JP5891695B2 - 量子カスケード半導体レーザを作製する方法 - Google Patents
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Claims (9)
- 量子カスケード半導体レーザを作製する方法であって、
メサストライプのための第1マスクを半導体積層の上に形成する工程と、
前記第1マスクを用いて前記半導体積層をエッチングすることにより半導体メサ部と該半導体メサ部を規定する凹部とを形成して、前記半導体メサ部の形状及び前記凹部の形状を反映した表面形状を有する半導体領域を形成する工程と、
前記第1マスクを除去した後に、前記半導体メサ部の表面及び前記凹部の表面の上に誘電体膜を成長する工程と、
前記誘電体膜を成長した後に、前記凹部の表面及び前記半導体メサ部の表面の上にそれぞれに位置する第1部分及び第2部分を含むレジスト膜を形成する工程と、
回折格子を規定するためのパターンを前記半導体メサ部の上面の上の前記レジスト膜の前記第2部分に転写するための露光を行い露光されたレジスト膜を形成すると共に前記露光されたレジスト膜の現像を行って、第2マスクを形成する工程と、
前記第2マスクを用いて前記誘電体膜のエッチングを行って、誘電体マスクを形成する工程と、
前記誘電体マスクを用いて前記半導体領域のエッチングを行って、前記半導体メサ部の上面に回折格子構造を形成する工程と、
前記誘電体マスクを除去する工程と、
前記誘電体マスクを除去した後に前記回折格子構造上に電極を形成する工程と、
を備え、
前記第2マスクは第1レジスト部及び第2レジスト部を含み、
前記第1レジスト部は前記回折格子を規定するパターンを有すると共に前記半導体メサ部の前記上面の上に設けられ、前記第2レジスト部は前記凹部の表面を覆い、
前記半導体メサ部は、第1クラッド領域、量子カスケードレーザコア層及び第2クラッド領域を含み、
前記量子カスケードレーザコア層は前記第1クラッド領域と第2クラッド領域との間に設けられ、
前記第1クラッド領域の導電型は前記第2クラッド領域の導電型と同じであり、
前記第2マスクを形成する前記工程は、
前記半導体メサ部の上の前記レジスト膜を解像するように前記露光におけるフォーカスを調整する工程と、
前記半導体メサ部の上の前記レジスト膜に前記パターンを転写するための露光を行う工程と、
前記露光されたレジスト膜の現像を行って、前記第2マスクを形成する工程と、
を含み、
前記フォーカスの調整は、前記凹部の上にレジストが解像されないように行われる、量子カスケード半導体レーザを作製する方法。 - 前記半導体メサ部の高さは3μm以上である、請求項1に記載された量子カスケード半導体レーザを作製する方法。
- 前記半導体メサ部の上面に回折格子構造を形成する前記工程は、前記半導体領域の前記第2クラッド領域のエッチングを行う工程を含み、
前記第2クラッド領域は前記回折格子構造の少なくとも一部分を含む、請求項1又は請求項2に記載された量子カスケード半導体レーザを作製する方法。 - 前記半導体領域のエッチングは、基板バイアスを印加しながら行われる、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザを作製する方法。
- 前記半導体積層の前記エッチングでは、前記第1マスクを用いてドライエッチングを行って前記半導体メサ部の高さのうち第1部分を形成すると共に、該ドライエッチングの後に前記第1マスクを用いたウエットエッチングを行って前記半導体メサ部の高さのうち第2部分を形成する、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザを作製する方法。
- 前記ドライエッチングは誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング法を用いるエッチングを含む、請求項5に記載された量子カスケード半導体レーザを作製する方法。
- 前記回折格子構造は、前記半導体メサ部の前記上面において、前記半導体メサ部の延在方向に交差する方向に延在する複数の凸部を含み、
前記凸部は上面及び側面を有し、
前記凸部の前記側面は前記凸部の前記上面に対してゼロより大きく90度より小さい角度で傾斜する、請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザを作製する方法。 - 前記電極は、前記凸部の前記側面及び前記凸部の前記上面に接触を成す、請求項7に記載された量子カスケード半導体レーザを作製する方法。
- 前記誘電体マスクを除去した後に、パッシベーションのための保護膜を前記半導体領域の表面の上に成長する工程と、
前記保護膜をエッチングして、前記半導体メサ部の前記上面に開口を有する工程と、
を更に備える、請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載された量子カスケード半導体レーザを作製する方法。
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