CN110007569A - 一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及曝光机技术领域，公开一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机。其中直写式曝光机工作台组件包括平行且间隔设置于工作台上卷放装置和卷收装置，用于对待曝光卷材的卷放和卷收；与工作台连接的移动装置，被配置为能带动工作台相对曝光系统移动，以使曝光系统能对卷放装置和卷收装置之间的待曝光材料进行曝光。还公开了一共包括上述直写式曝光机工作台组件的直写式曝光机。本发明通过将卷放装置和卷轴装置直接安装在工作台上，实现待曝光卷材与工作台在曝光时时刻保持相对静止，不会对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯，减少了对卷材品质的影响，提高的曝光质量。

Description

一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机

技术领域

本发明涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机。

背景技术

直写式光刻技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式光刻技术的影像直接转移技术，利用该技术生产的直写式曝光机工艺流程短，生产成本低。直写式曝光机可以将影像转移到卷材或板材上，其中卷材可以自由弯曲、折叠，在移动通讯、可穿戴设备等领域上被广泛的应用。

由于曝光系统的曝光区域有限，曝光过程中需要曝光系统和工作台能相对移动以实现对待曝光区域进行完全曝光。目前，在直写式曝光机对卷材的某一曝光区域进行曝光时，为实现对卷材某一曝光区域长度方向上的完全曝光，通常需要工作台带动卷材上的某一曝光区域进行微调，迫使卷材根据微调进行卷放和卷收。这样会对卷材上靠近该曝光区域的部分产生拉扯，易对卷材的品质造成影响，同时影响曝光质量。

发明内容

基于以上所述，本发明的目的在于提供一种直写式曝光机工作台组件和一种直写式曝光机，能实现对卷材的曝光，同时减少由于工作台移动对靠近该曝光区域的卷材的拉扯，保证了卷材的品质和曝光质量。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种直写式曝光机工作台组件，包括：

卷放装置和卷收装置，所述卷放装置和所述卷收装置平行且间隔设置于所述工作台上，所述卷放装置用于对待曝光卷材进行卷放，所述卷收装置用于对所述待曝光卷材进行卷收；

移动装置，其与所述工作台连接，所述移动装置被配置为能带动所述工作台相对曝光系统移动，以使所述曝光系统能对所述卷放装置和所述卷收装置之间的待曝光材料进行曝光。

作为一种直写式曝光机工作台组件的优选方案，所述直写式曝光机工作台组件还包括与所述工作台可拆卸连接的定位装置，所述定位装置被配置为用于对待曝光板材的定位。

作为一种直写式曝光机工作台组件的优选方案，所述定位装置包括均与所述工作台连接的第一定位边和第二定位边，所述第一定位边和所述第二定位边分别与所述待曝光板材的不同侧抵接以进行限定。

作为一种直写式曝光机工作台组件的优选方案，所述工作台还包括用于夹紧所述待曝光卷材的夹紧装置，所述夹紧装置位于所述卷放装置和所述卷收装置之间。

作为一种直写式曝光机工作台组件的优选方案，所述夹紧装置包括与所述工作台平行设置的夹紧杆，所述夹紧杆能弹性夹紧所述工作台上的所述待曝光卷材。

作为一种直写式曝光机工作台组件的优选方案，所述夹紧装置还包括拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的一端与所述夹紧杆连接，所述拉伸弹簧的另一端与所述工作台连接。

作为一种直写式曝光机工作台组件的优选方案，所述夹紧杆的两端均设置有旋转杆，所述旋转杆的一端与所述夹紧杆连接，所述旋转杆的另一端与所述工作台转动连接，所述旋转杆与所述工作台之间设置有扭簧。

作为一种直写式曝光机工作台组件的优选方案，所述移动装置包括：

第一滑轨，沿第一方向延伸；

滑台，其与所述第一滑轨滑动连接，且所述滑台上还设置有沿第二方向延伸第二滑轨，所述工作台能沿所述第二滑轨滑动。

作为一种直写式曝光机工作台组件的优选方案，所述移动装置还包括升降机构，所述升降机构的升降基座和升降端其中一个与所述第二滑轨滑动连接，另一个与所述工作台连接，以驱动所述工作台升降。

一种直写式曝光机，包括如上任一项所述的直写式曝光机工作台组件，所述直写式曝光机还包括曝光系统，所述曝光系统被配置为能对所述直写式曝光机工作台组件上的所述待曝光材料进行曝光。

本发明的有益效果为：通过设置能够带动工作台相对曝光系统移动的移动装置，实现对工作台上的待曝光材料上各个区域进行完全曝光；同时，将卷放装置和卷轴装置直接安装在工作台上，使卷放装置和卷轴装置能随工作台一起移动，从而使得待曝光区域与工作台在移动曝光时保持相对静止，不会对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯，减少了对卷材品质的影响，提高了曝光质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本发明具体实施方式提供的直写式曝光机的结构示意图。

图中：

1-底座；11-横梁；

20-工作台；21-卷放装置；22-卷收装置；23-夹紧装置；24-定位装置；

3-曝光系统；31-曝光装置；32-对准装置；

4-移动装置；41-第一滑轨；42-滑台；43-第二滑轨；44-升降机构。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本实施方式提供一种直写式曝光机，包括曝光系统3和直写式曝光机工作台组件，直写式曝光机工作台组件上放置待曝光材料，曝光系统3用于对直写式曝光机工作台组件上的待曝光材料进行曝光。

进一步地，直写式曝光机工作台组件安装在底座1上，底座1上设置有龙门架，曝光系统3安装在龙门架的横梁11上，直写式曝光机工作台组件位于龙门架的下方。直写式曝光机工作台组件和曝光系统3均安装在底座1上，在需要直写式曝光机更换位置时，可以直接移动底座1即可，更加方便，同时也不会影响直写式曝光机工作台组件和曝光系统3的工作。

具体地，横梁11上的曝光系统3包括对准装置32和曝光装置31，对准装置32用于对待曝光材料的待曝光区域进行识别，曝光装置31用于对待曝光材料的曝光。对准装置32和曝光装置31为曝光技术领域常用的技术手段，本领域技术人员可以根据实际情况进行设置，本实施方式就不再过多赘述。

具体地，直写式曝光机工作台组件，用于上述直写式曝光机中。该直写式曝光机工作台组件包括工作台20和设置在工作台20上的卷放装置21、卷收装置22，卷放装置21用于对工作台20上的待曝光卷材的卷放，卷收装置22用于对工作台20上的待曝光卷材的卷收，总体上实现对待曝光卷材的卷放和卷收。

卷放装置21和卷收装置22平行且间隔设置于工作台20上，卷放装置21和卷收装置22平行设置可以使卷放和卷收后的卷材更加平整；卷放装置21和卷收装置22间隔设置可以为曝光系统3对待曝光材料的曝光提供一个合适的曝光区域。

进一步地，直写式曝光机工作台组件还包括与工作台20连接的移动装置4，移动装置4能带动工作台20相对曝光系统3移动。由于曝光系统3的曝光区域有限，曝光系统3不能一次对工作台20上的全部曝光材料进行曝光，所以通过设置带动工作台20移动的移动装置4，能保证曝光系统3对卷放装置21和卷收装置22之间的待曝光材料的各个区域进行完全曝光。

通过将卷放装置21和卷收装置22安装在工作台20上，使得移动装置4带动工作台20移动时，卷放装置21和卷收装置22也随着工作台20一同移动，这样一来，待曝光卷材和工作台20在移动曝光的过程中能够保持相对静止，避免了对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯，减少了对卷材品质的影响，提高的曝光质量。

进一步地，工作台20上设置有吸附装置，用于吸附放置在工作台20上的待曝光材料，防止待曝光材料在工作台20的移动过程中发生移位，导致曝光发生误差。由于卷材可弯曲、易折叠的特性，吸附装置对卷材的吸附后仍然会出现卷材发生移位的情况，导致曝光误差，所以工作台20上还设置有夹紧装置23，夹紧装置23位于卷放装置21和卷收装置22之间，用于进一步夹紧卷放装置21和卷收装置22之间的待曝光卷材。于本实施例中，将夹紧装置23设置为两个，其中一个设置在靠近卷放装置21的一侧，另一个设置在靠近卷收装置23的一侧，且两个夹紧装置23之间的距离大于待曝光卷材中的一个曝光单元的宽度，可以保证每个曝光单元在曝光时不会受到夹紧装置23的干扰。其他实施例中，本领域技术人员可以根据实际情况设置夹紧装置23的具体位置和数量。夹紧装置23的设置可以进一步保证待曝光卷材相对于工作台20的固定，保证曝光的准确性。

具体地，夹紧装置23包括与工作台20平行设置的夹紧杆，夹紧杆能弹性夹紧工作台20上的待曝光卷材。曝光之前，待曝光卷材穿设在夹紧杆和工作台20之间，卷放装置21和卷收装置22将待曝光卷材调整到合适位置，随后夹紧杆弹性夹紧待曝光卷材进行曝光。与工作台20平行设置的夹紧杆与待曝光卷材接触面积更大，有效防止压坏待曝光卷材；将夹紧装置23设置成弹性夹紧，可以使夹紧力度和夹紧厚度可调，能实现对不同厚度的卷材实现夹紧，同时防止夹紧力过大压坏待曝光卷材。

具体可选地，本实施例中给出如下两种能实现弹性夹紧的夹紧装置23的具体结构，其中：

第一种夹紧装置23的具体结构：夹紧装置23还包括拉伸弹簧，拉伸弹簧的一端与夹紧杆的一端连接，拉伸弹簧的另一端与工作台20连接。拉伸弹簧通过对夹紧杆施加拉力实现夹紧杆对待曝光卷材的夹紧。

第二种夹紧装置23的具体结构：夹紧杆的两端设置有旋转杆，旋转杆的一端与夹紧杆连接，旋转杆的另一端与工作台20转动连接，旋转杆和工作台20之间还设置有扭簧，扭簧的一端与旋转杆抵接，扭簧的另一端与工作台20抵接。扭簧通过抵接旋转杆间接带动夹紧杆实现夹紧杆对待曝光卷材的夹紧。

于其他实施例中，本领域技术人员可以根据不同情况设置实现弹性夹紧的紧装置的具体结构或设置具有除弹性夹紧外其他夹紧方式的夹紧装置23。

进一步地，移动装置4包括第一滑轨41和滑台42，第一滑轨41沿第一方向延伸，滑台42与第一滑轨41滑动连接；第一滑轨41设置在底座1上；滑台42上还设置有沿第二方向延伸的第二滑轨43，工作台20与第二滑轨43滑动连接。优选地，第一方向和第二方向相互垂直，且其中一个方向与横梁11的延伸方向平行，这样的设置可以减少工作台20的移动距离，提高曝光效率，同时还能减小直写式曝光机工作台组件的整体尺寸。移动装置4实现了能带动工作台20以及工作台20上的卷放装置21和卷收装置22沿第一方向和第二方向移动，保证曝光系统3能对卷放装置21和卷收装置22之间的待曝光材料的全部进行曝光；同时，通过带动工作台20上的卷放装置21和卷收装置22一起移动，避免了由于工作台20的移动，对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯，保障了卷材的品质和曝光的质量。

具体地，移动装置4还包括在第二滑轨43上滑动连接的升降机构44，升降机构44包括升降基座和升降端，升降基座和升降端的其中一个与第二滑轨43滑动连接，另一个与工作台20连接。于本实施例中，工作台20与升降端连接，升降基座与第二滑轨43滑动连接。升降机构44能带动工作台20以及工作台20上的卷放装置21和卷收装置22的升降。由于待曝光材料的具有不同厚度，曝光时，不同高度的带曝光材料与曝光系统3之间的距离不同，所以升降机构44的设置可以通过调整工作台20的高度来保证工作台20上的不同待曝光材料距离曝光系统3的距离为合适的曝光距离，使直写式曝光机工作台组件能实现对不同厚度的待曝光材料进行曝光。

值得说明的是，为提高直写式曝光机和直写式曝光机工作台组件的工作效率，卷放装置21、卷收装置22、吸附装置、夹紧装置23、移动装置4和曝光系统3均采用电控，既提高了工作效率，又减少了人工操作易产生误差的风险。电控的具体实现为本领域常用技术手段，在此不做赘述，本领域技术人员可以根据实际情况进行设置。

进一步可选地，直写式曝光机工作台组件还包括与工作台20可拆卸连接的定位装置24，定位装置24用于对待曝光板材在工作台20上的定位，以保证待曝光板材能位于合适的可供曝光系统3曝光的位置。将定位装置24设置成与工作台20可拆卸，可以保证该定位装置24在直写式曝光机曝光卷材时不会对卷材、卷放装置21和卷收装置22产生干涉。当直写式曝光机曝光卷材时，拆卸下定位装置24，直写式曝光机可正常对卷材进行曝光；当有板材需要曝光时，安装上定位装置24，即可实现直写式曝光机对板材的曝光。总体上直写式曝光机既能对卷材进行曝光，又能对板材进行曝光，实现了一机两用。

具体地，定位装置24包括均安装在工作台20上的第一定位边和第二定位边，在用于对板材的定位时，第一定位边和第二定位边分别通过与板材的不同侧抵接以实现对板材的定位，保证待曝光板材位于曝光系统3的可曝光的合适范围内。由于板材多为矩形，为方便定位和定位准确，定位装置24的第一定位边和第二定位边可以设置为相互垂直，分别对矩形板材的两边抵接，通过对矩形板材的不同侧进行定位，使得定位更加稳定。于其他实施例中，本领域技术人员可以根据不同待曝光板材的形状具体设置定位装置24的第一定位边和第二定位边。

本实施方式提供直写式曝光机的工作过程如下：

针对待曝光材料为卷材时，直写式曝光机的工作过程包括：

S11、待曝光卷材的安装：将待曝光卷材安装在卷放装置21上，并将待曝光卷材的第一个曝光单元的一端依次穿过两个夹紧装置23，安装在卷收装置22上，使待曝光卷材的每个曝光单元始终在夹紧杆和工作台20之间被卷收和卷放；

S12、曝光高度调节：调节升降机构44，使工作台20和曝光系统3的距离符合待曝光卷材的合适曝光距离；

S13、待曝光卷材的固定：吸附装置和夹紧装置23同时工作，吸附装置对待曝光卷材进行吸附，夹紧装置23对待曝光卷材进行夹紧，将待曝光卷材固定在工作台20上；

S14、移动装置4带动工作台20移动，使曝光系统3对待曝光卷材进行曝光：工作台20通过移动装置4的第一滑轨41和第二滑轨43在第一方向和第二方向内移动，直到一个曝光单元的各个区域都被完全曝光；

S15、卷放装置21和卷收装置22工作，更换曝光单元：吸附装置和夹紧装置23停止工作，待曝光卷材与工作台20处于非固定状态，卷放装置21对待曝光卷材进行卷放，卷收装置22对待曝光卷材进行卷收，使下一个曝光单元正好位于与曝光系统3对应的工作台20上；

S16、对待曝光卷材的不同曝光单元进行曝光：重复S13-S15，直到待曝光卷材的每个曝光单元都被完全曝光；

S17、曝光结束：取下已经曝光完成的待曝光卷材，完成一卷待曝光卷材的曝光。

针对待曝光材料为板材时，直写式曝光机的工作过程包括：

S21、安装定位装置24：在工作台20上的合适位置安装上用于待曝光板材定位的定位装置24，使待曝光板材能被曝光系统3进行曝光；

S22、待曝光板材的安装：将待曝光板材抵接在定位装置24的第一定位边和第二定位边上，实现待曝光板材的定位；

S23、曝光高度调节：调节升降机构44，使工作台20和曝光系统3的距离符合待曝光板材的合适曝光距离；

S24、待曝光板材的固定：吸附装置开始工作，对待曝光板材进行吸附，将待曝光板材固定在工作台20上；

S25、移动装置4带动工作台20移动，使曝光系统3对待曝光板材进行曝光：工作台20通过移动装置4的第一滑轨41和第二滑轨43在第一方向和第二方向内移动，直到待曝光板材的各个区域都被完全曝光；

S26、曝光结束：吸附装置停止工作，待曝光板材与工作台20处于非固定状态，取下已经曝光完成的待曝光板材，完成对待曝光板材的曝光。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种直写式曝光机工作台组件，包括工作台(20)，其特征在于，还包括：

卷放装置(21)和卷收装置(22)，所述卷放装置(21)和所述卷收装置(22)平行且间隔设置于所述工作台(20)上，所述卷放装置(21)用于对待曝光卷材进行卷放，所述卷收装置(22)用于对所述待曝光卷材进行卷收；

移动装置(4)，其与所述工作台(20)连接，所述移动装置(4)被配置为能带动所述工作台(20)相对曝光系统(3)移动，以使所述曝光系统(3)能对所述卷放装置(21)和所述卷收装置(22)之间的待曝光材料进行曝光。

2.根据权利要求1所述的直写式曝光机工作台组件，其特征在于，所述直写式曝光机工作台组件还包括与所述工作台(20)可拆卸连接的定位装置(24)，所述定位装置(24)被配置为用于对待曝光板材的定位。

3.根据权利要求2所述的直写式曝光机工作台组件，其特征在于，所述定位装置(24)包括均与所述工作台(20)连接的第一定位边和第二定位边，所述第一定位边和所述第二定位边分别与所述待曝光板材的不同侧抵接以进行限定。

4.根据权利要求1所述的直写式曝光机工作台组件，其特征在于，所述工作台(20)还包括用于夹紧所述待曝光卷材的夹紧装置(23)，所述夹紧装置(23)位于所述卷放装置(21)和所述卷收装置(22)之间。

5.根据权利要求4所述的直写式曝光机工作台组件，其特征在于，所述夹紧装置(23)包括与所述工作台(20)平行设置的夹紧杆，所述夹紧杆能弹性夹紧所述工作台(20)上的所述待曝光卷材。

6.根据权利要求5所述的直写式曝光机工作台组件，其特征在于，所述夹紧装置(23)还包括拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的一端与所述夹紧杆连接，所述拉伸弹簧的另一端与所述工作台(20)连接。

7.根据权利要求5所述的直写式曝光机工作台组件，其特征在于，所述夹紧杆的两端均设置有旋转杆，所述旋转杆的一端与所述夹紧杆连接，所述旋转杆的另一端与所述工作台(20)转动连接，所述旋转杆与所述工作台(20)之间设置有扭簧。

8.根据权利要求1所述的直写式曝光机工作台组件，其特征在于，所述移动装置(4)包括：

第一滑轨(41)，沿第一方向延伸；

滑台(42)，其与所述第一滑轨(41)滑动连接，且所述滑台(42)上还设置有沿第二方向延伸第二滑轨(43)，所述工作台(20)能沿所述第二滑轨(43)滑动。

9.根据权利要求8所述的直写式曝光机工作台组件，其特征在于，所述移动装置(4)还包括升降机构(44)，所述升降机构(44)的升降基座和升降端其中一个与所述第二滑轨(43)滑动连接，另一个与所述工作台(20)连接，以驱动所述工作台(20)升降。

10.一种直写式曝光机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的直写式曝光机工作台组件，所述直写式曝光机还包括曝光系统(3)，所述曝光系统(3)被配置为能对所述直写式曝光机工作台组件上的所述待曝光材料进行曝光。