KR20060051877A

KR20060051877A - 묘화 장치

Info

Publication number: KR20060051877A
Application number: KR1020050091641A
Authority: KR
Inventors: 타카시 후쿠이
Original assignee: 후지 샤신 필름 가부시기가이샤
Priority date: 2004-09-29
Filing date: 2005-09-29
Publication date: 2006-05-19
Also published as: JP2006098720A; TW200622520A; US20060066710A1; CN1756290A; US7397487B2

Abstract

본 발명은 장척의 가요성 기록 매체에 대하여 연속하여 노광처리 가능하게 하고, 대기 시간을 삭감하고, 단시간에 많은 노광 처리를 행하여 생산성을 향상 가능한 묘화 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 이를 위해, 묘화 장치(12)의 반송 경로상에 무단 벨트(33)를 적어도 2개의 롤러(30,32) 사이에 감아 걸어서 구성한 벨트 반송 기구를 배치하고, 반송 경로상에 배치된 벨트 반송 기구의 무단 벨트(33)상에 평면적으로 따르게 한 상태로 장척의 가요성 기록 매체(28)를 반송하면서 묘화 유닛(48)에서 연속적으로 묘화 처리를 행하도록 구성한다.

묘화 장치

Description

묘화 장치{IMAGE FORMING APPARATUS}

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 묘화 장치 요부의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.

도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 묘화 장치 요부의 개략 구성을 나타내는 정면도이다.

도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 묘화 장치의 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부를 얼라인먼트(alignment) 카메라 교정용 위치로 이동한 상태를 도시한 요부 개략 구성도이다.

도 4는 본 발명의 실시 형태에 따른 묘화 장치의 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부를 빔 위치 검출용의 위치로 이동한 상태를 도시한 요부 개략 구성도이다.

도 5는 본 발명의 실시 형태에 따른 묘화 장치의 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부를 노광면 파워 교정용 위치로 이동한 상태를 도시한 요부 개략 구성도이다.

도 6은 본 발명의 실시 형태에 따른 묘화 장치에 있어서의 노광 처리부의 반송 경로 부분에 무단 벨트 용의 가이드를 마련한 구성예를 도시한 요부 개략 확대 구성도이다.

도 7은 본 발명의 실시 형태에 따른 묘화 장치에 관계되는 노광 처리부의 반송 경로에 있어서의 헤드 어셈블리와 반대측에 얼라인먼트 유닛 카메라부를 마련한 구성예를 도시한 요부 개략 구성도이다.

도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 묘화 장치에서 노광 처리되는 플렉시블 프린트 배선 기판 재료를 예시하는 요부 평면도이다.

[부호의 설명]

12: 노광 처리부 14: 미노광 기록 매체 공급부

16: 노광이 끝난 기록 매체 회수부 20: 리니어 이동 기구

21: 이동 테이블 22: 기판 반송부

24: 기판 두께 조정용 Z스테이지 26: 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부

28: 플렉시블 프린트 배선 기판재 30: 닙 롤러 쌍

32: 닙 구동 롤러 쌍 33:무단 벨트

33A: 흡착용의 구멍 34: 구동 모터

35: 흡인 박스 37: 블로우어

38: 입구 가이드 롤러 39: 정밀 공조기

40: 출구 가이드 롤러 42: 교정 스케일

44: 빔 위치 검출 장치 45: 노광면 파워 측정 장치

46: 얼라인먼트 유닛 48: 노광 헤드 유닛

50: 베이스부 52: 카메라부

54: 헤드 어셈블리 58: 제어 유닛

60: 공급 릴 66: 출구측 롤러

68: 댄서 롤러 70: 권취 릴

76: 반송 경로 출구측 유지 롤러 78: 입구측 롤러

82: 평면 접접(平面摺接) 가이드 부재

본 발명은 노광 헤드에 설치된 공간 광 변조 소자(2차원 광 변조기) 등에서 화상 데이터(패턴 데이터)에 의거하여 변조된 광 빔을 장척의 가요성 기록 매체에 조사함으로써 소정의 패턴으로 노광하는 등의 수단으로 묘화하는 묘화 장치에 관한 것이다.

일반적으로 이용되고 있는 묘화 장치 중에는 광 빔으로 기록 매체를 주사함으로써 그 위로 소망의 이미지를 묘화하는 주사식의 프린트 기판 노광 장치, 레이저 포토 플로터, 레이저 프린터 등의 노광 장치가 있다.

이와 같은 노광 장치에서는 예를 들면, 프린트 기판 노광 장치의 경우에 기록 매체인 프린트 배선 기판용의 기판재에 대하여 레이저 광을 주사시켜서 묘화를 행한다. 여기에서 사용되는 프린트 배선 기판용의 기판재는 절연층상에 도체 박막을 형성하고, 그 도체 박막을 포토레지스트에서 피복하여 이루어진다.

이 프린트 기판 노광 장치는 이러한 기판재에 대하여 화상 데이터에 의거하여 변조된 레이저 광을 주사함으로써, 그 포토레지스트층에 대하여 소망의 기판 패 턴을 감광시킨다.

이와 같이 노광 처리된 프린트 배선 기판용의 기판재는 프린트 기판 노광 장치로부터 분리되어 더욱 포토 에칭 처리를 실시함으로써 프린트 기판으로서 완성된다.

이와 같이 사용되는 종래의 프린트 기판 노광 장치에는 롤 시트상의 기록 매체를 송출하는 로더와, 이 기록 매체를 회수하기 위한 언로더 사이에 장척 띠 상의 기록 매체를 길게 걸쳐 놓는다. 이 길게 걸쳐 놓여진 기록 매체의 부분을 고정 수단에 의하여 묘화 테이블의 묘화면상에 재치 고정한 상태로 이 묘화 테이블을 슬라이딩 수단에 의하여 고정밀도로 슬라이드 가능하게 구성한다. 또한, 로더와 언로더 사이에 길게 걸쳐 놓여진 기록 매체의 바로 위에는 레이저 광을 주사시키는 주사 광학계를 배치한다.

그리고, 기록 매체의 길게 걸쳐 놓여진 부분이 고정 수단에 의하여 묘화면상에 고정되어 있는 묘화 테이블을 슬라이딩 수단에 의하여 고정밀도로 반송하면서 주사 광학계가 그 묘화 테이블과 함께 고정밀도로 슬라이딩해 가는 매체에 대하여 화상 데이터에 의거하여 변조된 레이저 광을 주사함으로써 묘화를 행한다.

또한, 상기 종래의 프린트 기판 노광 장치에서는 처음의 묘화 처리가 종료한 후에 다시 묘화 처리를 개시하기 위하여 묘화 테이블의 고정 수단을 해제하고, 기록 매체를 로더의 클램프 롤러 쌍으로 고정시킴과 아울러 언로더의 구동 롤러 쌍으로 고정시켜서 로더와 언로더의 사이에 길게 걸쳐 놓여진 기록 매체를 부동의 상태로 하고나서 슬라이딩 수단에 의하여 묘화 테이블을 로더측으로 이동시킨다. 이어 서, 묘화 테이블의 고정 수단에 의하여 기록 매체를 묘화 테이블의 묘화면상에 고정시킨다. 이어서, 로더의 클램프 롤러 쌍을 개방시켜 로더의 조출(繰出) 롤러 쌍에 의하여 기록 매체를 조출하여 느슨해짐을 형성시킨다. 이어서, 슬라이딩 수단에 의하여 묘화 테이블을 언로더 측으로 이동시키면서, 주사 광학계에 의하여 그 묘화 테이블의 묘화면상에 고정된 기록 매체를 주사시킴과 아울러, 언로더의 구동 롤러 쌍에 의하여 기록 매체를 그 언로더 내에 회수시켜서 다음 묘화 처리를 종료한다. 또한, 더욱 다음 묘화 처리를 행할 경우는 상술한 동작을 필요 회수 되풀이한다(예를 들면, 특허문헌 1참조.).

이와 같은 종래의 프린트 기판 노광 장치에서는 묘화 처리를 마치고 나서 다음 묘화 처리를 개시할 때까지 묘화 테이블의 고정 수단을 해제하고, 기록 매체를 로더와 언로더로 각각 고정하고, 슬라이딩 수단에 의하여 묘화 테이블을 로더 측으로 이동하고, 묘화 테이블의 고정 수단에 의하여 기록 매체를 묘화 테이블의 묘화면상에 고정하고, 이어서, 로더의 클램프 롤러 쌍를 개방시켜 로더의 조출 롤러 쌍에 의하여 기록 매체를 조출하여 느슨해짐을 형성시키는 동작을 완료할 때까지 다음 묘화 동작으로 옮겨지지 않기 때문에 노광 처리하고 있는 시간 이외의 대기 시간이 많아지므로 생산성이 낮아진다고 하는 문제가 있다.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 2000-235267호 공보

본 발명은 상술한 문제를 감안하여, 장척의 가요성 기록 매체에 대하여 연속하여 노광 처리할 수 있기 위하여 기다리는 시간을 삭감하고, 단시간에 많은 노광 처리를 행하여 생산성을 향상할 수 있는 묘화 장치를 새롭게 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 청구항 1에 기재된 묘화 장치는 장척의 가요성 기록 매체를 반송 경로상에서 일정한 반송 방향으로 연속하여 반송하면서 묘화하는 묘화 장치로서, 반송 경로상에 배치되어 무단 벨트를 적어도 2개의 롤러간에 감아 걸어서 구성한 벨트 반송 기구와, 반송 경로상에 배치된 벨트 반송 기구의 무단 벨트상에 평면적으로 걸쳐진 상태로 반송되어 있는 장척의 가요성 기록 매체에 묘화 처리를 행하는 묘화 유닛을 갖는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 구성함으로써, 벨트 반송 기구의 무단 벨트상에 평면적으로 따르게 한 상태에서 장척의 가요성 기록 매체를 반송한다. 그리고, 장척의 가요성 기록 매체의 무단 벨트상에서 평면적으로 유지되어서 반송되고 있는 부분에 묘화 유닛에서 연속적으로 묘화 처리를 행할 수 있다. 따라서, 항상 노광 처리를 계속할 수 있기 때문에 대기 시간을 삭감하고, 단시간에 많은 노광 처리를 행하여 생산성을 향상할 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명은 청구항 1에 기재된 묘화 장치에 있어서, 벨트 반송 기구에 있어서의 무단 벨트에 흡착용의 관통 구멍을 천공하고, 무단 벨트의 뒷면측에 배치된 흡인 수단으로부터 공기를 흡인하여, 무단 벨트의 표면에 장척의 가요성 기록 매체를 흡착함으로써, 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하면서 반송하여, 묘화 유닛에서 묘화 처리를 행할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 구성함으로써, 전술한 청구항 1에 기재된 발명의 작용, 효과에 더하여 적어도 2개의 롤러 간에 감아 걸려서 평면적으로 길게 걸쳐 놓여진 무단 벨트의 표면에 장척의 가요성 기록 매체를 흡착함으로써 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하면서 반송하여 묘화 처리할 수 있기 때문에 묘화 처리의 안정성을 향상할 수 있다.

청구항 3에 기재된 발명은 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 묘화 장치에 있어서, 벨트 반송 기구에 있어서의 무단 벨트의 뒷측에 전접(轉接)하여 지지함으로써 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하기 위한 전접 롤러를 배치한 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 발명은 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 묘화 장치에 있어서, 벨트 반송 기구에 있어서의 무단 벨트의 뒷측에 평면부를 접접(摺接)시켜서 지지함으로써 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하기 위하여 다수의 흡기용 구멍을 천공한 흡착 스테이지를 배치한 것을 특징으로 한다.

전술한 바와 같이 구성함으로써, 전술한 청구항 1에 기재된 발명의 작용, 효과에 더하여 적어도 2개의 롤러간에 감아 걸려서 평면적으로 길게 걸쳐 놓여진 무단 벨트의 뒤측으로부터 전접 롤러 또는 흡착 스테이지가 지지하여 무단 벨트를 통하여 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하므로, 보다 높은 평면성을 유지한 상태로 묘화 처리할 수 있기 때문에, 묘화 처리의 안정성을 보다 향상시킬 수 있다.

청구항 5에 기재된 발명은 청구항 1 내지 청구항 4의 어느 한항에 기재된 묘화 장치에 있어서, 묘화 유닛을 레이저 노광 장치로 구성한 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 기재된 발명은 청구항 1 내지 청구항 5의 어느 한항에 기재된 묘화 장치에 있어서, 묘화 유닛은 광 빔을 공간 광 변조 소자에 의하여 변조하여 2차원의 패턴을 노광 처리하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 기재된 발명은 청구항 1 내지 청구항 6의 어느 한항에 기재된 묘화 장치에 있어서, 무단 벨트를 복수의 벨트로 분할하고, 소정간격을 두어 배치하고, 분할된 무단 벨트간에 생기는 간극을 통하여 장척의 가요성 기록 매체의 뒷면에 형성한 얼라인먼트 마크를 검출하여 얼라인먼트 맞춤을 하면서 묘화 처리를 가능하게 구성한 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 구성함으로써, 전술한 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한항에 기재된 발명의 작용, 효과에 더하여 묘화 장치의 설계 자유도를 넓히고 컴팩트화를 도모할 수 있게 한다.

청구항 8에 기재된 발명은 청구항 1 내지 청구항 7의 어느 한항에 기재된 묘화 장치에 있어서, 무단 벨트에 있어서의 얼라인먼트 위치 또는 묘화 위치에 대한 반송 방향 상류측과 반송 방향 하류측에 각각 무단 벨트의 뒷측에 전접하여 지지함으로써 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하기 위한 전접 롤러를 배치한 것을 특징으로 한다.

청구항 9에 기재된 발명은 청구항 1에 기재된 묘화 장치에 있어서, 벨트 반송 기구에 있어서의 무단 벨트의 뒷측에 전접하여 지지하는 전접 롤러와, 전접 롤러를 커버하도록 마련되어진 흡인 박스와, 흡인 박스와 연통 가능하도록 무단 벨트에 천공된 관통 구멍을 갖고, 흡인 박스 및 관통 구멍을 통하여 무단 벨트상의 가 요성 기록 매체를 흡인하도록 구성된 것을 특징으로 한다.

청구항 10에 기재된 발명은 청구항 9에 기재된 묘화 장치에 있어서, 전접 롤러와 흡인 박스는 얼라인먼트 위치 및 묘화 위치 중 적어도 어느 한 쪽에 마련되어져 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 묘화 장치에 의한 실시의 형태에 있어서 도 1 내지 도 8을 참조하면서 설명한다.

본 발명의 실시의 형태에 의한 묘화 장치는 제어 유닛으로 자동 제어되어서 장척 띠 상의 시트로 형성한 가요성 기록 매체인 플렉시블 프린트 배선 기판재를 주주사 방향으로 이동하면서 노광 헤드에 의하여 제어 유닛에서 화상 데이터로부터 생성된 변조 신호에 의거하여 광원측으로부터 출사된 멀티 빔을 공간 변조하여 플렉시블 프린트 배선 기판재상에 조사함으로써 노광 처리를 행하는 노광 장치로서 구성한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 이 묘화 장치는 플로어 베이스(floor base)(10)의 중앙부에 노광 처리부(12)을 배치하고, 이 노광 처리부(12)의 일방 측부(도 1을 향하여 좌측부)에 미노광 기록 매체 공급부(14)를 배치하고, 노광 처리부(12)의 타방의 측부(도 1을 향하여 우측부)에 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)을 배치하여 구성한다.

이 노광 처리부(12)에서는 플로어 베이스(10)상에 설치한 제진(除振) 기능이 부가된 장치 기초대(18)의 평면상에 리니어 이동 기구(20)를 통하여 기판 반송부(22)를 장착한다.

이 리니어 이동 기구(20)는 제진 기능이 부가된 장치 기초대(18)의 상평면부와, 기판 반송부(22)를 장착하는 이동 테이블(21)의 사이에 리니어 모터 또는 기타 전송 수단을 장착하여 구성한다.

이 리니어 이동 기구(20)를 예컨데 리니어 모터로 구성할 경우에는 제진 기능이 부가된 장치 기초대(18)에 반송 방향에 걸쳐 도시되지 않은 봉상의 스테이터부(자석부)을 마련하고, 이동 테이블(21)의 하면측에 배치된 도시되지 않은 코일부를 마련한다. 이 리니어 모터는 코일부로의 통전에 의하여 발생하는 자계와 스테이터부의 자계의 작용에 의한 구동력으로 이동 테이블(21)을 반송 방향으로 이동시킨다.

이 리니어 모터는 기판 반송부(22)의 반송 동작에 있어서의 정속성, 위치 결정 정밀도, 및 시동 혹은 정지시의 토크 변동 등을 전기적인 제어에 의하여 고정밀도로 구동 제어할 수 있다.

리니어 이동 기구(20)는 기판 반송부(22) 전체를 도 1 및 도 2에 도시된 노광 처리 위치부터 도 3에 도시된 얼라인먼트 카메라 교정용 위치, 도 4에 도시된 빔 위치 검출용의 위치, 혹은 도 5에 도시된 노광면 파워 교정용 위치로 이동가능하게 구성된다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 반송부(22)는 이동 테이블(21)상에 기판 두께 조정용 Z스테이지(24)를 설치하고, 이 기판 두께 조정용 Z스테이지(24)상에 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)를 설치하여 구성된다.

이 기판 두께 조정용 Z스테이지(24)는 기록 매체 노광면의 높이 위치 조정을 위하여, 경사면을 이용한 미동 조정 기구에서 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26) 전체를 높이 방향(Z축 방향)으로 평행 이동 가능하게 구성한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)에는 장척 띠 상의 가요성 기록 매체인 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반송하기 위하여 벨트 반송 기구를 장착한다. 이 벨트 반송 기구는 반송 방향 상류측에 닙(nip) 롤러 쌍(30)을 배치하고, 그 반송 방향 하류측에 닙 구동 롤러 쌍(32)을 배치하고, 이들 사이에 무단 벨트(33)를 감아 걸어서 구성한다.

이 닙 구동 롤러 쌍(32)은 구동 롤러(32A)의 외주면 상에 무단 벨트(33)를 통하여 전접하는 복수(여기서는 2개)의 닙 롤러(32B)로 구성한다. 이들 구동 롤러(32A)와 닙 롤러(32B)의 사이에는 무단 벨트(33)를 통하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 삽입되어 구동 롤러(32A)를 회전함으로써 무단 벨트(33)와 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 미끄러짐이 발생되는 일 없이 반송되도록 구성되어 있다.

이 구동 롤러(32A)에는 구동 모터(34)에서 출력되어 감속 기구(36)에서 감속된 소정 회전수의 회전 구동력이 벨트 전달 기구에 전달된다. 이것에 의하여, 이 닙 구동 롤러 쌍(32)은 소정의 주사 속도로 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반송한다.

검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)에 배치하는 닙 롤러 쌍(30)은 2개의 닙 롤러를 무단 벨트(33)을 통하여 서로 전접시켜서 구성한 것으로, 닙 롤러 쌍(30)의 닙 롤러간에 무단 벨트(33)을 통하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 삽입한 상태로 유지함과 아울러, 닙 롤러 쌍(30)이 전동함으로써 무단 벨트(33)와 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 전송하도록 구성한다.

이 무단 벨트(33)에는 예를 들면, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 다수의 원형 관통 구멍인 흡착용의 구멍(33A)를 평균적으로 분포시켜서 천공 한다.

또한, 이 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)에는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)을 재치하기 위하여 반송 경로를 따라 배치된 무단 벨트(33) 상측의 길게 걸쳐 놓임 부분의 뒤측에 인접하여 흡인 수단을 구성하는 흡인 박스(35)를 설치한다.

이 흡인 박스(35)는 적어도 후술하는 얼라인먼트 유닛(46)과 노광 헤드 유닛(48)의 바로 아래 위치가 되는 얼라인먼트를 행하는 영역과 노광 영역을 포함하는 소정 범위에 걸쳐 배치된다.

이 흡인 수단을 구성하는 흡인 박스(35)는 뚜껑이 없는 직사각형의 상자 상으로 형성되어, 무단 벨트(33) 상측의 길게 걸쳐 놓임 부분의 뒤측에 인접하여 배치됨으로써, 무단 벨트(33)와 흡인 박스(35)로 둘러쌓인 흡기용의 반밀폐 공간을 만들도록 구성한다.

또한, 이 흡인 수단에서는 흡인 박스(35)에 블로우어(blower)(37)로부터 인출된 도시되지 않은 흡기관의 선단부를 접속한다. 이 흡인 수단을 구성하는 블로우어(37)는 무단 벨트(33)와 흡인 박스(35)로 둘러쌓인 반밀폐 공간 내의 공기를 흡기하고, 무단 벨트(33)의 흡착용 구멍(33A)으로부터 흡기하는 작용에 의하여 무단 벨트(33)의 표면에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 흡착하는 동작을 행하도록 구성한다.

이와 같이 구성된 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)에서는 블로우어(37)를 구동하여 무단 벨트(33)와 흡인 박스(35)로 둘러쌓인 반밀폐 공간 내의 공기를 흡기함으로써 무단 벨트(33)의 각 흡착용 구멍(33A)으로부터 흡기되는 부압에 의하여, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 있어서의 닙 롤러 쌍(30)으로부터 노광 처리부(12)의 반송 경로상에 반입한 부분이 무단 벨트(33)에 흡착된다. 이 상태에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)는 무단 벨트(33)와 일체로 반송되어서 닙 구동 롤러 쌍(32)으로부터 반출된다.

이와 같이, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)는 닙 롤러 쌍(30)으로부터 닙 구동 롤러 쌍(32)까지 반송되는 사이에 무단 벨트(33)에 흡착된 상태를 유지하여 일정한 반송 방향으로 연속하여 반송된다. 따라서, 이 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)에서는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 무단 벨트(33)상에 배치하여, 이 무단 벨트(33)을 연속적으로 구동하면서 노광 처리할 수 있도록 구성하고 있으므로, 항상 노광 처리를 계속하는 것을 가능하게 하고, 생산성을 높일 수 있다.

또한, 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)에서는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 평면성이 높은 무단 벨트(33)에 밀착하도록 따르게 하고 있기 때문에, 노광 헤드 유닛(48)으로부터의 촛점 거리를 일정하게 유지할 수 있다.

특히, 무단 벨트(33)를 포제(布製)의 벨트가 아니고 금속제의 벨트로 구성했을 경우에는, 무단 벨트(33)에 큰 장력을 걸어서 보다 높은 평면성을 얻도록 구성 하면, 이 무단 벨트(33)상에 흡착된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 평면성도 향상시킬 수 있기 때문에, 노광 헤드 유닛(48)에서의 촛점 거리를 보다 높은 정밀도로 일정하게 유지할 수 있다.

이와 같이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 무단 벨트(33)에 걸치게 하여 연속한 평면을 설정한 반송 경로상에서 연속하여 노광하는 구성에 의하면, 예를 들면 2차원 공간 변조 소자(DMD)에 의하여 2차원 패턴을 조사하는 소위, 면노광 처리를 행할 경우에, 노광 영역이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 전달 방향에 폭을 가지고 있어도 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 평면성이 높기 때문에 노광 영역 내의 기판 전달 방향에서 촛점 거리가 변화되지 않도록 할 수 있고, 양호한 화상을 얻게 된다.

또한, 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)의 반송 경로상에서는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 무단 벨트(33)에 흡착됨으로써 양호한 평면성을 확보할 수 있기 때문에, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28) 자체에 반송 방향으로 잡아당기는 장력을 부하하지 않도록 구성하여, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 장력에 의하여 신축 변형하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 이와 같이 구성한 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)에서는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 장력에 의하여 탄성적으로 신축 변형한 상태로 노광 처리되어, 이후에 부하되어 있었던 장력이 개방되어서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 처음의 형상으로 복귀되었을 때에 노광된 화상이 벗어나 버리는 것(소위 노광 위치 차이)을 방지할 수 있다.

이 묘화 장치에는 블로우어(37)의 배기를 정밀 공조기(39)을 통하여 진애를 제거하고 나서 묘화 장치가 설치된 클린 룸(clean room) 내에 환류하기 위하여 블로우어(37)의 배기구에 일단을 접속한 배기관(41)의 타단을 정밀 공조기(39)의 흡기구측에 접속한다.

이와 같이 구성함으로써, 블로우어(37)가 흡인 박스(35)로부터 무단 벨트(33)상에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 흡착시키기 위하여 흡인한 공기를 배기관(41)을 통하여 정밀 공조기(39)로 회생(回生)한다. 이 정밀 공조기(39)는 도시되지 않았지만 소위 HEPA 필터에 의하여, 블로우어(37)로부터 보내진 공기나, 묘화 장치 하우징 내부로부터 흡기한 공기를 청정화하여 클린 룸 내에 환류한다.

따라서, 이렇게 구성했을 경우에는 블로우어(37)로부터 보내진 대량의 공기를 클린 룸 밖으로 배기하면 신선하고 깨끗한 공기를 클린 룸 내에 공급하기 위한 공조 능력을 높게 할 필요가 있어 가격이 높아지지만 이것을 방지할 수 있고, 또한 블로우어(37)의 배기를 그대로 클린 룸 내에 배기하면 블로우어(37)로부터의 진애가 클린 룸을 오염하게 되지만 이것을 방지할 수 있다.

또한, 이 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)의 반송 경로에는 닙 롤러 쌍(30)의 상류측에 가이드 롤러(38)를 설치하고, 닙 구동 롤러 쌍(32)의 하류측에 가이드 롤러(40)를 설치한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)에 있어서의 닙 롤러 쌍(30)의 외측에는 그 내부에 설정된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 노광용 반송 경로에 대한 반송 방향 상류측의 연장선상의 소정 위치에 교정 스케일(42)을 배치한다.

또한, 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)에 있어서의 닙 구동 롤러 쌍(32)의 외측에는 그 내부에 설정된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 노광용 반송 경로에 대한 반송 방향 하류측의 연장선상 소정위치에 빔 위치 검출 장치(44)와 노광면 파워 측정 장치(45)를 배치한다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 노광 처리부(12)에는 기판 반송부(22)의 상방에 있어서의 반송 방향 상류측에 얼라인먼트 유닛(46)을 배치하고, 그 반송 방향 하류측에 묘화 유닛으로서의 노광 헤드 유닛(48)을 배치한다.

이 얼라인먼트 유닛(46)은 도시되지 않았지만 묘화 장치의 광체(筐體) 등의 고정 구조부에 베이스부(50)를 부착하여 설치한다. 이 베이스부(50)에는 평행한 한쌍의 레일부(미도시)를 마련하고, 이것에 볼 나사 기구로 이동되는 카메라 베이스를 통하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 폭 방향에 있어서의 소망의 위치에 렌즈부의 광축을 맞추도록 이동 가능하게 복수(본 실시의 형태에서는 4대)의 카메라부(52)을 각각 장착한다.

각 카메라부(52)는 도시되지 않았지만, 카메라 본체의 하면에 렌즈부를 마련함과 아울러 렌즈부의 돌출 선단부에 링 상의 스트로보 광원(LED 스트로보 광원)을 장착한다. 그리고, 이 카메라부(52)에서는 스트로보 광원으로부터의 광을 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 조사하고, 그 반사광이 렌즈부를 통하여 카메라 본체로 촬상되도록 하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 단부 또는 마크(M)(도 8에 도시됨) 등을 검출한다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 노광 처리부(12)에 배치하는 묘화 유닛으로서의 노광 헤드 유닛(48)은 도시되지 않았지만, 반송되어 있는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 폭 방향 양단부의 외측에 각각 입설(立設)된 지주에 부착하여 설치한다.

이 묘화 유닛으로서의 노광 헤드 유닛(48)은 레이저 노광 장치로서 구성하는 것으로, 복수의 헤드 어셈블리(54)를 m행 n열(본 실시 형태에서는 2행 4열에서 합계 8개)의 대략 매트릭스상으로 배열하고, 이 복수의 헤드 어셈블리(54)의 행이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 폭 방향(반송 방향으로 직교하는 방향으로서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 반송 방향인 주사 방향으로 직교하는 방향에 상당함)을 따르도록 배치된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 이 묘화 장치 본체 내부에는 광원 유닛(56)을 설치한다. 이 광원 유닛(56)은 도시되지 않았지만, 복수의 레이저(반도체 레이저)광원을 수용한 것으로 각 레이저 광원으로부터 출사하는 광 빔을 광파이버에 의하여, 각각 대응하는 헤드 어셈블리(54)에 도입한다.

각 헤드 어셈블리(54)는 도입된 광 빔을 공간 광 변조 소자인, 도시되지 않은 디지털 마이크로 미러 디바이스(DMD)에 의하여 변조하고 나서, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)상으로 오토 포커스 기구에 의하여 초점을 맞춰 이차원의 패턴을 조사(소위 면노광 처리)하도록 구성한다.

각 헤드 어셈블리(54)의 디지털 마이크로 미러 디바이스(DMD)는 제어 유닛(58)의 화상 처리부에서 화상 데이터에 의거하여 도트(dot) 단위로 제어되고, 플렉 시블 프린트 배선 기판재(28)에 도트 패턴을 노광한다.

이 묘화 유닛으로서의 노광 헤드 유닛(48)은 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 일정 속도로 반송하면서, 소정의 타이밍으로 각각의 헤드 어셈블리(54)로부터 조사되는 복수의 광 빔을 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)로 조사하여 노광 처리를 행한다. 이때, 각 헤드 어셈블리(54)는 노광시에 오토 포커스 기구에 의하여 초점을 맞추고 나서 노광하므로, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 높이 위치에 다소의 변동이 있어도 적절한 노광 처리를 할 수 있다.

이 노광 헤드 유닛(48)에서는 도시되지 않았지만, 1개의 헤드 어셈블리(54)에 의한 노광 영역을 주사 방향에 대하여 소정의 경사각으로 경사지게 하고, 주사 방향을 단변(短邊)으로 하는 직사각형상이 되도록 구성하고, 주사 방향으로 반송되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)상에 각 헤드 어셈블리(54) 마다 띠 상의 노광이 끝난 영역을 형성한다.

또한, 이 노광 헤드 유닛(48)에서는 노광 영역을 주사 방향에 대하여 소정의 경사각으로 경사지게 하여 노광하므로, 노광되는 이차원 배열의 도트 패턴이 주사 방향에 대하여 경사지게 하기 때문에, 주사 방향으로 늘어선 각 도트가 주사 방향과 교차하는 방향으로 늘어선 도트간을 통과하는 것으로 되어 실질적인 도트간 피치가 좁혀지기 때문에, 고해상도화를 도모할 수 있다.

또한, 이 묘화 장치에는 반송 동작중의 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)와, 노광 헤드 유닛(48)의 상대적인 위치관계에 차이를 보였을 때에, 카메라부(52)가 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)상에 마련되어진 마크(M) 등을 촬영하고, 플렉시 블 프린트 배선 기판재(28)와 노광 헤드 유닛(48) 위치의 차이 양을 검출하고, 노광 헤드 유닛(48)에 의한 노광 처리를 보정하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 대하여 적절한 노광 처리를 실행할 수 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 이 묘화 장치에는 노광 처리부(12)에 설정된 반송 경로상에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반송하면서 연속하여 노광 처리를 행하기 위하여, 노광 처리부(12)의 반송 경로의 상류측에 접속하는 미노광 기록 매체 공급부(14)를 마련하고, 노광 처리부(12)의 반송 경로의 하류측에 접속하는 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)를 마련한다.

이 미노광 기록 매체 공급부(14)는 미노광의 장척상 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 감아 장착한 공급 릴(60)과, 스페이서 테이프 권취 릴(62)을 구동 유닛(64)에 장착하여 구성된다.

이 미노광 기록 매체 공급부(14)에서는 공급 릴(60)로부터 인출된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 무단 벨트(33)에 평면적으로 밀착하도록 따르게 하여 반송할 수 있게 하기 위한 장력 설정 수단인 댄서(dancer) 롤러 기구를 통하여 노광 처리부(12)의 기록 매체 반송 경로의 입구에 반입하도록 구성한다.

또한 도시되지 않았지만, 공급 릴(60)과 노광 처리부(12)의 기록 매체 반송 경로의 입구 사이에 반송 속도의 차이를 조정하기 위한 제 1 댄서 롤러 기구를 배치하고, 클린 롤러를 통하여 장력 설정 수단인 제 2 댄서 롤러 기구를 배치하여 구성해도 좋다.

이 댄서 롤러 기구는 예를 들면 미노광 기록 매체 공급부(14)의 출구측 롤러 (66)와, 노광 처리부(12)의 입구 가이드 롤러(38) 사이에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 U자상으로 느슨해진 부분에 댄서 롤러(68)를 전동하도록 배치하여 구성한다. 또한, 이 댄서 롤러기구는 공기로 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 흡인하는 구성의 소위, 에어 댄서로 대용할 수 있다. 또한, 장력 설정 수단인 제 2 댄서 롤러기구는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 무단 벨트(33)에 평면적으로 밀착시키기 위하여 필요한 비교적 약한 장력을 주도록 구성된다.

이와 같이 구성된 미노광 기록 매체 공급부(14)는 구동 유닛(64)이 공급 릴(60)을 회전 구동함으로써 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 인출하여 댄서 롤러기구를 통하여 노광 처리부(12)의 닙 롤러 쌍(30)과 무단 벨트(33) 사이에 반입하고, 반송 경로상의 무단 벨트(33)상에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)가 미끄러지지 않으면서 연속적으로 공급하도록 구성한다.

이 공급 릴(60)에서는 감아 장착한 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)끼리가 직접 접촉하지 않도록 사이에 스페이서 테이프(61)를 삽입해서 감아 장착하고 있다. 이 때문에 미노광 기록 매체 공급부(14)에서는 반출되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)와 함께 늘어져 나오는 스페이서 테이프(61)를 스페이서 테이프 권취 릴(62)에 권취하도록 구동 유닛(64)로 스페이서 테이프 권취 릴(62)을 회전 구동한다.

또한, 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)는 노광이 끝난 장척상 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 감아 장착하는 권취 릴(70)과, 스페이서 테이프 공급 릴(72)을 구동 유닛(74)에 장착하여 구성된다.

이 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)에서는 노광 처리부(12)의 기록 매체 반송 경로의 출구에 접속된 장력 설정 수단으로서의 댄서 롤러 기구를 통하여 노광 처리부(12)로부터 반출된 노광이 끝난 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 권취 릴(70)에 감아 장착한다.

이 댄서 롤러기구는 예를 들면 노광 처리부(12)의 출구 가이드 롤러(40)로부터 반송 방향 하류측에 배치한 유지 롤러(76)와, 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)의 입구측 롤러(78) 사이에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 U자상으로 느슨해진 부분에 댄서 롤러(68)를 전동하도록 재치하여 구성된다.

또한, 이 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)에서는, 입구측 롤러(78)와 권취 릴(70)의 사이에 닙 롤러 쌍(80)을 설치하여 권취 릴(70)이 감아 장착되기 위하여 노광이 끝난 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 잡아당김으로써 작용하는 장력을 닙 롤러 쌍(80)에서 흡수하고, 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)의 반송 경로 상류측에 배치된 댄서 롤러 기구에 장력이 전달되지 않도록 구성된다.

이와 같이 구성된 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)는 구동유닛(74)이 권취 릴(70)을 회전 구동함으로써, 노광 처리부(12)로부터 댄서 롤러 기구를 통하여 송출된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 연속적으로 감아 장착하여 회수하도록 구성된다.

또한, 이 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)에서는 권취 릴(70)에 감아 장착할 때에, 권취 릴(70)에 감아 장착되어 가는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)끼리가 직접 접촉하지 않도록 권장(卷裝)면의 사이에 스페이서 테이프(61)를 삽입해서 감아 장착시킨다. 따라서 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)에서는 반입되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 스페이서 테이프(61)를 따르게 하여 감아 장착할 수 있도록, 스페이서 테이프 공급 릴(72)로부터 스페이서 테이프(61)를 인출하기 위하여 구동 유닛(74)에서 스페이서 테이프 공급 릴(72)을 회전시킨다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상술한 구성의 묘화 장치에서는 노광 처리부(12)의 노광용 반송 경로의 닙 롤러 쌍(30)과 닙 구동 롤러 쌍(32)의 사이에 벨트 반송 기구를 마련하고 있다.

이 노광 처리부(12)의 노광용 반송 경로에서는 벨트 반송 기구의 무단 벨트(33)상에 반송되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 부분이 블로우어(37)를 구동하여 무단 벨트(33)와 흡인 박스(35)로 둘러쌓인 반밀폐 공간 내의 공기를 흡기하여 무단 벨트(33)의 흡착용 구멍(33A)으로부터 흡기하는 작용에 의하여, 무단 벨트(33)의 표면에 흡착된 상태에서 일체적으로, 닙 구동 롤러 쌍(32)의 회전 구동력에 의하여 소정 속도로 주주행 방향(주주사 방향)으로 반송하면서, 노광 헤드 유닛(48)에 의하여 노광 처리를 행하게 된다.

이 노광 처리부(12)에서 노광 처리를 행할 때에 노광용 반송 경로상에 있어서의 얼라인먼트 유닛(46) 아래에 대응하는 위치와, 노광 헤드 유닛(48) 아래에 대응하는 위치에서 무단 벨트(33)로 평면적으로 지지된다. 또한, 노광 처리부(12)의 노광용 반송 경로 상에 길게 걸쳐 놓아진 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)로는 그 반송 방향 상류측에 배치된 댄서 롤러 기구와, 반송 방향 하류측에 배치된 댄서 롤러 기구에 의하여, 소정의 장력이 작용하여 무단 벨트(33)상에서 느슨해질 일 없이 안정하게 유지된다.

따라서, 이 노광 처리부(12)에서는, 노광 헤드 유닛(48)의 각 헤드 어셈블리(54)에 의하여 무단 벨트(33)에서 평면적으로 유지된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 표면에 대하여 이차원 패턴으로 적정하게 노광 처리를 행할 수 있다.

또한, 노광 처리부(12)에서는 주주행 방향으로 일정한 속도로 반송되어 있는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 대하여 노광 헤드 유닛(48)에서 연속하여 노광 처리할 수 있기 때문에, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 노광 헤드 유닛(48)의 바로 아래에서 왕복 동작시키는 바와 같은 동작을 배제하고, 신속하고 합리적으로 노광 처리하여 작업 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 이 묘화 장치에서는 얼라인먼트 유닛(46)이 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)을 촬상하여 취득한 마크(M) 또는 단부의 위치 데이터에 의거하여 제어 유닛(58)이 노광 헤드 유닛(48)으로 노광 처리할 때의 노광 개시 위치 및 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 폭 방향에 있어서의 도트의 시프트 위치에 따른 보정 계수를 구한다. 그리고, 제어 유닛(58)은 이 보정 계수에 기초하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)상에 노광하는 화상의 위치를 적정 위치에 보정하도록 노광 헤드 유닛(48)의 각 헤드 어셈블리(54)에 의한 이차원 묘화 패턴이나 화상 기록 개시 시기 등을 보정하여 노광 처리하는 제어를 실행하게 된다.

이 묘화 장치의 노광 처리부(12)에서는 얼라인먼트 유닛(46) 바로 아래의 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 검출 대상이 되는 부분과, 노광 헤드 유닛(48) 바로 아래의 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 검출 대상이 되는 부분이 함께 동 일한 장력을 받고, 주주행 방향(주주사 방향)에 동일한 속도로 반송되고 있으므로, 얼라인먼트 유닛(46)의 검출 결과를 오차 없이 노광 헤드 유닛(48)에 적용할 수 있기 때문에, 노광 처리의 정밀도를 보다 향상시킬 수 있다.

이어서, 이 묘화 장치에 이용되는 얼라인먼트 유닛(46)의 교정 수단에 대하여 설명한다. 이 묘화 장치에는 얼라인먼트 유닛(46)에 의하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)와, 노광 헤드 유닛(48)의 상대 위치 관계를 적정하게 조정하기 위한 얼라인먼트를 실행한다.

이 묘화 장치의 얼라인먼트에서는 도시되지 않은 입력부에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 사이즈 데이터가 입력되면, 이 입력된 사이즈 데이터에 기초하여 얼라인먼트 유닛(46)의 카메라부(52)의 위치를 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 폭 방향 위치와 맞추도록 이동 조정한다.

또한, 이 묘화 장치에서는 각 카메라부(52)에 의하여 주주사 방향으로 이동중의 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 길이 방향 소정 범위를 촬영하고, 미리 노광 위치 검출을 위하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 형성된 마크(M)를 검출하고, 각 카메라부(52)의 기준 위치와 비교하여 노광용의 보정 데이터를 생성하고, 이 보정 데이터에 기초하여 도시되지 않은 펄스 카운터 등을 이용하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 노광 개시 위치가 노광 헤드 유닛(48)의 노광 빔 조사 위치에 이르는 타이밍을 꾀하여 노광 처리 동작을 행한다.

또한, 이 묘화 장치에는 얼라인먼트의 적정을 꾀하기 위하여 얼라인먼트용 카메라부(52)의 위치 교정을 행한다. 이 얼라인먼트용 카메라부(52)의 위치 교정에 서는 교정 스케일(42)을 이용하여 위치 교정을 행한다.

이 때문에, 이 묘화 장치에서는 리니어 이동 기구(20)를 구동하여, 기판 반송부(22)[이동 테이블(21), 기판 두께 조정용 Z스테이지(24), 닙 롤러 쌍(30) 및 닙 구동 롤러 쌍(32)을 마련함과 아울러, 교정 스케일(42)을 마련한 주사용 반송부(26)] 전체를 도 2에 도시된 노광 대기 위치로부터 도면를 향해 우방향으로 이동하여, 도 3에 도시된 얼라인먼트 카메라 교정용 위치에 설치한다.

이 도 3에 도시된 얼라인먼트 카메라 교정용 위치에서는 각 카메라부(52)와 각각 대응하는 교정 스케일(42)이 대향하는 상태가 된다. 이 상태로, 지정된 얼라인먼트 마크(M)의 폭 위치 정보에 기초하여 얼라인먼트용의 각 카메라부(52)를 기판 폭 방향으로 이동시킨다.

이 묘화 장치에서는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 반송 경로로부터 카메라부(52) 측에 교정 스케일(42)을 배치한 구성이기 때문에, 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)의 반송 경로상에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반입한 상태로 얼라인먼트용 카메라부(52)의 위치 교정을 행할 수 있다.

그리고, 이 묘화 장치에는 얼라인먼트용의 카메라부(52)에서 교정 스케일(42)을 촬영하고, 교정스케일(42)의 패턴이 촬영된 위치로부터 카메라부(52)와 교정 스케일(42)의 위치 관계를 교정한다.

또한, 이 묘화 장치에서는 얼라인먼트 카메라 교정 동작을 완료한 후에 리니어 이동 기구(20)을 구동하여, 기판 반송부(22) 전체를 도 3에 도시된 얼라인먼트 카메라 교정용 위치로부터 도 2에 도시된 노광 대기 위치에 복귀시키는 동작을 행 한다.

이어서, 이 묘화 장치에 이용되는 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 위치와 노광 영역 내의 파워 분포에 관한 교정 수단에 대하여 설명한다.

이 묘화 장치에는 우선, 각헤드 어셈블리(54)의 빔 위치를 측정하기 위하여, 도 2에 도시된 노광 대기 위치로부터 도면을 향해 좌방향으로 향하여, 각 헤드 어셈블리(54)와 각각 대응하는 빔 위치 검출 장치(44)가 대향하는 도 4에 도시된 빔 위치 검출 위치까지 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)를 이동시킨다. 그리고, 각 헤드 어셈블리(54)의 빔 위치를 빔 위치 검출 장치(44)에서 측정하고, 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 위치를 교정한다.

이어서, 이 묘화 장치에서는 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 영역 내의 파워 분포를 측정하기 위하여, 도 4에 도시된 빔 위치 검출 위치로부터 도면을 향해 좌측 방향으로 향하여 각 헤드 어셈블리(54)와 각각 대응하는 노광면 파워 측정 장치(45)가 대향하는 노광면 파워 교정 위치까지 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)를 이동시킨다.

그리고, 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 영역 내의 파워 분포를 각각 대응하는 노광면 파워 측정 장치(45)에서 측정하고, 노광 영역 전역에서의 파워를 교정하고, 적절한 이차원 패턴을 묘화 가능하게 한다.

또한, 이 묘화 장치에서는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 반송 경로로부터 노광 헤드 유닛(48)측에 빔 위치 검출 장치(44) 및 노광면 파워 측정 장치(45)를 배치한 구성이기 때문에, 검출용 유닛이 부착된 주사용 반송부(26)의 반송 경로상에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 반입한 상태로, 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 위치 교정과 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 영역 전역에서의 파워 교정을 행할 수 있다.

또한, 이 묘화 장치에는 각 헤드 어셈블리(54)의 노광 위치를 교정하는 동작 및 노광 영역 전역에서의 파워 교정 동작을 완료한 후에 리니어 이동 기구(20)를 구동하여, 기판 반송부(22) 전체를 도 5에 도시된 노광면 파워 교정 위치로부터 도 2에 도시된 노광 대기 위치로 복귀시키는 동작을 행한다.

이어서, 상술한 바와 같이 구성된 묘화 장치의 작용 및 동작에 대하여 설명한다.

이 묘화 장치에서는 노광 처리를 개시하기 전에 전술한 얼라인먼트 카메라부(52)에 대한 교정의 처리와, 각 헤드 어셈블리(54)에 대한 노광 위치와 노광 영역 내의 파워 분포의 교정을 행하여 둔다. 또한, 얼라인먼트 카메라부(52)에 대한 교정의 처리와, 각 헤드 어셈블리(54)에 대한 노광 위치와 노광 영역 내의 파워 분포의 교정의 처리는 수시 행하는 것이 가능하다.

이어서, 이 묘화 장치에서는, 노광 처리를 행하는 대상이 되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 미노광 기록 매체 공급부(14)로부터 노광 처리부(12)를 통하여 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)에 이르는 반송 경로상에 세트한다. 이 때문에, 공급 릴(60)로부터 기록 매체인 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 인출하여, 노광 처리부(12)에 있어서의 반송 경로를 통과하여, 권취 릴(70)에 선단을 고정한다.

이후에, 이 묘화 장치에는 반송 경로상에 세트된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 그 공급 릴(60)측의 출구측 롤러(66)와, 노광 처리부(12)측의 입구 가이드 롤러(38)의 사이 부분에서 가장 많이 느슨한 상태인 느슨함이 소정량(느슨함이 최상한치)이 된 것을 검출할 때까지 공급 릴(60)을 회전시켜 느슨한 부분에 댄서 롤러(68)을 세트한다. 이 이후는, 느슨함이 느슨함량 하한치(가장 적게 느슨한 상태)가 된 것을 검출했을 때에 느슨함이 느슨함량 상한치가 된 것을 검출할 때까지 공급 릴(60)을 회전 구동시키도록 조정한다.

이어서, 이 묘화 장치에는 노광 처리부(12)의 반송 경로 출구측 유지 롤러(76)와, 노광이 끝난 기록 매체 회수부(16)의 입구측 롤러(78)의 사이 부분에 가장 적게 느슨해진 상태인 느슨함이 소정량(느슨함이 최하한치)이 된 것을 검출할 때까지 닙 구동 롤러 쌍(32)을 회전 구동시켜 느슨한 부분에 댄서 롤러(68)를 세트한다. 이 이후는, 느슨함이 느슨함량 상한치(가장 많이 느슨한 상태)가 된 것을 검출했을 때에, 느슨함이 느슨함량 하한치가 된 것을 검출할 때까지 권취 릴(70)을 회전 구동시키도록 조정한다.

이어서, 이 묘화 장치에는 닙 구동 롤러 쌍(32)을 회전 구동시켜서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 전송하면서, 소정 간격으로 얼라인먼트 카메라부(52)에 의하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 표면을 촬영하고, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)상에 마련되어진 노광 개시 위치의 마크(M)가 촬영(검지)된 범위에서 닙 구동 롤러 쌍(32)을 정지시켜 대기 상태로 한다.

이어서, 이 묘화 장치에서는 닙 구동 롤러 쌍(32)을 회전시켜 플렉시블 프린 트 배선 기판재(28)를 소정량 전송한 범위에서 얼라인먼트 카메라부(52)로 앞의 작업 공정에서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28) 기판상에 마련되어진 단위 노광 영역(L)의 얼라인먼트 마크(M)를 촬영하여, 단위 노광 영역(L)의 마크(M) 위치를 계측한다. 또한, 단위 노광 영역(L)의 마크(M) 위치의 계측은 도 8에 도시된 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 전송 방향으로 단위 노광 영역(L) 중의 2개소 이상[단위 노광 영역(L)의 주위 4개소 이상]에서 행하는 것이 바람직하지만, 기판의 확축(擴縮) 변형을 시키지 않을 경우에는 2개소[단위 노광 영역(L)의 상하 또는 좌우]에서도 좋다.

이어서, 단위 노광 영역(L)의 마크(M) 위치 계측이 종료하면 제어 유닛(58)은 단위 노광 영역(L)의 마크(M) 위치의 계측치로부터 확축 변형 상태로 노광 화상이 대응하도록 노광 데이터의 변형 처리를 행한다. 또한, 이 때 제어 유닛(58)은 화상 기록 위치 보정(노광 개시 시기 보정)도 포함된 처리를 행하도록 해도 좋다.

이 제어 유닛(58)은 노광 데이터의 변형 처리를 행하고 있는 사이에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 연속하여 전송하는 제어를 행하고 다음 단위 노광 영역(L)의 얼라인먼트 마크(M)위치 계측을 행한다.

이어서, 제어 유닛(58)은 노광 데이터의 변형 처리를 종료하고, 단위 노광 영역(L)의 선두가 노광 헤드 유닛(48)의 위치까지 보내지면, 각 헤드 어셈블리(54)에 의하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)로의 노광을 개시하고, 이 단위 노광 영역(L)의 후단이 노광 헤드 유닛(48)을 통과한 소정 위치에 도달했을 때에, 이 단위 노광 영역(L)에 대한 노광을 정지한다.

이 노광 처리는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 단위 노광 영역(L)이 노광 헤드 유닛(48)에 의한 노광 영역을 통과할 때에 행한다. 이 노광 처리에서는 각 헤드 어셈블리(54)가 제어 유닛(58)에서 변형 처리된 노광 데이터에 의거하여, DMD에 레이저 광을 조사하여, 이 DMD의 마이크로 미러가 온 상태로 됐을 때에 반사된 레이저 광이 광학계에 의하여 설정된 광로를 통과하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)상에 결상 됨으로써 행하여진다.

이 묘화 장치에는 상술한 노광 처리를 연속하여 행하고, 미리 지정된 회수만 단위 노광 영역(L)을 노광한 범위에서, 닙 구동 롤러 쌍(32)을 정지시켜서 노광 처리를 종료한다.

전술한 바와 같이, 이 묘화 장치에는 닙 롤러 쌍(30)과 닙 구동 롤러 쌍(32) 사이에 건너지르는 벨트 반송 기구의 무단 벨트(33)상에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 따라 배치하도록 걸치고, 닙 구동 롤러 쌍(32)을 일정 속도로 회전시킴으로써, 무단 벨트(33)와 일체로 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 연속적으로 보낸다. 그리고, 닙 롤러 쌍(30)과 닙 구동 롤러 쌍(32)의 사이에, 무단 벨트(33)를 통하여 건너지르는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 걸쳐 놓임 부분에, 헤드 어셈블리(54)에 의하여 연속적으로 레이저 노광하여 묘화한다. 따라서, 이 묘화 장치는 기록 매체를 왕로(往路)에서 얼라인먼트 조정을 위한 처리를 하고, 복로(復路)에서 노광 처리하는 것과 비교하여 항상 노광 처리를 연속하여 행할 수 있기 때문에, 생산성을 높일 수 있다.

이어서, 상술한 묘화 장치에 있어서의 노광 처리부(12)의 반송 경로상에 무 단 벨트(33)용의 가이드를 마련하는 구성 예에 대하여 도 6에 의하여 설명한다.

이 도 6에 도시된 노광 처리부(12)에서는 반송 경로상의 헤드 어셈블리(54)에 의한 노광 처리 영역 전체에 대응한 무단 벨트(33)의 바로 아래에 해당하는 위치에, 아래 지지수단으로서의 전접 롤러(84)를 배치하여 구성한다.

이 전접 롤러(84)는 무단 벨트(33)의 하면에 전접하여 아래부터 지지하도록 가이드한다. 이 전접 롤러(84)는 도 6에 도시된 바와 같이, 각 헤드 어셈블리(54)에 의한 각 노광 처리 영역을 각각 사이에 두도록 반송 방향 상류측과 하류측에 배치하고, 또한, 카메라부(52)에 의한 촬영 영역을 사이에 두도록 반송 방향 상류측과 하류측에 배치한다. 이와 같이 전접 롤러(84)를 배치함으로써, 흡인 박스(35)로부터 공기를 흡인했을 때에 무단 벨트(33)가 흡인 박스(35)측에 끌어 당겨질 수 있도록 이동하는 것을 억제할 수 있다.

여기서, 도 6에 도시된 노광 처리부(12)에서는 전접 롤러(84)의 대신에 도시되지 않았지만, 다수의 흡기용 구멍을 천공한 흡착 스테이지의 평면을 무단 벨트(33)의 뒤측에 접접시켜서 가이드 하도록 구성하여도 좋다. 이와 같이 구성했을 경우에는 흡착 스테이지에 마련된 다수의 흡기용의 구멍으로 연통하는 무단 벨트(33)의 흡착용 구멍(33A)으로부터 흡인하는 작용으로, 무단 벨트(33)의 표면상에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 흡착한다.

또한, 도 6에 도시된 구성에서는 노광 처리 영역과 촬영 영역에 각각 대응한 부분에만 별도 흡인 박스(35)를 배치하고 있다.

이와 같이 전접 롤러(84)을 마련함으로써, 반송 경로상을 무단 벨트(33)로 지지되어서 반송되는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)는 무단 벨트(33)의 뒤측으로부터 전접 롤러(84)에 의하여 간접적으로 지지되어서 평면적인 상태를 유지하도록 가이드 되면서 각 헤드 어셈블리(54)에 의하여 노광 처리되게 된다. 이와 같이 구성했을 경우에는, 노광 처리할 때에 보다 높은 정밀도로 평면성을 유지할 수 있고, 외부 영향에 의하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 평면이 변동하는 것을 방지할 수 있으므로, 보다 안정된 품질로 노광 처리할 수 있다.

또한, 노광 위치 근방의 무단 벨트(33)의 뒷면에 2개의 전접 롤러(84)을 배치하고, 이것들 전접 롤러(84) 사이를 흡인 박스(35)에서 흡인할 경우에는, 흡인에 의한 무단 벨트(33)의 오목부를 작게 할 수 있고, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)을 평면적으로 유지하여 양호한 노광면을 얻을 수 있다. 또한, 얼라인먼트 위치 근방의 무단 벨트(33)에 대하여도 마찬가지로 구성하고, 적절한 얼라인먼트 처리를 할 수 있다.

또한, 이 아래 지지수단으로서 배치되는 전접 롤러(84)는 도시되지 않았지만, 카메라부(52)의 바로 아래 위치와 노광 헤드 유닛(48)의 바로 아래 위치에 마련하는 이외에, 무단 벨트(33)의 뒤측에 있어서의 임의인 위치에 단수 또는 복수의 가이드 롤러를 전접시켜서 평면적인 상태를 유지하도록 가이드 시키면서 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 평면적으로 반송하도록 구성해도 좋다.

이어서, 전술한 도 1 내지 도 5에 도시된 묘화 장치에 있어서 얼라인먼트 유닛(46)을 노광 처리부(12)의 반송 경로의 하측[노광 헤드 유닛(48)의 헤드 어셈블리(54)을 배치한 반대측]에 배치하여 레이아웃의 자유도를 넓히는 구성 예에 대하 여 도 7에 의하여 설명한다.

이 도 7에 도시된 노광 처리부(12)에서는 노광 처리부(12)의 반송 경로의 하측에 얼라인먼트 유닛을 배치한다. 또한, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에는 노광되는 표면에 대한 뒷면에 얼라인먼트 마크(M)를 형성한다.

또한 도 7에 도시된 노광 처리부(12)에서는 닙 롤러 쌍(30)과 닙 구동 롤러 쌍(32)의 사이에 건너지르는 무단 벨트(33)을 복수의 벨트로 분할하고, 또한 소정간격을 두어 배치한다. 그리고, 도 7에 도시된 바와 같이 각 벨트 사이에 생기는 간극을 통하여 카메라부(52)가 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 뒷면에 형성된 얼라인먼트 마크(M)을 촬영할 수 있게 구성한다.

이와 같이 구성된 묘화 장치에서는 반송 경로의 하측에 배치된 얼라인먼트 유닛에 의하여 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 뒷면에 형성된 얼라인먼트 마크(M)를 검출하여 얼라인먼트 맞춤을 하면서 노광 처리한다.

또한, 본 실시 형태에 의한 묘화 장치에서는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 무단 벨트(33)에 흡인하기 위한 구성[흡인 박스(35) 및 무단 벨트(33)에 천공하는 흡착용의 구멍(33A), 블로우어(37) 등]을 없애고, 무단 벨트(33) 표면에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 걸치게 한 상태로 무단 벨트(33)를 구동하면서 노광하도록 구성하여도 평면성이 높은 무단 벨트(33)에 걸치도록 하고 있기 때문에, 헤드 어셈블리(54)로부터의 촛점 거리를 일정하게 유지할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 의한 묘화 장치에서는 장력 설정 수단인 댄서 롤러 기구를 없애도, 무단 벨트(33)의 표면에 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 흡인하 여 반송하도록 하면, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 텐션(tension)을 걸지 않아도 양호한 평면성을 확보할 수 있다. 이와 같이 구성했을 경우에는 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 장력 설정 수단에 의하여 텐션이 걸리지 않으므로, 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)의 신축에 의한 노광 위치 차이를 적게 할 수 있고, 이를 위한 보정 처리를 간편화할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는 레이저 노광 장치로서 구성된 노광 헤드 유닛(48)의 헤드 어셈블리(54)에 이용되는 공간변조 소자로서 DMD를 이용하고, 점등 시간을 일정하게 하여 온/오프 함으로써 도트 패턴을 생성하도록 했지만, 온 시간비(duty) 제어에 따른 펄스 폭 변조를 행해도 좋다. 또한, 1회의 점등 시간을 극히 단시간으로 하여, 점등 회수에 따른 도트 패턴을 생성해도 좋다.

또한, 본 실시 형태에서는 공간 광 변조 소자로서 DMD를 대비한 헤드 어셈블리(54)에 대하여 설명했지만 이와 같은 반사형 공간 광 변조 소자의 이외에 예를 들면, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 타입의 공간 광 변조 소자(SLM; Special Light Modulator)나, 투과형 공간 광 변조 소자(LCD)나, 전기 광학 효과에 따른 투과 광을 변조하는 광학 소자(PLZT 소자)나, 액정 광 셔터(FLC)의 결정 셔터 어레이 등, MEMS 타입 이외의 공간 광 변조 소자를 DMD에 대신해서 이용할 수 있다. 또한, Grating Light Valve(GLV)를 복수로 늘어 놓아서 이차원상으로 구성한 것을 채용할 수도 있다. 이들의 반사형 공간 광 변조 소자(GLV)나 투과형 공간 광 변조 소자(LCD)를 사용하는 구성에서는 상기한 레이저 이외에 램프 등도 광원으로서 사용 가능하다.

또한, 이 실시 형태에 있어서의 광원으로서는 합파(合波) 레이저 광원을 복수 구비한 파이버 어레이 광원, 1개의 발광점을 갖는 단일 반도체 레이저로부터 입사된 레이저 광을 출사하는 1개의 광 파이버를 구비한 파이버 광원을 어레이화한 파이버 어레이 광원, 복수의 발광점이 이차원상으로 배열된 광원(예를 들면, LD어레이, 유기 EL어레이 등) 등을 적용가능하다.

이 묘화 장치에는 이차원의 패턴을 조사하여 노광 처리하는 헤드 어셈블리 이외에, 예를 들면 라인상에 노광 처리를 하는 폴리곤 미러 등을 채용한 레이저 노광 장치를 이용하도록 구성해도 좋다.

또한, 이 묘화 장치에서는 노광에 의하여 직접 정보가 기록되는 광량자 모드 감광 재료, 노광에 의하여 발생한 열에 의해 정보가 기록되는 히트 모드 감광 재료 모두 사용할 수 있다. 광량자 모드감광 재료를 사용할 경우, 레이저 장치에는 GaN계 반도체 레이저, 파장 변환 고체 레이저 등이 사용되고, 히트 모드 감광 재료를 사용할 경우 레이저 장치에는 AlGaAs계반도체 레이저(적외 레이저), 고체 레이저가 사용된다.

또한, 전술한 실시 형태에서는 닙 롤러 쌍(30)과 닙 구동 롤러 쌍(32)의 사이에 길게 걸쳐 놓은 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)를 닙 롤러 쌍(30)의 반송 방향 상류측에 배치한 장력 설정 수단으로서의 댄서 롤러기구와, 닙 구동 롤러 쌍(32)의 반송 방향 하류측에 배치한 장력 설정 수단으로서의 댄서 롤러 기구에 의하여 일정한 장력(텐션)으로 길게 걸쳐 놓도록 구성했지만, 여기에서 사용하는 장력 설정 수단으로서, 한쪽의 닙 롤러 쌍과, 다른 쪽의 닙 롤러 쌍의 속도를 다르게 하 여 회전 구동함으로써 일정 장력을 부가하도록 구성하고, 또는 한 쪽의 닙 롤러 쌍을 소정의 제동력으로 제동에 의해, 다른 쪽의 닙 구동 롤러 쌍으로 반송시키도록 하여 일정한 장력을 부가하도록 구성해도 좋다.

또한, 본 발명의 묘화 장치는 장척 띠 상의 가요성 기록 매체로서의 플렉시블 프린트 배선 기판재(28)에 묘화 처리하는 이외에, 디스플레이용 기판에 묘화 처리하는 장치로서 구성해도 좋다.

또한, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 각종 구성을 취할 수 있는 것은 물론이다.

본 발명의 묘화 장치에 의하면, 장척의 가요성 기록 매체에 대하여 연속하여 노광 처리를 행함으로써, 단위 시간 중에 많은 노광 처리를 행하도록 하여 생산성을 향상할 수 있다는 효과가 있다.

Claims

장척의 가요성 기록 매체를 반송 경로상에서 일정한 반송 방향으로 연속하여 반송하면서 묘화하는 묘화 장치로서,

상기 반송 경로상에 배치되어 무단 벨트를 적어도 2개의 롤러간에 감아 걸어서 구성한 벨트 반송 기구와,

상기 반송 경로상에 배치된 상기 벨트 반송 기구의 상기 무단 벨트상에 평면적으로 걸쳐진 상태로 반송되어 있는 상기 장척의 가요성 기록 매체에 묘화 처리를 행하는 묘화 유닛을 갖는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 벨트 반송 기구에 있어서의 상기 무단 벨트에 흡착용의 관통 구멍을 천공하고, 상기 무단 벨트의 뒷면측에 배치된 흡인 수단으로부터 공기를 흡인하여, 무단 벨트의 표면에 상기 장척의 가요성 기록 매체를 흡착함으로써, 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하면서 반송하여, 상기 묘화 유닛에서 묘화 처리를 행할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 벨트 반송 기구에 있어서의 상기 무단 벨트의 뒷측에 전접하여 지지함으로써 상기 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하기 위한 전접 롤러를 배치한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 벨트 반송 기구에 있어서의 상기 무단 벨트의 뒷측에 평면부를 접접시켜서 지지함으로써 상기 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하기 위하여 다수의 흡기용의 구멍을 천공한 흡착 스테이지를 배치한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 묘화 유닛을 레이저 노광 장치로 구성한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 묘화 유닛은 광 빔을 공간 광 변조 소자에 의하여 변조하여 2차원의 패턴을 노광 처리하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 무단 벨트를 복수의 벨트로 분할하고, 소정간격을 두어 배치하고, 분할된 무단 벨트간에 생기는 간극을 통하여 상기 장척의 가요성 기록 매체의 뒷면에 형성한 얼라인먼트 마크를 검출하여 얼라인먼트 맞춤을 하면서 묘화 처리를 가능하게 구성한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 무단 벨트에 있어서의 얼라인먼트 위치 또는 묘화 위치에 대한 반송 방향 상류측과 반송 방향 하류측에 각각 상기 무단 벨트의 뒷측에 전접하여 지지함으로써 가요성 기록 매체의 평면성을 유지하기 위한 전접 롤러를 배치한 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 벨트 반송 기구에 있어서의 상기 무단 벨트의 뒷측에 전접하여 지지하는 전접 롤러와,

상기 전접 롤러를 커버하도록 마련되어진 흡인 박스와,

상기 흡인 박스와 연통 가능하도록 상기 무단 벨트에 천공된 관통 구멍을 갖고, 상기 흡인 박스 및 상기 관통 구멍을 통하여 상기 무단 벨트상의 상기 가요성 기록 매체를 흡인하도록 구성된 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
제 9 항에 있어서,

상기 전접 롤러와 상기 흡인 박스는 얼라인먼트 위치 및 묘화 위치 중 적어도 어느 한 쪽에 마련되어져 있는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.