、2Pローラー・グループ成型法、■樹
脂モノマーまたは、溶剤を含んだプレポリマーを用いる
注型成型法等が知られている。
L発明が解決しようとする課題j 前記■の2Pローラー・グループ成型法では、光情報記
録媒体のトラック用グループをロール・ツー・ロール方
式の連続一貫工程で形成することができる情報記録媒体
2P成型用ロール状スタンパ−を用いる(以下、2P用
ロール状スタンバ−と記す。)。
この、2P用ロール状スタンバ−の製造方法は、特願平
1−38872及び同1−38346号に記載されてい
るように、ペーパー状ガラススタンパ−をフォトリソグ
ラフィ技術で作製し、接着剤を介しローラーに、熱収縮
チューブまたは形状記憶合金を用いて固定するように構
成されている。
前記■のローラー・グループ成型法では、光情報記録媒
体のトラック用グループをロール・ツー・ロール方式の
連続一貫工程で形成することができる情報記録媒体成型
用ロール状スタンパ−を用いる(以下、ロール状スタン
パ−と記す。)。
この、ロール状スタンパ−の製造法は、特願昭63−2
64691号に記載されているように、ペーパー状ガラ
スマスクを用いローラーへ密着露光を施し、直接刻印に
よりロール状スタンパ−を製作する方法が知られている
しかし、上述した「直接刻印によりロール状スタンパ−
を製作する方法」では、1本のロール状スタンパ−に対
して、複数個の情報記録媒体のプリフォーマットパター
ン(トラッキング用溝、情報用ビット等からなる、スパ
イラル、同心円状又はストライブ状パターン)に対応す
る凹凸パターンが形成されているため、例えば、1〜数
個の凹凸パターンに欠陥が発生した場合、ロール状スタ
ンパ−1本全体を交換することになり、ロール状スタン
パ−1個当たりの凹凸パターンの利用効率が非常に悪い
また、生産効率を向上させるためには、1本のロール状
スタンパ−により多くの情報記録媒体のプリフォーマッ
トパターンに対応する凹凸パターンを直接刻印により形
成しなければならない。そのためにロール状スタンパ−
のローラー径は大きくなり、重量も増え、ロール状スタ
ンパ−1本を交換することに大きな労力を要するといっ
た欠点があった。
この様な欠点を解決するため、特願昭63−28587
3号に記載されているように、電鋳法により情報記録媒
体形成用シート状スタンパ−(以下、シート状スタンパ
−と記す。)を作製し、ローラーとの間に接着剤を介し
、形状記憶合金を用い固定するように構成されているも
のもある(第7図)。
また、これと類似した構成で、特願平1−38872号
に記載されているように、ペーパー状ガラススタンパ−
をフォトリソグラフィ技術で作製し、接着剤を介しロー
ラーに、熱収縮チューブを用いて固定するように構成さ
れているものもある。
しかしながら、上記技術では、1つのシート状スタンパ
−に情報記録媒体1つ分の凹凸パターンが形成されてお
り、ローラーとの間に接着剤を介して複数個のシート状
スタンパ−を固定することによりロール状スタンパ−を
製作しているために次のような欠点があった。
(1)第7図(B)に示すように、接着剤のハミダシが
あるために、それを取り除くのに労力がかかる。また、
接着剤のハミダシをそのままの状態にしてローラー・グ
ループ成型すると、約20時間程度で経時変化を起こし
、接着剤自体が欠陥の原因となる。
(2)シート状スタンパ−の固定にしても、ローラー径
が大きくなるにしたがって、接着工程での作業が大変に
なり、接着固定装置が必要な場合には、接着固定装置も
大型化することが懸念される。
本発明は、このような問題点を解決し、多数のプリフォ
ーマットパターンを成形でき、かつ製作およびメンテナ
ンスが容易なロール状スタンパ−を提供することを目的
とし、またこのようなロール状スタンパ−を容易に製作
することを可能にする可撓性スタンパ−1さらにこの可
撓性スタンパ−の製造方法を提供することを目的とする
[課題を解決するための手段〕 本発明は、情報記録媒体のプリフォーマットパターンに
対応する凹凸パターンが設けられた可撓性を有しかつエ
ンドレスなスタンバ−(以下、可撓性エンドレススタン
パ−と称〜す。)である。凹凸パターンは1つだけ設け
られていても、複数個設けられていてもよい。
第4図に本発明の可撓性エンドレススタンバ−の1例を
模式的に示す。このスタンパ−1は、凹凸パターン7を
有する。この凹凸パターンを樹脂等の情報記録媒体容器
板に転写することで、その基板にプリフォーマットパタ
ーンを形成できる。
エンドレススタンパ−は継ぎ目のないリング状であるこ
とが好ましく、本発明の方法により製造することが好ま
しいが、EB、YAG溶接等の方法でリング状に形成す
ることも可能である。
可撓性エンドレススタンパ−の材質としては特に制限な
く、金属や樹脂等を用いることができ、またその厚さも
特に制限はないが、10〜tooo、n程度が実用上好
ましい。
また本発明は、情報記録媒体のプリフォーマットパター
ンに対応する凹凸パターンを有しかつ可撓性を有する原
盤を、円筒状基体の円筒面(内側でも外側でも良い)上
に配置する工程、さらにその原盤上に電鋳法により金属
膜を形成する工程、および該金属膜を剥離する工程を有
する、可撓性を有しかつエンドレスなスタンバ−の製造
方法を含む。
上記原盤の材質は特に限定されず、原盤が円筒状基体の
内面に配置できる程度に可撓性を持てば良い。例えばガ
ラスのように硬い素材であっても厚さを薄くすることで
(例久ば0.1mm以下)本発明で使用するに十分な可
撓性を持たせることができる。また原盤には凹凸パター
ンが幾つ形成されていてもよい。原盤にプリフォーマッ
トパターンを形成するにはレジスト、注型成型法、2P
成型法等の方法を適宜用いることができ、またエツチン
グ等により凹凸を形成しても良い。
円筒状基体には樹脂、ガラスが好ましく用いられるが、
金属に樹脂をコートした物等複合材料を用いても構わな
い。
また円筒状基体のサイズは特に制限はないが、用いるロ
ーラー径、またはダイセット型の外径に固定具の外径を
見積り、サイズを決定するとよい。
上記原盤を、凹凸パターンが内側(円筒状基体とは反対
側)を向くように円筒状基体の内面に配置する際、原盤
を幾つ配置しても良く、また必ずしも原盤で円筒状基体
内面を完全に覆わなくとも良い。また配置するとき、好
ましくは接着剤、あるいはカプトンテープ(3M社製)
等に代表される耐熱性のテープ類を用いて原盤を円筒状
基体に固定することが好ましい。
少なくとも一部が上記原盤で覆われた円筒状基材の内面
に電鋳法により金属膜を形成する際、電鋳法としては公
知の方法を適宜適用できる。金属膜とする金属は特に限
定はしないが、銅、ニッケル等を用いることができ、特
にはニッケルが好ましい。また金属膜の厚さはlO〜l
000u、さらには50〜300ulが好ましい。
原盤や円筒状基体の内面が導電性を持たず、そのままで
は電鋳できないときには、スパッタリングや蒸着により
電鋳しようとする面に導電化膜を形成しておくとよい。
導電化膜の材質は高硬度の導体が用いられ、例えばTi
N、 Cr、Ni、タングステン等が好ましく、その厚
さは1000オングストローム程度が好ましい。
上記金属膜を原盤(および、円筒状基体と接していると
きにはその基体)から剥せば、可撓性を持ちかつエンド
レスなスタンバ−が得られる。導電化膜を形成したとき
は導電化膜と金属膜を一体的に剥すとよい。
さらに本発明は、情報記録媒体のプリフォーマットパタ
ーンに対応する凹凸パターンが設けられた可撓性を有し
かつエンドレスなスタンパ−が、ローラーに固定されて
なるロール状スタンバ−も含む。
可撓性エンドレススタンバ−は、ローラーに直接固定し
ても良いし、ダイセット型等の補助固定手段にこのスタ
ンパ−を−旦固定してから、それをローラーに固定して
も良い。
ダイセット型の材質には特に限定はないが、カシメ法に
より取りつける場合はローラーよりも熱膨張係数の大き
な金属材が好ましく用いられる。
[実施例] 以下、実施例に基づき本発明をさらに具体的に説明する
実施例1 第4図に示すような、光カード成形用の可撓性エンドレ
ススタンバ−を製造した。
まずフォトレジスト(A z 1370、ヘキスト・ジ
ャパン社製)を青板ガラス等のガラス基板に滴下し、ス
ピナーで3000人の膜厚に塗布した。その後90℃、
30分の条件でプレベータを行った。ガラス基板は厚さ
を0.1闘にすることで可撓性を持たせた。
次に、レーザー露光装置Mirror Project
orMask Aligner−M P A −150
0(キャノン社製)等の露光装置を用い、複数個の情報
記録媒体のプリフォーマットパターン(ストライブ状)
に対応する凹凸パターンを露光し、現像液Az312M
IFCヘキスト・ジャパン社製)で現像することにより
、トラッキング用溝、情報用ビット等に対応する凹凸の
微細パターンが形成された光カード用のガラス原盤を製
作した。
さらに、電鋳法により金属膜を形成するための前処理と
して、膜厚1000〜2000人のニッケル膜を上記原
盤上にスパッタリングにより形成した。
一方、第1図(A)に示すような、青板ガラスからなる
外径350mm、内径320+n+n、長さ800mm
の円筒状基体6を用意した。
同図(B)に示すように、上記原盤2を円筒状基体6の
内面に接着剤で固定した。このとき凹凸パターンは内側
すなわち円筒状基体の中心を向くようにして原盤を配置
した(工程B)。
次に同図(C)に示すように、電鋳法により金属膜を形
成するための前処理(導電化処理)として、膜厚100
0〜2000人のニッケル膜3を原盤2上にスパッタリ
ングにより形成した(工程C)。
次に同図(D)に示すように、導電化膜3の設けられた
ガラス原盤2に電鋳法により金属膜4を形成する(工程
D)。
まず、電鋳槽内のニッケルチップを+側電極、原盤2を
一側電極にセットした。
次に、スルファミン酸ニッケル電鋳液中で、原盤2を2
0〜30rpmで回転させながら、通電電流の時間積分
値170〜340AH(アンペア・アワー)の条件で1
00〜200μmのニッケル金属を析出させ、金属M4
を形成した。
ここで使用した電鋳液は、以下のごとき組成のものであ
る。
スルファミン酸ニッケル・4水塩 [Ni (NHzSOs)2・4H,01500g/β
硼酸[113BO3]      35〜38 g/I
2ピット防止剤       2.5  rnf2/I
2n後2金属膜4の内面を研磨布(スェード7355−
OOOF42S) 、研磨液(POLIPLA700、
スタンバ−用)を用いて研磨した後、導電化膜3及び金
属膜4を一体として同時に原盤2より剥離させることに
より、ライン・アント・スペース=9.5μm/25μ
m、段差: 2500〜3000人のストライブ状案内
溝の形成された、第4図に示すような可撓性エンドレス
スタンバ−が得られた。
実施例2 原盤2を次に示すものに替えた以外は実施例1と同様に
して光カード成形用可撓性エンドレススタンバ−を製作
した。
ベースフィルム(ポリイミド、ポリエステル等の樹脂か
らなる)にフォトレジスト(A z +370、ヘキス
ト・ジャパン社製)を3000人の膜厚に塗布した。そ
の後90℃、30分の条件でブレベークを行った。次に
、レーザー露光装置Mirror Projec −t
or Mask Aligner−M P A −15
00(キャノン社製)、TAB露光装置(ウシオ電機社
製)等の露光装置を用い、複数個の情報記録媒体のプリ
フォーマットパターン(ストライブ状)に対応する凹凸
パターンを露光し、現像液Az312MIF(ヘキスト
・ジャパン社製)で現像し、ポストベークすることによ
り、トラッキング用溝、情報用ビット等に対応する凹凸
の微細パターンが形成された光カード用のフレキシブル
な原盤2を製作した。
このような原盤は可撓性に冨むため、第2図に示すよう
に1枚で円筒状基体の内壁を覆うことができた。
実施例3 第3図に示すように、円筒状基体の外側に原盤2、導電
化膜3、金属膜4を順次形成し、導電化膜および金属膜
を一体的に剥した後、裏返した(凹凸パターンが外側を
向くよう)以外は実施例1と同様にして可撓性エンドレ
ススタンバ−を得た。
実施例4 実施例1〜実施例3で得られた可撓性エンドレススタン
パ−を用いてロール状スタンパ−を作成した。
第5図(A)に示すように、可撓性エンドレススタンパ
−1でダイセット型9を取り巻くようにしてセットし、
固定具8をダイセット型9にネジ止めすることにより、
テンションをかけながらスタンパ−1を固定した。同図
(Bl に示すように、このようにして得た、可撓性エ
ンドレススタンパ〜がセットされたダイセット型9 を
ローラー12にネジ止め、カシメ等の方法で取付けるこ
とにより、ロール型スタンパ−10を得た。
なおローラーとしては鉄の表面をクロムメツキしたもの
で、直径250mm、長さ800mmのものを用いた。
固定具8をダイセット型9に固定するには、ネジ止めに
限らず、マグネット・チャッキング等、その他種々の方
法を用いることができる。
ダイセット型9に用いる材料の熱膨張係数はローラー1
2に用いる材料の熱膨張系数と同等、あるいはそれ以上
であることが好ましい。
ここで用いたローラーには温度調節のために温度調節オ
イルを循環させてあり、ダイセット型9゛をローラー1
2にカシメ法により取りつける場合、予め温度調節オイ
ルでローラー12を50〜100℃に加温しておくと取
付が容易である。
このようにダイセット型等の補助固定手段を用いるとき
は、1つの可撓性エンドレススタンパ−に1つの凹凸パ
ターンが設けられていると、1つ1つの凹凸パターンを
個別に交換でき、また補助固定手段が小さくて済む。
実施例5 実施例4では、可撓性エンドレススタンパ−1を一旦ダ
イセット型に固定したが、ここでは直接ローラー12に
固定した。ここでも固定具8をローラー12にネジ止め
することによりスタンパ−1をテンションをかけながら
固定し、ロール状スタンパ−10を得た。
第6図(A)には固定具を1か所に設けた例、同図(B
)には固定具を4か所に設けた例を示す。前者は固定作
業が簡単である反面、スタンパ−1に形成された複数の
凹凸パターンのそれぞれに均一なテンションがかかりに
くいが、後者では各凹凸パターンに−様なテンションが
かけ易い。
このような例では、可撓性エンドレススタンパ−として
複数の凹凸パターンが設けられているもの、特にローラ
ーの周方向に複数設けられているものを用いることが、
生産性からみて好ましい。
[発明の効果] 本発明によれば、次のような顕著な効果を奏することが
できる。
(1)エンドレスなスタンパ−を用いているため、ロー
ラーにスタンパ−を固定するのが容易であり、またロー
ル状スタンパ−の外周面に出る段差を最小限にすること
ができる。
(2)予め可撓性エンドレススタンパ−の直径と固定具
の寸法を調節することにより、可撓性エンドレススタン
パ−にかかるテンションの大きさを自由に変えられる。
(3)可撓性エンドレススタンパ−をローラーに固定す
る際、接着剤を用いないですむので、接着剤による欠陥
の心配がない。
(4)グイセット型タイプのロール型スタンパ−では、
ダイセットを1つずつ交換できるため、欠陥の発生した
可撓性エンドレススタンパ−のみを交換することができ
る。
(5)上記のような利点のために、生産効率が向上し、
安価な情報記録媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図から第3図はいずれも本発明の可撓性エンドレス
スタンパ−の製造方法を説明するための工程図、第4図
は本発明の可撓性エンドレススタンパ−の例の模式図、
第5図は本発明のロール状スタンパ−の製造方法を説明
するための工程図、第6図は本発明のロール状スタンパ
−の例の模式図、第7図は従来のロール状スタンパ−の
模式図である。 1・・・・・・可撓性エンドレススタンパ−2・・・・
・・原盤 3・・・・・・導電化膜 4・・・・・・金属膜 5・・・・・・接着剤のハミダシ 6・・・・・・円筒状基体 7・・・・・・凹凸の微細パターン 8・・・・・・固定具 9・・・・・・ダイセット型 9゛・・・可撓性エンドレススタンパ−がセットされた
ダイセット型 10・・・・・・ロール状スタンパ− 11・・・・・・温度調節オイル 12・・・・・・ローラー 13・・・・・・シート状スタンパ−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、情報記録媒体のプリフォーマットパターンに対応す
    る凹凸パターンが設けられた可撓性を有しかつエンドレ
    スなスタンパー。 2、情報記録媒体のプリフォーマットパターンに対応す
    る凹凸パターンを有しかつ可撓性を有する原盤を、円筒
    状基体の円筒面上に配置する工程、該原盤上に電鋳法に
    より金属膜を形成する工程、および該金属膜を剥離する
    工程を有する、可撓性を有しかつエンドレスなスタンパ
    ーの製造方法。 3、情報記録媒体のプリフォーマットパターンに対応す
    る凹凸パターンが設けられた可撓性を有しかつエンドレ
    スなスタンパーが、ローラーに固定されてなるロール状
    スタンパー。
JP10649490A 1990-04-24 1990-04-24 スタンパー Pending JPH046640A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10649490A JPH046640A (ja) 1990-04-24 1990-04-24 スタンパー

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10649490A JPH046640A (ja) 1990-04-24 1990-04-24 スタンパー

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH046640A true JPH046640A (ja) 1992-01-10

Family

ID=14435001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10649490A Pending JPH046640A (ja) 1990-04-24 1990-04-24 スタンパー

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH046640A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006123393A (ja) * 2004-10-29 2006-05-18 Sony Corp ロール金型の製造方法及びロール金型、並びに光学シート
JP2007118569A (ja) * 2005-09-28 2007-05-17 Sony Corp 賦型の製造方法およびレンズシートの製造方法
US8083515B2 (en) * 2007-05-31 2011-12-27 Hitachi Industrial Equipment Systems, Co., Ltd. Fine pattern mold
JP4868324B2 (ja) * 2006-10-27 2012-02-01 エルジー ケム. エルティーディ. 繋ぎ目のないパターン化されたシリコンロールの製造方法及びこれにより製造されたシリコンロール
JP2019155813A (ja) * 2018-03-15 2019-09-19 シチズン時計株式会社 スタンパーロール

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006123393A (ja) * 2004-10-29 2006-05-18 Sony Corp ロール金型の製造方法及びロール金型、並びに光学シート
JP4635561B2 (ja) * 2004-10-29 2011-02-23 ソニー株式会社 ロール金型の製造方法及びロール金型
JP2007118569A (ja) * 2005-09-28 2007-05-17 Sony Corp 賦型の製造方法およびレンズシートの製造方法
JP4868324B2 (ja) * 2006-10-27 2012-02-01 エルジー ケム. エルティーディ. 繋ぎ目のないパターン化されたシリコンロールの製造方法及びこれにより製造されたシリコンロール
US8083515B2 (en) * 2007-05-31 2011-12-27 Hitachi Industrial Equipment Systems, Co., Ltd. Fine pattern mold
US8387255B2 (en) 2007-05-31 2013-03-05 Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. Fine pattern mold
JP2019155813A (ja) * 2018-03-15 2019-09-19 シチズン時計株式会社 スタンパーロール

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5527497A (en) Process and apparatus for manufacturing substrate sheet for optical recording mediums, and process for preparing stamper
US20050151283A1 (en) Method and apparatus for making a stamper for patterning CDs and DVDs
KR20010088331A (ko) 자기전사용 마스터담체
JPH046640A (ja) スタンパー
JPH05200757A (ja) フレキシブルスタンパー、ロール状スタンパー、および光情報記録媒体用基板の製造方法
JPH0714220A (ja) 光記録媒体用基板シートの成形ロール
JPH04308727A (ja) 光情報記録媒体用基板成型用ロール状スタンパの作製方法
JPS60195749A (ja) スタンパの製造方法
JPH06215423A (ja) 光記録媒体用基板シートの製造方法及び製造装置、スタンパーの製造方法及びフォトマスクの製造方法
JPH05109122A (ja) 光デイスク原盤とその製造方法およびドラム型スタンパの製造方法
JPH02110841A (ja) 情報記録媒体用基板の成形用ロール状スタンパーの製造方法及びそれを用いた情報記録媒体用基板の製造方法
JPH04212736A (ja) 情報記録媒体用基板シートの成形用ロールスタンパーとその製造方法及びロールスタンパーを用いた情報記録媒体用基板シートの製造方法
JPH052778A (ja) 電鋳装置およびそれを用いたスタンパーの製造方法
JPH04307223A (ja) 情報記録媒体形成用ロール状スタンパー
JPH04259938A (ja) 情報記録媒体製作用スタンパの製作方法
JPS6284450A (ja) 光デイスク用基板の製造方法
JPS6177152A (ja) 光デイスク用スタンパの製作法
JPH0863802A (ja) 光記録媒体製造用スタンパー
JPH08161775A (ja) 光記録媒体製造用スタンパー
JPS6185649A (ja) スタンパの製造方法
JPH059775A (ja) スタンパの製造方法
JPH02154344A (ja) 両面型スタンパおよびその製造方法
JPH03291392A (ja) 電鋳原版電鋳方法及び電鋳原版
JP2764457B2 (ja) 情報記録用スタンパー
JPS59218646A (ja) 母型の製造方法