JPH06148752A - 密着体と密着装置及び露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 構造を簡単で小型化ができ、安価に製造でき
る。 【構成】 原版フィルム２と感光性のある基板１とを整
合させた状態で密着させる密着体４０４であって、原版
フィルム２が位置決め貼付された透光性のある第１の保
持部材４０１と、基板を外部から保持して整合させる貫
通孔４０３ａを有し、密着時にその貫通孔４０３ａを基
板１で封止する第２の保持部材４０３と、第１及び第２
の保持部材４０１，４０３を気密に封止する封止部材４
０２とを含み、第２の保持枠４０３の貫通孔４０３ａを
介して、基板１を直接整合する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光性のある基板に原
版フィルムを位置決めして密着させる密着体と、そのよ
うな密着体を密着させる密着装置、及び、感光性のある
基板に原版フィルムを位置決めして密着させて、原版フ
ィルムの絵柄を基板に焼き付ける露光装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図１３は、従来の密着装置の一例を示す
模式図である。従来の密着装置は、図１３（Ａ）に示す
ように、下側保持部材３４３が整合テーブル３３４上に
着脱機構３３２によって保持されており、搬入キャリア
（不図示）によって下側保持部材３４３上に基板３０１
が投入される〔工程（１）〕。下側保持部材３４３は、
上面に多数の貫通孔があり、基板３０１が真空吸着〔工
程（２）〕される。次いで、基板３０１上のマークをＣ
ＣＤカメラ３３３が検出し〔工程（３）〕、その結果に
基づいて、整合テーブル３３４は基板３０１のＸ軸，Ｙ
軸方向及びθ軸回りの精密位置決めを行い〔工程
（４）〕、整合作業を完了する。

【０００３】ここで、図１３（Ｂ）に示すように、上側
保持部材３４１がガイド機構（不図示）に沿って下降し
て〔工程（５）〕、下側保持部材３４３に対して正確な
位置精度を保って対面する。この上側保持部材３４１に
は、透光性の基板に原版フィルム３０２が位置決め貼付
されている。上側保持部材３４１には、下面の外周縁に
枠状のパッキン３４２が設けられており、下側保持部材
３４３と重ね合わせることにより、気密室が形成され
る。その気密室を真空吸引〔工程（６）〕することによ
り、上側保持部材３４１と下側保持部材３４３、つま
り、原版フィルム３０２と基板３０１が密着する。

【０００４】次いで、図１３（Ｃ）に示すように、上側
保持部材３４１と下側保持部材３４３は、着脱機構３３
２から離脱し、密着した状態で露光装置（不図示）にセ
ットされる。露光装置では、上側保持部材３４１と下側
保持部材３４３に挟まれた状態で、上側保持部材３４１
の透光性の基板側から露光ランプによって露光が行わ
れ、原版フィルム３０２の絵柄が基板３０１に焼付られ
る。

【０００５】図１４は、従来の露光装置の一例を示す模
式図である。従来の露光装置は、まず、透明な下側保持
部材１４３が整合テーブル１３４上に吸着保持されてお
り、搬入キャリア１２０によって下側保持部材１４３上
に基板１０１が投入される。次いで、基板１０１のマー
クをＣＣＤカメラ１３３が検出し、その結果に基づい
て、整合テーブル１３４は基板１０１のＸ軸，Ｙ軸方向
及びθ軸回りの精密位置決めを行い、整合作業を完了す
る。

【０００６】ここで、上側保持部材１４１が露光部１６
０から整合部１４０へ戻される。この上側保持部材１４
１には、原版フィルム１０２が位置決め貼付されてい
る。上側保持部材１４１には、外周縁に枠状のパッキン
１４２が設けられており、下側保持部材１４３と重ね合
わせることにより、気密室が形成される。その気密室を
真空吸引することにより、上側保持部材１４２と下側保
持部材１４３、つまり、原版フィルム１０２と基板１０
１が密着する。

【０００７】上側保持部材１４１と下側保持部材１４３
は、密着した状態で露光部１６０へ搬送され、透明な上
側保持部材１４１と下側保持部材１４３に挟まれた状態
で、露光ランプ１６１によって露光が行われ、原版フィ
ルム１０２の絵柄が基板１０１に焼付られる。

【０００８】露光後には、上側保持部材１４１と下側保
持部材１４３が開かれ、下側保持部材１４３は、整合部
１３０へ戻されるとともに、露光済の基板１０１’は、
搬出キャリア１７０によって次工程に搬出される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の図１３
に示した密着装置では、上側保持部材３４１と下側保持
部材３４３との間で、原版フィルム３０２と基板３０１
とを密着させて、露光装置へ搬送するために、上側保持
部材３４１と下側保持部材３４３を整合テーブル３３２
から離脱しなければならず、着脱機構３３２が必要とな
り密着装置が全体として複雑になる、という問題があっ
た。着脱機構３３２は、各々吸引手段を備えた上側保持
部材３４１と下側保持部材３４３を密着した状態で着脱
しなければならず、着脱機構３３２及びそれを支えて整
合する整合装置３３４が大型化して、コストアップにつ
ながるという問題があった。

【００１０】一方、前述の図１４に示した露光装置で
は、下側保持部材１４２が整合部１３０と露光部１６０
を往復するので、露光部１６０で露光している間には、
次の基板１０１を整合部１３０で整合することができな
い。このため、生産速度が遅いうえに、露光ランプ１６
１を有効利用できないという問題があった。また、基板
１０１の露光が終了したのちに、露光済の基板１０１’
を取り出すために、搬出キャリア１７０が必要であり、
装置が大型化するという問題があった。

【００１１】特開平２−２７３５９号には、基板搭載用
の上枠と下枠を組み合わせた複数の枠部材を搬送手段に
よって循環させる構成が開示されているが、各枠部材ご
とに原版フィルムを用意しなければならないうえ、枠部
材を帰還させる機構が大掛かりになるという問題があっ
た。

【００１２】本発明の第１の目的は、構造が簡単で小型
化ができ、安価に製造できる密着体を提供することであ
る。本発明の第２の目的は、その密着体を位置決めして
密着させる密着装置を提供することである。本発明の第
３の目的は、生産タクトを速くするとともに、構造の簡
略化を図ることができる露光装置を提供することであ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明による密着体の第
１の解決手段は、原版フィルムと感光性のある基板とを
整合させた状態で密着させる密着体であって、前記原版
フィルムが位置決め貼付された透光性のある第１の保持
部材と、前記基板を外部から保持して整合させる貫通孔
を有し、密着時にその貫通孔を前記基板で封止する第２
の保持部材と、前記第１及び第２の保持部材を気密に封
止する封止部材とを含む構成である。

【００１４】また、本発明による密着体の第２の解決手
段では、前記第２の保持部材は、搬送手段の無端ベルト
であることを特徴とする。

【００１５】本発明による密着装置の第１の解決手段
は、前記密着体の第１又は第２の解決手段のいずれかを
密着させる密着装置において、前記第２の保持部材の前
記貫通孔を介して前記基板を保持し、その基板を前記第
１の保持部材に貼付された原版フィルムに精密位置決め
する整合手段と、前記第１の保持部材、前記基板により
前記貫通孔が封止された第２の保持部材及び前記封止部
材によって形成された気密室を真空吸引する吸引手段と
を含むことを特徴とする。

【００１６】本発明による密着装置の第２の解決手段
は、前記密着体の第１又は第２の解決手段のいずれかを
密着させる密着装置において、前記第２の保持部材の前
記貫通孔を介して前記基板を保持する保持手段と、前記
基板に対して前記第１の保持部材に貼付された原版フィ
ルムを精密位置決めする整合手段と、前記第１の保持部
材、前記基板により前記貫通孔が封止された第２の保持
部材及び前記封止部材によって形成された気密室を真空
吸引する吸引手段とを含むことを特徴とする。

【００１７】本発明による露光装置の第１の解決手段
は、感光性のある基板を保持部で保持して位置決めする
整合手段と、フィルム保持部材に位置決め貼付された原
版フィルムを前記基板に密着させる密着手段と、前記原
版フィルムに密着した状態で前記基板を露光する露光手
段と、前記整合手段から前記露光手段へ前記基板及び前
記原版フィルムを搬送する搬送手段とを有する露光装置
であって、前記搬送手段は、前記整合手段の前記保持部
の外寸に整合代を含んだ大きさの１以上の貫通孔を持
ち、前記整合手段の中心と前記露光手段の中心との距離
の整数倍の長さの無端ベルト及びその無端ベルトの駆動
部を備えるとともに、前記フィルム保持部材を前記密着
手段と前記露光手段との間で往復させ、前記整合手段
は、前記無端ベルトの貫通孔を介して、前記保持部によ
って前記基板を保持して整合を行い、前記密着手段は、
前記フィルム保持部材及び前記基板により前記貫通孔が
封止される前記無端ベルトによって気密室を形成して真
空密着することを特徴とする。

【００１８】本発明による露光装置の第２の解決手段
は、感光性のある基板を保持部で保持して位置決めする
整合手段と、フィルム保持部材に位置決め貼付された原
版フィルムを前記基板に密着させる密着手段と、前記原
版フィルムに密着した状態で前記基板を露光する露光手
段と、前記整合手段から前記露光手段へ前記基板及び前
記原版フィルムを搬送する搬送手段とを有する露光装置
であって、前記搬送手段は、前記整合手段の前記保持部
と略同じ大きさの１以上の貫通孔を持ち、前記整合手段
の中心と前記露光手段の中心との距離の整数倍の長さの
無端ベルト及びその無端ベルトの駆動部を備えるととも
に、前記フィルム保持部材を前記密着手段と前記露光手
段との間で往復させ、前記整合手段は、前記フィルム保
持部材側から整合を行い、前記密着手段は、前記フィル
ム保持部材及び前記基板により前記貫通孔が封止される
前記無端ベルトによって気密室を形成して真空密着する
ことを特徴とする。

【００１９】

【作用】本発明の密着体によれば、第１の保持部材と第
２の保持部材を封止部材を介して密着させるので、構造
が簡単かつ軽量な密着体にできるので、自動又は手動に
より、露光装置に使用できる。

【００２０】このとき、本発明の密着装置のように、第
２の保持部材の貫通孔から基板を保持して整合するの
で、基板のみを保持すればよいので、装置が簡単にな
る。また、その基板を保持して、第１の保持部材側を整
合させれば、大掛かりな着脱装置が不要となる。

【００２１】本発明の露光装置によれば、フィルム保持
部材と無端ベルトとの間で、原版フィルムと基板とを整
合された状態で密着させ、整合手段から露光手段へ連続
して移動するようにしたので、露光手段で露光している
間に、整合手段で次の基板を整合することができる。ま
た、露光済の基板は、その無端ベルトによって、次工程
に搬出することができる。

【００２２】

【実施例】以下、図面等を参照して、実施例につき、本
発明を詳細に説明する。図１〜図３は、本発明による密
着装置の第１の実施例を示す図であって、図１は正面
図、図２は平面図、図３は動作説明図である。この実施
例では、露光装置に組み込まれた例をあげて説明し、そ
の露光装置は、導入部１０と、搬入キャリア部２０と、
整合部３０と、密着部４００と、搬送部５００と、露光
部６０等から構成されている。

【００２３】導入部１０は、前工程から送られてきた基
板１を予め粗位置決めする部分であり、この実施例で
は、複数（６本）のピン１１によって、コーナー位置決
めするようにしている。搬入キャリア部２０は、導入部
１０から整合部３０に基板１を搬入するためのものであ
り、この実施例では、吸引機構２１によって、基板１を
吸引して、搬入する。

【００２４】整合部３０は、導入部１０で粗位置決めさ
れた基板１を精密位置決めする部分であり、下側保持部
材４０３に設けられた貫通孔４０３ａを通して、基板１
を吸引する吸引パッド３１と、その吸引パッド３１を上
下させる昇降機構３２と、基板１上のマークを読み取る
ＣＣＤカメラ３３と、ＣＣＤカメラ３３からの検出信号
に基づいて昇降機構３２をＸＹ−θ方向に移動させる整
合テーブル３４とから構成されている。

【００２５】密着部４００は、上側保持部材４０１、パ
ッキン４０２、下側保持部材４０３からなる密着体４０
４によって、整合部３０で整合された基板１に原版フィ
ルム２を密着させる部分である。この密着部４００で
は、上側保持部材４０１、上側保持部材４０１に設けら
れたパッキン４０２及び貫通孔４０３ａが基板１によっ
て封止された下側保持部材４０２の間で気密室を形成す
る。そして、その気密室内の空気を吸引手段（不図示）
によって吸引することにより、基板１と原版フィルム２
とを整合した状態で密着させることができる。上側保持
部材４０１は、透光性の基板に原版フィルム２が位置決
め貼付されている。下側保持部材４０３は、整合部３０
の吸着パッド３１の外寸に整合代を含んだ大きさの４個
の貫通孔４０３ａが形成されている。

【００２６】搬送部５００は、密着部４００で密着した
上側保持部材４０１と下側保持部材４０３とを露光部６
０へ搬送するための部分であり、レール５０１，５０２
に沿って、上側保持部材４０１と下側保持部材４０３が
搬送される。

【００２７】露光部６０は、露光ランプ６１により露光
することにより、搬入されてきた基板１に原版フィルム
２の絵柄を焼き付ける。なお、露光部６０の下側には、
吸引機構６２が設けられており、露光終了後に上側保持
部材４０１が上昇するときに、基板１が浮き上がらない
ように吸着するようにしている。

【００２８】次に、図３を参照しながら、この実施例の
露光装置の動作をさらに詳しく説明する。まず、前工程
から送られてきた基板１は、導入部１０の複数のピン１
１によってコーナーが粗位置決めされる。次いで、搬入
キァリア部２０は、その基板１を吸引機構２１で吸引
し、導入部１０から整合部３０へ搬入する（工程ａ）。

【００２９】整合部３０では、昇降機構３２によって吸
引パッド３１が上昇し、その先端が下側保持部材４０３
の貫通孔４０３ａを通して、搬入されてきた基板１を吸
着する（工程ｂ）。この状態で、ＣＣＤカメラ３３は、
基板１上の位置決めマーク（不図示）を検出し（工程
ｃ）、その検出信号に基づいて、整合テーブル３４をＸ
方向，Ｙ方向又はθ回りに移動し、整合を行う（工程
ｄ）。

【００３０】整合が終了すると、上側保持部材４０１が
下降し（工程ｅ）、この状態で、不図示の吸引装置によ
って、上側保持部材４０１、下側保持部材４０３及びパ
ッキン４０２によって形成される気密室が吸引され（工
程ｆ）、基板１と原版フィルム２は密着する。整合部３
０の吸着パッド３１が下降して（工程ｇ）、密着体４０
４（上側保持部材４０１，パッキン４０２，下側保持部
材４０３）は、基板１を挟んで密着した状態で、露光部
６０へ搬送される（工程ｈ）。露光部６０では、露光ラ
ンプ６１の発光により、原版フィルム２の絵柄が基板１
に焼付られる。

【００３１】なお、密着体４０４（上側保持部材４０
１，パッキン４０２，下側保持部材４０３）を２組配置
し、整合部３０と露光部６０の間を上側レールと下側レ
ールによって、交互に移動するようにすれば、露光部６
０で露光している間に、整合部３０で整合・密着作業を
行うことができ、作業時間を短縮して露光ランプを有効
に利用することができる。

【００３２】図４は、本発明による密着装置の第２の実
施例を示す図、図５は、第２の実施例の密着装置に使用
される整合テーブルを示す斜視図である。なお、以下に
説明する各実施例では、前述した第１の実施例と同様な
機能を果たす部分には、同一の符号を付して、重複する
説明を省略する。第２の実施例では、整合テーブル３
４’は、上側保持部材４０１の外側に一体的に設けられ
ており、上側保持部材４０１と共に整合部３０と露光部
６０との間を移動する。また、下側保持部材４０３の貫
通孔４０３ｂを介して、吸着パッド３１によって、基板
１の下側を吸着保持する点は、第１の実施例と同じであ
る。このとき、下側からは整合を行わないので、貫通孔
４０３ｂは、貫通孔４０３ａと異なり整合代は不要であ
る。

【００３３】この実施例で使用される整合テーブル３
４’は、本出願人がＸＹ−θ軸の微調整機構（特願平３
−３５２１５８号）において、既に出願しているので、
ここでは簡単に説明する。図５において、枠２１０は、
調整されるべきワーク（原版フィルム２）を支持する支
持体である。第１、第２、第３、第４の駆動点２１１，
２１２，２１３，２１４は、それぞれ枠２１０を駆動す
る点であり、仮想の四辺形（図５の実施例では、正方
形）の各頂点に配置されている。ステージ２２１，２２
２，２２３，２２４は、各駆動点２１１〜２１４におい
て、枠２１０を支持して駆動する駆動体である。ステー
ジ２２１とステージ２２３は、枠２１０をＸ軸方向に駆
動し、Ｙ軸方向へは自由にスライドすることができる。
ステージ２２２とステージ２２４は、枠２１０をＹ軸方
向に駆動し、Ｘ軸方向へは自由にスライドすることがで
きる。そして、各ステージ２２１〜２２４は、それぞれ
モータ２３１，２３２，２３３，２３４によって駆動さ
れる。

【００３４】ＸＹ−θ軸の微調整を行う場合は、モータ
２３１、２３３を同じ方向に回転させてＸ軸の調整を行
う。このとき、ステージ２２２、２２４の動きは、全く
拘束されず自由である。また、モータ２３２、２３４を
同じ方向に回転させてＹ軸の調整を行う。このとき、ス
テージ２２１、２２３の動きは、全く拘束されず自由で
ある。さらに、θ軸を調整するときは、モータ２３１、
２３３の回転が逆方向に、モータ２３２、２３４の回転
が逆方向になるように、同時に駆動する。このときの駆
動点２１１〜２１４の移動方向は、時計回り又は反時計
回りの同一方向になり、枠２１０は回転運動をする。

【００３５】図６、本発明による密着体の他の実施例を
示す側面図である。この実施例の密着体４１４は、上側
保持部材４１１と下側保持部材４１３をヒンジ部４１５
によって、開閉自在を取り付けたものであり、上側保持
部材４１１と下側保持部材４１３との位置決めが簡単な
機構で容易に行える利点がある。

【００３６】図７は、本発明による密着体の実施例を用
いた両面露光機の一例を示す図である。図３の（Ｃ）で
説明した密着体４０４（図６で説明した密着体４１４を
用いても同様である。）は、整合・密着した状態で、小
型かつ軽量であるので、手動の露光機に装着して露光す
ることができる。例えば、図７に示すように、２段の装
着部を有する両面露光機に、密着体４０４Ａを上段に装
着し、露光ランプ６１Ａで露光し、密着体４０４Ｂを下
段に逆さにして装着し、下側から露光ランプ６１Ｂで露
光することにより、基板１Ａの表面と、他の基板１Ｂの
裏面を同時に露光することができる。

【００３７】図８〜図１０は、本発明による露光装置の
第１の実施例を示す図であって、図８は斜視図、図９は
正面図、図１０は平面図である。この実施例の露光装置
は、導入部１０と、搬入キャリア部２０と、整合部３０
と、吸着部４０と、搬送部５０と、露光部６０等から構
成されている。

【００３８】導入部１０は、前工程から送られてきた基
板１を予め粗位置決めする部分であり、この実施例で
は、複数（６本）のピン１１によって、コーナー位置決
めするようにしている。搬入キャリア部２０は、導入部
１０から整合部３０に基板１を搬入するためのものであ
り、この実施例では、吸引機構２１によって、基板１を
吸引して、搬入する。

【００３９】整合部３０は、導入部１０で粗位置決めさ
れた基板１を精密位置決めする部分であり、後述する搬
送部５０のベルト５１に設けられた貫通孔５１ａを通し
て基板１を吸引する吸引パッド３１と、その吸引パッド
３１を上下させる昇降機構３２と、基板１上のマークを
読み取るＣＣＤカメラ３３と、ＣＣＤカメラ３３からの
検出信号に基づいて昇降機構３２をＸＹ−θ方向に移動
させる整合テーブル３４とから構成されている。

【００４０】密着部４０は、整合部３０で整合された基
板１に原版フィルム２を密着させる部分であり、原版フ
ィルム２が位置決め貼付されたフィルム保持部材４１
と、貫通孔５１ａが基板１によって封止されたベルト５
１と、フィルム保持部材４１に設けられたパッキン４２
との間で気密室を形成する。この気密室内の空気を吸引
することにより、基板１と原版フィルム２とを整合した
状態で密着させることができる。

【００４１】搬送部５０は、密着部４０で密着した基板
１と原版フィルム２とを露光部６０へ搬送するための部
分である。この搬送部５０は、無端ベルト５１とその無
端ベルトが掛回されたローラ５２，５３，５４と、ロー
ラ５２を駆動するモータ５５などから構成されている。
無端ベルト５１は、整合部３０の吸着パッド３１の外寸
に整合代を含んだ大きさの４個の貫通孔５１ａを持ち、
図１０に示すように、整合部３０の中心Ｃと露光部４０
の中心ＣとのピッチＰの整数倍の長さのものが使用され
ている。この実施例では、基板１と原版フィルム２と
は、この無端ベルト５１のみによって搬送するのではな
く、フィルム保持部材４１が機械的な精度を保って、整
合部３０から露光部６０に搬送される。

【００４２】露光部６０は、露光ランプ６１により露光
することにより、搬入されてきた基板１に原版フィルム
２の絵柄を焼き付ける。なお、露光部６０のベルト５１
の下側には、吸引機構６２が設けられており、露光終了
後にフィルム保持部材４１が上昇するときに、基板１が
浮き上がらないように吸着するようにしている。

【００４３】次に、この実施例の露光装置の動作をさら
に詳しく説明する。まず、前工程から送られてきた基板
１は、導入部１０の複数のピン１１によってコーナーが
粗位置決めされる。次いで、搬入キァリア部２０は、そ
の基板１を吸引機構２１で吸引し、導入部１０から整合
部３０へ搬入する。

【００４４】搬送部３０では、昇降機構３２によって吸
引パッド３１が上昇し、その先端が無端ベルト５１の貫
通孔５１ａを通して、搬入されてきた基板１を吸着する
（図１１の工程）。この状態で、ＣＣＤカメラ３３
は、基板１上の位置決めマーク（不図示）を検出し、そ
の検出信号に基づいて、整合テーブル３４をＸ方向，Ｙ
方向又はθ回りに移動し、整合を行う（図１１の工程
）。

【００４５】整合が終了すると、フィルム保持部材４１
は、露光部６０から整合部３０へ戻され、下降する（図
１１の工程）。この状態で、不図示の吸引装置によっ
て、フィルム保持部材４１と無端ベルト５１で形成され
る気密室が吸引され、基板１と原版フィルム２は密着す
る（図１１の工程）。整合部３０の吸着パッド３１が
下降して（図１１の工程）、フィルム保持部材４１と
ベルト５１は、基板１を挟んで密着した状態で、露光部
６０へ搬送される（図１１の工程）。露光部６０で
は、露光ランプ６１の発光により、原版フィルム２の絵
柄が基板１に焼付られる（図１１の工程）。

【００４６】露光が終了すると、フィルム保持部材４１
は上昇し、次の基板１の整合が終了した時点で、整合部
３０へ戻される（図１１の工程）。つまり、露光中
に、整合部３０で次の基板１が整合されている。同様の
動作によって、次の基板１が露光部６０へ搬入される
と、既に露光済の基板１’は、無端ベルト５１の右側へ
の移動によって、次工程へ搬出される（図１１の工程
）。

【００４７】図１２は、本発明による露光装置の第２の
実施例を示す図である。第２の実施例の露光装置では、
整合テーブル３４’（図５で説明したものと同じものが
使用できるので、詳しい説明は省略する）は、フィルム
保持部材４１の外側に一体的に設けられており、フィル
ム保持部材４１と共に整合部３０’と露光部６０との間
を移動する。また、無端ベルト５１の貫通孔５１ｂを介
して、吸着パッド３１によって、基板１の下側を吸着保
持する点は、第１の実施例と同じである。このとき、下
側からは整合を行わないので、貫通孔５１ｂは、貫通孔
５１ａと異なり整合代は不要である。

【００４８】以上説明した実施例に限定されず、本発明
を逸脱しない範囲で種々の変形や変更が可能であって、
それらは本発明の範囲に含まれる。例えば、図１に示し
た実施例では、下側保持部材４０３に形成された貫通孔
４０３ａは、整合代を含む大きさであればよく、他の大
きさや形状であってもよく、例えば、大きな１つの円で
あってもよい。同様にして、図８に示した実施例では、
無端ベルト５１に形成された貫通孔５１ａは、保持部が
通過して、整合代を含む大きさであればよく、他の大き
さや形状であってもよく、例えば、大きな１つの円であ
ってもよい。一方、図１に示した実施例では、上側保持
部材４０１に設けられたパッキン４０２は、下側保持部
材４０３側に設けてもよい。同様にして、図８に示した
実施例では、フィルム保持部材４１に設けられたパッキ
ン４２は、無端ベルト５１側に設けてもよい。

【００４９】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
る密着体は、基板を第２の保持部材の貫通孔を介して整
合又は保持して、密着時にはその貫通孔を基板によって
封止するので、構造が簡単でかつ安価に製造できる。

【００５０】また、本発明による密着装置は、基板を直
接整合又は保持するので、大掛かりな着脱機構が不要と
なり、装置を小型化することができる。

【００５１】本発明の露光装置によれば、整合手段から
露光手段へ、原版フィルムを基板に密着させた状態で搬
送するときに、フィルム保持部材と無端ベルトとの間で
密着させ、１方向へ移動させるので、露光手段で露光を
行っている間に、次の基板を整合手段で整合させること
ができる。したがって、連続的な露光が可能となり、生
産性の向上、露光ランプの有効利用が図れる。また、露
光済の基板は、無端ベルトの回転により、次工程に搬出
できるので、特別に搬出キャリア等を設ける必要がな
く、装置が簡素化される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による密着装置の第１の実施例を示す正
面図である。

【図２】本発明による密着装置の第１の実施例を示す平
面図である。

【図３】第１の実施例による密着装置の動作を説明する
ための図である。

【図４】本発明による密着装置の第２の実施例を示す図
である。

【図５】第２の実施例の密着装置に使用される整合テー
ブルを示す斜視図である。

【図６】本発明による密着体の他の実施例を示す側面図
である。

【図７】本発明による密着体の実施例を用いた両面露光
機の一例を示す図である。

【図８】本発明による露光装置の第１の実施例を示す斜
視図である。

【図９】本発明による露光装置の第１の実施例を示す正
面図である。

【図１０】本発明による露光装置の第１の実施例を示す
平面図である。

【図１１】第１の実施例による露光装置の動作を説明す
るための図である。

【図１２】本発明による露光装置の第２の実施例を示す
正面図である。

【図１３】従来の密着装置の一例を示す模式図である。

【図１４】従来の露光装置の一例を示す模式図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 原版フィルム １０ 導入部 ２０ 搬入キャリア部 ３０ 整合部 ３１ 吸着パッド ３２ 昇降機構 ３３ ＣＣＤカメラ ３４，３４’ 整合テーブル ４００，４０ 密着部 ４０１，４１ 上側保持部材 ４０２，４２ パッキン ４０３，４３ 下側保持部材 ４０４，４１４，４４ 密着体 ４０５ ヒンジ部 ５００，５０ 搬送部 ５０１ レール ５０２ レール ５１ 無端ベルト ６０ 露光部 ６１ 露光ランプ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 原版フィルムと感光性のある基板とを整
   合させた状態で密着させる密着体であって、 前記原版フィルムが位置決め貼付された透光性のある第
   １の保持部材と、 前記基板を外部から保持して整合させる貫通孔を有し、
   密着時にその貫通孔を前記基板で封止する第２の保持部
   材と、 前記第１及び第２の保持部材を気密に封止する封止部材
   とを含む密着体。
2. 【請求項２】 前記第２の保持部材は、搬送手段の無端
   ベルトであることを特徴とする請求項１に記載の密着
   体。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２のいずれかに記載
   の密着体を密着させる密着装置において、 前記第２の保持部材の前記貫通孔を介して前記基板を保
   持し、その基板を前記第１の保持部材に貼付された原版
   フィルムに精密位置決めする整合手段と、 前記第１の保持部材、前記基板により前記貫通孔が封止
   された第２の保持部材及び前記封止部材によって形成さ
   れた気密室を真空吸引する吸引手段とを含むことを特徴
   とする密着装置。
4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２のいずれかに記載
   の密着体を密着させる密着装置において、 前記第２の保持部材の前記貫通孔を介して前記基板を保
   持する保持手段と、 前記基板に対して前記第１の保持部材に貼付された原版
   フィルムを精密位置決めする整合手段と、 前記第１の保持部材、前記基板により前記貫通孔が封止
   された第２の保持部材及び前記封止部材によって形成さ
   れた気密室を真空吸引する吸引手段とを含むことを特徴
   とする密着装置。
5. 【請求項５】 感光性のある基板を保持部で保持して位
   置決めする整合手段と、 フィルム保持部材に位置決め貼付された原版フィルムを
   前記基板に密着させる密着手段と、 前記原版フィルムに密着した状態で前記基板を露光する
   露光手段と、 前記整合手段から前記露光手段へ前記基板及び前記原版
   フィルムを搬送する搬送手段とを有する露光装置であっ
   て、 前記搬送手段は、前記整合手段の前記保持部の外寸に整
   合代を含んだ大きさの１以上の貫通孔を持ち、前記整合
   手段の中心と前記露光手段の中心との距離の整数倍の長
   さの無端ベルト及びその無端ベルトの駆動部を備えると
   ともに、前記フィルム保持部材を前記密着手段と前記露
   光手段との間で往復させ、 前記整合手段は、前記無端ベルトの貫通孔を介して、前
   記保持部によって前記基板を保持して整合を行い、 前記密着手段は、前記フィルム保持部材及び前記基板に
   より前記貫通孔が封止される前記無端ベルトによって気
   密室を形成して真空密着することを特徴とする露光装
   置。
6. 【請求項６】 感光性のある基板を保持部で保持して位
   置決めする整合手段と、 フィルム保持部材に位置決め貼付された原版フィルムを
   前記基板に密着させる密着手段と、 前記原版フィルムに密着した状態で前記基板を露光する
   露光手段と、 前記整合手段から前記露光手段へ前記基板及び前記原版
   フィルムを搬送する搬送手段とを有する露光装置であっ
   て、 前記搬送手段は、前記整合手段の前記保持部と略同じ大
   きさの１以上の貫通孔を持ち、前記整合手段の中心と前
   記露光手段の中心との距離の整数倍の長さの無端ベルト
   及びその無端ベルトの駆動部を備えるとともに、前記フ
   ィルム保持部材を前記密着手段と前記露光手段との間で
   往復させ、 前記整合手段は、前記フィルム保持部材側から整合を行
   い、 前記密着手段は、前記フィルム保持部材及び前記基板に
   より前記貫通孔が封止される前記無端ベルトによって気
   密室を形成して真空密着することを特徴とする露光装
   置。