JP5326806B2 - 半導体光素子を作製する方法 - Google Patents
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Description
Claims (9)
- 半導体光素子を作製する方法であって、
行及び列に配列された素子区画を含む素子エリアを有する主面を有する基板上に、一又は複数の半導体層を含む半導体領域を形成する工程と、
第1〜第nのパターン部を含むパターンの配列を有するパターン面を持つモールドを準備する工程と、
前記モールドを用いてナノインプリント法で前記半導体領域上に第1のマスクを形成する工程と、
前記第1のマスクを用いて前記半導体領域をエッチングして、前記第1〜第nのパターン部にそれぞれ対応する回折格子用の第1〜第nの周期構造を前記半導体領域の前記素子区画に形成する工程と、
前記第1のマスクを除去した後に、半導体層を前記半導体領域上に成長する工程と、
前記素子区画の第1の区画において前記第1〜第nの周期構造のうちの第iの周期構造(1≦i≦n)上に第1のパターンを有すると共に、前記素子区画の第2の区画において前記第1〜第nの周期構造のうちの第jの周期構造(1≦j≦n)上に第2のパターンを有する第2のマスクを形成する工程と、
前記第2のマスクを用いて前記第1及び第2の区画にそれぞれ第1及び第2のストライプメサを形成する工程と、
を備え、
各素子区画は、一素子分のエリアであり、
前記モールドの前記第1〜第nのパターン部のうちの少なくとも一のパターン部は、前記第1〜第nのパターン部のうちの別のパターン部と異なり、
前記第1〜第nの周期構造は前記行の方向に配列され、
前記第1〜第nの周期構造の各々は前記列の方向に延在し、
前記第2のマスクは、前記素子区画の前記第1の区画において前記第iの周期構造以外の残りの周期構造上及び前記素子区画の前記第2の区画において前記第jの周期構造以外の残りの周期構造上に開口を有し、
前記第1の区画において前記第iの周期構造以外の残りの周期構造は、前記第1及び第2のストライプメサの形成の際に除去され、
前記第2の区画において前記第jの周期構造以外の残りの周期構造は、前記第1及び第2のストライプメサの形成の際に除去される、ことを特徴とする方法。 - 前記第1及び第2のストライプメサを埋め込む埋込層を成長する工程を更に備える、ことを特徴とする請求項1に記載された方法。
- 前記主面のアクセサリエリア上の半導体領域にアライメントマークを形成する工程を備え、
前記モールドのアライメントは前記アライメントマークを基準にして行われ、
前記第2のマスクは、前記アライメントマークを基準にして形成される、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載された方法。 - 前記第1及び第2のストライプメサは、第1の光ガイド層、活性層、第2の光ガイド層及び回折格子層を含み、
前記回折格子は前記活性層に光学的に結合されており、
前記第1の光ガイド層、前記活性層、前記第2の光ガイド層、及び前記回折格子層は当該半導体光素子の前記基板上に順に配列されており、
当該半導体光素子は、分布帰還型半導体レーザを含む、ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載された方法。 - 前記モールドの前記第1〜第nのパターン部のうちの第kのパターン部は、位相シフトの有無及び周期の少なくともいずれかの属性による規定に関して、前記第1〜第nのパターン部のうちの第mのパターン部(kはmに等しくない)と異なる、ことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された方法。
- 前記第iの周期構造は、位相シフトの有無、周期及びデューティ比の少なくともいずれかの属性による規定に関して、前記第jの周期構造と異なる、ことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された方法。
- 前記第2のマスクの前記第1のパターンは、前記素子区画のうちの第1の素子区画において前記第1〜第nの周期構造のうちの前記第iの周期構造(1≦i≦n)上に形成されると共に、前記第2のマスクの前記第2のパターンは、前記素子区画のうちの第2の素子区画において前記第1〜第nの周期構造のうちの前記第jの周期構造(1≦j≦n、iはjと異なる)上に形成される、ことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載された方法。
- 前記第1及び第2のストライプメサ上に開口を有する絶縁層を形成する工程と、
前記第1及び第2のストライプメサ上に前記絶縁層を形成した後に、前記第iの周期構造及び前記第jの周期構造の位置に合わせて、それそれ、第1及び第2の電極を前記半導体層上に形成する工程と、
を更に備える、ことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載された方法。 - 前記第2のマスクの前記第1のパターンは、前記素子区画の第1の区画において前記第1〜第nの周期構造のうちの前記第iの周期構造(1≦i≦n)上に形成されると共に、前記第2のマスクの前記第2のパターンは、前記素子区画の第2の区画において前記第1〜第nの周期構造のうちの前記第jの周期構造(1≦j≦n)上に形成され、iはjと等しい、ことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された方法。
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