CN1756290A - 描绘装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种描绘装置，能够连续地对长条的挠性记录介质进行曝光处理，而缩短等待时间，在短时间内进行多个曝光处理，能够提高生产性。在描绘装置(12)的输送路径上配置带输送机构，该带输送机构是至少在2个辊(30、32)之间架设环带(33)而构成的，在配置于输送路径上的带输送机构的环带33上以沿平面的状态输送长条的挠性记录介质(28)的同时，用描绘单元(48)连续地进行描绘处理。

Description

描绘装置

技术领域

本发明涉及一种由机构等进行描绘的描绘装置，其该机构通过在长条的挠性记录介质上照射用设在曝光头上的空间光调制元件(二维光调制器)等基于图形数据调制的光束，而按规定的图形曝光。

背景技术

在一般所用的描绘装置中，有通过用光束扫描记录介质，在其上面描绘所要求的图像的扫描式的印刷基板曝光装置、激光光电绘图仪、激光打印机等曝光装置。

在如此的曝光装置中，例如，在是印刷基板曝光装置的情况下，对记录介质即印刷布线基板用的基板材，扫描激光，进行描绘。此处所用的印刷布线基板用的基板材，通过在绝缘层上形成导体薄膜，用光抗蚀剂覆盖该导体薄膜而成。

该印刷基板曝光装置，通过对如此的基板材，扫描基于图像数据调制的激光，对该光抗蚀剂层感光所要求的基板图形。

在从印刷基板曝光装置上取下如此曝光处理的印刷布线基板用的基板材，然后通过实施光抗蚀处理，作为印刷基板完成。

在如此所用的以往的基板曝光装置中，在送出辊片状的记录介质的装料器、和回收该记录介质的卸料器的之间拉架长条带状的记录介质。在通过固定机构将该拉架的记录介质的部分载置固定在描绘工作台的描绘面上的状态下，可通过滑动机构高精度滑动地构成该描绘工作台。此外，在拉架在装料器和卸料器之间的记录介质的正上面，配置使激光扫描的扫描光学系统。

然后，通过滑动机构，高精度地输送通过固定机构将记录介质的被拉架的部分固定在描绘面上的描绘工作台，同时扫描光学系统，与该描绘工作台一同，高精度地对滑动的介质扫描基于图像数据调制的激光，如此进行描绘。

此外，在该以往的印刷基板曝光装置中，由于在结束初始的描绘处理后，再次开始描绘处理，因此在解除描绘工作台的固定机构，用装料器的一对夹持辊固定记录介质，同时也用卸料器的一对夹持辊固定，使拉架在装料器和卸料器之间的记录介质形成不动的状态后，利用滑动机构，向装料器侧移动描绘工作台。接着，利用描绘工作台的固定机构，使记录介质固定在描绘工作台的描绘面上。然后，松开装料器的一对夹持辊，通过装料器的一对抽出辊，抽出记录介质，使其形成松驰状态。接着，利用滑动机构，使描绘工作台向卸料器侧移动，同时利用扫描光学系统，扫描固定在该描绘工作台的描绘面上的记录介质，同时通过卸料器的一对驱动辊，向卸料器内回收记录介质，结束下个描绘处理。另外，在再次进行下个描绘处理的情况下，按需要次数重复上述的操作(例如，参照专利文献1。)。

在如此的以往的印刷基板曝光装置中，由于在结束描绘处理后，到开始下个描绘处理中，解除描绘工作台的固定机构，用装料器和卸料器分别固定记录介质，利用滑动机构向装料器侧移动描绘工作台，利用描绘工作台的固定机构，将记录介质固定在描绘工作台的描绘面上，然后，松开装料器的一对夹持辊，通过装料器的一对抽出辊，抽出记录介质，使其形成下垂，由于到结束以上动作，不向下个描绘动作移动，因而曝光处理的时间以外的等待时间长，所以存在生产性低的问题。

专利文献1：特开2000-235267号公报

发明内容

本发明鉴于以上的事实，其目的在于提供一种新型描绘装置，能够连续地对长条的挠性记录介质进行曝光处理，从而能够缩短等待时间，在短时间内进行多个曝光处理，提高生产性。

本发明的第1发明所述的描绘装置，在输送路径中连续地向一定的输送方向输送长条的挠性记录介质的同时进行描绘，其特征在于，具有：带输送机构，配置在所述输送路径上，通过在至少2个辊之间架设环带而构成；描绘单元，对在配置于所述输送路径上的所述带输送机构的所述环带上以沿平面的状态输送的所述长条的挠性记录介质，进行描绘处理。

通过按上述构成，以在带输送机构的环带上沿着平面的状态输送长条的挠性记录介质。然后，能够对在长条的挠性记录介质的环带上平面保持进行传送的部分，用描绘单元连续地进行扫描处理。因而，由于通常能够连续进行曝光处理，所以能够缩短等待时间，在短时间内进行多个曝光处理，能够提高生产性。

第2发明所述的发明，是如第1发明所述的描绘装置，其特征在于：在所述带输送机构的所述环带上设置吸附用贯通孔，通过从配置在所述环带的背面侧的吸引机构吸引空气，将所述长条的挠性记录介质吸附在所述环带的表面，从而一边保持所述挠性记录介质的平面性一边输送所述挠性记录介质，由所述描绘单元进行描绘处理。

通过上述构成，除了上述的第1发明的作用、效果之外，通过将长条的挠性记录介质吸附在环带的表面，且该环带平面架设在至少2个辊之间，从而，一边保持挠性记录介质的平面性，一边传送进行描绘处理，因此，提高了描绘处理的稳定性。

第3发明所述的发明，是如第1或2发明所述的描绘装置，其特征在于：还配置转接辊，该转接辊，通过与所述带输送机构的所述环带的背面侧转动接触进行支撑，而保持所述挠性记录介质的平面性。

第4发明所述的发明，是如第1或2发明所述的描绘装置，其特征在于：还配置有吸附工作台，该吸附工作台贯穿有多个吸气用的孔，以便通过使平面部与所述带输送机构的所述环带的背面侧滑动接触进行支撑，而保持所述挠性记录介质的平面性。

通过按上述构成，除所述第1发明的发明的作用、效果外，由于从卷挂在至少2个辊间的平面架设的环带的背面侧支撑转接辊或吸附工作台，经由环带保持挠性记录介质的平面性，所以可以保持较高的平面性的状态下进行描绘处理，因此，能够进一步提高描绘处理的稳定性。

第5发明所述的发明，是如1～4发明中任何一项所述的描绘装置，其特征在于：由激光曝光装置构成所述描绘单元。

第6发明所述的发明，是如1～5发明中任何一项所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘单元构成为：通过用空间光调制元件调制光束来曝光处理二维图形。

第7发明所述的发明，是如第1～6发明中任何一项所述的描绘装置，其特征在于：将所述环带分成多个带，并且，隔开规定间隔配置，通过分开的环带之间形成的间隙、检测形成在所述长条的挠性记录介质的背面的校准标记，进行校准的同时，可以进行描绘处理。

通过上述构成，除所述第1～6发明中任一项的作用、效果外，还可扩大描绘装置的设计自由度，实现紧凑化。

第8发明所述的发明，是如第1～第7发明中任何一项所述的描绘装置，其特征在于：在所述环带的与校准位置或描绘位置相对的输送方向上游侧与输送方向下游侧分别配置有转接辊，该转接辊通过与所述环带的背面侧转动接触进行支撑而保持所述挠性记录介质的平面性。

第9发明所述的发明，是如第1发明所述的描绘装置，其特征在于：具有：转接辊，与所述带输送机构的所述环带的背面侧转动接触进行支撑，吸引箱，覆盖所述转接辊设置，以及贯通孔，设在所述环带上，并可以与所述吸引箱连通；其中，通过所述吸引箱及所述贯通孔吸引所述环带上的所述挠性记录介质。

第10发明所述的发明，是如第9发明所述的描绘装置，其特征在于：所述转接辊与所述吸引箱被设在校准位置及描绘位置至少任一方上。

根据本发明的描绘装置，通过连续地对长条的挠性记录介质进行曝光处理，具有能够在单位时间内进行多个曝光处理，从而提高生产性的效果。

附图说明

图1是表示根据本发明的实施方式的描绘装置主要部位的简要构成的立体图。

图2是表示根据本发明的实施方式的描绘装置主要部位的简要构成的俯视图。

图3是表示向校准摄像机校正用的位置移动根据本发明的实施方式的描绘装置的带检测用单元的扫描用输送部的状态的主要部位的简要构成图。

图4是表示向光束位置检测用的位置移动根据本发明的实施方式的描绘装置的带检测用单元的扫描用输送部的状态的主要部位的简要构成图。

图5是表示向曝光面功率校正用的位置移动根据本发明的实施方式的描绘装置的带检测用单元的扫描用输送部的状态的主要部位的简要构成图。

图6是表示在根据本发明的实施方式的描绘装置的曝光处理部的输送路径上设置挠性印刷布线基板材用的导向的构成例的主要部位的简要构成图。

图7是表示在根据本发明的实施方式的描绘装置的曝光处理部的输送路径上的与曝光头组件的相反侧，设置校准单元的构成例的主要部位的简要构成图。

图8是表示用本发明的实施方式的描绘装置曝光处理的挠性印刷布线基板材的主要部位的俯视图。

图中：12-曝光处理部，14-未曝光的记录介质供给部，16-曝光后的记录介质回收部，20-线性移动机构，21-移动工作台，22-基板输送部，24-基板厚度调整用Z工作台，26-带检测用单元的扫描用输送部，28-挠性印刷布线基板材，30-一对夹持辊，32-一对夹持驱动辊，33-环带，33A-吸附用孔，34-驱动电机，35-吸引箱，37-鼓风机，38-入口导向辊，39-精密空调机，40-出口导向辊，42-校正刻度尺，44-光束位置检测装置，45-曝光面功率测定单元，46-校准单元，48-曝光头单元，50-基部，52-摄像部，54-曝光头组件，58-控制单元，60-供给卷轴，66-出口侧卷轴，68-松紧调节辊，70-卷取辊，76-输送路径出口侧保持辊，78-入口侧辊，82-平面滑动接触导向部件。

具体实施方式

以下，参照图1～图8，说明本发明的描绘装置的实施方式。

本发明的实施方式的描绘装置作为曝光装置构成，该曝光装置由控制单元自动控制，通过向主扫描方向移动以长条带状的片形成的挠性记录介质即挠性印刷布线基板材，同时利用曝光头，空间调制基于在控制单元从图像数据生成的调制信号从光源侧出射的多个光束，照射在挠性印刷布线基板材上，进行曝光处理。

如图1所示，该描绘装置，在底座10的中央部配置曝光处理部12，在该曝光处理部12的一方的侧部(朝图1在左侧部)配置未曝光的记录介质供给部14，在该曝光处理部12的另一方的侧部(朝图1在右侧部)配置曝光过的记录介质回收部16，如此构成。

该曝光处理部12，通过线性移动机构20，将基板输送部22安装在设于底座10上的带减振功能的装置基台18的平面上。

该线性移动机构20，通过在带减振功能的装置基台18的上平面部和安装基板输送部22的移动工作台21的之间，安装线性电机或其它输送机构而构成。

例如在由线性电机构成该线性移动机构20的情况下，在带减振功能的装置基台18上，沿输送方向设置棒状的定子部(磁铁部)20A，并设置线圈部20B，其配置在移动工作台21的下面侧。该线性电机，利用通过向线圈部20B通电产生的磁场和定子部20A的磁场的作用形成的驱动力，使移动工作台21向输送方向移动。

该线性电机，通过电控制，能够高精度地驱动控制基板输送部22的输送动作中的定速性、定位精度以及起动或停止时的转矩变动等。

线性移动机构20，以能够从图1及图2所示的曝光处理位置，向图3所示的校准摄像机校正用的位置、或图4所示的光束位置检测用的位置或图5所示的曝光面功率校正用的位置移动的方式构成。

如图1及图2所示，基板输送部22，在移动工作台21上设置基板厚度调整用Z工作台24，在该基板厚度调整用Z工作台24上，设置带检测用单元的扫描用输送部26，如此构成。

该基板厚度调整用Z工作台24，为了进行记录介质曝光面的高度位置调整，以能够通过利用斜面的微动调整机构，向高度方向(Z轴方向)平行移动带检测用单元的扫描用输送部26整体的方式构成。

如图2所示，在带检测用单元的扫描用输送部26上，为了输送长条带状的挠性记录介质即挠性印刷布线基板材28，而安装有带输送机构。该带输送机构，在输送方向上游侧配置一对夹持辊30，在其输送方向下游侧配置一对夹持驱动辊32，并在它们之间卷挂环带33。

该一对夹持驱动辊32由驱动辊32A和经由环带33转动地连接在其外周面上的多个(此处为2个)夹持辊32B构成。在上述驱动辊32A和夹持辊32B之间，经由环带33夹入挠性印刷布线基板材28，形成通过转动驱动辊32A，环带33与挠性印刷布线基板材28不产生滑动地被输送。

向该驱动辊32A，用皮带传递机构，传递由驱动电机34输出的被减速器36减速的规定转速的旋转驱动力。由此，该一对夹持驱动辊32，以规定的扫描速度输送挠性印刷布线基板材28。

配置在带检测用单元的扫描用输送部26上的一对夹持辊30，通过使两个夹持辊经由环带33相互转动接触而构成，以保持在一对夹持辊30的夹持辊之间经由环带33夹入挠性印刷布线基板材28的状态，同时通过旋转一对夹持辊30，送出挠性印刷布线基板材28的方式构成。

例如，图6及图7所示，在该环带33上平均分布地开设多个圆形贯通孔即吸附用孔33A。

并且，在该带检测用单元的扫描用输送部26的输送路径上设置构成吸引机构的吸引箱35，该吸引箱与为了载置挠性印刷布线基板材28而沿输送路径配置的环带33的上侧架设部分的背面侧相邻。

该吸引箱35遍及位于至少后述的校准单元46与曝光光单元48的正下方位置的包括进行校准的区域与曝光区域在内的规定范围配置。

构成该吸引机构的吸引箱35被形成为无盖的矩形的箱状，通过与环带33的上侧架设部分的背面侧相邻配置而形成由环带33与吸引箱35包围的吸气用的半密闭空间。

并且，在该吸引机构中，从鼓风机37引出的未图示的吸气管的前端部与吸引箱35连接。构成该吸引机构的鼓风机37吸引由环带33与吸引箱35包围的半密闭空间内的空气，通过从环带33的吸附用孔33A吸气作用，而进行在环带33的表面吸附挠性印刷布线基板材28的动作。

在这样构成的带检测用单元的扫描用输送部26，通过驱动鼓风机37吸引由环带33与吸引箱35包围的半密闭空间内的空气，而形成从环带33的各吸附用孔33A吸气的负压，通过该负压而将挠性布线基板材28的从一对夹持辊30向曝光处理部12的输送路径上输送的部分吸附在环带33上。在该状态下，挠性印刷布线基板材28与环带33一体被输送，再从一对夹持驱动辊32输送出。

这样，挠性印刷布线基板材28，在从一对夹持辊30输送到一对夹持驱动辊32的期间，维持被吸附在环带33上的状态，连续地向一定的输送方向输送。因而，在该带检测用单元的扫描用输送部26上，将挠性印刷布线基板材28载置在环带33上，能够连续地驱动该环带33的同时进行曝光处理，因此，可始终连续进行曝光处理，能够提高生产性。

另外，在带检测用单元的扫描用输送部26中，由于使挠性印刷布线基板材28紧密地沿着平面性高的环带33，所以，能够将距曝光光单元48的焦点距离保持一定。

尤其，在将环带33不由布制而由金属制时，给环带33较大的张力，可得到更高的平面性，则也能提高被吸附在该环带33上的挠性印刷布线基板材28的平面性，因此，能够以更高的精度将距曝光头单元48的焦点距离保持一定。

根据这样在设定了连续的平面的输送路径上连续曝光挠性印刷布线基板材28的构成，例如在由二维空间光调制元件(DMD)照射二维图形的所谓面曝光处理时，即使曝光区域在挠性布线基板28的输送方向上具有宽度，也由于挠性布线基板28的平面性高，所以可在曝光区域内的基板输送方向上焦点距离不变化，能得到良好的图像。

并且，在带检测用单元的扫描用输送部26的输送路径上，通过将挠性印刷布线基板材28吸附在环带33上，而能够确保较好的平面性，因此，不会给挠性印刷布线基板材28自身施加输送方向上的张力，防止挠性印刷布线基板材28因张力而伸缩变形。因此，在这样构成的带检测用单元的扫描用输送部26中，挠性印刷布线基板28因张力而在弹性伸缩变形的状态下被曝光处理，然后，释放了负载的张力的挠性印刷布线基板材28恢复到原来的形状后，可防止曝光图像的偏移(所谓的曝光错位)。

在该描绘装置中，将鼓风机37的排气经过精密空调机39除去尘埃后回流到设有描绘装置的清洁室内，因此，将一端连接在鼓风机37的排气口上的排气管41的另一端连接在精密空调机39的吸气口侧。

通过这样构成，将鼓风机37从吸引箱35为了使挠性印刷布线基板材28吸附到环带33上而吸引的空气经过排气管41返回精密空调机39再利用。该精密空调机39虽未图示，不过通过所谓HEPA过滤器，净化从鼓风机37送来的空气和从描绘装置的壳体内部吸入的空气，再回流清洁室内。

因此，在这样构成的情况下，能够防止因将从鼓风机37送来的大量的空气排到清洁室外而需要提高向清洁室内供给新鲜且清洁空气的空调能力进而提高成本的不利情形，而且，还能够防止因将鼓风机37的排气直接排到清洁室内而来自鼓风机37的尘埃污染清洁室的情形。

另外，在该带检测用单元的扫描用输送部26的输送路径上，在一对夹持辊30的上游侧设置导向辊38，在一对夹持驱动辊32的下游侧设置导向辊40。

如图2所示，在该带检测用单元的扫描用输送部26的一对夹持辊30的外侧的、设定在其内部的相对于挠性印刷布线基板材28的曝光用输送路径的输送方向上游侧的延长线上的规定位置上，配置校正刻度尺42。

此外，在带检测用单元的扫描用输送部26的一对夹持驱动辊32的外侧的、设定在内部的相对于挠性印刷布线基板材28的曝光用输送路径的输送方向下游侧的延长线上的规定位置上配置光束位置检测装置44和曝光面功率测定装置45。

如图1及图2所示，在曝光处理部12，在基板输送部22的上方的输送方向上游侧配置校准单元46，在其输送方向下游侧配置作为描绘单元的曝光头单元48。

该校准单元46，在未图示的描绘装置的筐体等的固定结构部上安装设置基部50。在该基部50上，设置一对平行的导轨部(未图示)，在其上面分别安装多个(在本实施方式中为4部)摄像部52，摄像部52能够以通过用滚珠螺杆机构在导轨上移动的摄像机座，使透镜部的光轴与挠性印刷布线基板材28的宽度方向上的所要求的位置对正的方式移动。

各摄像部52，在未图示的摄像机主体的下面设置透镜部，同时在透镜部的突出的前端部上安装环状的闪光灯光源(LED闪光灯光源)。而且，在该摄像部52，以向挠性印刷布线基板材28照射来自闪光灯光源的光，经由透镜部由摄像机本体摄像其反射光的方式，检测挠性印刷布线基板材28的端部或标记M(见图8)等。

如图1及图2所示，作为配置在曝光处理部12上的描绘单元的曝光头单元48安装设置在支柱上，该支柱分别立设在未图示的输送的挠性印刷布线基板材28的宽度方向两端部的外侧上。

作为该描绘单元的曝光头单元48，以激光曝光装置构成，将多个曝光头组件54排列成m行n列(在本实施方式中，为2行4列，合计8个)的大致矩阵状，该多个曝光头组件54的行，沿挠性印刷布线基板材28的宽度方向(是与输送方向正交的方向，相当于与挠性印刷布线基板材28的输送方向即扫描方向正交的方向)配置。

如图1所示，在该描绘装置本体的内部设置光源单元56。该光源单元56，收容未图示的多个激光器(半导体激光器)光源，通过光纤将从各激光器光源射出的光束分别导给对应的曝光头组件54。

各曝光头组件54，以在通过空间光调制元件即未图示的数字·微型反射镜·器件(DMD)调制导入的光束后，利用自动聚焦机构使其对焦在挠性印刷布线基板材28上，照射按二维图形(所谓面曝光处理)的方式构成。

各曝光头组件54的数字·微型反射镜·器件(DMD)，在控制单元58的图像处理部，基于图像数据，按点单位控制，对挠性印刷布线基板材28曝光点图形。

作为该描绘单元的曝光头单元48，按一定速度输送挠性印刷布线基板材28，同时按规定的定时，向挠性印刷布线基板材28照射从各自的曝光头组件54照射的多个光束，进行曝光处理。此时，由于各曝光头组件54，在曝光时在通过自动聚焦机构对焦后曝光，所以即使在挠性印刷布线基板材28的高度位置有些多少变动，也能够进行恰当的曝光处理。

在该曝光头单元48中，以形成相对于扫描方向按规定的倾斜角倾斜，以扫描方向作为短边的矩形状的方式，构成未图示的由1个曝光头组件54形成的曝光区域，在向扫描方向输送的挠性印刷布线基板材28上，按每个曝光头组件54形成带状的曝光过的区域。

此外，在该曝光头单元48中，由于相对于扫描方向按规定的倾斜角倾斜地沿曝光区域曝光，曝光的二维配列的点图形与扫描方向倾斜，在扫描方向排列的各点，通过向与扫描方向交叉的方向排列的点间，真正变窄点间间距，所以能够谋求高分辨率化。

另外，在该描绘装置中，在输送运转中的挠性印刷布线基板材28和曝光头单元48的相对的位置关系产生偏移时，摄像部52摄影设在挠性印刷布线基板材28上的标记M等，检测挠性印刷布线基板材28和曝光头单元48的位置的偏移量，修正利用曝光头单元48的曝光处理，能够对挠性印刷布线基板材28进行恰当的曝光处理。

如图1及图2所示，在该描绘装置中，由于在设于曝光处理部12上的输送路径上输送挠性印刷布线基板材28，连续地进行曝光处理，所以设置与曝光处理部12的输送路径的上游侧连接的未曝光的记录介质供给部14，设置与曝光处理部12的输送路径的下游侧连接的曝光过的记录介质回收部16。

该未曝光的记录介质供给部14，通过在驱动单元64上安装卷装未曝光的长条状挠性印刷布线基板材28的供给卷轴60、和间隔带卷取卷轴62而构成。

在该未曝光的记录介质供给部14，形成通过作为张力设定机构的松紧调节辊机构，将从供给卷轴60抽出的挠性印刷布线基板材28以与环带33平面紧贴的方式送入到曝光处理部12的记录介质输送路径的入口的构成。

另外，虽未图示，但在供给卷轴60和曝光处理部12的记录介质输送路径的入口的之间配置第1松紧调节辊机构，也可以形成经由清洁辊配置作为张力设定机构的第2松紧调节辊机构的构成。

该松紧调节辊机构，例如形成在未曝光的记录介质供给部14的出口侧辊66、和曝光处理部12的入口导向辊38的之间呈U字状松弛的挠性印刷布线基板材28的部分配置可转动的松紧调节辊68。另外，该松紧调节辊机构，能够用利用空气吸引挠性印刷布线基板材28的构成即空气松紧调节代替。另外，作为张力设定机构的第2松紧调节辊机构，施加为了将挠性印刷布线基板材28与环带33平面地紧贴而需要的比较弱的张力。

如此构成的未曝光的记录介质供给部14，形成通过驱动单元64旋转驱动供给卷轴60，抽出挠性印刷布线基板材28，通过松紧调节辊机构，向曝光处理部12的一对夹持辊30与环带33之间输送，在输送路径上的环带33上，挠性印刷布线基板材28不会打滑地连续供给。

在供给卷轴60上，以在卷装的挠性印刷布线基板材28彼此间不直接接触的方式，夹入卷装间隔带61。因此在未曝光的记录介质供给部14上，以在间隔带卷取卷轴62上卷取与送出的挠性印刷布线基板材28一同延伸的间隔带61的方式，用驱动单元64旋转驱动间隔带卷取卷轴62。

此外，曝光过的记录介质回收部16，通过在驱动单元74上安装卷装曝光过的长条状挠性印刷布线基板材28的卷取卷轴70、和间隔带供给卷轴72而构成。

在该曝光过的记录介质回收部16上，通过与曝光处理部12的记录介质输送路径的出口连接的作为张力设定机构的松紧调节辊机构，在卷取卷轴70上卷装从曝光处理部12送出的曝光过的挠性印刷布线基板材28。

该松紧调节辊机构，例如形成在配置于从曝光处理部12的出口导向辊40的输送方向下游侧上的保持辊76、和曝光过的记录介质回收部16的入口侧辊78的之间，U字状松弛挠性印刷布线基板材28的部分，可转动松紧调节辊68的方式的配置。

另外，在该曝光过的记录介质回收部16上，形成：在入口侧辊78和卷取卷轴70的之间设置一对夹持辊80，用一对夹持辊80吸收为使卷取卷轴74卷装而拉伸曝光过的挠性印刷布线基板材28所作用的张力，使张力不传递给配置在曝光过的记录介质回收部16的输送路径上游侧的松紧调节辊机构的构成。

如此构成的曝光过的记录介质回收部16，形成连续卷装回收：通过驱动单元74旋转驱动供给卷轴70，从曝光处理部12经由松紧调节辊机构送出的挠性印刷布线基板材28的构成。

另外，在该曝光过的记录介质回收部16中，以在卷取卷轴70上卷装时，卷装在卷取卷轴70上的挠性印刷布线基板材28彼此间不直接接触的方式，在卷装面之间夹入地卷装间隔带61。因此在曝光过的记录介质回收部16中，为了以能够在送入的挠性印刷布线基板材28上沿着卷装间隔带61的方式，从间隔带供给卷轴72拉出间隔带61，用驱动单元74转动间隔带供给卷轴72。

如图1及图2所示，在所述构成的描绘装置中，在未曝光的记录介质供给部14的松紧调节辊机构、和曝光过的记录介质回收部16的松紧调节辊机构的之间，设定曝光处理部12的曝光用输送路径。

在该曝光处理部12的曝光用输送路径上，通过驱动鼓风机37吸引由环带33与吸引箱35包围的半密闭空间内的空气、从环带33的吸附用孔33A的吸气作用，利用一对夹持驱动辊32的旋转驱动力按规定速度向主行走方向(主扫描方向)输送，在带输送机构的环带33上输送的挠性印刷布线基板材28的一部分，同时利用曝光头单元48进行曝光处理。

当在该曝光处理部12进行曝光处理时，在曝光用输送路径上的与校准单元46的下面对应的位置和与曝光头单元48的下面对应的位置被环带33平面支撑。此外，对拉架在曝光处理部12的曝光用输送路径上的挠性印刷布线基板材28，通过配置在其输送方向上游侧的松紧调节辊机构、和配置在输送方向下游侧的松紧调节辊机构作用规定的张力，不松弛地稳定地保持在环带33上。

由此，在该曝光处理部12，通过曝光头单元48的各曝光头组件54，能够对由环带33平面保持的挠性印刷布线基板材28的表面，按二维图形适当进行曝光处理。

另外，在曝光处理部12，由于能够对按一定速度向主行走方向输送的挠性印刷布线基板材28，用曝光头单元48，连续地进行曝光处理，所以能够排除在曝光头单元48的正下方往返运动挠性印刷布线基板材28的动作，能够迅速且合理地进行曝光处理，提高作业效率。

此外，在该描绘装置中，控制单元58，基于校准单元46摄像挠性印刷布线基板材28取得的标记M或端部的位置数据，求出有关用曝光头单元48曝光处理时的曝光开始位置及挠性印刷布线基板材28的宽度方向上的点的偏移位置的修正系数。然后，控制单元58，基于该修正系数，将在挠性印刷布线基板材28上曝光的图像的位置修正成适当位置，如此修正曝光头单元48的各曝光头组件54形成的二维描绘图形或图像记录开始时期等，进行曝光处理的控制。

在该描绘装置的曝光处理部12，由于校准单元46正下方的成为挠性印刷布线基板材28的检测对象的部分、和曝光头单元48正下方的成为挠性印刷布线基板材28的检测对象的部分，都接受相同的张力，以同一速度向主行走方向(主扫描方向)输送，因而能够无误差地在曝光头单元48中应用校准单元46的检测结果，所以能够更加提高曝光处理的精度。

接着，说明用于该描绘装置的校准单元46的校正机构。在该描绘装置中，通过校准单元46，能够进行适当调整挠性印刷布线基板材28、和曝光头单元48的相对位置关系的校正。

在该描绘装置的校正中，如果用未图示的输入部，输入挠性印刷布线基板材28的尺寸数据，就基于该输入的尺寸数据，以对正挠性印刷布线基板材28的宽度方向的方式，移动校准单元46的摄像部52的位置。

此外，在该描绘装置中，通过各摄像部52，在主扫描方向摄影移动中的挠性印刷布线基板材28的纵向规定范围，检测为检测曝光位置预先形成在挠性印刷布线基板材28上的标记M，与各摄像部52的基准位置比较，生成曝光用的修正数据，基于该修正数据，利用未图示的脉冲计数器等，谋取挠性印刷布线基板材28的曝光开始位置到达曝光头单元48的曝光光束照射位置的定时，进行曝光处理运转。

此外，在该描绘装置中，为谋求适当的校正，进行校准用摄像部52的位置校正。在该校准用摄像部52的位置校正中，利用校正刻度尺42进行位置校正。

因此，在该描绘装置中，驱动线性移动机构20，从图2所示的曝光待机位置朝图中向右方向移动基板输送部22(设置移动工作台21、基板厚度调整用Z工作台24、一对夹持辊30及一对夹持驱动辊32，同时设置校正刻度尺42的扫描用输送部26)整体，放置在图3所示的校准摄像机校正用的位置上。

在该图3所示的校准摄像机校正用的位置上，各摄像部52和各自对应的校正刻度尺42相对的状态。在此状态下，基于指定的校准标记M的宽度位置信息，使校准用的各摄像部52向基板宽度方向移动。

在该描绘装置中，由于是由挠性印刷布线基板材28的输送路径，在摄像部52侧配置校正刻度尺42的构成，因此在带检测用单元的扫描用输送部26的输送路径上输送挠性印刷布线基板材28的状态下，能够进行校准用摄像部52的位置校正。

另外，在该描绘装置中，用校准用摄像部52摄影校正刻度尺42，根据摄影校正刻度尺42的图形的位置，校正摄像部52和校正刻度尺42的位置关系。

另外，在该描绘装置中，在结束校准摄像机校正工作后，进行驱动线性移动机构20，使基板输送部22整体，从图3所示的校准摄像机校正用的位置，返回到图2所示的曝光待机位置的运转。

下面，说明有关用于该描绘装置的各曝光头组件54的曝光位置和曝光区域内的功率分布的校正机构。

在该描绘装置中，首先，为了测定各曝光头组件54的光束位置，使带检测用单元的扫描用输送部26，从图2所示的曝光待机位置，朝图中，向左侧方向，移动到各曝光头组件54和各自对应的光束位置检测装置44相对的图4所示的光束位置检测位置。然后，用光束位置检测装置44测定各曝光头组件54的光束位置，校正各曝光头组件54的曝光位置。

接着，在该描绘装置中，为了测定各曝光头组件54的曝光区域内的功率分布，使带检测用单元的扫描用输送部26，从图4所示的光束位置检测位置，朝图中向左侧方向，移动到各曝光头组件54和各自对应的曝光面功率测定装置45相对的曝光面功率校正位置。

然后，用各自对应的曝光面功率测定装置45测定各曝光头组件54的曝光区域内的功率分布，校正曝光区域全区的功率，能够描绘适当的二维图形。

其中所需说明的是，在该描绘装置中，在挠性印刷布线基板材28的输送路径的向曝光头单元48一侧配置了光速位置检测装置44及曝光面功能测定装置45，因此，在将挠性印刷布线基板材28输送到带检测用单元的扫描用输送部26的输送路径上的状态下，能够校正各曝光头组件54的曝光位置和各曝光头组件54的曝光区域全区的功率。

另外，在该描绘装置中，在结束校正各曝光头组件54的曝光位置的工作及在曝光区域全区校正功率的工作后，驱动线性移动机构20，进行将基板输送部22整体，从图5所示的曝光面功率校正位置，返回到图2所示的曝光待机位置的工作。

下面，说明如上所述构成的描绘装置的作用及工作。

在该描绘装置，在开始曝光处理前，进行对所述的校准摄像部52的校正的处理、和对各曝光头组件54的曝光位置和曝光区域内的功率分布的校正。另外，能够随时进行对校准摄像部52的校正的处理和对各曝光头组件54的曝光位置与曝光区域的功率分布的校正处理。

接着，在该描绘装置，将成为进行曝光处理的对象的挠性印刷布线基板材28，放置在从未曝光的记录介质供给部14，通过曝光处理部12，到达曝光过的记录介质回收部16的输送路径上。因此，从供给卷轴60取出记录介质即挠性印刷布线基板材28，通过曝光处理部12上的输送路径，将前端固定在卷取卷轴70上。

然后，在该描绘装置中，使供给卷轴60旋转到：检测出在其供给卷轴60侧的出口侧辊66、和曝光处理部12侧的入口导向辊38的之间的部分最多松弛放置在输送路径上的挠性印刷布线基板材28的状态即下垂达到规定量(垂下最上限值)，在垂下部分放置松紧调节辊68。其后，在检测出下垂达到下垂量下限值(最小松弛状态)时，调整到使供给辊60驱动旋转到检测出下垂达到下垂上限值。

接着，在该描绘装置中，使一对夹持驱动辊32旋转驱动到：检测出在曝光处理部12的输送路径出口侧保持76、和曝光过的记录介质回收部16侧的入口侧辊78的之间的部分，最少松弛的状态即下垂达到规定量(下垂最下限值)，在下垂部分放置松紧调节辊68。其后，在检测出下垂达到下垂量上限值(最多松弛状态)时，调整到使卷取卷轴70旋转驱动到检测出下垂达到下垂达到下垂量下限值。

接着，在该描绘装置中，旋转驱动一对夹持驱动辊32，输送挠性印刷布线基板材28，同时按规定间隔，利用校准摄像部52，摄影挠性印刷布线基板材28的表面，在摄影设在挠性印刷布线基板材28上的曝光开始位置的标记M(检测)时，形成使一对夹持驱动辊32停止的待机状态。

接着，在该描绘装置中，在通过旋转一对夹持驱动辊32，按规定量送出挠性印刷布线基板材28时，用校准摄像部52，摄影在前面的作业工序设在挠性印刷布线基板材28基板上的单位曝光区域L的校准标记M，计测单位曝光区域L的标记M的位置。另外，单位曝光区域L的标记M的位置的计测，最好在图9所示的挠性印刷布线基板材28的输送方向，在单位曝光区域L中的2处以上(单位曝光区域L的周围4处以上)进行，但在基板不伸缩变形的情况下，也可以在2处(单位曝光区域L的上下或左右)进行。

然后，如果结束单位曝光区域L的标记M的位置计测，控制单元58根据单位曝光区域L的标记M位置的计测值，以在伸缩变形状态下曝光图像对应的方式，进行曝光数据的曝光数据的变形处理。另外，此时，控制单元58，也可以进行包括图像记录位置修正(曝光开始时的修正)的处理。

该控制单元58，在进行曝光数据的变形处理的期间，进行连续送入挠性印刷布线基板材28的控制，进行下个单位曝光区域L的校准标记M的位置计测。

接着，控制单元58，如果结束曝光数据的变形处理，单位曝光区域L的前头被送到曝光头单元48的位置，就通过各曝光头组件54，开始对挠性印刷布线基板材28的曝光，在该单位曝光区域L的后端达到通过曝光头单元48的规定位置时，停止对该单位曝光区域L的曝光。

该曝光处理，在挠性印刷布线基板材28的单位曝光区域L通过曝光头单元48形成的曝光区域时，进行。在该曝光处理中，各曝光头组件54基于在控制单元58变形处理的曝光数据，对DMD照射激光，在该DMD的微型反光镜形成导通状态时反射的激光，通过利用光学系统设定的光路，成像在挠性印刷布线基板材28上，如此进行该处理。

在该曝光处理中，连续进行上述的曝光处理，在按预先指定的次数曝光了单位曝光区域L时，停止一对夹持驱动辊32，结束曝光处理。

如上所述，在该曝光装置中，在一对夹持辊30和一对夹持驱动辊32的之间架设的带输送机构的环带32上载置有挠性印刷布线基板材28，通过以一定速度旋转一对夹持驱动辊32，与环带32一体地连续地送入挠性印刷布线基板材28。然后，对经由环带32架设在一对夹持辊30和一对夹持驱动辊32的之间的挠性印刷布线基板材28的架设部分，通过曝光头组件54，连续地曝光激光，进行描绘。因此，该描绘装置，与在往路对记录介质进行用于校准调整的处理，在回路进行曝光处理的描绘装置相比，由于通常能够连续地进行曝光处理，所以能够提高生产性。

下面，参照图6，说明在上述描绘装置上的曝光处理部12的输送路径上设置环带33的导向的构成例。

在该图6所示的曝光处理部12中，形成：在与输送路径上的曝光头组件54形成的曝光处理区域整体对应的、与挠性印刷布线基板材28的正下方接触的位置上，配置作为下支撑机构的转动接触辊84的构成。

在该转动接触辊84与环带33的下面转动接触而从下方支撑引导。如图6所示，该转接辊84以分别夹着各曝光头组件54的各曝光处理区域的方式被配置在输送方向的上游侧与下游侧，并且，以夹着摄像部52的摄像区域的方式配置在输送方向的上游侧与下游侧。通过这样配置转接辊84，而在从吸引箱35吸引空气时，抑制环带33向吸引箱35一侧靠近移动。

这里，在图6所示的曝光处理部12中，取代转接辊84，也可以构成为：使设有多个吸气用孔的吸附工作台的平面滑动接触在环带33的背面侧而进行引导(未图示)。在这样构成时，利用与设在吸附工作台上的多个吸气用孔连通的环带33的吸附用孔33A的吸引作用，而将挠性印刷布线基板材28吸附在环带33的表面上。

在图6所示的构成中，只在与曝光处理区域和摄像区域分别对应的部分还配置有吸引箱35。

通过这样设置转接辊84，由环带33支撑在输送路径上输送的挠性印刷布线基板材28从环带33的背面侧由转接辊84间接地支撑保持平面状态进行导向的同时，利用各曝光头组件54进行曝光处理。在这样构成的情况下，对于曝光处理，能更高精度地维持平面性，可防止因外部干扰而使挠性印刷布线基板材28的平面变动，因此，能够以更加稳定的品质进行曝光处理。

另外，在曝光位置附近的环带33的背面配置2个转接辊84，在由吸引箱35吸引这些转接辊84时，可减小因吸引产生的环带33的凹陷，平面地保持挠性印刷布线基板材28得到良好的曝光面。并且，关于校准位置附近的环带33也同样构成，能够适当地校准处理。

此外，作为该下支撑机构配置的转接辊84，虽未图示，但除了设置在摄像部52的正下方位置与曝光头单元48的正下方位置以外，还可以：在环带33的背面侧的任意位置转动接触单个或多个导向辊，以保持平面状态的方式，一边导向一边平面输送挠性印刷布线基板材28。

下面，参照图7，说明在所述图1～图5所示的描绘装置中，在曝光处理部12的输送路径的下侧(与配置曝光头单元48的曝光头组件54的一侧的相反侧)配置校准单元46而扩大布置自由度的构成例。

在该图7所示的曝光处理部12中，在曝光处理部12的输送路径的下侧配置校准单元46。此外，在挠性印刷布线基板材28上，在相对于曝光的表面的背面上形成校准标记M。

另外，图7所示的曝光处理部12中，由于将架设在一对夹持辊30与一对夹持驱动辊32之间的环带33分成多个带，并且，间隔规定间隔配置。而且，如图7所示，摄像部52可通过各带之间形成的间隔拍摄形成在挠性印刷布线基板材28的背面的校准标记M。

在这样构成的描绘装置中，通过配置在输送路径的下侧的校准单元，检测形成在挠性印刷布线基板材28的背面上的校准标记M，一边进行校准对正一边进行曝光处理。

在本实施方式的描绘装置中，不设置用于将挠性印刷布线基板材28吸引到环带33上的构成(吸引箱35及在环带33上穿孔的吸附用孔33A、鼓风机37)，在使挠性印刷布线基板材28沿着环带33的表面的状态下，驱动环带33的同时进行曝光，即使如此构成，由于沿着平面性高的环带33，所以，能够将距曝光头组件54的焦点距离保持一定。

并且，在本实施方式的描绘装置中，即使不设置作为张力设定机构的松紧调节辊机构，也可将挠性印刷布线基板材28吸引在环带33的表面，则，即使不给挠性印刷布线基板材28施加张力也能确保良好的平面性。在这样构成时，由于利用张力设定机构向挠性印刷布线基板材28上施加张力，所以可减小因挠性印刷布线基板材28的伸缩产生的曝光错位，能够简化为此的修正处理。

另外，在本实施方式中，作为用于作为激光曝光装置构成的曝光头单元48的曝光头组件54的空间光调制元件，采用DMD，通过固定点灯时间，进行通/断，生成点图像，但也可以利用导通时间比(占空比)控制的脉冲幅度调制。此外，也可以将1次点灯时间设定为非常短的时间，通过点灯次数生成点图形。

另外，在本实施方式中，说明了作为空间光调制元件具备DMD的曝光头组件54，但除如此的反射型空间光调制元件外，也能够代替DMD，例如，采用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)式的空间光调制元件(SLM：Special Light Modulator)、或透射型空间光调制元件(LCD)、或利用电光学效果调制透射光的光学元件(PLZT元件)、或液晶光圈(LFC)的液晶光圈阵列等，MEMS式以外的空间光调制元件。另外，也可以采用多个排列Grating Light Valve(GLV)，构成二维状。在采用这些反射型空间光调制元件(GLV)或透射型空间光调制元件(LCD)的构成中，除上述的激光外，作为光源也可以采用电灯等光源。

此外，作为该实施方式的光源，能够采用多个具有合波激光源的光纤阵列光源、阵列化具有出射从具有1个发光点的单一半导体激光入射的激光的1根光纤的光纤光源的光纤阵列光源、二维状排列多个发光点的光源(例如，LD阵列、有机EL阵列等)、等。

在该描绘装置中，除了照射二维图形进行曝光处理的曝光头组件之外，例如也可以利用采用了线状曝光处理的光学多面镜等的激光曝光装置。

此外，在该描绘装置中，能够采用任何利用曝光直接记录信息的光子式感光材料、利用曝光产生的热记录信息的热式感光材料。在采用光子式感光材料的情况下，作为激光装置，采用GaN系半导体激光器、波长变换固体激光器等，在采用热式感光材料的情况下，作为激光装置，采用A1GaAs系半导体激光器(红外激光器)、固体激光器。

此外，在所述的实施方式中，以通过配置在一对夹持辊30的输送方向上游侧的作为张力设定机构的松紧调节辊机构、和配置在一对夹持驱动辊32的输送方向下游侧的作为张力设定机构的松紧调节辊机构，按一定张力拉架设在一对夹持辊30和一对夹持驱动辊32之间的挠性印刷布线基板材28的方式构成，但是作为此处所用的张力设定机构，也可以通过使一方的一对夹持辊和另一方的一对夹持辊的速度不同旋转驱动，以施加一定的张力的方式构成，或以用规定的制动力制动一方的一对夹持辊，用另一方的一对夹持驱动辊输送，施加一定张力的方式构成。

另外，本发明的描绘装置，除对作为长条带状的挠性记录介质的挠性印刷布线基板材28进行描绘处理外，也可以构成对显示器用基板进行描绘处理的装置。

另外，本发明，并不局限于此，在不脱离本发明的宗旨的范围内，当然能够获得其它多种构成。

Claims (10)

1.一种描绘装置，在输送路径中连续地向一定的输送方向输送长条的挠性记录介质的同时进行描绘，其特征在于，具有：

带输送机构，配置在所述输送路径上，通过在至少2个辊之间架设环带而构成；

描绘单元，对在配置于所述输送路径上的所述带输送机构的所述环带上以沿平面的状态输送的所述长条的挠性记录介质，进行描绘处理。

2.如权利要求1所述的描绘装置，其特征在于：在所述带输送机构的所述环带上设置吸附用贯通孔，通过从配置在所述环带的背面侧的吸引机构吸引空气，将所述长条的挠性记录介质吸附在所述环带的表面，从而一边保持所述挠性记录介质的平面性一边输送所述挠性记录介质，由所述描绘单元进行描绘处理。

3.如权利要求1或2所述的描绘装置，其特征在于：还配置转接辊，该转接辊，通过与所述带输送机构的所述环带的背面侧转动接触进行支撑，而保持所述挠性记录介质的平面性。

4.如权利要求1或2所述的描绘装置，其特征在于：还配置有吸附工作台，该吸附工作台贯穿有多个吸气用的孔，以便通过使平面部与所述带输送机构的所述环带的背面侧滑动接触进行支撑，而保持所述挠性记录介质的平面性。

5.如权利要求1～4中任何一项所述的描绘装置，其特征在于：由激光曝光装置构成所述描绘单元。

6.如权利要求1～5中任何一项所述的描绘装置，其特征在于：所述描绘单元构成为：通过用空间光调制元件调制光束来曝光处理二维图形。

7.如权利要求1～6中任何一项所述的描绘装置，其特征在于：将所述环带分成多个带，并且，隔开规定间隔配置，通过分开的环带之间形成的间隙、检测形成在所述长条的挠性记录介质的背面的校准标记，进行校准的同时，可以进行描绘处理。

8.如权利要求1～7中任何一项所述的描绘装置，其特征在于：在所述环带的与校准位置或描绘位置相对的输送方向上游侧与输送方向下游侧分别配置有转接辊，该转接辊通过与所述环带的背面侧转动接触进行支撑而保持所述挠性记录介质的平面性。

9.如权利要求1所述的描绘装置，其特征在于，

具有：

转接辊，与所述带输送机构的所述环带的背面侧转动接触进行支撑，

吸引箱，覆盖所述转接辊设置，以及

贯通孔，设在所述环带上，并可以与所述吸引箱连通；

其中，通过所述吸引箱及所述贯通孔吸引所述环带上的所述挠性记录介质。

10.如权利要求9所述的描绘装置，其特征在于：所述转接辊与所述吸引箱被设在校准位置及描绘位置至少任一方上。

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