JP2836787B2 - フィルム露光装置 - Google Patents
フィルム露光装置Info
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- JP2836787B2 JP2836787B2 JP2210476A JP21047690A JP2836787B2 JP 2836787 B2 JP2836787 B2 JP 2836787B2 JP 2210476 A JP2210476 A JP 2210476A JP 21047690 A JP21047690 A JP 21047690A JP 2836787 B2 JP2836787 B2 JP 2836787B2
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- film
- tension
- slack
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- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はフィルム回路基板の製作に好適なフィルム露
光装置に関する。
光装置に関する。
［従来の技術］ 物体の表面に微細加工を施す技術として、フォトリソ
グラフィの技術が知られている。この技術は、半導体集
積回路のほか、最近では電子部品の実装に使用されるフ
ィルム回路基板の製作にも応用されている。しかし、こ
のようなフィルム回路基板の製作においては、転写され
る回路パターンの位置ずれが生じると回路基板用の場合
は実装ミスとなるため、搬送されるフィルムの正しい位
置にフォトマスクのパターンの像が露光されるよう精度
の高い位置合わせが必要とされる。この位置合わせの精
度は例えば±10μｍ以内であることが要求される。この
位置合わせの精度を高くするためには、フィルムを露光
位置まで搬送する各種のローラやその他の搬送機構を見
直す必要があり、例えば特開平２−100036号に示すよう
に露光位置の前段階及び後段階において、フィルムをテ
ンションのかからない弛んだ状態（ノーテンション状
態）にする方法が従来より実施されている。
グラフィの技術が知られている。この技術は、半導体集
積回路のほか、最近では電子部品の実装に使用されるフ
ィルム回路基板の製作にも応用されている。しかし、こ
のようなフィルム回路基板の製作においては、転写され
る回路パターンの位置ずれが生じると回路基板用の場合
は実装ミスとなるため、搬送されるフィルムの正しい位
置にフォトマスクのパターンの像が露光されるよう精度
の高い位置合わせが必要とされる。この位置合わせの精
度は例えば±10μｍ以内であることが要求される。この
位置合わせの精度を高くするためには、フィルムを露光
位置まで搬送する各種のローラやその他の搬送機構を見
直す必要があり、例えば特開平２−100036号に示すよう
に露光位置の前段階及び後段階において、フィルムをテ
ンションのかからない弛んだ状態（ノーテンション状
態）にする方法が従来より実施されている。
この方法は、次のようにして行われていた。すなわち
所定位置で露光されるフィルムに対してテンションを与
えるとともにフィルムを搬送させるフリクションローラ
がフィルムの供給側と巻取側に設けられて、フィルム供
給リールから供給側のフリクションローラまでの間及び
巻取側のフリクションローラからフィルム巻取リームま
での間をテションのかからない、いわゆるノーテンショ
ン状態にしている。そしてこのノーテンション状態にお
けるフィルムの弛み具合を複数のセンサによって検出し
て常に所定の範囲内の弛みを持つように制御している。
具体的に説明すると、補助ローラ間に垂れ下がったフィ
ルムに対して、このフィルムを間に挟むように、発光素
子、受光素子よりなる一対のセンサを複数組、垂れ下が
ったフィルムの上下方向に配置させている。そしてこれ
らセンサの検知、不検知によって垂れ下がりの量を検出
して、前述のように制御している。このような構成によ
り、フィルム供給リールやフィルム巻取リールの巻径等
に影響される不必要なテンションをなくすことができ
る。
所定位置で露光されるフィルムに対してテンションを与
えるとともにフィルムを搬送させるフリクションローラ
がフィルムの供給側と巻取側に設けられて、フィルム供
給リールから供給側のフリクションローラまでの間及び
巻取側のフリクションローラからフィルム巻取リームま
での間をテションのかからない、いわゆるノーテンショ
ン状態にしている。そしてこのノーテンション状態にお
けるフィルムの弛み具合を複数のセンサによって検出し
て常に所定の範囲内の弛みを持つように制御している。
具体的に説明すると、補助ローラ間に垂れ下がったフィ
ルムに対して、このフィルムを間に挟むように、発光素
子、受光素子よりなる一対のセンサを複数組、垂れ下が
ったフィルムの上下方向に配置させている。そしてこれ
らセンサの検知、不検知によって垂れ下がりの量を検出
して、前述のように制御している。このような構成によ
り、フィルム供給リールやフィルム巻取リールの巻径等
に影響される不必要なテンションをなくすことができ
る。
［発明が解決しようとする課題］ ところが、このようなノーテンション方式の露光装置
においては、ノーテンションの状態を形成するフィルム
が、その重力及びフィルムの合成によってＵ字形に垂れ
下がることが必要であり、しわをよせたり、歪んだりす
ることは好ましくはない。このような状態においては、
垂れ下がり量を検知するセンサが正確な量を検出するこ
とが不可能となり、その結果誤って信号を制御回路に送
信してしまう。
においては、ノーテンションの状態を形成するフィルム
が、その重力及びフィルムの合成によってＵ字形に垂れ
下がることが必要であり、しわをよせたり、歪んだりす
ることは好ましくはない。このような状態においては、
垂れ下がり量を検知するセンサが正確な量を検出するこ
とが不可能となり、その結果誤って信号を制御回路に送
信してしまう。
特にこのような現象はフィルム厚の薄いものにおい
て、高い頻度で発生する。その厚さは例えば30〜85μｍ
程度である。最近では、大面積の回路基板を作るための
幅の広いフィルムを使用することが多くなっているが、
フィルムの幅が広くなると材料コスト等の関係からフィ
ルムを薄くする傾向にあり、上記問題が顕著になりつつ
ある。
て、高い頻度で発生する。その厚さは例えば30〜85μｍ
程度である。最近では、大面積の回路基板を作るための
幅の広いフィルムを使用することが多くなっているが、
フィルムの幅が広くなると材料コスト等の関係からフィ
ルムを薄くする傾向にあり、上記問題が顕著になりつつ
ある。
本発明の目的は、露光位置におけるフィルムの位置合
わせを精度の高いものとするために、フィルム供給リー
ルと供給側フリクションローラの間及び巻取側フリクシ
ョンローラとフィルム巻取リールの間におけるフィルム
のノーテンション状態において、そのフィルムの垂れ下
がり量を正確に検出できるフィルム露光装置を提供する
ことにある。
わせを精度の高いものとするために、フィルム供給リー
ルと供給側フリクションローラの間及び巻取側フリクシ
ョンローラとフィルム巻取リールの間におけるフィルム
のノーテンション状態において、そのフィルムの垂れ下
がり量を正確に検出できるフィルム露光装置を提供する
ことにある。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、フィルム供給リールか
ら露光位置までの間及び露光位置からフィルム巻取りリ
ールまでの間でフィルムをテンションのかからない弛ん
だ状態にして搬送するフィルム露光装置であって、該フ
ィルムの弛んだ部分をそれぞれ収納する２つの箱体が設
けられ、該箱体の該フィルムの幅方向の側板には多数の
穴が、底面には吸引孔が設けられ、該吸引孔には、箱体
外部からの空気を該側板の穴から該底面の吸引孔へ流す
ように吸引する吸引手段を具備したものである。
ら露光位置までの間及び露光位置からフィルム巻取りリ
ールまでの間でフィルムをテンションのかからない弛ん
だ状態にして搬送するフィルム露光装置であって、該フ
ィルムの弛んだ部分をそれぞれ収納する２つの箱体が設
けられ、該箱体の該フィルムの幅方向の側板には多数の
穴が、底面には吸引孔が設けられ、該吸引孔には、箱体
外部からの空気を該側板の穴から該底面の吸引孔へ流す
ように吸引する吸引手段を具備したものである。
［作用］ 上記構成によれば、薄いフィルムでも、フィルムの垂
れ下がりがきれいなＵ字形となり、垂れ下がり量を正確
に検出できる。また、フィルムの裏面が側板に接触する
ことがなく、傷をつけることがない。
れ下がりがきれいなＵ字形となり、垂れ下がり量を正確
に検出できる。また、フィルムの裏面が側板に接触する
ことがなく、傷をつけることがない。
［実施例］ 第１図は本発明の一実施例に係るフィルム露光装置の
説明図である。
説明図である。
この装置は、帯状のフィルムＦにその長さ方向に沿っ
て順次レチクル２の回路パターンを露光していくもので
ある。
て順次レチクル２の回路パターンを露光していくもので
ある。
第１図において、１はランプで、例えば1KW程度の超
高圧水銀ランプが使用される。フィルムに塗布されたレ
ジストが感度を有する光を効率的に放射するものが好ま
しい。10は楕円集光鏡であり、ランプ１からの放射光を
効率良く集光する。11はインテグレータレンズで、楕円
集光鏡10からの光の均一度を高めるためのものである。
12はシャッタで、シャッタ12の開閉により露光が行われ
る。一回の露光でのこのシャッタの開閉時間はレジスト
の種類や厚さ及び照度にもよるが約１〜５秒である。２
はレチクルで、ランプ１からの光が照射される位置に配
置されている。13は投影レンズで、レチクル２の像をフ
ィルムＦの一コマに投影する。
高圧水銀ランプが使用される。フィルムに塗布されたレ
ジストが感度を有する光を効率的に放射するものが好ま
しい。10は楕円集光鏡であり、ランプ１からの放射光を
効率良く集光する。11はインテグレータレンズで、楕円
集光鏡10からの光の均一度を高めるためのものである。
12はシャッタで、シャッタ12の開閉により露光が行われ
る。一回の露光でのこのシャッタの開閉時間はレジスト
の種類や厚さ及び照度にもよるが約１〜５秒である。２
はレチクルで、ランプ１からの光が照射される位置に配
置されている。13は投影レンズで、レチクル２の像をフ
ィルムＦの一コマに投影する。
フィルムＦの一コマは、露光位置３で図示略のステー
ジ上に位置される。図示略であるが、ステージにはフィ
ルムの搬送時にはエアーを吹きつけたり、露光時にはフ
ィルムを真空吸着する機構があったりする。
ジ上に位置される。図示略であるが、ステージにはフィ
ルムの搬送時にはエアーを吹きつけたり、露光時にはフ
ィルムを真空吸着する機構があったりする。
53は送りローラで、駆動モータ52に接続されてフィル
ムＦを所定量だけ搬送させる。これらローラは従来技術
の説明のなかではフリクションローラとも説明されてい
る。
ムＦを所定量だけ搬送させる。これらローラは従来技術
の説明のなかではフリクションローラとも説明されてい
る。
54は押えローラで、送りローラ53とでフィルムＦを挟
圧し、送り方向を整える。スプロケットローラ48はフィ
ルムＦのパーフォレーションと嵌合する突起を有するロ
ーラである。また、53、54はスプロケットローラでも良
く、47、48のローラにモータ等の駆動源を接続させても
よい。
圧し、送り方向を整える。スプロケットローラ48はフィ
ルムＦのパーフォレーションと嵌合する突起を有するロ
ーラである。また、53、54はスプロケットローラでも良
く、47、48のローラにモータ等の駆動源を接続させても
よい。
46、56は補助ローラで、フィルムＦの弛んだ部分を形
成させるために使用される。４はフィルム供給リール、
５はフィルム巻取リールである。
成させるために使用される。４はフィルム供給リール、
５はフィルム巻取リールである。
第１図、第２図において、41、51は、本実施例の箱体
であり、フィルムＦの弛んだ部分（以下、弛み部分）を
収容する。
であり、フィルムＦの弛んだ部分（以下、弛み部分）を
収容する。
第２図は、第１図の箱体の詳細を説明する図であり、
同図（イ）は正面図、同図（ロ）はフィルムの幅方向で
の側面図である。第２図（イ）において、43は吸引口で
あり、箱体41の底板のフィルムの弛み部分を臨む位置に
設けられる。吸引口43は、第１図に示すように、排気ダ
クト44の一端が設けられ、この排気ダクト44の他端には
排気ファン45が取付けられている。この排気ファン45に
より、排気ダクト44を通って例えば１〜3m3/min程度の
空気が吸引口43から吸引される。この吸引によって、フ
ィルムＦはＵ字状にきちんと弛み、第２図のフォトセン
サT1〜T4、R1〜R4による弛み量の検出を正常に行うこと
ができる。
同図（イ）は正面図、同図（ロ）はフィルムの幅方向で
の側面図である。第２図（イ）において、43は吸引口で
あり、箱体41の底板のフィルムの弛み部分を臨む位置に
設けられる。吸引口43は、第１図に示すように、排気ダ
クト44の一端が設けられ、この排気ダクト44の他端には
排気ファン45が取付けられている。この排気ファン45に
より、排気ダクト44を通って例えば１〜3m3/min程度の
空気が吸引口43から吸引される。この吸引によって、フ
ィルムＦはＵ字状にきちんと弛み、第２図のフォトセン
サT1〜T4、R1〜R4による弛み量の検出を正常に行うこと
ができる。
第２図（イ）において、42a、42bはフィルムの幅方向
の側板である。側板42a、42bのセンサ取付部には穴があ
り、発光器T1、T2、T3、T4と受光器R1、R2、R3、R4とが
第２図（イ）のように交互に設けられている。即ち、本
実施例では、フィルムＦの弛み量を四つの段階で検出可
能になっている。検出後の制御をフィルム供給側を例に
とり簡単に説明すると、発光器T1と受光器R1からなるフ
ォトセンサのオンの検出により、フィルムＦの供給を開
始し、発光器T4と受光器R4からなるフォトセンサのオフ
の検出により、フィルムＦの供給を停止する。T2、T3、
R2、R3のフォトセンサは、慣性の影響を少なくするため
の速度制御に用いる。
の側板である。側板42a、42bのセンサ取付部には穴があ
り、発光器T1、T2、T3、T4と受光器R1、R2、R3、R4とが
第２図（イ）のように交互に設けられている。即ち、本
実施例では、フィルムＦの弛み量を四つの段階で検出可
能になっている。検出後の制御をフィルム供給側を例に
とり簡単に説明すると、発光器T1と受光器R1からなるフ
ォトセンサのオンの検出により、フィルムＦの供給を開
始し、発光器T4と受光器R4からなるフォトセンサのオフ
の検出により、フィルムＦの供給を停止する。T2、T3、
R2、R3のフォトセンサは、慣性の影響を少なくするため
の速度制御に用いる。
また、第２図（イ）（ロ）に示すように、側板42a、4
2bには、穴60が多数設けられている。
2bには、穴60が多数設けられている。
従って、第１図の排気ファン45の作用によって穴60か
ら風が流入し、フィルムＦを僅かに押しながら吸引口43
に流れる。これにより、フィルムＦの裏面が側板42a、4
2bに接触せず、フィルムに傷をつけることがない。
ら風が流入し、フィルムＦを僅かに押しながら吸引口43
に流れる。これにより、フィルムＦの裏面が側板42a、4
2bに接触せず、フィルムに傷をつけることがない。
尚、正面板49は透明な例えばアクリル板であり、フィ
ルムＦの弛み状況が視覚的にモニタできるようになって
いる。
ルムＦの弛み状況が視覚的にモニタできるようになって
いる。
［発明の効果］ 以上説明した通り、本発明によれば、フィルムの弛ん
だ部分が配置される箱体内の雰囲気が吸引されるので、
薄いフィルムでも、フィルムの垂れ下がりが正常にな
り、垂れ下がり量を正確に検出することができる。ま
た、風が穴から吸引孔へ抜けるので、フィルムの裏面が
側板に接触することがなく、傷をつけることがない。
だ部分が配置される箱体内の雰囲気が吸引されるので、
薄いフィルムでも、フィルムの垂れ下がりが正常にな
り、垂れ下がり量を正確に検出することができる。ま
た、風が穴から吸引孔へ抜けるので、フィルムの裏面が
側板に接触することがなく、傷をつけることがない。
第１図は本発明の一実施例に係るフィルム露光装置の説
明図、第２図は第１図の箱体の詳細を説明する図であ
り、同図（イ）は正面図、同図（ロ）はフィルムの幅方
向での側面図である。 図中． 41,51:箱体 43:吸引口 44:排気ダクト 45:排気ファン F:フィルム
明図、第２図は第１図の箱体の詳細を説明する図であ
り、同図（イ）は正面図、同図（ロ）はフィルムの幅方
向での側面図である。 図中． 41,51:箱体 43:吸引口 44:排気ダクト 45:排気ファン F:フィルム
Claims (1)
- 【請求項１】フィルム供給リールから露光位置までの間
及び露光位置からフィルム巻取りリールまでの間でフィ
ルムをテンションのかからない弛んだ状態にして搬送す
るフィルム露光装置であって、 該フィルムの弛んだ部分をそれぞれ収納する２つの箱体
が設けられ、 該箱体の該フィルムの幅方向の側板には多数の穴が、底
面には吸引孔が設けられ、 該吸引孔には、箱体外部からの空気を該側板の穴から該
底面の吸引孔へ流すように吸引する吸引手段を具備した ことを特徴とするフィルム露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2210476A JP2836787B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | フィルム露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2210476A JP2836787B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | フィルム露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497255A JPH0497255A (ja) | 1992-03-30 |
| JP2836787B2 true JP2836787B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=16589979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2210476A Expired - Fee Related JP2836787B2 (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | フィルム露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2836787B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7961299B2 (en) | 2007-11-08 | 2011-06-14 | Orc Manufacturing Co., Ltd. | Transfer device |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP2210476A patent/JP2836787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0497255A (ja) | 1992-03-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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