JP2007121425A

JP2007121425A - 露光方法及び露光装置

Info

Publication number: JP2007121425A
Application number: JP2005309975A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Miyake; 健三宅; Masaru Imanishi; 賢今西
Original assignee: Fujikura Ltd; San Ei Giken Inc
Current assignee: Fujikura Ltd; San Ei Giken Inc
Priority date: 2005-10-25
Filing date: 2005-10-25
Publication date: 2007-05-17
Anticipated expiration: 2025-10-25
Also published as: TW200720855A; WO2007049640A1; JP5117672B2

Abstract

【課題】基板と第１フォトマスクと第２フォトマスクとを高精度に位置合わせする。
【解決手段】フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２の対応位置にある３つの位置合わせマーク２２，２５，２６ＣＣＤカメラで同時に読み取り、この読み取った画像からのマーク位置情報に基づき、フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１との間、及び、フレキシブル基板１０と第２フォトマスク１２との間の各相対的位置を調整して位置合わせを行う。
【選択図】図４

Description

本発明は、帯状基材の搬送経路の両側に一対のフォトマスクを配置し、この一対のフォトマスクによって帯状基材の両面にパターンを転写する露光方法及び露光装置に関し、特に、帯状素材と一対のフォトマスク間の位置合わせ技術に係わる。

従来より、帯状基材であるフレキシブル基板にフォトマスクを用いて電気回路等の配線パターンを、露光工程、現像工程、エッチング工程等を含む回路形成技術によって形成することが行われている。この露光工程に際しては、フレキシブル基板とフォトマスク間を正確に位置合わせする必要がある。この位置合わせは、例えばフレキシブル基板とフォトマスクにそれぞれ位置合わせマークを設け、双方の位置合わせマークをＣＣＤカメラで読み取っている。即ち、ＣＣＤカメラで読み取った画像からのマーク位置情報に基づいてフレキシブル基板とフォトマスク間の相対的位置を調整している（例えば、特許文献１参照）。

近年、フレキシブル基板は、単なるフラットケーブルとして製作されるだけでなく、硬いプリント基板と同様に、半導体装置をはじめとする電子部品が実装可能な高精度、高細密なパターン化と多層化が求められつつある。それに伴い、露光においても、フレキシブル基板に対するパターンの転写精度とともに基板表裏のパターン転写精度も必要、つまり基板に対して２枚のフォトマスクを高精度に位置合わせすると共に２枚のフォトマスク同士を互いに高精度に位置合わせする必要が生じてきた。

以下、両面の露光を行う場合の従来の位置合わせ方法の一例を説明する。図１０及び図１１において、帯状素材であるフレキシブル基板１００は、搬送手段によって長手方向Ｔに搬送される。フレキシブル基板１００の両面には、感光材（フォトレジスト）が塗布されている。フレキシブル基板１００には、長手方向に沿って露光予定範囲１０１がほぼ連続的に設定されている。この各露光予定範囲１０１の四隅の外側の４箇所には、透光性の位置合わせマーク１０２がそれぞれ設けられている。第１フォトマスク１０３及び第２フォトマスク１０４は、搬送されるフレキシブル基板１００の両面側にそれぞれ対向配置されている。図１１に示すように、第１フォトマスク１０３には、第１パターン部１０３ａが設けられている。第１パターン部１０３ａの対角位置の外側の２箇所には、非透光性の位置合わせマーク１０５が設けられている。図１１に示すように、第２フォトマスク１０４には、第２パターン部１０４ａが設けられている。第１フォトマスク１０３の対角位置とは異なる対角位置で、第２パターン部１０４ａの対角位置の外側の２箇所には、非透光性の位置合わせマーク１０６が設けられている。

なお、このように第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクに設けられたそれぞれ一対の位置合わせマーク１０５，１０５と位置合わせマーク１０６，１０６が、互いに異なる対角位置に配置される理由は、これら位置合わせマーク１０５、１０６は同じ円形の非透光性マークであり、ＣＣＤカメラで読み取る際にどちらかのマークかを特定することが困難であるため、位置合わせマーク１０５、１０６が重ならないように別々の位置に設ける必要があったからである。

第１フォトマスク１０３及び第２フォトマスク１０４は、図示しない位置調整手段によってフレキシブル基板１００に対してそれぞれ位置調整される。

ＣＣＤカメラ１０７は、フレキシブル基板１００を基準として第１フォトマスク１０３より遠い位置に配置され、フレキシブル基板１００の面方向に移動自在に設定されている。

上記構成において、搬送手段によってフレキシブル基板１００が所定距離だけ搬送されると、フレキシブル基板１００の露光予定範囲１０１が第１及び第２フォトマスク１０３，１０４にほぼ対向配置される。すると、ＣＣＤカメラ１０７でフレキシブル基板１００の４箇所の位置合わせマーク１０２，１０５，１０６の位置が読み取られる。その結果得られたマークの位置情報に基づき、フレキシブル基板１００に対する第１フォトマスク１０３及び第２フォトマスク１０４の位置を調整し、位置合わせを行う。

フレキシブル基板１００に対する第１及び第２フォトマスク１０３，１０４の位置調整を終了すると、第１及び第２フォトマスク１０３，１０４を通して照射光Ｌ１，Ｌ２をフレキシブル基板１００の両面にそれぞれ照射し、フレキシブル基板１００の両面にパターンを転写する。
特開２００４−３４７９６４号公報（段落番号００２４）

しかしながら、上述した従来の露光時における位置合わせ方法では、フレキシブル基板１００の異なる位置合わせマーク１０２を基準として第１フォトマスク１０３と第２フォトマスク１０４を位置合わせしている。そのため、各位置合わせマーク１０２の位置精度、画像認識精度等にバラツキがあると、そのバラツキの影響を受けて第１フォトマスク１０３と第２フォトマスク１０４がそれぞれ位置合わせされることになる。従って、フレキシブル基板１００と第１及び第２フォトマスク１０３，１０４間は高精度に位置合わせされるが、第１フォトマスク１０３と第２フォトマスク１０４間を高精度に位置合わせすることができないという問題がある。第１フォトマスク１０３と第２フォトマスク１０４間が高精度に位置合わせされないと、フレキシブル基板１００の両面のパターン同士の位置がずれたものとなる。

そこで、本発明は、上記課題を解決し、帯状基材と第１及び第２フォトマスク間のみならず第１フォトマスクと第２フォトマスク間も高精度に位置合わせできる露光方法及び露光装置を提供することを目的とする。

請求項１の発明は、両面に感光性材料が形成された帯状基材を、その長手方向に沿って間欠的に送り、露光処理位置には、前記帯状基材の両面にそれぞれ対向するように、第１フォトマスク及び第２フォトマスクを配置し、前記帯状基材の両面に対して前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクを通して光を照射することにより、前記帯状基材の両面に前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクにそれぞれ描かれたパターンを転写する露光方法であって、前記帯状基材と前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクには、前記帯状基材と前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクを互いに位置合わせするために、対向する位置に複数の位置合わせマークがそれぞれ設けられ、対向した位置の前記帯状基材に設けられた位置合わせマークと、前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクのそれぞれに設けられた位置合わせマークと、の３つの位置合わせマークを同時にひとつのＣＣＤカメラで読み取り、その結果得られたデータに基づいて、前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクのうち少なくとも一方をＸ，Ｙ，θ方向に移動させて前記帯状基材と前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクをそれぞれ位置合わせすることを特徴とする。

請求項２の発明は、請求項１記載の露光方法であって、前記帯状基材の位置合わせマークは、透光性の円形であり、前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクの各位置合わせマークの一方は、非透光性の円環状であり、他方はこの円環状の内周円より小径の非透光性の円形であることを特徴とする露光方法である。

請求項３の発明は、請求項２記載の露光方法であって、前記帯状基材と前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクの各位置合わせマークの大きさは、前記帯状基材の位置合わせマークの外径が最も大きく、前記第１又は第２フォトマスクの円環状の位置合わせマークが次に大きく、前記第１又は第２フォトマスクの円形の位置合わせマークが最も小さく設定されたことを特徴とする露光方法である。

請求項４の発明は、請求項２記載の露光方法であって、前記帯状基材と前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクの各位置合わせマークの大きさは、前記第１又は第２フォトマスクの円環状の位置合わせマークが最も大きく、前記帯状基材の位置合わせマークが次に大きく、前記第１又は第２フォトマスクの円形の位置合わせマークが最も小さく設定されたことを特徴とする露光方法である。

請求項５の発明は、露光装置であって、長手方向に沿って連続的に露光予定範囲が設定され、各露光予定範囲毎に位置合わせマークが複数位置に設けられた帯状基材と、帯状基材を長手方向に搬送する基材搬送手段と、帯状基材の搬送経路の帯状基材を挟む位置にそれぞれ配置され、それぞれ複数位置に位置合わせマークが設けられた第１及び第２フォトマスクと、ＣＣＤカメラとを備え、第１及び第２フォトマスクの複数位置の各位置合わせマークは、帯状基材の同じ位置合わせマークに対応する位置にそれぞれ配置され、ＣＣＤカメラは、帯状基材と第１フォトマスクと第２フォトマスクの対応位置にある３つの位置合わせマーク同時に読み取り可能であり、その結果得られたデータに基づいて、第１フォトマスクと第２フォトマスクのうち少なくとも一方をＸ，Ｙ，θ方向に移動させて帯状基材と第１フォトマスク及び第２フォトマスクをそれぞれ位置合わせする位置調整手段を備え、帯状基材の両面に対して第１及び第２フォトマスクを通して光を照射することにより、帯状基材の両面に第１及び第２フォトマスクにそれぞれ描かれたパターンを転写することを特徴とする。

請求項６の発明は、請求項５記載の露光装置であって、前記基材搬送手段は、前記帯状基材を垂直方向に沿って搬送する垂直搬送区間を有し、この垂直搬送区間で前記第１及び第２フォトマスクを対向配置させたことを特徴とする露光装置である。

請求項１の発明によれば、第１フォトマスクと第２フォトマスクが共に帯状基材の同じ位置合わせマークを基準に位置合わせされるため、帯状基材の位置合わせマークの位置精度、画像認識精度等の影響を受けにくい。従って、帯状基材と第１及び第２フォトマスク間のみならず第１フォトマスクと第２フォトマスク間も高精度に位置合わせできる。

請求項２〜請求項４の発明によれば、各位置合わせマークの大きさと形状を考慮することによって、帯状基材と第１フォトマスクと第２フォトマスクの正確な位置合わせ位置及び少なくともその近傍位置では、３つの位置合わせマークを同時に読み取ることが可能である。

請求項５の発明によれば、第１フォトマスクと第２フォトマスクが共に帯状基材の同じ位置合わせマークを基準に位置合わせされるため、仮に位置合わせマークの位置精度、画像認識精度等に誤差が発生してもその影響を受けにくい。従って、帯状基材と第１及び第２フォトマスク間のみならず第１フォトマスクと第２フォトマスク間も高精度に位置合わせできる。

請求項６の発明によれば、帯状基材が自重によって撓まないため、必要以上の張力をかけずに帯状基材の平面度を維持し易いため、帯状基材の伸びによる寸法変化が少ない。従って、露光工程時において高い位置合わせ精度を得ることができる。又、帯状基材や第１及び第２フォトマスクにゴミが付着し難い。更に、露光部が水平部にあるのに比べ、長い光路を確保できるので、より高質の平行光による忠実な転写が可能である。

以下、本発明の実施の形態に係る露光方法及び露光装置の詳細を図面に基づいて説明する。

図１〜図５は本発明の実施の形態を示し、図１は露光装置の概略構成図、図２は図１の矢印Ａ方向から見たフレキシブル基板と第１フォトマスクの配置を示す図、図３は図２のＢ−Ｂ線断面図、図４は図３のＣ部の要部拡大図、図５は位置合わせ位置における３つの位置合わせマークの状態を示す図である。

図１に示すように、露光装置１は、ベースプレート２とこのベースプレート２上に設置された筐体３とを備えている。筐体３内には、暗室３ａが形成されている。

基材搬送手段４は、筐体３外の一方のベースプレート２上に設置された繰り出し用リール５と、筐体３外の他方のベースプレート２上に設置された巻き取り用リール６と、繰り出し用リール５と巻き取り用リール６間に所定の搬送経路を形成するための複数のガイドロール７ａ〜７ｎと、帯状基材であるフレキシブル基板１０に搬送力を作用させる駆動ロール８とを備えている。搬送経路の大部分は、暗室３ａ内に配置されている。暗室３ａ内の下方位置のガイドロール７ｆと上方位置のガイドロール７ｈとの間は、フレキシブル基板１０を垂直方向に搬送する垂直搬送区間とされている。

帯状基材であるフレキシブル基板１０は、その両端側が繰り出し用リール５と巻き取り用リール６にそれぞれ巻かれており、且つ、基材搬送手段４の搬送経路に沿って配置されている。フレキシブル基板１０は、その長手方向を搬送方向Ｔとして基材搬送手段４によって搬送される。フレキシブル基板１０の両面には、感光材が塗布されている。

第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２は、基材搬送手段４の垂直搬送区間でフレキシブル基板１０の両面側にそれぞれ対向配置されている。第１及び第２フォトマスク１１，１２は、それぞれ所望パターンが描かれた第１及び第２パターン部１１ａ，１２ａを有する。

第１フォトマスク１１は、支持体によって保持されている。この支持体は、第１位置調整手段１３を介して第１フレーム１４に支持されている。従って、第１フォトマスク１１は、位置調整手段１３により、フレキシブル基板１０の面に平行なＸ、Ｙ、θ（ＸＹ面の回転方向）方向に移動されてフレキシブル基板１０との相対的な位置に調整され得るようになっている。

第２フォトマスク１２は、支持体によって保持されている。この支持体は、第２位置調整手段１５を介して第２フレーム１６に支持されている。従って、第２フォトマスク１２は、位置調整手段１５により、フレキシブル基板１０の面に平行なＸ、Ｙ、θ方向に移動されてフレキシブル基板１０との相対的な位置に調整され得るようになっている。

図示しない光源、第１，第２ミラー１８，１９からなる光照射手段１７によって、第１フォトマスク１１及び第２フォトマスク１２を通して光を照射することにより、フレキシブル基板１０の両面に、第１フォトマスク１１、第２フォトマスクにそれぞれ描かれたパターンを転写する。

マーク読み取り手段であるＣＣＤカメラ２０は、フレキシブル基板１０を基準として第１フォトマスク１１より遠い位置に配置され、フレキシブル基板１０の面と平行な面上をＸ，Ｙ方向に移動自在に設けられている。

ＣＣＤカメラ２０からの画像データに基づいて画像処理装置（図示せず）で演算し、その演算結果に基づいて位置合わせを行う。

図２〜図４に示すように、フレキシブル基板１０の長手方向には、露光予定範囲２１（図２に示す）が一定の間隔を介して（もしくは連続的でもよい）設定され、各露光予定範囲２１毎に４箇所に位置合わせマーク２２（図２〜図４に示す）が設けられている。４箇所の位置合わせマーク２２は、露光予定範囲２１の四隅の外側位置の４箇所に設けられている。各位置合わせマーク２２は、透光性の円形であり、その周辺箇所が非透光性部材で形成されている。

第１及び第２フォトマスク１１，１２の第１及び第２パターン部１１ａ，１２ａの外側位置には、４箇所に位置合わせマーク２５，２６（図２〜図４に示す）がそれぞれ設けられている。第１フォトマスク１１の４つの位置合わせマーク２５は、フレキシブル基板１０の４箇所の位置合わせマーク２２に全て対応する位置に設けられている。第１フォトマスク１１の各位置合わせマーク２５は、非透光性の円環状である。第１フォトマスク１１の各位置合わせマーク２５の周辺箇所は、透光性部材で形成されている。第２フォトマスク１２の４つの位置合わせマーク２６も、第１フォトマスク２５のものと同様に、フレキシブル基板１０の４箇所の位置合わせマーク２２に全て対応する位置に設けられている。第２フォトマスク１２の各位置合わせマーク２６は、非透光性の円形である。第２フォトマスク１２の各位置合わせマーク２６の周辺箇所は、透光性部材で形成されている。

又、図４及び図５に詳しく示すように、フレキシブル基板１０の位置合わせマーク２２の外径が最も大きく、第１フォトマスク１１の円環状の位置合わせマーク２５が次に大きく、第２フォトマスク１２の円形の位置合わせマーク２６が最も小さく、円環状の内周円より小さく設定されている。

図１を用いて、前記露光装置１の動作を説明する。

まず、基材搬送手段４によってフレキシブル基板１０を所定距離だけ搬送させ、フレキシブル基板１０の露光予定範囲２１を第１及び第２フォトマスク１１，１２にほぼ対向配置させる。

次に、ＣＣＤカメラ２０でフレキシブル基板１０の４箇所の位置合わせマーク２２を中心としてその周辺位置を読み取る。ここで、フレキシブル基板１０は、上記した基材搬送手段４の搬送によって、第１及び第２フォトマスク１１，１２に対しておよそ所定の位置に位置するため、ＣＣＤカメラ２０で３つの位置合わせマーク２２，２５，２６を同時に読み取ることができる。４箇所のマーク画像データの内の少なくとも２箇所のデータを用いてフレキシブル基板１０と第１及び第２フォトマスク１１．１２間の位置ずれ量をそれぞれ算出する。第１フォトマスク１１及び第２フォトマスク１２の各位置ずれ量に基づいて、第１フォトマスク１１の位置を第１位置調整手段１３によって、第２フォトマスク１２の位置を第２位置調整手段１５によってそれぞれ調整する。次に、位置調整が終了すると、ＣＣＤカメラ２０で再び３つの位置合わせマーク２２，２５，２６を読み取り、正確な位置合わせ位置となっていることを確認する。尚、確認作業は省略しても良い。正確な位置合わせ位置では、３つの位置合わせマーク２２，２５，２６が図５に示すような状態となる。図５では、輝度レベルの低い領域をハッチングで示している。

次に、光照射手段１７によって、第１照射光Ｌ１、第２照射光Ｌ２を、それぞれ第１フォトマスク１１、第２フォトマスク１２を通してフレキシブル基板１０に照射する。これに伴い、フレキシブル基板１０の両面に所望のパターンがそれぞれ転写される。上記した工程を繰り返すことによってフレキシブル基板１０の露光予定範囲２１に連続的にパターンを転写する。

以上、本発明によれば、上記した位置合わせ工程において、第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２が共にフレキシブル基板１０の同じ位置合わせマーク２２を基準に位置合わせされるため、仮にフレキシブル基板１０の位置合わせマーク２２の位置精度、画像認識精度等に誤差が発生しても誤差の影響を受けにくい。従って、フレキシブル基板１０と第１及び第２フォトマスク１１，１２との間のみならず第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２との間も高精度に位置合わせできる。

この実施の形態では、フレキシブル基板１０の位置合わせマーク２２は、透光性の円形であり、第１フォトマスク１１の位置合わせマーク２５は、非透光性の円環状であり、第２フォトマスク１２の位置合わせマーク２６は、この円環状の内周円より小径の非透光性の円形である。そして、フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２の各位置合わせマーク２２，２５，２６の大きさは、フレキシブル基板１０の位置合わせマーク２２の外径が最も大きく、第１フォトマスク１１の円環状の位置合わせマーク２５が次に大きく、第２フォトマスク１２の円形の位置合わせマーク２６が最も小さく設定されているので３つの位置合わせマーク２２，２５，２６を同時に読み取ることができる。

尚、この実施の形態とは逆に、第１フォトマスク１１に円形の位置合わせマークを、第２フォトマスク１２に円環状の位置合わせマークを設けても良い。

この実施の形態では、基材搬送経路は、フレキシブル基板１０を垂直方向に沿って搬送する垂直搬送区間を有し、この垂直搬送区間で第１及び第２フォトマスク１１，１２を対向配置させたので、フレキシブル基板１０が自重によって撓まないため、露光時において、フレキシブル基板１０に必要以上に張力を加えずに、フレキシブル基板１０の平面度を維持しやすい。このため、フレキシブル基板１０の寸法変化が小さく、高精度に位置合わせすることができる。又、フレキシブル基板１０や第１及び第２フォトマスク１１，１２にゴミが付着し難い。更に、露光部が水平部にあるのに比べ、長い光路を確保できるので、より高質の平行光による忠実な転写が可能である。

（位置合わせマークの第１変形例）
図６及び図７は位置合わせマークの第１変形例を示し、図６は３つの位置合わせマークを示す要部拡大図、図７は正確な位置合わせ位置における３つの位置合わせマークの状態を示す図である。

図６及び図７に示すように、フレキシブル基板１０の位置合わせマーク３０は、透過性の円形であり、その周辺箇所が非透過部材で形成されている。第１フォトマスク１１の位置合わせマーク３１は、非透光性の円環状である。第１フォトマスク１１の各位置合わせマーク３１の周辺箇所は、透光性部材で形成されている。第２フォトマスク１２の位置合わせマーク３２は、非透光性の円形である。第２フォトマスク１２の各位置合わせマーク３２の周辺箇所は、透光性部材で形成されている。そして、フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２の各位置合わせマーク３０，３１，３２の大きさは、第１フォトマスク１１の円環状の位置合わせマーク３１が最も大きく、フレキシブル基板１０の位置合わせマーク３０が次に大きく、第２フォトマスク１２の円形の位置合わせマーク３２が最も小さく設定されている。

この第１変形例でも、フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２の位置合わせ位置及び少なくともその近傍位置では、図７に示すように、３つの位置合わせマーク３０，３１，３２を同時に読み取ることができる。

（位置合わせマークの第２変形例）
図８及び図９は位置合わせマークの第２変形例を示し、図８はフレキシブル基板と第１フォトマスクの配置を示す図、図９は図８のＤ−Ｄ線断面図である。

図８及び図９に示すように、フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２には、実施の形態と同一構成の位置合わせマーク２２，２５，２６がそれぞれ設けられているが、その他に補助位置合わせマーク２２ａ，２５ａ，２６ａがそれぞれ設けられている。

つまり、フレキシブル基板１０には、各露光予定範囲２１の外側で、且つ、２つの位置合わせマーク２２の中間位置に補助位置合わせマーク２２ａが設けられている。第１及び第２フォトマスク１１，１２には、フレキシブル基板１０に対向配置しない外側位置で、且つ、フレキシブル基板１０の長手方向Ｔの同じ位置に各補助位置合わせマーク２５ａ，２６ａがそれぞれ設けられている。

フレキシブル基板１０の補助位置合わせマーク２２ａは、透光性の円形であり、その周辺箇所が非透光性部材で形成されている。第１フォトマスク１１の補助位置合わせマーク２５ａは、非透光性の円環状である。第１フォトマスク１１の補助位置合わせマーク２５ａの周辺箇所は、透光性部材で形成されている。第２フォトマスク１２の補助位置合わせマーク２６ａは、非透光性の円形である。第２フォトマスク１２の補助位置合わせマーク２６ａの周辺箇所は、透光性部材で形成されている。

また、補助位置合わせマーク２５ａ，２６ａの利用法としては、以下のような方法がある。即ち、上記実施の形態のように位置合わせマーク２２，２５，２６のみでは、第２フォトマスク１２とフレキシブル基板１０の位置が大きくずれている場合には、フレキシブル基板１０によって第２フォトマスク１２の位置合わせマーク２６が隠れて読み取れない事態が発生する。しかし、この第２変形例では、第２フォトマスク１２の位置合わせマーク２６がフレキシブル基板１０によって隠れてその位置を読み取れない場合でも、第２フォトマスク１２の補助位置合わせマーク２６ａがフレキシブル基板１０によって隠れることがない。そこで、フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２間の粗い位置合わせを３つの補助位置合わせマーク２２ａ，２５ａ，２６ａを使用して行うようにすれば、その後に確実にＣＣＤカメラで３つの位置合わせマーク２２，２５，２６を読み取りできることになる。従って、フレキシブル基板１０と第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２間の位置合わせをより確実に、且つ、スムーズに行うことができる。

（その他の実施の形態）
上述した実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。

例えば、上記実施の形態及びその各変形例では、３つの位置合わせマーク２２，２５，２６は、円形と円環状であるが、これに限定されるものではなく、三角形と三角枠状、方形状と方形枠状、多角形と多角枠形としてもよく、要は３つの位置合わせマークが、ひとつのＣＣＤカメラで読み取れる形状あればよい。

また、上記実施の形態及びその各変形例では、帯状素材はフレキシブル基板１０であるが、複数のリジット基板が帯状に連結されたものであっても良い。帯状素材に限らず、リジット基板であっても良い。

さらに、上記実施の形態及びその各変形例では、フレキシブル基板１０の各露光予定範囲２１、第１フォトマスク１１の第１パターン部１１ａ、及び、第２フォトマスク１２の第２パターン部１２ａに対して、４箇所に位置合わせマーク２２，２５，２６をそれぞれ設けたが、最少で２箇所に設ければ良い。２箇所にのみ設けた場合には、従来例に較べて位置合わせマーク２２，２５，２６の読み取り箇所が少なくなるため、露光作業の短時間化、製造のコストダウン化になる。但し、この実施の形態のように２箇所より多く設けた場合には、高精度で、且つ、信頼性の高い位置合わせが可能である。

また、上記実施の形態では、フレキシブル基板１０を垂直方向に搬送する領域（垂直搬送区間）の両側に第１フォトマスク１１と第２フォトマスク１２とを対向配置したが、フレキシブル基板１０を水平方向に搬送する領域の上下にフォトマスクを対向配置させる構成としても勿論よい。

本発明の実施の形態に係る露光装置の概略構成図である。図１の矢印Ａ方向から見たフレキシブル基板と第１フォトマスクの配置を示す図である。図２のＢ−Ｂ線断面図である。図３のＣ部の要部拡大図である。図４に示す第１フォトマスク側から見た図であり、正確な位置合わせ位置における３つの位置合わせマークの状態を示す図である。第１変形例の３つの位置合わせマークを示す要部拡大図である。図６に示す第１フォトマスク側から見た図であり、第１変形例の正確な位置合わせ位置における３つの位置合わせマークの状態を示す図である。第２変形例のフレキシブル基板と第１フォトマスクの配置を示す図である。図８のＤ−Ｄ線断面図である。従来例のフレキシブル基板と第１フォトマスクの配置を示す図である。図１０のＥ−Ｅ線断面図である。

符号の説明

１露光装置
４基材搬送手段
１０フレキシブル基板（帯状素材）
１１第１フォトマスク
１１ａ第１パターン部
１２第２フォトマスク
１２ａ第２パターン部
１３第１位置調整手段
１５第２位置調整手段
２０ＣＣＤカメラ（マーク読み取り手段）
２１露光予定範囲
２２，３０フレキシブル基板の位置合わせマーク
２５，３１第１フォトマスクの位置合わせマーク
２６，３２第２フォトマスクの位置合わせマーク

Claims

両面に感光性材料が形成された帯状基材を、その長手方向に沿って間欠的に送り、露光処理位置には、前記帯状基材の両面にそれぞれ対向するように、第１フォトマスク及び第２フォトマスクを配置し、前記帯状基材の両面に対して前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクを通して光を照射することにより、前記帯状基材の両面に前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクにそれぞれ描かれたパターンを転写する露光方法であって、
前記帯状基材と前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクには、前記帯状基材と前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクを互いに位置合わせするために、対向する位置に複数の位置合わせマークがそれぞれ設けられ、
対向した位置の前記帯状基材に設けられた位置合わせマークと、前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクのそれぞれに設けられた位置合わせマークと、の３つの位置合わせマークを同時にひとつのＣＣＤカメラで読み取り、その結果得られたデータに基づいて、前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクのうち少なくとも一方をＸ，Ｙ，θ方向に移動させて前記帯状基材と前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクをそれぞれ位置合わせすることを特徴とする露光方法。
請求項１記載の露光方法であって、
前記帯状基材の位置合わせマークは、透光性の円形であり、前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクの各位置合わせマークの一方は、非透光性の円環状であり、他方はこの円環状の内周円より小径の非透光性の円形であることを特徴とする露光方法。
請求項２記載の露光方法であって、
前記帯状基材と前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクの各位置合わせマークの大きさは、前記帯状基材の位置合わせマークの外径が最も大きく、前記第１又は第２フォトマスクの円環状の位置合わせマークが次に大きく、前記第１又は第２フォトマスクの円形の位置合わせマークが最も小さく設定されたことを特徴とする露光方法。
請求項２記載の露光方法であって、
前記帯状基材と前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクの各位置合わせマークの大きさは、前記第１又は第２フォトマスクの円環状の位置合わせマークが最も大きく、前記帯状基材の位置合わせマークが次に大きく、前記第１又は第２フォトマスクの円形の位置合わせマークが最も小さく設定されたことを特徴とする露光方法。
長手方向に沿って連続的に露光予定範囲が設定され、各露光予定範囲毎に位置合わせマークが複数位置に設けられた帯状基材と、
前記帯状基材を長手方向に搬送する基材搬送手段と、
前記帯状基材の搬送経路の前記帯状基材を挟む位置にそれぞれ配置され、それぞれ複数位置に位置合わせマークが設けられた第１及び第２フォトマスクと、
ＣＣＤカメラとを備え、
前記第１及び第２フォトマスクの複数位置の各位置合わせマークは、前記帯状基材の同じ位置合わせマークに対応する位置にそれぞれ配置され、
前記ＣＣＤカメラは、前記帯状基材と前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクの対応位置にある３つの位置合わせマーク同時に読み取り可能であり、
その結果得られたデータに基づいて、前記第１フォトマスクと前記第２フォトマスクのうち少なくとも一方をＸ，Ｙ，θ方向に移動させて前記帯状基材と前記第１フォトマスク及び前記第２フォトマスクをそれぞれ位置合わせする位置調整手段を備え、
前記帯状基材の両面に対して前記第１及び第２フォトマスクを通して光を照射することにより、前記帯状基材の両面に前記第１及び第２フォトマスクにそれぞれ描かれたパターンを転写することを特徴とする露光装置。
請求項５記載の露光装置であって、
前記基材搬送経路は、前記帯状基材を垂直方向に沿って搬送する垂直搬送区間を有し、この垂直搬送区間で前記第１及び第２フォトマスクを対向配置させたことを特徴とする露光装置。