JP2795981B2 - フィルム露光装置 - Google Patents
フィルム露光装置Info
- Publication number
- JP2795981B2 JP2795981B2 JP2279353A JP27935390A JP2795981B2 JP 2795981 B2 JP2795981 B2 JP 2795981B2 JP 2279353 A JP2279353 A JP 2279353A JP 27935390 A JP27935390 A JP 27935390A JP 2795981 B2 JP2795981 B2 JP 2795981B2
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- Japan
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- film
- exposure
- light
- reel
- reticle
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はTAB（Tape Automated Bonding）方式の電子
部品を実装するために用いるフィルム回路基板の製作に
最適なフィルム露光装置に関するものである。
部品を実装するために用いるフィルム回路基板の製作に
最適なフィルム露光装置に関するものである。
［従来の技術］ 半導体集積回路やTAB方式の電子部品の実装に使用さ
れるフィルム回路基板などの製造においては、一般に、
フォトリソグラフィの技術が用いられている。このフォ
トリソグラフィは、通常、フォトレジスト塗布工程、回
路パターンの転写のためのマスク合わせ露光工程、現像
工程、エッチング工程、フォトレジスト除去工程などを
経て行われる。
れるフィルム回路基板などの製造においては、一般に、
フォトリソグラフィの技術が用いられている。このフォ
トリソグラフィは、通常、フォトレジスト塗布工程、回
路パターンの転写のためのマスク合わせ露光工程、現像
工程、エッチング工程、フォトレジスト除去工程などを
経て行われる。
この工程のうち、露光工程においては、フォトレジス
トに回路パターンを転写するための露光装置が必要にな
る。この露光装置には、一般に、結像レンズを用いて縮
小像を形成する投影露光方式が用いられている。
トに回路パターンを転写するための露光装置が必要にな
る。この露光装置には、一般に、結像レンズを用いて縮
小像を形成する投影露光方式が用いられている。
このような装置においては、露光前のフィルムはフィ
ルム供給リールに巻回され、このリールより引き出され
たフィルムが露光位置まで搬送され、回路パターンが形
成されたレチクルに光を当て、その際の回路パターンに
応じた明暗像をフィルム面状に投影することにより露光
が行われる。そして、露光を終了したフィルムは、フィ
ルム巻取リールに巻き取られる。
ルム供給リールに巻回され、このリールより引き出され
たフィルムが露光位置まで搬送され、回路パターンが形
成されたレチクルに光を当て、その際の回路パターンに
応じた明暗像をフィルム面状に投影することにより露光
が行われる。そして、露光を終了したフィルムは、フィ
ルム巻取リールに巻き取られる。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記した従来技術にあっては、投影露
光の際、レチクルと露光位置の間に所定の間隔が形成さ
れているためフィルムの１コマを保持するステージを備
えていても、何らかの原因でフィルムが部分的に浮き上
がると、投影像にボケが生じたり、大きさが狂うなどの
問題がある。
光の際、レチクルと露光位置の間に所定の間隔が形成さ
れているためフィルムの１コマを保持するステージを備
えていても、何らかの原因でフィルムが部分的に浮き上
がると、投影像にボケが生じたり、大きさが狂うなどの
問題がある。
本発明は、上記した従来技術の実情に鑑みてなされた
もので、フィルムの露光面とレチクル間の距離を一定に
保持できるようにするフィルム露光装置を提供すること
を目的とする。
もので、フィルムの露光面とレチクル間の距離を一定に
保持できるようにするフィルム露光装置を提供すること
を目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明は、帯状のフィル
ムの長さ方向に沿って順次回路パターンを露光するフィ
ルム露光装置であって、光源及び該光源からの光を一定
方向へ導く照射部と、該照射部からの光を受けて前記帯
状のフィルム上にレチクルの回路パターンを投影する投
影部と、未露光のフィルムを巻き回しているフィルム供
給リールと、該フィルム供給リールより引き出したフィ
ルムを前記投影部からの像が到達する位置に幅方向を鉛
直にし且つ水平状態にして搬送するガイド手段と、露光
の終了したフィルムを巻き取るフィルム巻き取りリール
とを設ける構成にしている。
ムの長さ方向に沿って順次回路パターンを露光するフィ
ルム露光装置であって、光源及び該光源からの光を一定
方向へ導く照射部と、該照射部からの光を受けて前記帯
状のフィルム上にレチクルの回路パターンを投影する投
影部と、未露光のフィルムを巻き回しているフィルム供
給リールと、該フィルム供給リールより引き出したフィ
ルムを前記投影部からの像が到達する位置に幅方向を鉛
直にし且つ水平状態にして搬送するガイド手段と、露光
の終了したフィルムを巻き取るフィルム巻き取りリール
とを設ける構成にしている。
［作用］ 上記した手段によれば、フィルム供給リールより引き
出されたフィルムの少なくとも露光部における部分が、
幅方向を鉛直にし且つ水平状態にして供給され、フィル
ムの長さ方向に重力が印加されないようにしている。し
たがって、露光部のフィルム面とレチクル間の距離を一
定に保つことができる結果、フィルムに部分的な浮き上
がりを生じることがなく、投影される像にボケを生じさ
せたり、像の大きさを変化させることがない。
出されたフィルムの少なくとも露光部における部分が、
幅方向を鉛直にし且つ水平状態にして供給され、フィル
ムの長さ方向に重力が印加されないようにしている。し
たがって、露光部のフィルム面とレチクル間の距離を一
定に保つことができる結果、フィルムに部分的な浮き上
がりを生じることがなく、投影される像にボケを生じさ
せたり、像の大きさを変化させることがない。
［実施例］ 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明によるフィルム露光装置の一実施例を
示す側面図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ′矢視断面
図である。
示す側面図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ′矢視断面
図である。
本実施例は、大別して、レチクルに光を照射する照射
部１、この照射部１からの照射光を露光面に結像させる
投影部２、未露光のフィルムＦが巻き回されたフィルム
供給リール３、及び露光済のフィルムＦを巻き取る巻取
りリール４から構成されている。フィルム供給リール３
は、例えば、アルミニウム材を用いて直径405mmに加工
されている。また、フィルムＦは、幅35mm、厚さ約110
μｍのものが用いられる。
部１、この照射部１からの照射光を露光面に結像させる
投影部２、未露光のフィルムＦが巻き回されたフィルム
供給リール３、及び露光済のフィルムＦを巻き取る巻取
りリール４から構成されている。フィルム供給リール３
は、例えば、アルミニウム材を用いて直径405mmに加工
されている。また、フィルムＦは、幅35mm、厚さ約110
μｍのものが用いられる。
照射部１は、光源である放電ランプ10（レジストの感
光波長を効率よく放射する特性を備えたランプ）、この
放電ランプ10の発する光を一方向へ導く楕円集光鏡11、
この楕円集光鏡11からの光を集光するインテグレータレ
ンズ12、このレンズ12からの光を水平方向へ反射される
反射鏡13、この反射鏡13の出射光路上に配設されるコン
デンサレンズ14の、各々から構成される。コンデンサレ
ンズ14は、フィルムＦの露光面に対向配設される。
光波長を効率よく放射する特性を備えたランプ）、この
放電ランプ10の発する光を一方向へ導く楕円集光鏡11、
この楕円集光鏡11からの光を集光するインテグレータレ
ンズ12、このレンズ12からの光を水平方向へ反射される
反射鏡13、この反射鏡13の出射光路上に配設されるコン
デンサレンズ14の、各々から構成される。コンデンサレ
ンズ14は、フィルムＦの露光面に対向配設される。
投影部２は、コンデンサレンズ14からの光が照射され
るレチクル15の設置スペースを有し、このレチクル15の
後方の光軸上に投影レンズ16が配設している。レチクル
15には露光位置５に設定されたフィルムＦの１コマ分に
投影する回路パターンが形成されている。
るレチクル15の設置スペースを有し、このレチクル15の
後方の光軸上に投影レンズ16が配設している。レチクル
15には露光位置５に設定されたフィルムＦの１コマ分に
投影する回路パターンが形成されている。
フィルムＦの露光位置５の前後には、ガイド手段が設
けられている。すなわち、第２図に示すように、各リー
ルの出側と入側に各１つの補助ローラ6a、6bを配設し、
更に、露光位置５の前段に一対の送りローラ7a、7b、こ
の後方にスプロケットローラ８及び該ローラ８に圧接す
る押圧ローラ９を配設してガイド手段が構成されてい
る。
けられている。すなわち、第２図に示すように、各リー
ルの出側と入側に各１つの補助ローラ6a、6bを配設し、
更に、露光位置５の前段に一対の送りローラ7a、7b、こ
の後方にスプロケットローラ８及び該ローラ８に圧接す
る押圧ローラ９を配設してガイド手段が構成されてい
る。
以上の構成において、露光を行う場合、フィルムＦは
フィルム供給リール３から引き出され、補助ローラ6a及
びローラ7a、7b間を経由して露光位置５に送り出され、
更に、スプロケットローラ８と押圧ローラ９の間を経由
した後、巻取りリール４に巻き取られる。露光位置５で
は、照射部１及び投影部２による露光が行われる。
フィルム供給リール３から引き出され、補助ローラ6a及
びローラ7a、7b間を経由して露光位置５に送り出され、
更に、スプロケットローラ８と押圧ローラ９の間を経由
した後、巻取りリール４に巻き取られる。露光位置５で
は、照射部１及び投影部２による露光が行われる。
この露光は、放電ランプ10を点灯し、この光をインテ
グレータレンズ12→反射鏡13→コンデンサレンズ14→レ
チクル15→投影レンズ16の経路で露光位置５へ到達さ
せ、レチクル15に形成されている回路パターンを露光位
置５上のフィルムＦの表面に投影させる。
グレータレンズ12→反射鏡13→コンデンサレンズ14→レ
チクル15→投影レンズ16の経路で露光位置５へ到達さ
せ、レチクル15に形成されている回路パターンを露光位
置５上のフィルムＦの表面に投影させる。
一定時間の投影の後、放電ランプ10を消灯し（あるい
は不図示のシャッターを用いて遮光し）この状態のまま
送りローラ7a、スプロケットローラ８及びフィルム巻取
りリール４を回転駆動し、フィルムＦを一定長さ分だけ
搬送する。このとき、スプロケットローラ８はフィルム
Ｆのパーフォレーションに嵌合しながら回転するので、
高い精度でフィルムＦを搬送することができる。以上の
操作を１コマづつ実行することにより、フィルムＦの全
長に対する露光が行われる。
は不図示のシャッターを用いて遮光し）この状態のまま
送りローラ7a、スプロケットローラ８及びフィルム巻取
りリール４を回転駆動し、フィルムＦを一定長さ分だけ
搬送する。このとき、スプロケットローラ８はフィルム
Ｆのパーフォレーションに嵌合しながら回転するので、
高い精度でフィルムＦを搬送することができる。以上の
操作を１コマづつ実行することにより、フィルムＦの全
長に対する露光が行われる。
以上のように、フィルム供給リール３及び巻取りリー
ル４を水平に並べ、フィルムＦの幅方向を立てた状態で
水平に搬送することにより、重力による垂直方向（長さ
方向）の延びが防止され、フィルムＦの部分的な浮き上
がりを生じることがない。
ル４を水平に並べ、フィルムＦの幅方向を立てた状態で
水平に搬送することにより、重力による垂直方向（長さ
方向）の延びが防止され、フィルムＦの部分的な浮き上
がりを生じることがない。
なお、上記説明では、フィルムＦの片面にのみ露光を
行うものとしたが、両面に露光を行ってもよい。この場
合、照射部及び投影部をフィルムＦの両側に設ける必要
がある。
行うものとしたが、両面に露光を行ってもよい。この場
合、照射部及び投影部をフィルムＦの両側に設ける必要
がある。
［発明の効果］ 以上より明らかな如く、本発明によれば、帯状のフィ
ルムの長さ方向に沿って順次回路パターンを露光するフ
ィルム露光装置であって、光源及び該光源からの光を一
定方向へ導く照射部と、該照射部からの光を受けて前記
帯状のフィルム上にレチクルの回路パターンを投影する
投影部と、未露光のフィルムを巻回しているフィルム供
給リールと、該フィルム供給リールより引き出したフィ
ルムを前記投影部からの像が到達する位置に幅方向を鉛
直にし且つ水平状態にして搬送するガイド手段と、露光
の終了したフィルムを巻き取るフィルム巻取りリールと
を設けるようにしたので、露光部のフィルム面とレチク
ル間の距離を一定に保つことができる結果、フィルムに
部分的な浮き上がりを生じさせることがなく、投影され
る像にボケを生じさせたり、像の大きさを変化させるこ
とがない。
ルムの長さ方向に沿って順次回路パターンを露光するフ
ィルム露光装置であって、光源及び該光源からの光を一
定方向へ導く照射部と、該照射部からの光を受けて前記
帯状のフィルム上にレチクルの回路パターンを投影する
投影部と、未露光のフィルムを巻回しているフィルム供
給リールと、該フィルム供給リールより引き出したフィ
ルムを前記投影部からの像が到達する位置に幅方向を鉛
直にし且つ水平状態にして搬送するガイド手段と、露光
の終了したフィルムを巻き取るフィルム巻取りリールと
を設けるようにしたので、露光部のフィルム面とレチク
ル間の距離を一定に保つことができる結果、フィルムに
部分的な浮き上がりを生じさせることがなく、投影され
る像にボケを生じさせたり、像の大きさを変化させるこ
とがない。
第１図は本発明によるフィルム露光装置の一実施例を示
す側面図、第２図は第１図のＡ−Ａ′矢視断面図であ
る。 図中． 1:照射部、2:投影部 3:フィルム供給リール 4:巻取リール 5:露光位置 6a、6b:補助ローラ 7a、7b:送りローラ 8:スプロケットローラ 9:押圧ローラ 10:放電ランプ 11:楕円集光鏡 12:インテグレータレンズ 13:反射鏡 14:コンデンサレンズ 15:レチクル 16:投影レンズ F:フィルム
す側面図、第２図は第１図のＡ−Ａ′矢視断面図であ
る。 図中． 1:照射部、2:投影部 3:フィルム供給リール 4:巻取リール 5:露光位置 6a、6b:補助ローラ 7a、7b:送りローラ 8:スプロケットローラ 9:押圧ローラ 10:放電ランプ 11:楕円集光鏡 12:インテグレータレンズ 13:反射鏡 14:コンデンサレンズ 15:レチクル 16:投影レンズ F:フィルム
Claims (1)
- 【請求項１】帯状のフィルムの長さ方向に沿って順次回
路パターンを露光するフィルム露光装置であって、 光源及び該光源からの光を一定方向へ導く照射部と、 該照射部からの光を受けて前記帯状のフィルム上にレチ
クルの回路パターンを投影する投影部と、 未露光のフィルムを巻回しているフィルム供給リール
と、 該フィルム供給リールより引き出したフィルムを前記投
影部からの像が到達する位置に幅方向を鉛直にし且つ水
平状態にして搬送するガイド手段と、 露光の終了したフィルムを巻き取るフィルム巻き取りリ
ールとを具備することを特徴とするフィルム露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279353A JP2795981B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | フィルム露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279353A JP2795981B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | フィルム露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04156465A JPH04156465A (ja) | 1992-05-28 |
| JP2795981B2 true JP2795981B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=17609990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2279353A Expired - Lifetime JP2795981B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | フィルム露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2795981B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7961299B2 (en) * | 2007-11-08 | 2011-06-14 | Orc Manufacturing Co., Ltd. | Transfer device |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP2279353A patent/JP2795981B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04156465A (ja) | 1992-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080626 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090626 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100626 Year of fee payment: 12 |