JP2789539B2 - フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えたフィルム露光装置 - Google Patents
フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えたフィルム露光装置Info
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- JP2789539B2 JP2789539B2 JP4075618A JP7561892A JP2789539B2 JP 2789539 B2 JP2789539 B2 JP 2789539B2 JP 4075618 A JP4075618 A JP 4075618A JP 7561892 A JP7561892 A JP 7561892A JP 2789539 B2 JP2789539 B2 JP 2789539B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、フィルムを摩擦駆動
力により搬送し、所定の位置に停止させるフィルム搬送
機構および、このフィルム搬送機構を具えた露光装置に
関する。
力により搬送し、所定の位置に停止させるフィルム搬送
機構および、このフィルム搬送機構を具えた露光装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、フィルムのパターン露光装置で
は、パーフォレーションにスプロケットの歯を噛み合わ
せてフィルムを露光位置まで搬送し、その後、パーフォ
レーションに複数のピンを差し込んで、正しい位置合わ
せを行っていた。このフィルムの露光装置については、
例えば、特開平２─３８３８７号などに書かれている。
は、パーフォレーションにスプロケットの歯を噛み合わ
せてフィルムを露光位置まで搬送し、その後、パーフォ
レーションに複数のピンを差し込んで、正しい位置合わ
せを行っていた。このフィルムの露光装置については、
例えば、特開平２─３８３８７号などに書かれている。
【０００３】しかして、最近においては、技術の高度化
に伴って、露光されるフィルムの厚さが薄くなる傾向に
あり、厚さ７５〜１００μｍの従来のフィルムに代わっ
て、厚さ３０〜５０μｍのフィルムが対象となってい
る。このような薄いフィルムに対して、スプロケットに
よる搬送やピンの差し込みによる位置決めを行うこと
は、パーフォレーションの変形や破損を生じることにな
る。そして、確実な搬送ができなくなり、結果的に正確
な位置決めはできなくなる。また、パーフォレーション
の形成加工自体も煩雑になる。
に伴って、露光されるフィルムの厚さが薄くなる傾向に
あり、厚さ７５〜１００μｍの従来のフィルムに代わっ
て、厚さ３０〜５０μｍのフィルムが対象となってい
る。このような薄いフィルムに対して、スプロケットに
よる搬送やピンの差し込みによる位置決めを行うこと
は、パーフォレーションの変形や破損を生じることにな
る。そして、確実な搬送ができなくなり、結果的に正確
な位置決めはできなくなる。また、パーフォレーション
の形成加工自体も煩雑になる。
【０００４】このようなことから、パーフォレーション
の形成されていないフィルムの搬送機構が幾つか検討さ
れている。その１つとして、フィルムのエッヂを掴ん
で、この掴んだ部分自体を動かしてフィルムを送る方法
がある。この方法は、フィルムを掴む機構やこの機構を
往復動させてフィルムを送る機構を必要とし、機構が複
雑化するとともに全体の構造が大型化する。さらに動作
の１サイクルの時間が長くなる。これに比べて実用的な
方法として、摩擦ローラによる摩擦駆動力を利用する搬
送機構が採用されている。この方法は、搬送ステージや
フィルムを掴む機構が往復動するということはないの
で、装置の構造は小型で簡単になる。この搬送による位
置決めは、送りローラの回転角度だけによる場合もある
が、確実性を高めるためには、フィルムの１コマ毎に穿
孔された２つのアライメントホールを露光装置の検出部
によって検出して、これに基づいて摩擦駆動を制御する
ことにより行われる。従って、フィルムの搬送方向にお
ける位置合わせが正確になされる。
の形成されていないフィルムの搬送機構が幾つか検討さ
れている。その１つとして、フィルムのエッヂを掴ん
で、この掴んだ部分自体を動かしてフィルムを送る方法
がある。この方法は、フィルムを掴む機構やこの機構を
往復動させてフィルムを送る機構を必要とし、機構が複
雑化するとともに全体の構造が大型化する。さらに動作
の１サイクルの時間が長くなる。これに比べて実用的な
方法として、摩擦ローラによる摩擦駆動力を利用する搬
送機構が採用されている。この方法は、搬送ステージや
フィルムを掴む機構が往復動するということはないの
で、装置の構造は小型で簡単になる。この搬送による位
置決めは、送りローラの回転角度だけによる場合もある
が、確実性を高めるためには、フィルムの１コマ毎に穿
孔された２つのアライメントホールを露光装置の検出部
によって検出して、これに基づいて摩擦駆動を制御する
ことにより行われる。従って、フィルムの搬送方向にお
ける位置合わせが正確になされる。
【０００５】しかしながら摩擦駆動力を利用する搬送機
構においては、フィルムの幅方向への位置ズレ、即ち偏
向や蛇行が発生しやすい。このような偏向や蛇行が発生
する理由としては、フィルムが、送りローラの表面の状
態、ローラ面の回転軸に対する振れ、回転軸とフィルム
送り方向との直交度、等の影響を受けやすく、またフィ
ルム自体の形状交差、姿勢交差、表面状態、等の微妙な
変化にも影響されるからである。このような不具合の発
生により、フィルムの正しい位置にパターンの像を露光
することができなかったり、極端な場合はフィルムが送
りローラから外れてしまうことがある。
構においては、フィルムの幅方向への位置ズレ、即ち偏
向や蛇行が発生しやすい。このような偏向や蛇行が発生
する理由としては、フィルムが、送りローラの表面の状
態、ローラ面の回転軸に対する振れ、回転軸とフィルム
送り方向との直交度、等の影響を受けやすく、またフィ
ルム自体の形状交差、姿勢交差、表面状態、等の微妙な
変化にも影響されるからである。このような不具合の発
生により、フィルムの正しい位置にパターンの像を露光
することができなかったり、極端な場合はフィルムが送
りローラから外れてしまうことがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこでこの発明が解決
しようとする課題は、パーフォレーションのないフィル
ムを摩擦ローラによる摩擦駆動力で搬送する搬送機構に
おいて、フィルムが偏向や蛇行などの横ズレを起こさな
いようにすることである。
しようとする課題は、パーフォレーションのないフィル
ムを摩擦ローラによる摩擦駆動力で搬送する搬送機構に
おいて、フィルムが偏向や蛇行などの横ズレを起こさな
いようにすることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明のフィルム搬送
機構は、フィルムを１コマずつ送る送りローラと、送り
ローラを駆動する送りモータと、送りローラとある距離
を持って配置され、フィルムに送り方向のテンションを
かけるためにブレーキをかけるブレーキローラと、ブレ
ーキローラを駆動するトルクモータと、送りローラとブ
レーキローラの各々とペアとなって、フィルムの幅方向
における両端部でフィルムと圧接する押えローラとより
なる搬送ユニットと、搬送台に装着して、送りローラと
ブレーキローラの間にあって、フィルムの幅方向のズレ
を検出する横ズレ検出器と、該搬送ユニットをフィルム
の幅方向に平行移動させる搬送ユニット駆動機構と、搬
送台に固定されフィルムの長手方向及び幅方向の所望の
位置にフィルムを保持するフィルム保持台とよりなるフ
ィルム搬送機構において、フィルムの搬送時において
は、フィルム保持台に対するフィルムの保持を解除し、
フィルムの搬送中、もしくは搬送後に、横ズレ検出器か
らの信号を受けて搬送ユニットを搬送ユニット駆動機構
によって移動させ、フィルムが所望の位置に達したとき
に、フィルムをフィルム保持台で保持し、その後、フィ
ルムとフィルム保持台で保持した状態のまま、搬送ユニ
ットを基準位置に戻すことを特徴とする。また、この発
明のフィルム搬送機構を使った露光装置は、帯状のフィ
ルムの長さ方向に沿って順次に回路パターンを露光して
いくフィルム露光装置であって、照射部と、照射部から
の光が照射される位置に配置された、回路パターンを形
成したフォトマスクと、フォトマスクの回路パターンの
像を投影する投影レンズと、投影レンズによる回路パタ
ーンの像を投影位置に、フィルムを１コマずつ搬送する
フィルム搬送機構とを具備してなり、前記フィルム搬送
機構は、請求項１記載のフィルム搬送機構であることを
特徴とする。
機構は、フィルムを１コマずつ送る送りローラと、送り
ローラを駆動する送りモータと、送りローラとある距離
を持って配置され、フィルムに送り方向のテンションを
かけるためにブレーキをかけるブレーキローラと、ブレ
ーキローラを駆動するトルクモータと、送りローラとブ
レーキローラの各々とペアとなって、フィルムの幅方向
における両端部でフィルムと圧接する押えローラとより
なる搬送ユニットと、搬送台に装着して、送りローラと
ブレーキローラの間にあって、フィルムの幅方向のズレ
を検出する横ズレ検出器と、該搬送ユニットをフィルム
の幅方向に平行移動させる搬送ユニット駆動機構と、搬
送台に固定されフィルムの長手方向及び幅方向の所望の
位置にフィルムを保持するフィルム保持台とよりなるフ
ィルム搬送機構において、フィルムの搬送時において
は、フィルム保持台に対するフィルムの保持を解除し、
フィルムの搬送中、もしくは搬送後に、横ズレ検出器か
らの信号を受けて搬送ユニットを搬送ユニット駆動機構
によって移動させ、フィルムが所望の位置に達したとき
に、フィルムをフィルム保持台で保持し、その後、フィ
ルムとフィルム保持台で保持した状態のまま、搬送ユニ
ットを基準位置に戻すことを特徴とする。また、この発
明のフィルム搬送機構を使った露光装置は、帯状のフィ
ルムの長さ方向に沿って順次に回路パターンを露光して
いくフィルム露光装置であって、照射部と、照射部から
の光が照射される位置に配置された、回路パターンを形
成したフォトマスクと、フォトマスクの回路パターンの
像を投影する投影レンズと、投影レンズによる回路パタ
ーンの像を投影位置に、フィルムを１コマずつ搬送する
フィルム搬送機構とを具備してなり、前記フィルム搬送
機構は、請求項１記載のフィルム搬送機構であることを
特徴とする。
【０００８】
【作用】このような構成により、フィルムを蛇行や偏向
などの横ズレを起こすことなく搬送させることができ
る。
などの横ズレを起こすことなく搬送させることができ
る。
【０００９】
【実施例】以下、この発明を実施例を使って説明する。
まず、フィルムの搬送機構について説明する。図１は、
この発明のフィルム搬送機構の一実施例を示す説明用斜
視図である。図２は、その動作を示す説明図である。図
３は、この発明のフィルム搬送機構の要部を示す説明図
である。
まず、フィルムの搬送機構について説明する。図１は、
この発明のフィルム搬送機構の一実施例を示す説明用斜
視図である。図２は、その動作を示す説明図である。図
３は、この発明のフィルム搬送機構の要部を示す説明図
である。
【００１０】１０は送りローラ、１１は押えローラ、１
２はブレーキローラ、１３は押えローラ、１４は送りモ
ータ、１５はトルクモータをそれぞれ示す。これらが一
体となって搬送ユニット１７を作っている。送りローラ
１０は、フィルムとの摩擦力を大きくするために、その
表面が硬質ゴム等よりなり、フィルムＦを１コマを搬送
するために、矢印Ａの方向に回転する。ブレーキローラ
１２も、その表面が硬質ゴム等よりなり、フィルムＦに
テンションを与えるため、矢印Ｂの方向にトルクがかか
っている。押えローラ１１及び１３は、フィルムＦの幅
方向における両端部でフィルムＦに圧接している。これ
は、フィルムＦの表面の中央部にレジスト等の樹脂が塗
られいる場合に有効であって、特にこの形に限定はされ
るものではない。
２はブレーキローラ、１３は押えローラ、１４は送りモ
ータ、１５はトルクモータをそれぞれ示す。これらが一
体となって搬送ユニット１７を作っている。送りローラ
１０は、フィルムとの摩擦力を大きくするために、その
表面が硬質ゴム等よりなり、フィルムＦを１コマを搬送
するために、矢印Ａの方向に回転する。ブレーキローラ
１２も、その表面が硬質ゴム等よりなり、フィルムＦに
テンションを与えるため、矢印Ｂの方向にトルクがかか
っている。押えローラ１１及び１３は、フィルムＦの幅
方向における両端部でフィルムＦに圧接している。これ
は、フィルムＦの表面の中央部にレジスト等の樹脂が塗
られいる場合に有効であって、特にこの形に限定はされ
るものではない。
【００１１】送りモータ１４は、ステッピングモータま
たはサーボモータなどよりなる。１６は横ズレ検出器、
１８は搬送ユニット駆動機構、１９は搬送台、２０、２
１はガイドーラ、２２は搬送台に固定されたフィルム保
持台をそれぞれ示す。横ズレ検出器１６は搬送台１９に
装着されている。また、搬送ユニット１７は、フィルム
の送り方向に対して直角方向に移動可能なように、例え
ば「あり」、「あり溝」等の構造で搬送台１９に保持さ
れている。横ズレ検出器１６は、例えば超小型レーザ判
別センサー（KEYENCE 製）よりなるもので、光源には波
長 780μｍの半導体レーザが使われる。そして、フィル
ムの幅方向において約５mmの検出範囲を持つ。そして、
この範囲内では、フィルムの横ズレを10μｍのレベルで
検出することができる。そして、図３に示すようにフィ
ルムＦを挟んで設けられている。検出の方法については
後で説明する。フィルムＦを保持するフィルム保持台２
２は、送りローラ１０とブレーキローラ１２に間で搬送
台１９に固定されている。そして、空気吹出機構２３及
び真空吸着機構２４が設けられている。これらは図２に
示している。
たはサーボモータなどよりなる。１６は横ズレ検出器、
１８は搬送ユニット駆動機構、１９は搬送台、２０、２
１はガイドーラ、２２は搬送台に固定されたフィルム保
持台をそれぞれ示す。横ズレ検出器１６は搬送台１９に
装着されている。また、搬送ユニット１７は、フィルム
の送り方向に対して直角方向に移動可能なように、例え
ば「あり」、「あり溝」等の構造で搬送台１９に保持さ
れている。横ズレ検出器１６は、例えば超小型レーザ判
別センサー（KEYENCE 製）よりなるもので、光源には波
長 780μｍの半導体レーザが使われる。そして、フィル
ムの幅方向において約５mmの検出範囲を持つ。そして、
この範囲内では、フィルムの横ズレを10μｍのレベルで
検出することができる。そして、図３に示すようにフィ
ルムＦを挟んで設けられている。検出の方法については
後で説明する。フィルムＦを保持するフィルム保持台２
２は、送りローラ１０とブレーキローラ１２に間で搬送
台１９に固定されている。そして、空気吹出機構２３及
び真空吸着機構２４が設けられている。これらは図２に
示している。
【００１２】次に、フィルムＦの搬送動作を図２を使っ
て説明する。図２（イ）は、フィルムＦが搬送される状
態を示している。このとき、フィルム保持台２２の空気
吹出機構２３によりフィルムＦは浮上されて、送りロー
ラ１０の回転によりフィルムＦは搬送される。図２
（ロ）は、フィルムＦの搬送が停止した状態を示してい
る。所定の距離だけフィルムＦは搬送されると送りロー
ラ１０は停止する。同時に空気吹出機構２３も停止し
て、代わりに真空吸着機構２４が働く。これによってフ
ィルムＦの１コマはフィルム保持台２２に固定される。
そしてこの状態で露光等の処理が行われる。図２（ハ）
は、フィルムＦに露光などの処理が行われた後であっ
て、次の１コマが搬送されるまでの状態を示している。
押えローラ１１及び１３は上方に上がり、さらにフィル
ムＦはフィルム保持台２２に吸着されたままである。後
で説明するが、この時、搬送ユニット１７が、フィルム
Ｆの幅方向において、基準の位置まで戻る。
て説明する。図２（イ）は、フィルムＦが搬送される状
態を示している。このとき、フィルム保持台２２の空気
吹出機構２３によりフィルムＦは浮上されて、送りロー
ラ１０の回転によりフィルムＦは搬送される。図２
（ロ）は、フィルムＦの搬送が停止した状態を示してい
る。所定の距離だけフィルムＦは搬送されると送りロー
ラ１０は停止する。同時に空気吹出機構２３も停止し
て、代わりに真空吸着機構２４が働く。これによってフ
ィルムＦの１コマはフィルム保持台２２に固定される。
そしてこの状態で露光等の処理が行われる。図２（ハ）
は、フィルムＦに露光などの処理が行われた後であっ
て、次の１コマが搬送されるまでの状態を示している。
押えローラ１１及び１３は上方に上がり、さらにフィル
ムＦはフィルム保持台２２に吸着されたままである。後
で説明するが、この時、搬送ユニット１７が、フィルム
Ｆの幅方向において、基準の位置まで戻る。
【００１３】しかして、フィルムＦが搬送されている状
態において、横ズレ検出器１６がフィルムＦの横ズレ
（すなわち、偏向や蛇行）を検出する。この検出は、例
えば、図３に詳しく示しているように、半導体レーザの
発振器と受光器の組み合わせよりなる横ズレ検出器１６
がフィルムＦ及びフィルム保持台２２を挟んで配置す
る。そして、受光器の検出量の変化によって、フィルム
Ｆの横ズレを検出することができる。受光器からの信号
は、搬送ユニット駆動機構１８に送られ、横ズレを補正
するように搬送ユニット１７をフィルムＦの幅方向に移
動させる。そして、露光等の処理が終了すると、前述の
ごとく、押えローラ１１及び１３は上方に上がり、フィ
ルムをフィルム保持台２２に吸着したまま、搬送ユニッ
ト１７を所定の基準位置まで戻す。これによって、搬送
ユニット自身の横ズレの累積を防ぐことができる。
態において、横ズレ検出器１６がフィルムＦの横ズレ
（すなわち、偏向や蛇行）を検出する。この検出は、例
えば、図３に詳しく示しているように、半導体レーザの
発振器と受光器の組み合わせよりなる横ズレ検出器１６
がフィルムＦ及びフィルム保持台２２を挟んで配置す
る。そして、受光器の検出量の変化によって、フィルム
Ｆの横ズレを検出することができる。受光器からの信号
は、搬送ユニット駆動機構１８に送られ、横ズレを補正
するように搬送ユニット１７をフィルムＦの幅方向に移
動させる。そして、露光等の処理が終了すると、前述の
ごとく、押えローラ１１及び１３は上方に上がり、フィ
ルムをフィルム保持台２２に吸着したまま、搬送ユニッ
ト１７を所定の基準位置まで戻す。これによって、搬送
ユニット自身の横ズレの累積を防ぐことができる。
【００１４】次に、この発明のフィルム搬送機構を遣っ
た露光装置を実施例を使って説明する。図４は、露光装
置の説明用の図である。この実施例の露光装置は、回路
パターンを帯状のフィルムＦの長さ方向に沿って順次に
１コマずつ連続して露光していくものである。そして、
照射部１と、照射部１からの光が照射される位置に配置
されたフォトマスクＭと、投影レンズ３と、フィルム搬
送機構４よりなる。照射部１は、超高圧水銀灯のように
レジストが感度を有する光を効率的に放射するランプ２
を内蔵している。フォトマスクＭは、照射部１からの光
が照射される位置に配置されており、このフォトマスク
Ｍには、フィルムＦに投影して転写するべき回路パター
ンがある。Ｍ１０はサーボモータ等よりなるフォトマス
クの位置調節機構である。投影レンズ３は、照射された
フォトマスクＭの像を投影するものである。Ｘはフィル
ムＦ上において、回路パターンが投影されるべき位置を
示している。フィルム搬送機構４は、前述のフィルム搬
送機構を使う。４０は、露光ステージであり、前述のフ
ィルム保持台に相当する。
た露光装置を実施例を使って説明する。図４は、露光装
置の説明用の図である。この実施例の露光装置は、回路
パターンを帯状のフィルムＦの長さ方向に沿って順次に
１コマずつ連続して露光していくものである。そして、
照射部１と、照射部１からの光が照射される位置に配置
されたフォトマスクＭと、投影レンズ３と、フィルム搬
送機構４よりなる。照射部１は、超高圧水銀灯のように
レジストが感度を有する光を効率的に放射するランプ２
を内蔵している。フォトマスクＭは、照射部１からの光
が照射される位置に配置されており、このフォトマスク
Ｍには、フィルムＦに投影して転写するべき回路パター
ンがある。Ｍ１０はサーボモータ等よりなるフォトマス
クの位置調節機構である。投影レンズ３は、照射された
フォトマスクＭの像を投影するものである。Ｘはフィル
ムＦ上において、回路パターンが投影されるべき位置を
示している。フィルム搬送機構４は、前述のフィルム搬
送機構を使う。４０は、露光ステージであり、前述のフ
ィルム保持台に相当する。
【００１５】この装置において、フィルム搬送機構４に
よって、フィルムＦの１コマ分が順次に露光位置Ｘまで
搬送される。この時の搬送は、フィルムＦの１コマ毎に
設けられたアライメントホールＨを、例えば露光ステー
ジ４０に設けたセンサー４１によって検出して行う。そ
して、フィルムＦに１コマの回路パターンの露光が終わ
ると同じようにして、次の１コマを露光位置Ｘに設定す
る。尚、フィルム露光装置そのものは、公知であるので
説明は省略するが以下のものに例えば書かれている。特
開平３─２４２６５１号、特開平２─１０００３６号、
特願平２─３３０２７０号。このため、搬送時に、フィ
ルムＦが横ズレ（偏向や蛇行）を起こしても、常に修正
しているので、フィルムＦ上の正しい位置で回路パター
ンを投影露光することができる。
よって、フィルムＦの１コマ分が順次に露光位置Ｘまで
搬送される。この時の搬送は、フィルムＦの１コマ毎に
設けられたアライメントホールＨを、例えば露光ステー
ジ４０に設けたセンサー４１によって検出して行う。そ
して、フィルムＦに１コマの回路パターンの露光が終わ
ると同じようにして、次の１コマを露光位置Ｘに設定す
る。尚、フィルム露光装置そのものは、公知であるので
説明は省略するが以下のものに例えば書かれている。特
開平３─２４２６５１号、特開平２─１０００３６号、
特願平２─３３０２７０号。このため、搬送時に、フィ
ルムＦが横ズレ（偏向や蛇行）を起こしても、常に修正
しているので、フィルムＦ上の正しい位置で回路パター
ンを投影露光することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のよれ
ば、フィルムを蛇行や偏向などの横ズレを起こすことな
く搬送させることができる。そして、露光装置に使った
場合は、露光されるべき正しい位置にフィルムを搬送さ
せることができる。
ば、フィルムを蛇行や偏向などの横ズレを起こすことな
く搬送させることができる。そして、露光装置に使った
場合は、露光されるべき正しい位置にフィルムを搬送さ
せることができる。
【図１】この発明のフィルム搬送機構の一実施例を示す
説明用斜視図である。
説明用斜視図である。
【図２】この発明のフィルム搬送機構の動作を示す説明
図である。
図である。
【図３】この発明のフィルム搬送機構の要部を示す説明
図である。
図である。
【図４】この発明のフィルム搬送機構を使った露光装置
の説明用の図である。
の説明用の図である。
１ 照射部 ２ ランプ ３ 投影レンズ １０ 送りローラ １１ 押えローラ １２ ブレーキローラ １３ 押えローラ １４ 送りモータ １５ トルクモータ １６ 横ズレ検出器 １７ 搬送ユニット １８ 搬送ユニット移動機構 １９ 搬送台 ２２ フィルム保持台 Ｍ フォトマスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03B 27/32 G03B 27/42 - 27/48 G03F 7/20
Claims (2)
- 【請求項１】 フィルムを１コマずつ送る送りローラ
と、送りローラを駆動する送りモータと、送りローラと
ある距離を持って配置され、フィルムに送り方向のテン
ションをかけるためにブレーキをかけるブレーキローラ
と、ブレーキローラを駆動するトルクモータと、送りロ
ーラとブレーキローラの各々とペアとなって、フィルム
の幅方向における両端部でフィルムと圧接する押えロー
ラとよりなる搬送ユニットと、 搬送台に装着して、送りローラとブレーキローラの間に
あって、フィルムの幅方向のズレを検出する横ズレ検出
器と、 該搬送ユニットをフィルムの幅方向に平行移動させる搬
送ユニット駆動機構と、 搬送台に固定されフィルムの長手方向及び幅方向の所望
の位置にフィルムを保持するフィルム保持台とよりな
り、 フィルムの搬送時においては、フィルム保持台に対する
フィルムの保持を解除し、 フィルムの搬送中、もしくは搬送後に、横ズレ検出器か
らの信号を受けて搬送ユニットを搬送ユニット駆動機構
によって移動させ、 フィルムが所望の位置に達したときに、フィルムをフィ
ルム保持台で保持し、 その後、フィルムをフィルム保持台で保持した状態のま
ま、搬送ユニットを基準位置に戻すことを特徴とするフ
ィルム搬送機構。 - 【請求項２】 帯状のフィルムの長さ方向に沿って順次
に回路パターンを露光していくフィルム露光装置であっ
て、 照射部と、 照射部からの光が照射される位置に配置された、回路パ
ターンを形成したフォトマスクと、 フォトマスクの回路パターンの像を投影する投影レンズ
と、 投影レンズによる回路パターンの像を投影位置に、フィ
ルムを１コマずつ搬送するフィルム搬送機構とを具備し
てなり、 前記フィルム搬送機構は、請求項１記載のフィルム搬送
機構であることを特徴とするフィルム露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4075618A JP2789539B2 (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えたフィルム露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4075618A JP2789539B2 (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えたフィルム露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05241247A JPH05241247A (ja) | 1993-09-21 |
| JP2789539B2 true JP2789539B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=13581382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4075618A Expired - Fee Related JP2789539B2 (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えたフィルム露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2789539B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7969553B2 (en) * | 2007-08-27 | 2011-06-28 | Orc Manufacturing Co., Ltd | Exposure device with mechanism for forming alignment marks and exposure process conducted by the same |
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1992
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