JP6424053B2

JP6424053B2 - ダイレクト露光装置

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Publication number: JP6424053B2
Application number: JP2014196544A
Authority: JP
Inventors: 森田　亮; 亮森田; 典夫橋本
Original assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2014-09-26
Filing date: 2014-09-26
Publication date: 2018-11-14
Anticipated expiration: 2034-09-26
Also published as: JP2016070953A

Description

本発明は、供給リールから繰り出されて巻取リールに巻き取られる長尺状ワークの搬送中に、その表裏の一面にパターンを描画する、いわゆるロールトゥロール方式のダイレクト露光装置に関する。

一般的に、携帯電話やモバイル機器等に用いられる電子回路基板（プリント回路基板）のベース素材として、例えば、厚みが０．１ｍｍ以下で長さが５００ｍｍ以上（例えば１００ｍ）の長尺状ワーク（感光性長尺フィルム（表裏の少なくとも一面に感光体を塗布した合成樹脂製柔軟フィルム））をロール状にしたものが使用されている。また近年、転写マスクを使わず描画光を直接基板に照射してパターンを描画するダイレクト露光装置が市場に台頭し、長尺状ワークに対してもこの露光方式を採用する要求が高まっている。

このようなロールトゥロール方式のダイレクト露光装置として、連続的な長尺状ワークの搬送と露光を行うために、供給リールと巻取リールの間に位置させた平板状のコンベア（露光コンベア）により長尺状ワークを保持し、該コンベア上で露光を行うダイレクト露光装置が知られている（特許文献１）。

また、供給リールと巻取リールの間に位置させたローラ（露光ローラ）の円筒面上を進行する長尺状ワークに対して露光を行うダイレクト露光装置も知られている（特許文献２）。

特開２００６-０９８７２０号公報特開２０１４−０３５４１２号公報

平面状のコンベア上で露光する方式と円筒状のローラ上で露光する方式を比べると、コンベア方式は、ワークの被露光領域全体を平面状にする点では優れるが、ライン長が長くなるために露光装置が大型化しやすく、また露光位置で局所的に見た場合の面精度が悪い。これに対し、ローラ方式はライン長が短縮できるので露光装置の小型化が可能であり、かつ面精度（面の滑らかさ）とワーク送り精度の面で優れている。一方、ローラ方式は円筒面（曲面）上で露光を行うため、露光画像の焦点が合うエリアが狭く、細線の描画が困難になるという問題がある。この問題は露光ローラ径を大きくすれば軽減されるが、小型化が犠牲にされてしまう。

また、ワークの送り精度という観点からは、コンベア方式はコンベアベルトの蛇行や伸縮などの影響で送り精度が落ちる可能性がある。一方、ローラ方式は、ローラにワークを吸着する吸着エリアでは高い送り精度が得られるが、吸着エリアは上述のように平面ではない（円筒面である）ため露光画像の焦点が合うエリアが狭いという問題が残る。

本発明は、ワークを吸着して移動させるローラ方式のダイレクト露光装置において、ワークを吸着搬送する円筒部材による高い送り精度を生かしながら、ワークの平面性を保持して露光画像の精度を高め、描画パターンを細線化することができるダイレクト露光装置を得ることを目的とする。

本発明は、供給リールから繰り出され巻取リールに巻き取られる長尺状ワークにパターンを露光する光変調素子アレイを用いたダイレクト露光装置であって、上記供給リールと巻取リールの間において、長尺状ワークをその周面の一定範囲に渡って保持しながら回転する円筒部材；上記円筒部材からの離脱位置より下流側において、長尺状ワークをガイド面に非接触で平面状に支持するガイド手段；及び上記長尺状ワークに対してパターンを描画する露光手段；を備え、上記露光手段は、上記長尺状ワークの上記円筒部材からの離脱位置を含む搬送方向の前後一定幅においてパターンを描画する第１の露光手段と、上記ガイド手段上に位置する第２の露光手段を備えていること、及び、上記第１と第２の露光手段による長尺状ワークに対する露光エリアの少なくとも一部は、上記ガイド手段上に位置していることを特徴としている。

上記第１と第２の露光手段による露光エリアは、その一態様では、上記長尺状ワークの上記円筒部材からの離脱位置とガイド手段上の位置とに跨がらせることができる。

上記第１の露光手段は、その一態様では、上記円筒部材から離脱して上記円筒部材の軸直交断面における径方向と直交する接線方向に延びる長尺状ワークに対し、上記離脱位置を含む搬送方向の前後一定幅においてパターンを描画する。

上記第１の露光手段による露光エリアと、第２の露光手段による露光エリアとは略同一平面上に位置させるのが実際的である。

上記ガイド手段は、具体的には例えば、気体吹出手段と気体吸引手段とを備える浮上吸引ガイド手段から構成することができる。

本発明のダイレクト露光装置は、供給リールと巻取リールの間において、長尺状ワークをその周面の一定範囲に渡って保持しながら回転する円筒部材の下流側に、長尺状ワークをガイド面に非接触で平面状に支持するガイド手段を配置し、露光手段による長尺状ワークに対する露光エリアの少なくとも一部を、ガイド手段上に位置させたので、円筒部材による高い送り精度と、ガイド手段によるワークの平面性の保持とを利用して露光画像の精度を高め、描画パターンを細線化することができる。

本発明によるダイレクト露光装置の全体構成を示す側面図である。同斜視図である。露光ユニットの一例を示す斜視図である。長尺状ワーク上の単位パターン領域（アライメントマーク）と、アライメントカメラと露光ユニットの間隔の例を説明する展開図である。露光ロールの詳細を示す軸直交断面図である。長尺状ワークに対する露光エリアの一例を示す図である。浮上吸引ユニット単体の斜視図である。同分解斜視図である。露光エリアにおける光変調素子アレイによる露光の状態を示す模式図である。

図１、図２は、本発明によるダイレクト露光装置１００の一実施形態を示す全体図である。ダイレクト露光装置１００は、巻回された長尺状ワーク（以下単にワーク）Ｗを繰り出す供給リール１０と、ワークＷを巻き取る巻取リール１１との間に、露光ロール４０が位置し、この露光ロール４０の上方に、ワークＷの搬送方向に離間した一対の露光ユニット（露光描画部）３０Ａと３０Ｂが備えられ、下方にアライメントカメラ５０が備えられている。ワークＷは、表裏の少なくとも一面に感光体を塗布した合成樹脂製柔軟フィルムからなり、供給リール１０を出たのち、ガイドローラ１２、１３を経て、露光ロール４０に至り、さらにガイドローラ１４を経て巻取リール１１に巻き取られる。露光ロール４０とガイドローラ１４の間には、ワークＷの下面に位置する浮上吸引ガイドユニット（手段）６０が設けられている。

露光ロール４０は、図２、図５に示すように、軸心４１Ｘを中心に不図示の駆動源によって回転駆動される多孔円筒部材４１と、この多孔円筒部材４１内に位置する中心固定体４２とを有し、中心固定体４２には、その周面の一部に、多孔円筒部材４１の周面に形成した無数の微細孔（吸引孔）４１ａに負圧を及ぼす吸引凹部（溝）４２ａが形成されている。吸引凹部４２ａには、負圧源４３及び制御器（レギュレータ）４４を介して負圧が及ぼされる。吸引凹部４２ａに負圧が供給されている状態で多孔円筒部材４１を回転駆動すると、吸引凹部４２ａが形成された吸引区間α（図５）において、多孔円筒部材４１の微細孔４１ａから空気が吸引される結果、ワークＷが多孔円筒部材４１の周面に吸着保持されて回転する。

吸引凹部４２ａの吸引区間αと、ガイドローラ１３及びガイドローラ１４の位置は、多孔円筒部材４１を軸方向から見たとき、多孔円筒部材４１の最も高い位置（最上位置）と最も低い位置（最下位置）との間において、ワークＷが多孔円筒部材４１に吸引されて回転するように定められている。ガイドローラ１３は、多孔円筒部材４１の径方向に対して直交する最下方の水平な接線（接平面）方向からワークＷが多孔円筒部材４１に入り（下方の水平接線（接平面）方向と径方向との交点（交線）において吸引保持が開始され）、ガイドローラ１４は、多孔円筒部材４１の径方向に対して直交する最上方の水平な接線（接平面）方向へワークＷが出て行く（上方の水平接線（接平面）方向と径方向との交点（交線）において吸引保持が終了する）ように位置が定められている。すなわち、吸引凹部４２ａの吸引区間αは、多孔円筒部材４１にワークの吸着が開始される位置と、多孔円筒部材４１からワークＷが離脱される位置とに跨がる略半周の間（略１８０゜）に設定されている。なお、ワークＷは、少なくとも吸引区間αの両端部、すなわち、吸引開始位置と吸引開放位置とにおいて多孔円筒部材４１に吸引保持されればよい。

露光ロール４０の多孔円筒部材４１の外周には、図２に概念的に示すように、リニアスケール４５が形成されており、露光ロール４０の外側固定位置には、このリニアスケール４５を読み取って、多孔円筒部材４１の絶対回転位置を検出するリニアセンサ４６が配設されている。

浮上吸引ガイドユニット６０は、露光ローラ４０（多孔円筒部材４１）の出口（下流）側に位置しており、気体の吹出及び吸引によって長尺ワークＷを非接触で平面状に支持するものであり、その動作原理自体は知られている。

図６、図７は浮上吸引ガイドユニット６０を概念的に示すもので、ガイド板６１とエア回路ボディ６２を備えている。ガイド板６１は、その平板状のガイド面６１ａに開口する、無数の貫通孔（吹出孔）６１ｂおよび貫通孔（吸引孔）６１ｃを備えている。エア回路ボディ６２は、櫛歯状をなし、その櫛歯が互いに入れ違いに組み合うエア供給溝６２ａと、エア吸引溝６２ｂを備えており、エア供給溝６２ａは正圧源６４に接続され、エア吸引溝６２ｂは負圧源６３に接続されている。貫通孔６１ｂは、エア供給溝６２ａと連通し、貫通孔６２ｃはエア吸引溝６２ｂと連通するようにマトリックス状をなしており、かつエア供給溝６２ａとエア吸引溝６２ｂは、エアを吹き出す貫通孔６１ｂの列とエアを吸引する貫通孔６１ｃの列がそれぞれワークＷの進行方向と平行をなすように設けられている。もっとも、エアを吹き出す貫通孔と吸引する貫通孔は、必ずしも列状である必要はなく、中心の吹出孔（吸引孔）の回りに複数の吸引孔（吹出孔）を配置する態様等が可能である。

この浮上吸引ガイドユニット６０は、正圧源６４を介してエア供給溝６２ａに加圧空気を供給して貫通孔６１ｂから吹き出させ、同時に負圧源６３を介してエア吸引溝６２ｂに負圧を与えて貫通孔６１ｃから空気を吸引することにより、ガイド面６１ａ上を通過するワークＷの平面精度を高めることができる。

以上の浮上吸引ガイドユニット６０は、具体的には、（株）ピスコ製ＡＦＵ１（精密浮上タイプ）を用いることができる。

一対の露光ユニット３０は、実質的に同一構成であり、その一方の露光ユニット３０Ａ（第１の露光ユニット３０）は、ワークＷが多孔円筒部材４１から離間する位置の近傍に設けられ、他方の露光ユニット３０Ｂ（第２の露光ユニット３０）は、浮上吸引ガイドユニット６０上に位置している。

図３は露光ユニット３０（３０Ａと３０Ｂ）の具体例を示している。露光ユニット３０は、光源部２０を備え、光源部２０は、同じ内部構成を持つ２個の光源部２０ａと光源部２０ｂとで構成されている。光源部２０ａと光源部２０ｂとは同じ構成のため光源部２０ａを代表して説明する。

光源部２０ａは、ＵＶランプ２１と、第１全反射ミラー２２と、コンデンサーレンズ２３と、第２全反射ミラー２４と、フライアイレンズ２５と、アパーチャ（不図示）とから構成されている。光源部２０ａはＵＶランプ２１を備えており、ＵＶランプ２１からは３６５ｎｍから４４０ｎｍまでの各種の波長が混在した紫外光が射出される。

ＵＶランプ２１から射出された紫外光は、楕円ミラー２６により天方向に照射され、第１全反射ミラー２２により水平方向に向きを変え、コンデンサーレンズ２３にて集光され、第２全反射ミラー２４にて地面方向（ワークＷ方向）に向きを変える。向きを変えた紫外光はフライアイレンズ２５及びアパーチャを経て４分岐されたビームとなる。ビームは更に８個の第１投影レンズ３３と、８個の反射ミラー３４とを経由して、８個のＤＭＤ（Digital Micro-mirror Device）素子（光変調素子アレイ）３６に入射することで制御されたビームとなる。この制御されたビームは第２投影レンズ群３７を通過することで、投影する露光描画の倍率を調整して、ワークＷに照射される。つまり、描画装置ダイレクト露光装置１００は、所望の露光像をあらかじめ収納してある描画データに従い、光源部２０ａ及び光源部２０ｂの紫外光を制御する。

露光ユニット３０Ａによる露光エリアは、次のように定められている。上述のように、ワークＷは多孔円筒部材４１から離脱した後、浮上吸引ガイドユニット６０上を移動し、多孔円筒部材４１の最上部において水平接線方向に移動する（多孔円筒部材４１から離脱したワークＷは、浮上吸引ガイドユニット６０により離脱角度が水平となるよう調整される）。露光ユニット３０Ａによる露光エリアＡＥ（図２、図３、図６）は、厳密には単純な矩形ではないが、ここでは簡略的にワークＷの搬送方向と直交する方向（ワークＷの幅方向）に長手方向をとった矩形で表現されるとする。そしてその露光幅Ｙは、図６に示すように、多孔円筒部材４１の軸心４１Ｘと接線方向の交点（交線）Ｓを基準としたとき、交線Ｓより上流側（多孔円筒部材４１の円筒面側）の露光幅Ｙ１より、下流側（ガイドローラ１４側）の露光幅Ｙ２の方が大きく（Ｙ１＜Ｙ２）設定されている。

浮上吸引ガイドユニット６０上において、ワークＷに露光する露光ユニット３０Ｂは、浮上吸引ガイドユニット６０によって平面性が向上（維持）されているワークＷに対して露光エリアＡＥ（図２、図３、図６）で露光する。この露光ユニット３０Ｂによる露光幅Ｙは、露光ユニット３０Ａによる露光幅Ｙと同一としても異ならせてもよい。露光ユニット３０Ｂによる露光エリアＡＥ（図２、図３、図６）は、露光ユニット３０Ａによる露光エリアと同様に、厳密には単純な矩形ではないが、ここでは簡略的にワークＷの搬送方向と直交する方向（ワークＷの幅方向）に長手方向をとった矩形で表現している。露光ユニット３０Ａと３０ＢによるワークＷの露光エリアＡＥは、同一平面に位置している。

図９は、２つの露光エリアＡＥにおける露光ユニット３０Ａと３０Ｂによる露光状態を模式的に示している。図９において、二点鎖線で示す円Ｃは、露光ユニット３０Ａと３０Ｂの図３に示す一つの第１投影レンズ３３と反射ミラー３４が占有する光学系の大きさであり、その中に、太線の矩形で描いたＤＭＤ（Digital Micro-mirror Device）素子３６による実露光エリアＲが存在する。一つの露光エリアＡＥ内には、図示例では４つの実露光エリアＲが存在しており、これらの４つの実露光エリアＲを含むワークＷの搬送方向と直交する方向の矩形エリアをＡＥとしている。なお、図３では露光ビームは８つの光学系に分岐しているが、図９の例では４つの光学系に分岐している。

アライメントカメラ５０は、この実施形態では、ワークＷの幅方向に離間した一対が備えられている。このアライメントカメラ５０は、ワークＷに予め形成されているアライメントマークＭＡ（図４）を撮像して露光ユニット３０Ａと３０Ｂによる描画座標系を定める（修正する）。アライメントカメラ５０は、ワークＷの露光ロール４０（多孔円筒部材４１）に対する吸着開始位置においてアライメントマークＭＡを撮像するものであるので、吸着開始位置は撮像位置に等しい。そして、アライメントカメラ５０と露光ユニット３０Ａは、お互いの光軸が露光ロール４０を挟んで反対側の略鉛直位置に位置している。アライメントカメラ５０と露光ユニット３０Ａは、その少なくとも一方の光軸が厳密に鉛直方向を向くように配置することが好ましい。このようにアライメントカメラ５０と露光ユニット３０Ａを配置することにより、アライメントカメラ５０と露光ユニット３０Ａの光学系を最も安定した状態に保持することができ、最大の光学性能を得ることができる。

図４は、ワークＷ上の単位パターン領域ＡＰとアライメントマークＭＡ、及びアライメントマーク５０と露光ユニット３０Ａと３０Ｂによる２つの露光エリアＡＥの位置関係を示している。図示例では、アライメントマークＭＡは、１つの単位パターン領域ＡＰ（１回にアライメント及び描画する範囲）に対し、４個（２個×２列）が形成されており、アライメントカメラ５０はカメラ視野の中心においてアライメントマークＭＡを撮像するように位置調整可能である。

なお、アライメントマークＭＡの個数および配置は描画するパターンに応じて適宜設定されるものであり、アライメントカメラ５０の数や配置はそれに応じて決められるものであることは言うまでもない。

上記構成の本ダイレクト露光装置１００は、次のように動作する。供給リール１０、露光ロール４０、巻取リール１１がサーボ系によって正確に同期回転制御され、供給リール１０に巻回されているワークＷは、ガイドローラ１２、１３、露光ロール４０、浮上吸引ガイドユニット６０、ガイドローラ１４を経て巻取リール１１に巻き取られる。露光ロール４０の多孔円筒部材４１の回転位置は、リニアスケール４５、リニアセンサ４６によって正確に検出される。

このワークＷの搬送移動中に、負圧源４３及び制御器（レギュレータ）４４を介して吸引凹部４２ａに負圧を及ぼすと、ワークＷが吸引区間αにおいて多孔円筒部材４１の周面に吸着される。すなわち、多孔円筒部材４１の最も下方の吸着開始位置から最も上方の離脱位置までワークＷが多孔円筒部材４１の周面に保持されて円筒面上を移動する。吸着開始位置は、同時にアライメントカメラ５０によるアライメントマークＭＡの撮像位置である。ワークＷの吸着は、撮像位置では必ず開始されているように、撮像位置よりも僅かに上流側（供給側）から開始することが好ましい。

また、ワークＷの搬送移動中には、正圧源６４を介して浮上吸引ガイドユニット６０のエア供給溝６２ａに加圧空気を供給してガイド板６１の貫通孔６１ｂから吹き出させ、同時に負圧源６３を介してエア吸引溝６２ｂに負圧を与えて貫通孔６１ｃから空気を吸引する。このエアの吹出吸引によりガイド面６１ａ上を通過するワークＷの平面精度が高まる。

そして、ワークＷが進行して、１つの単位パターン領域ＡＰの４個（２個×２列）のアライメントマークＭＡがアライメントカメラ５０によって撮像されると、その単位パターン領域ＡＰの座標系が定まる。１つの単位パターン領域ＡＰのアライメントマークＭＡの撮像が終わると、連続して次の単位パターン領域ＡＰのアライメントマークＭＡの撮像が開始され、新たな座標系が定まる。

単位パターン領域ＡＰの４つのアライメントマークＭＡの撮像が終了すると、アライメント計測部が、計測した単位パターン領域ＡＰと設計上の単位パターン領域ＡＰの位置およびスケーリング誤差を計算する（アライメント）。露光制御部は、上記の誤差に基づいて、描画データを座標変換し、露光ユニット３０Ａと３０Ｂによる補正描画データを作成する。

単位パターン領域ＡＰの先端が露光ユニット３０Ａに到達すると、露光制御部が補正描画データに従って露光ユニット３０ＡのＤＭＤ素子３６を変調し、ワークＷ上にパターン光を照射し、ワークＷの感光剤層にパターンを形成する。次に、単位パターン領域ＡＰの所定位置が露光ユニット３０Ｂに到達すると、同様に、露光制御部が補正描画データに従って露光ユニット３０ＢのＤＭＤ素子３６を変調し、ワークＷ上にパターン光を照射し、ワークＷの感光剤層にパターンを形成する。このパターン形成は、既知の多重露光方法によって行われる。

多孔円筒部材４１へのワークＷの吸着解除は、ワークＷが露光ユニット３０Ａによる露光位置で多孔円筒部材４１から離脱しない（保持されている）限り、露光位置、あるいは露光位置よりも僅かに上流側（供給側）で行うことができる。

以上のワークＷに対する露光動作において、多孔円筒部材４１に吸着されて移動するワークＷは、その送り精度を高く保持することができ、その位置は、リニアスケール４５とリニアセンサ４６によって正確に検出することができる。そして、露光ユニット３０Ａによる露光は、高い送り精度で送られたワークＷの多孔円筒部材４１からの離脱位置近傍において実行されるので、高い描画精度を実現できる。また、露光ユニット３０Ｂによる露光は、高い送り精度で送られ、浮上吸引ガイドユニット６０によって高い平面性を維持されたワークＷに対して行うことができるので、同様に、高い描画精度を実現することができる。

加えて、図示実施形態の露光ユニット３０Ａによる露光には、次のメリットが得られる。多孔円筒部材４１に吸引されているワークＷは曲面をなしているが、上述のように、多孔円筒部材４１上は面精度（面の滑らかさ）とワーク送り精度の面で優れている。そこで、露光エリアＡＥ中に、面精度と送り精度の優れた多孔円筒部材４１上の露光エリア（幅Ｙ１）を含める。一方、交線Ｓより下流側の露光エリア（幅Ｙ２）は、ワークＷが平面と仮想されているが、実際には、多孔円筒部材４１から離脱しているため、多孔円筒部材４１から離れるにつれ平面精度誤差（露光ユニット３０Ａの理想焦点面と露光エリアＡＥとの偏差）が拡大する傾向にある。このため、露光エリアＡＥを交線Ｓより上流側と下流側に跨がらせている。また、交線Ｓより上流側の露光幅Ｙ１より、下流側の露光幅Ｙ２を大きく設定することにより、実質的な焦点深度（光学系の焦点深度から露光エリアＡＥのワークＷの平面精度誤差を除いたもの）が浅くなることを防ぎ、描画パターンの細線化を可能とする。すなわち、下流側の平面上の露光幅Ｙ２の方を曲面上の露光幅Ｙ１よりを大きくすることで、露光ユニット３０Ａの焦点深度内にパターンを描くことが容易になる。具体的には、下流側の幅が７割以上、好ましくは８割以上に設定することが好ましい。具体的に露光幅Ｙが１０ｍｍであるとき、上流側の幅Ｙ１＝２〜３ｍｍ、下流側の幅Ｙ２＝８〜７ｍｍである。

露光ユニット３０Ａと３０Ｂが露光動作を行っている間に、平行して次の単位パターン領域ＡＰのアライメントマーク撮像ステップと、データ補正ステップが実行される。このため、単位パターン領域ＡＰの露光が終了すると、露光ユニット３０は次の単位パターン領域ＡＰの露光を連続して開始することができる。

アライメントマーク撮像ステップとデータ補正ステップを平行して行うために、露光ユニット３０Ａ、３０Ｂとアライメントカメラ５０は、図４に示すように、単位パターン領域ＡＰの大きさを考慮して、両者の間に単位パターン領域ＡＰの４つのアライメントマークＭＡが入るように（両者の間の距離が単位パターン領域ＡＰよりも長くなるように）その位置を離している。本実施形態の露光ユニット３０Ａとアライメントカメラ５０は、露光ロール４０を挟んで上下に位置しているため、露光ロール４０を小型化しても、その距離を確保することができる。また、露光ユニット３０Ａとアライメントカメラ５０が、露光ロール４０を挟んで鉛直方向に並んで配置されているため、最も効率よくローラを利用でき、ワークＷの位置合わせ精度と生産性を向上させることができる。

以上の実施形態では、第１の露光ユニット３０ＡをワークＷの多孔円筒部材４１からの離脱位置近傍に設け、第２の露光ユニット３０Ｂを多孔円筒部材４１より下流に配置した浮上吸引ガイドユニット６０上に設けている。これに対し、図５は、単一の露光ユニット３０の露光エリアＡＥを、ワークＷの多孔円筒部材４１からの離脱位置と浮上吸引ガイドユニット６０上の位置とに跨がらせた実施形態である。このように、露光ユニット３０によるワークＷに対する露光エリアの少なくとも一部を、浮上吸引ガイドユニット６０上に位置させることにより、露光エリアの平面性を確保し、また露光ロールによる高いワーク送り精度を用いることにより、高い描画精度を実現することができる。

１００ダイレクト露光装置
１０供給リール
１１巻取リール
１２１３１４ガイドローラ（ガイド手段）
３０Ａ（３０）露光ユニット（露光手段、第１の露光ユニット）
３０Ｂ（３０）露光ユニット（露光手段、第２の露光ユニット）
３６ＤＭＤ素子（光変調素子アレイ）
４０露光ロール
４１多孔円筒部材
４１ａ微細孔
４２中心固定体
４２ａ吸引凹部
４３負圧源
４４制御器
４５リニアスケール
４６リニアセンサ
５０アライメントカメラ（撮像手段）
６０浮上吸引ガイドユニット（ガイド手段）
６１ガイド板
６１ａガイド面
６１ｂ貫通孔（気体吹出手段）
６１ｃ貫通孔（気体吸入手段）
６２エア回路ボディ
６２ａエア供給溝
６２ｂエア吸引溝
６３負圧源
６４正圧源
ＭＡアライメントマーク
Ｗ長尺状ワーク
α 吸引区間

Claims

供給リールから繰り出され巻取リールに巻き取られる長尺状ワークにパターンを露光する光変調素子アレイを用いたダイレクト露光装置であって、
上記供給リールと巻取リールの間において、長尺状ワークをその周面の一定範囲に渡って保持しながら回転する円筒部材；
上記円筒部材からの離脱位置より下流側において、長尺状ワークをガイド面に非接触で平面状に支持するガイド手段；及び
上記長尺状ワークに対してパターンを描画する露光手段；
を備え、
上記露光手段は、上記長尺状ワークの上記円筒部材からの離脱位置を含む搬送方向の前後一定幅においてパターンを描画する第１の露光手段と、上記ガイド手段上に位置する第２の露光手段を備えていること、及び、
上記第１と第２の露光手段による長尺状ワークに対する露光エリアの少なくとも一部は、上記ガイド手段上に位置していることを特徴とするダイレクト露光装置。
請求項１記載のダイレクト露光装置において、上記第１と第２の露光手段による露光エリアは、上記長尺状ワークの上記円筒部材からの離脱位置とガイド手段上の位置とに跨がっているダイレクト露光装置。
請求項１または２記載のダイレクト露光装置において、上記第１の露光手段は、上記円筒部材から離脱して上記円筒部材の軸直交断面における径方向と直交する接線方向に延びる長尺状ワークに対し、上記離脱位置を含む搬送方向の前後一定幅においてパターンを描画するダイレクト露光装置。
請求項１乃至３のいずれか１項記載のダイレクト露光装置において、上記第１の露光手段による露光エリアと、第２の露光手段による露光エリアとが略同一平面上に存在するダイレクト露光装置。
請求項１乃至４に記載のダイレクト露光装置において、上記ガイド手段は、気体吹出手段と気体吸引手段とを備える浮上吸引ガイド手段であることを特徴とするダイレクト露光装置。