JPH03282471A - フィルム露光装置 - Google Patents
フィルム露光装置Info
- Publication number
- JPH03282471A JPH03282471A JP2081332A JP8133290A JPH03282471A JP H03282471 A JPH03282471 A JP H03282471A JP 2081332 A JP2081332 A JP 2081332A JP 8133290 A JP8133290 A JP 8133290A JP H03282471 A JPH03282471 A JP H03282471A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- stage
- fed
- raising
- photomask
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- Pending
Links
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばＴＡＢ （Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔ
ｅｄ Ｂｏｒｄｉｎｇ）方式の電子部品の実装に使用さ
れるフィルム回路基板の製作に好適なフィルム露光装置
に関する。
ｅｄ Ｂｏｒｄｉｎｇ）方式の電子部品の実装に使用さ
れるフィルム回路基板の製作に好適なフィルム露光装置
に関する。
物体の表面に微細加工を施す技術として、フォトリング
ラフィの技術が知られている。この技術は、半導体集積
回路のほか、最近ではＴＡＢ方式の電子部品の実装に使
用されるフィルム回路基板の製作にも応用されている。
ラフィの技術が知られている。この技術は、半導体集積
回路のほか、最近ではＴＡＢ方式の電子部品の実装に使
用されるフィルム回路基板の製作にも応用されている。
このようなフィルム回路基板の製作に使用されるフィル
ム露光装置にふいては、露光時にフィルムの一コマをフ
ォトマスクの像の投影位置に保持することが必要である
。
ム露光装置にふいては、露光時にフィルムの一コマをフ
ォトマスクの像の投影位置に保持することが必要である
。
従来においては、昇降ステージを用いてステップ送りし
たフィルムの一コマを投影位置に保持している。詳しく
説明すると、従来の昇降ステージは、フォトマスクの像
の投影位置の下方において上下動可能に配置され、その
上面にはフィルムのパーフォレーションに嵌合する突出
ピンが複数設けられた構造のものであり、フィルムのス
テップ送り時には、突出ピンがパーフォレーションから
離脱するように昇降ステージが下降してステップ送りを
可能にし、フィルムの露光時には、突出ピンがパーフォ
レーションに嵌合するように昇降ステージが上昇してそ
の上面にフィルムの一コマを真空吸着して保持している
。
たフィルムの一コマを投影位置に保持している。詳しく
説明すると、従来の昇降ステージは、フォトマスクの像
の投影位置の下方において上下動可能に配置され、その
上面にはフィルムのパーフォレーションに嵌合する突出
ピンが複数設けられた構造のものであり、フィルムのス
テップ送り時には、突出ピンがパーフォレーションから
離脱するように昇降ステージが下降してステップ送りを
可能にし、フィルムの露光時には、突出ピンがパーフォ
レーションに嵌合するように昇降ステージが上昇してそ
の上面にフィルムの一コマを真空吸着して保持している
。
しかし、上Ｊ己のような昇降ステージを用いたフィルム
露光装置では、昇降ステージを昇降させるための複雑な
機構を必要とする問題がある。すなわち、帯状で長尺な
フィルムをその一コマずつステップ送りするたびごとに
、昇降ステージを上昇、下降させることが必要であり、
そのための駆動機構、制御機構が複雑かつ高価であり、
製造コストが上昇する問題がある。
露光装置では、昇降ステージを昇降させるための複雑な
機構を必要とする問題がある。すなわち、帯状で長尺な
フィルムをその一コマずつステップ送りするたびごとに
、昇降ステージを上昇、下降させることが必要であり、
そのための駆動機構、制御機構が複雑かつ高価であり、
製造コストが上昇する問題がある。
本発明の目的は、ステージを昇降させることなく、フィ
ルムを一コマずつ円滑にステップ送りすることができる
フィルム露光装置を提供することにある。
ルムを一コマずつ円滑にステップ送りすることができる
フィルム露光装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明のフィルム露光装置は
、帯状のフィルムの長さ方向に沿ってフォトマスクのパ
ターンの像を順次に投影して露光するフィルム露光装置
であって、照射部と、照射部からの光が照射される位置
に配置されたフォトマスクと、フォトマスクの像を投影
する投影レンズと、フォトマスクの像の投影位置に、フ
ィルムを一コマずつステップ送りするフィルム送り機構
と、投影位置に送られたフィルムの一コマを真空吸着す
るステージとを具備し、フィルム送りの際にステージか
らフィルムを浮上させる昇降器が、前記ステージを挟ん
でフィルム送り方向の前後に設けられたことを特徴とす
る。
、帯状のフィルムの長さ方向に沿ってフォトマスクのパ
ターンの像を順次に投影して露光するフィルム露光装置
であって、照射部と、照射部からの光が照射される位置
に配置されたフォトマスクと、フォトマスクの像を投影
する投影レンズと、フォトマスクの像の投影位置に、フ
ィルムを一コマずつステップ送りするフィルム送り機構
と、投影位置に送られたフィルムの一コマを真空吸着す
るステージとを具備し、フィルム送りの際にステージか
らフィルムを浮上させる昇降器が、前記ステージを挟ん
でフィルム送り方向の前後に設けられたことを特徴とす
る。
フィルム露光時には、ステップ送りされたフィルムの一
コマがステージに真空吸着される。従って、投影される
べきフォトマスクの像の適正な露光を行うことができる
。
コマがステージに真空吸着される。従って、投影される
べきフォトマスクの像の適正な露光を行うことができる
。
フィルム送り時には、ステージは昇降せず、その前後に
配置した昇降器によりフィルムがステージから浮上する
。従って、フィルムはステージに接触することなくステ
ップ送りされる。
配置した昇降器によりフィルムがステージから浮上する
。従って、フィルムはステージに接触することなくステ
ップ送りされる。
第１図は本発明の一実施例に係るフィルム露光装置の説
明図である。この装置は、帯状のフィルムＦの長さ方向
に沿ってフォトマスクＭのパターンの像を順次に投影し
て露光していくものである。
明図である。この装置は、帯状のフィルムＦの長さ方向
に沿ってフォトマスクＭのパターンの像を順次に投影し
て露光していくものである。
１０は照射部であり、例えば超高圧水銀灯等のように紫
外線を効率的に放射するランプおよびレンズと、フィル
ムＦのステップ送りに対応して開閉するシャッタを内蔵
している。
外線を効率的に放射するランプおよびレンズと、フィル
ムＦのステップ送りに対応して開閉するシャッタを内蔵
している。
Ｍはフォトマスクであり、照射部１０からの光が照射さ
れる位置に配置されている。
れる位置に配置されている。
Ｕは投影レンズであり、照射されたフォトマスクＭの像
を投影するものである。
を投影するものである。
３０はフィルム送り機構であり、フォトマスクＭの像の
投影位置に、フィルムＦの一コマをステップ送りするも
のである。３Ｉは送りローラ、３２は押えローラ、３３
はテンションローラ、３４は押えローラ、３５はモータ
、３６はＣＰＬＪを内蔵したシステムコントローラであ
る。フィルムＦは、パーフォレーションがない場合には
、送りローラ３１との摩擦によって駆動され、パーフォ
レーションがある場合には、送りローラに設けられたス
プロケットによって駆動される。送りローラ３１はモー
タ３５によって駆動される。モータ３５はシステムコン
トローラ３６からの信号により駆動される。
投影位置に、フィルムＦの一コマをステップ送りするも
のである。３Ｉは送りローラ、３２は押えローラ、３３
はテンションローラ、３４は押えローラ、３５はモータ
、３６はＣＰＬＪを内蔵したシステムコントローラであ
る。フィルムＦは、パーフォレーションがない場合には
、送りローラ３１との摩擦によって駆動され、パーフォ
レーションがある場合には、送りローラに設けられたス
プロケットによって駆動される。送りローラ３１はモー
タ３５によって駆動される。モータ３５はシステムコン
トローラ３６からの信号により駆動される。
４０はステージであり、投影位置に送られたフィルムＦ
の一コマを真空吸着するものである。４１は真空吸着孔
である。
の一コマを真空吸着するものである。４１は真空吸着孔
である。
５１は真空ポンプ、５２はバルブである。
６１、６２は昇降ローラからなる昇降器であり、ステー
ジ４０を挟んでフィルム送り方向の前後に設けられ、フ
ィルム送りの際にステージ４０からフィルムＦを浮上さ
せるものである。６３．６４はそれぞれ昇降器６１．６
２を駆動するエアシリンダである。６５゜６６は回転の
支点である。
ジ４０を挟んでフィルム送り方向の前後に設けられ、フ
ィルム送りの際にステージ４０からフィルムＦを浮上さ
せるものである。６３．６４はそれぞれ昇降器６１．６
２を駆動するエアシリンダである。６５゜６６は回転の
支点である。
第１図の装置の動作を説明すると、フィルムＦの一コマ
の露光時には、システムコントローラ３６によってバル
ブ５２は閉状態となり、真空ポンプ５１による吸引力に
よってフィルムＦの一コマがステージ４０に密着される
。
の露光時には、システムコントローラ３６によってバル
ブ５２は閉状態となり、真空ポンプ５１による吸引力に
よってフィルムＦの一コマがステージ４０に密着される
。
照射部１０のシャッタが閉じられて露光が終了した後、
システムコントローラ３６によりバルブ５２が開状態に
なって真空吸着が解除されるとともに、システムコント
ローラ３６から２つのエアシリンダ６３、６４に駆動信
号が送られ、支点６５．６６を中心に昇降ローラ６１．
６２が回動しながら上昇して、第１図において二点１ｉ
ＩＩＩＩで示すようにフィルムＦの一コマの前部および
後部が上方に持ち上げられる。
システムコントローラ３６によりバルブ５２が開状態に
なって真空吸着が解除されるとともに、システムコント
ローラ３６から２つのエアシリンダ６３、６４に駆動信
号が送られ、支点６５．６６を中心に昇降ローラ６１．
６２が回動しながら上昇して、第１図において二点１ｉ
ＩＩＩＩで示すようにフィルムＦの一コマの前部および
後部が上方に持ち上げられる。
その結果、当該−コマの中央部もステージ４０から浮上
することとなる。
することとなる。
この際、送りローラ３１の位置にふいては当該送りロー
ラ３１と押えローラ３２とによってフィルムＦは固定さ
れているが、テンションローラ３３と押えローラ３４は
いわゆる従動ローラであり、フィルムＦの浮上による張
力によって、テンションローラ３３と押えローラ３４と
がわずかに回転してフィルムＦに弛みを与える。
ラ３１と押えローラ３２とによってフィルムＦは固定さ
れているが、テンションローラ３３と押えローラ３４は
いわゆる従動ローラであり、フィルムＦの浮上による張
力によって、テンションローラ３３と押えローラ３４と
がわずかに回転してフィルムＦに弛みを与える。
このようにフィルムＦが昇降器６１．６２によりステー
ジ４０から浮上した状態で、システムコントローラ３６
からモータ３５にステップ送り信号が送られると、送り
ローラ３１によってフィルムＦがステップ送りされ、次
の一コマが投影位置に送られる。
ジ４０から浮上した状態で、システムコントローラ３６
からモータ３５にステップ送り信号が送られると、送り
ローラ３１によってフィルムＦがステップ送りされ、次
の一コマが投影位置に送られる。
そして、システムコントローラ３６により、バルブ５２
が開状態に切り換えられるとともに、２つのエアシリン
ダに下降信号が送られ、昇降器６１．６２によりフィル
ムＦがステージ４０に下降するとともに、真空吸着孔４
１によりフィルムＦに吸着力が作用して、ステージ４０
に密着する。
が開状態に切り換えられるとともに、２つのエアシリン
ダに下降信号が送られ、昇降器６１．６２によりフィル
ムＦがステージ４０に下降するとともに、真空吸着孔４
１によりフィルムＦに吸着力が作用して、ステージ４０
に密着する。
そして、例えば真空吸着孔４１にょる負圧を検出すると
、シャツタ開信号がシャッタの駆動機構に送られてシャ
ッタが開状態となり、次の一コマの露光が行われる。
、シャツタ開信号がシャッタの駆動機構に送られてシャ
ッタが開状態となり、次の一コマの露光が行われる。
なお、昇降器６１．６２ としては、フィルムＦの接触
部分が小さくてかつフィルムＦの送りの際に回転して摩
擦による影響を小さくするために「ローラ」を使用して
いるが、これに限られない。フィルムＦとの接触部分が
滑りやすい状態の突起、その他のものを用いてもよい。
部分が小さくてかつフィルムＦの送りの際に回転して摩
擦による影響を小さくするために「ローラ」を使用して
いるが、これに限られない。フィルムＦとの接触部分が
滑りやすい状態の突起、その他のものを用いてもよい。
また、昇降器６１．６２の構造は、本実施例の他、直線
運動タイプ等の他の機構で構成することもでき、駆動も
空気圧に限らず、油圧、真空、電磁等最適なものを使用
し、さらに二つの昇降器６１．６２を一つの駆動機素で
構成できる。
運動タイプ等の他の機構で構成することもでき、駆動も
空気圧に限らず、油圧、真空、電磁等最適なものを使用
し、さらに二つの昇降器６１．６２を一つの駆動機素で
構成できる。
フィルムＦの幅、厚さ、材質、テンンヨンおよび昇降器
６１．６２間の距離によって、昇降器６１．６２の上昇
位置を設定し、フィルムＦの垂れ下がりによりステージ
４０に接触しないようにする。
６１．６２間の距離によって、昇降器６１．６２の上昇
位置を設定し、フィルムＦの垂れ下がりによりステージ
４０に接触しないようにする。
本発明によれば、ステージを挟んでフィルム送り方向の
前後に、フィルム送りの際にステージからフィルムを浮
上させる昇降器を設けたので、ステージを昇降させずに
、しかもフィルムをステージに接触させないでステップ
送りすることができる。従って、ステージ自体を昇降さ
せる場合に必要な複雑かつ高価な昇降機構が不要となり
、コンパクトでかつ安価なフィルム露光装置を提供する
ことができる。
前後に、フィルム送りの際にステージからフィルムを浮
上させる昇降器を設けたので、ステージを昇降させずに
、しかもフィルムをステージに接触させないでステップ
送りすることができる。従って、ステージ自体を昇降さ
せる場合に必要な複雑かつ高価な昇降機構が不要となり
、コンパクトでかつ安価なフィルム露光装置を提供する
ことができる。
第り図は本発明の一実施例に係るフィルム露光装置の説
明図である。 Ｆ・・・フィルム Ｍ・・・フォトマスク１０
・・・照射部 ２ｏ・・・投影レンズ３０・
・・フィルム送り機構 ３１・・・送りローラ３２．３
４・・・押工ローラ ３３・・・テンションローラ３
５・・・モータ ３６・・・システムコントローラ ４０・・・ステージ ４１・・・真空吸着孔５
１・・・真空ポンプ ５２・・・パルフロ１、６
２・・・昇降器 ６３．６４・・・エアシリンダ
６５、 ［ｌｉ６・・・回転の支点
明図である。 Ｆ・・・フィルム Ｍ・・・フォトマスク１０
・・・照射部 ２ｏ・・・投影レンズ３０・
・・フィルム送り機構 ３１・・・送りローラ３２．３
４・・・押工ローラ ３３・・・テンションローラ３
５・・・モータ ３６・・・システムコントローラ ４０・・・ステージ ４１・・・真空吸着孔５
１・・・真空ポンプ ５２・・・パルフロ１、６
２・・・昇降器 ６３．６４・・・エアシリンダ
６５、 ［ｌｉ６・・・回転の支点
Claims (1)
- 帯状のフィルムの長さ方向に沿ってフォトマスクのパ
ターンの像を順次に投影して露光するフィルム露光装置
であって、照射部と、照射部からの光が照射される位置
に配置されたフォトマスクと、フォトマスクの像を投影
する投影レンズと、フォトマスクの像の投影位置に、フ
ィルムを一コマずつステップ送りするフィルム送り機構
と、投影位置に送られたフィルムの一コマを真空吸着す
るステージとを具備し、フィルム送りの際にステージか
らフィルムを浮上させる昇降器が、前記ステージを挟ん
でフィルム送り方向の前後に設けられたことを特徴とす
るフィルム露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2081332A JPH03282471A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | フィルム露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2081332A JPH03282471A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | フィルム露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03282471A true JPH03282471A (ja) | 1991-12-12 |
Family
ID=13743427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2081332A Pending JPH03282471A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | フィルム露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03282471A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100529897B1 (ko) * | 2003-04-25 | 2005-11-22 | 엘지전자 주식회사 | 노광기의 피딩장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63144357A (ja) * | 1986-12-09 | 1988-06-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 露光装置のフ−プ材搬送装置 |
| JPH01147456A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | カラー画像記録装置 |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP2081332A patent/JPH03282471A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63144357A (ja) * | 1986-12-09 | 1988-06-16 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 露光装置のフ−プ材搬送装置 |
| JPH01147456A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | カラー画像記録装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100529897B1 (ko) * | 2003-04-25 | 2005-11-22 | 엘지전자 주식회사 | 노광기의 피딩장치 |
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