JPH03282470A - フィルム露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 口産業上の利用分野〕 本発明は、例えばＴＡＢ　（Ｔａｐｅ　Ａｕｔｏｍａｔ
ｅｄ　Ｂｏｎ−ｄｉｎｇ）方式の電子部品の実装に使用
されるフィルム回路基板の製作に好適なフィルム露光装
置に関する。

〔従来の技術〕

物体の表面に微細加工を施す技術として、フォトリング
ラフィの技術が知られている。この技術は、半導体集積
回路のほか、最近ではＴＡＢ方式の電子部品の実装に使
用されるフィルム回路基板の製作にも応用されている。

このようなフィルム回路基板の製作に使用されるフィル
ム露光装置においては、露光時にフィルムの一コマをフ
ォトマスクの儂の投影位置に保持することが必要である
。

従来においては、昇降ステージを用いてステップ送りし
たフィルムの一コマを投影位置に保持している。詳しく
説明すると、従来の昇降ステージは、フォトマスクの像
の投影位置の下方において上下動可能に配置され、その
上面にはフィルムのパーフォレーションに嵌合する突出
ピンが複数設けられた構造のものであり、フィルムのス
テップ送り時には、突出ピンがパーフォレーションから
離脱するように昇降ステージが下降してステップ送りを
可能にし、フィルムの露光時には、突出ピンがパーフォ
レーションに嵌合するように昇降ステージが上昇してそ
の上面にフィルムの一コマを真空吸着して保持している
。

〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、上記のような昇降ステージを用しまたフィルム
露光製蓋では、昇降ステージを昇降させるための複雑な
機構を必要とする問題がある。すなわち、帯状で長尺な
フィルムをその一コマずつステップ送りするたびごとに
、昇降ステージを上昇、下降させることが必要であり、
そのための駆動機構、制御機構が複雑かつ高価であり、
製造コストが上昇する問題がある。

そして、特にフィルム回路基板が大型である場合には、
昇降ステージとしても大型のものが要求されるので、上
記問題はきわめて大きなものとなる。

本発明の目的は、ステージを昇降させることなく、フィ
ルムを一コマずつ円滑にステップ送りすることができる
フィルム露光装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するたｔ、本発明のフィルム露光装置は
、帯状のフィルムの長さ方向に沿ってフォトマスクのパ
ターンの儂を順次に投影して露光するフィルム露光装置
であって、照射部と、照射部からの光が照射される位置
に配置されたフォトマスクと、フォトマスクの像を投影
する投影レンズと、フォトマスクの像の投影位置に、フ
ィルムを一コマずつステップ送りするフィルム送り機構
と、投影位置に送られたフィルムの一コマを真空吸着す
るステージとを具備し、前記ステージには、フィルム送
りの際にフィルムがステージに接触しないようにフィル
ムを浮上させる逆風孔を設けたことを特徴とする。

逆風孔は、真空吸着のだｔの真空吸着孔を兼用している
ことが好ましい。

投影位置を挟んでフィルム送り方向の前後に、それぞれ
フィルム送り時にフィルムを浮上させる昇降ローラを設
けることが好ましい。

〔作用〕

フィルム露光時には、フィルムの一コマがステージに真
空吸着される。

フィルム送り時には、ステージの逆風孔からエアが噴出
され、フィルムがステージの上面から浮上する。従って
、フィルムがステージに接触するおそれがない。

逆風孔が真空吸着孔を兼用する場合には、ステージの構
成が簡単である。

昇降ローラを付加した場合には、ステージの前部および
後部においてもフィルムが確実に浮上される。従って、
フィルムが弧状に浮上して、ステージの前部または後部
に接触するおそれがない。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例に係るフィルム露光装置の説
胡図である。この装置は、帯状のフィルムＦの長さ方向
に沿ってフォトマスクＭのパターンの像を順次に投影し
て露光していくものである。

１０は照射部であり、例えば超高圧水銀灯等のように紫
外線を効率的に放射するランプおよびレンズと、フィル
ムＦのステップ送りに対応して開閉するンヤッタを内蔵
している。

Ｍはフォトマスクであり、照射部１０からの光が照射さ
れる位置に配置されている。

２０は投影レンズであり、照射されたフォトマスクＭの
像を投影するものである。

３０はフィルム送り機構であり、フォトマスクＭの像の
投影位置にフィルムＦの一コマをステップ送りするもの
である。３１は送りローラ、３２は押えローラ、３３は
テンションローラ、３４は押えローラ、３５はモータ、
３６はＣＰＵを内蔵したシステムコントローラである。

フィルムＦは、送りローラ３１によって送うれる。フィ
ルムＦはパーフォレーションがない場合には送りローラ
３１との摩擦によって駆動され、パーフォレーションが
ある場合には送りローラに設けられたスプロケットによ
って駆動される。送りローラ３１はモータ３５によって
駆動される。モータ３５はシステムコントローラ３６か
らの信号により駆動される。

４０はステージであり、投影位置に送られたフィルムＦ
の一コマを真空吸着するものである。４１は真空吸着孔
である。

この真空吸着孔４１は、ステップ送りの際にフィルムＦ
がステージ４０に接触しないようにフィルムＦを浮上さ
せる逆風孔を兼用している。

５１はコンプレッサ、５２は真空ポンプ、５３．５４は
バルブである。

６１、６２は昇降ローラであり、投影位置を挟んでフィ
ルム送り方向の前後に設けられ、フィルム送り時にフィ
ルムＦを浮上させるものである。６３゜６４は昇降ロー
ラ６１，６２をそれぞれ駆動するエアシリンダである。

６５．６６は回転の支点である。

第１図の装置の動作を説胡すると、フィルムＦの一コマ
の露光時には、システムコントローラ３６によってバル
ブ５３は閉状態、バルブ５４は開状態となる。従って、
真空ポンプ５２による吸引力のみが真空吸着孔４１を介
してフィルムＦの一コマに作用する。

照射Ｂ１０のシャッタが閉じられて露光が終了しり後、
システムコントローラ３６により、バルブ５３は開状態
、バルブ５４は閉状態になると、真空吸着孔４１が逆風
孔として作用し、フィルムＦの一コマがステージ４０か
ら浮上する。一方、システムコントローラ３６から２つ
のエアシリンダ６３．６４に駆動信号が送られ、支点６
５．６６を中心に昇降ローラ６１゜６２が回動しながら
上昇して、第１図において二点鎖線で示すようにフィル
ムＦの一コマの前部および後部が上方に持ち上げられる
。

この際、送りローラ３１の位置においては当該送りロー
ラ３１と押えローラ３２とによってフィルムＦは固定さ
れているが、テンションローラ３３と押えローラ３４は
いわゆる従動ローラであり、フィルムＦの浮上による張
力によって、テンションローラ３３と押えローラ３４と
がわずかに回転してフィルムＦに弛みを与える。

このように逆風孔および昇降ローラ６１．６２によりス
テージ４０から浮上した状態で、システムコントローラ
３６からモータ３５にステップ送り信号が送られると、
送りローラ３１によってフィルムＦがステップ送りされ
、次の一コマが投影位置に送られる。

そシテ、システムコントローラ３６により、バルブ５４
が開状態、バルブ５３が閉状態に切り換えられるととも
に、２つのエアシリンダ６３．６４に下降信号が送られ
、昇降ローラ６１６２が下降するとともに、真空吸着孔
４１によりフィルムＦに吸着力が作用して、フィルムＦ
の次の一コマがステージ４０に密着する。

次いで、例えば真空吸着孔４１による負圧を検出すると
、ンヤッタ開信号によりシャッタが開状態となり、次の
一コマの露光が行われる。

昇降ローラ６１．６２の上昇による、フィルムＦのステ
ージ４０への接触防止のためには、昇降ローラ６１６２
をできるだけステージ４０へ近づけて配置することが望
ましい。

このように、エアを利用してフィルムＦを浮上させた状
態でフィルムＦをステップ送りするので、フィルムＦの
一コマが大面積であっても、当該−コマをステージ４０
に接触させずに円滑にステップ送りすることができる。

以上において、ステージ４０の送り方向の長さは例えば
３８０ｍ１′１１程度である。

〔発すの効果〕

本発明のフィルム露光装置によれば、ステージには、フ
ィルム送りの際にフィルムに接触しないようにフィルム
を浮上させる逆風孔を設けたので、ステージを昇降させ
ずに、しかもフィルムをステージに接触させないでステ
ップ送りすることができる。従って、ステージ自体を昇
降させる場合に必要な複雑かつ高価な昇降機構が不要と
なり、コンパクトでかつ安価なフィルム露光装置を提供
することができる。

また、逆風孔が真空吸着孔を兼用する場合にはステージ
の構造が簡単となる。

さらに、投影位置を挟んでフィルム送り方向の前後に、
それぞれフィルム送り時にフィルムを浮上させる昇降ロ
ーラを設ける場合には、フィルムの一コマが大面積で送
り方向の前後で垂れ下がりが生じやすい場合にも、フィ
ルムをステージに接触させずに確実に浮上させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るフィルム露光装置の説
明図である。 Ｆ・・・フィルム　　　　　Ｍ・・・フォトマスク１０
・・・照射部　　　　　　２０・・・投影レンズ３０・
・・フィルム送り機ａ　　３１・・・送りローラ３２、
３４・・・押工ローラ　　３３・・・テンションローラ
３５・・・モータ ３６・・・システムコントローラ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）帯状のフィルムの長さ方向に沿ってフォトマスク
   のパターンの像を順次に投影して露光するフィルム露光
   装置であって、 照射部と、 照射部からの光が照射される位置に配置されたフォトマ
   スクと、 フォトマスクの像を投影する投影レンズと、フォトマス
   クの像の投影位置に、フィルムを一コマずつステップ送
   りするフィルム送り機構と、投影位置に送られたフィル
   ムの一コマを真空吸着するステージと を具備し、 前記ステージには、フィルム送りの際にフィルムがステ
   ージに接触しないようにフィルムを浮上させる逆風孔を
   設けたことを特徴とするフィルム露光装置。
2. （２）逆風孔は、真空吸着のための真空吸着孔を兼用し
   ていることを特徴とする請求項１に記載のフィルム露光
   装置。
3. （３）投影位置を挟んでフィルム送り方向の前後に、そ
   れぞれフィルム送り時にフィルムを浮上させる昇降ロー
   ラを設けたことを特徴とする請求項１または２に記載の
   フィルム露光装置。